功率调整器

3月26日上午，由陕西省发展和改革委员会主办，中国科学院西安光学精密机械研究所、陕西电子信息集团、西安炬光科技有限公司等单位承办的“陕西省高功率激光器及应用产业联盟成立揭牌暨项目签约仪式”在西安光机所隆重举行。陕西省副省长吴登昌、陕西省决策咨询委员会副主任崔林涛、中国科学院院士侯洵、中国科学院院士姚建铨以及陕西省、西安市政府有关部门领导，该产业联盟所有成员单位代表等共400余人出席了揭牌暨项目签约仪式。 　　为了贯彻落实《关中——天水经济区发展规划》，以建设西安统筹科技资源改革示范基地为契机，中国科学院西安光机所、陕西电子信息集团、西安炬光科技有限公司等三家单位发起组建陕西大功率激光器及其应用产业联盟的倡议。倡议指出，陕西在大功率激光器产业的技术和产业配套等方面具有较好的基础，为集群形成和发展提供了良好的条件，但还存在着产业分散、关联度低等问题，在一定程度上制约了全省大功率激光器产业的发展。因此，为大力促进我国大功率激光器产业快速发展，组建陕西大功率激光器及其应用产业联盟将刻不容缓。 　　在陕西省发改委等单位的大力支持下，目前陕西省高功率激光器及应用产业联盟已集合了全省在该领域中的近20家企业、大专院校和科研单位入盟。通过整合资源，并充分利用中国科学院西安光机所和西安炬光科技有限公司在高功率半导体激光器领域的技术、人才和产业等优势，建设陕西省激光产业集群，打造一条技术领先、产业集聚、竞争力强的全新的产业链，以加快培育战略性新兴产业，推动结构调整和发展方式的转变。 　　在本次签约仪式上，西安炬光科技公司与国投高科技投资有限公司签署了战略投资协议 与美国知名的激光器制造企业阿波罗公司(Apollo Instruments)签署了“光学整形与光纤耦合业务收购协议” 与西安光机所签署了“激光投影仪项目协议”，同时还与在陕的工业加工、医疗设备、科学研究等十余个激光器应用企事业单位签约了投融资项目和产品研发项目，总额近2亿元。 　　大会期间，陕西省发改委副主任张振红代表省发改委宣读了“关于成立陕西省高功率激光器及应用产业联盟的复函” 中国科学院西安光机所所长赵卫代表陕西省高功率激光器及应用产业联盟在大会讲话 陕西省副省长吴登昌、陕西省决策咨询委员会副主任崔林涛、中国科学院院士侯洵、中国科学院院士姚建铨为联盟的成立共同揭牌。

简介：快速退火炉是利用卤素红外灯做为热源，通过极快的升温速率，将晶圆或者材料在极短的时间内加热到300℃-1200℃，从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷，改善产品性能。快速退火炉采用先进的微电脑控制系统，采用PID闭环控制温度，可以达到极高的控温精度和温度均匀性，并且可配置真空腔体，也可根据用户工艺需求配置多路气体。行业背景：快速退火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键设备。随着集成电路技术飞速发展，开展快速退火炉系统的创新研发对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉设备具有十分重大的战略意义和应用价值。目前快速退火炉的供应商主要集中在欧、美和台湾地区，大陆地区还没有可替代产品，市场都由进口设备主导，设备国产化亟待新的创新和突破。随着近两年中美贸易战的影响，国家越来越重视科技的创新发展与内需增长，政府出台了很多相关的产业政策，对于国产快速退火炉设备在相关行业产线上的占比提出了一定要求，给国内的半导体设备厂商带来了巨大机遇，预测未来几年时间国内退火炉设备市场会有快速的内需增长需求。技术特点：快速退火炉（芯片热处理设备）广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产。和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中，通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能，具有技术指标高、工艺复杂、专用性强的特点。一般参数：名称数值最高温度1200摄氏度升温速率150摄氏度/秒降温速率200摄氏度/分钟（1000摄氏度→300摄氏度）温度精度±0.5摄氏度温控均匀性≤0.5%设定温度加热方式红外卤素灯，顶部加热真空度10mTorr以下工艺应用：快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；离子注入/接触退火；金属合金；热氧化处理；高温退火；高温扩散。应用领域：化合物合金（砷化镓、氮化物，碳化硅等）；多晶硅退火；太阳能电池片退火；IC晶圆；功率器件；MEMS；LED晶圆。设备说明：快速退火炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。真空腔室：真空腔室是快速退火炉的工作空间，晶圆在这里进行快速热处理。加热室：加热室以多个红外灯管为加热元件，以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。进气系统：真空腔室尾部有进气孔，精确控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。真空系统：在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀，可以有效确保腔室真空度，同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。温度控制系统：温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。气冷系统：真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体，来加速冷却被热处理的工件，满足工艺使用要求。水冷系统：水冷系统主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。硬件更换：1.加热灯管更换：加热灯管超过使用寿命或无法点亮时需进行更换。加热灯管的使用寿命为3000小时，高温状态下会降低其使用寿命。2.真空泵油更换：在使用过程中，请每季度固定观察1次真空油表，当油表显示油量低于1/3时请添加真空泵润滑油到油表一半以上。3.热电偶更换：当热电偶测温不正常或者损坏时需进行更换。热电偶的正常使用寿命为3个月，随环境因素降低其寿命。4.O型圈的更换：O型圈表面有明显破损或者无法气密时需进行更换，其寿命受外力以及温度因素影响。保养周期：项目检查周期零件或耗材加热灯管周IR灯管托盘表面擦拭周碳化硅材质热电偶固定状态周石英板清理季度O型圈检查更换季度真空泵油季度MR100M导向轴承季度使用润滑油产品推荐：全自动12英寸多腔体快速退火炉RTP设备规格:全自动操作模式，机械手臂自动上片取片；多腔体生产模式，单个腔体适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者最大支持 300mmx300mm 样品；退火温度范围 300℃-1300℃；升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；温度均匀性 ≦±1%；真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；冷却方式包括水冷和氮气吹扫；MFC控制，3-5路制程气体。半自动12英寸快速退火炉RTP设备规格:适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者最大支持 300mmx300mm 样品；退火温度范围 300℃-1300℃；升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；温度均匀性 ≦±1%；真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；冷却方式包括水冷和氮气吹扫；MFC控制，3-5路制程气体。桌上型4英寸快速退火炉RTP设备规格:桌上型小型快速退火炉；适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者最大支持 100mmx100mm 样品；退火温度范围 300℃-1200℃；升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；温度均匀性 ≦±1%；常压腔体（可选配真空腔体）；冷却方式包括水冷和氮气吹扫；MFC控制，1-4路制程气体。快速退火炉，RTA，RTP，合金炉，RTO，快速退火炉RTP，国产快速退火炉，自主研发，快速退火工艺，半导体设备，芯片退火设备

《新的不免税目录》中机械设备有997种，与《原不免税目录》相比，新增加260种，多数属于提高了设备技术规格。各行业调整的主要情况如下： 　　仪器仪表行业《新目录》规定88种，比《原目录》增加55种，主要有：大型分散型工业过程控制设备(DCS)，工业无损检测设备，测距仪、平衡试验机，温度测量仪表，5种压力、物位、流量测量仪表，液量计，5种温度自动控制装置，压力、物位、流量自动控制装置，调节阀等。提高设备技术规格的主要有5种气象仪器。 　　工程机械行业《新目录》规定44种，比《原目录》增加5种，即挖掘装载机、盾构机、全断面掘进机、旋挖钻机、沥青路面铣刨机。提高技术规格的有23种：压路机，内燃叉车及集装箱叉车，电瓶叉车，平地机，自行式铲运机和拖式铲运机，筒式柴油打桩机，液压打桩锤，连续墙液压抓斗，钻探机，稳定土路面拌合机，自动扶梯和自动人行道，拖式泵，履带式起重机。 　　农机行业《新目录》规定11种，比《原目录》增加4种，主要是机动割草机，手扶拖拉机，喷灌设备 提高技术规格的谷物联合收割机，由170马力提高到200马力 其余部分与原规定一致。 　　内燃机行业《新目录》规定9种，比《原目录》增加2种，其他均为提高技术规格，由原定的额定功率≤132.39kW，提高到≤300kW。 　　石化通用行业《新目录》规定154种，比《原目录》增加46种，主要有:加氢反应器，轴流压缩机，离心式压缩机，离心式制冷机组 (输出功率≤3000kW)，螺杆式制冷机组，计量泵，往复泵，电动潜油泵，潜水电泵，气体分离设备用的精馏塔、板翅式换热器、膨胀机，柔版印刷机，凹版印刷机，凸版印刷机，以及5种分离设备，3种过滤净化设备，16种废污水处理设备和15种塑料加工机械等 提高技术规格的主要有：制氧机由≤30000m3/h提高到50000m3/h，单张纸胶印机由≤15000张/h提高到≤16000张/h，卷筒纸胶印机由≤60000张/h提高到≤65000张/h，锅炉给水泵扬程由≤2800m3/h提高到≤4200m3/h，循环水泵流量由 ≤4800m3/h提高到≤5400m3/h等。 　　重型矿山行业《新目录》规定116种，比《原目录》增加24种，主要有：6种破碎、研磨设备，螺旋输送机，混匀取料机，液压支架等 提高技术规格的有：冷连轧机板宽由1.7m提高到≤2m，线材轧机由≤100m/s提高到所有规格 其余多数产品与原规定一致。 　　机床工具行业《新目录》规定141种，比《原目录》增加37种，主要有数控镗铣加工中心，数控重型卧式车床，数控重型立式车床，数控重型磨床，数控龙门铣床，数控重型滚齿机，数控镗铣床，数控坐标镗床、磨床，组合机床，龙门式加工中心和部分规格的矫直(平)机、锻造用压力机等。数控机床中，提高了一批机床的技术规格并以加工精度作为衡量指标。如双柱、四柱万能液压机由≤2000t提高到≤4000t 数控折弯机由≤160t提高到所有规格 数控冲模回转头压力机由≤60t提高到所有规格 数控板带剪切机床由板厚×宽≤8mm×4000mm提高到≤12mm×4000mm，以及卧式车削加工中心、数控磨床等。非数控机床，《新目录》作了重大调整，规定所有非数控机床进口都不予免税，包括非数控的金属切削机床、金属成形加工机床等。一批木工机械、铸造机械、量具量仪也提高了技术规格，扩大了不免税范围。 　　文化办公设备行业《新目录》规定51种，比《原目录》增加32种，主要有：数码相机、放映机、幻灯机、缩微阅读机、9种光学元件以及14种照相机及零附件。4种照片放大机及缩片机和4种彩色扩印设备都由部分产品扩大到全部产品。复印设备(包括多功能一体机)也由部分产品扩大到全部产品和零部件。 　　电工电器行业《新目录》规定155种，比《原目录》增加48种。 　　包装食品机械行业《新目录》规定18种，比《原目录》增加7种，主要有：瓶子或其他容器的洗涤、干燥设备以及杀菌设备，玻璃瓶灌装设备，贴标机，易拉罐灌装设备，固体、液体充填包装机等。提高设备技术规格的有：三片罐生产设备，聚脂瓶饮料灌装设备，瓦楞板生产设备，模切机等。 　　汽车行业《新目录》规定210种，与《原目录》相同。