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微差压传感器又可称为风压差传感器、气压差传感器、管道风压差传感器、室内气风压差传感器等。其中微差压传感器的核心部件是一个电容式压力敏感元件,由不锈钢膜片与固定电极构成一个电容,其值随压力变化而变。微压差传感器具有零点、满度可调、精度高、温漂小、抗干扰能力强、稳定可靠、价廉物美等特点。 微差压传感器采用进口差压集成感差芯片,电路部分的关键元器件选用国际著名品牌的元器件,全封闭式电路,具有防潮、防结露、防渗漏、防雷功能。微差压传感器外壳为铝合金或有锈钢两种结构,两个压力接口为螺纹或旋塞结构,可直接安装在测量管道上或通过引压管连接。非常狭窄的微流体通路降低了流进气体的流速,极低的气体流速保证了微压差传感器连接管路和滤器后不必重新校正。 微差压传感器可用于测量炉内压等微小差压,然后转变成4~20mA DC信号输出,以及有气压要求的实验室、消防工程用的室内气压力控制领域。微差压传感器广泛应用于锅炉送风、井下通风、中央空调、风管风力、楼宇自控等电力、煤炭行业压力过程等领域。
微压传感器在测量过程,即压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,同时通过电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号得过程。 对于微压传感器来说,灵敏度和线性度是微压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器,必需探索出一种微压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中,发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。 微压传感器发展迅速,新研制出的一类传感器采用压电单晶片结构,并内置前置放大器,通过放大器放大微弱信号并实现阻抗变换,从而使传感器具有量程小、灵敏度高、抗干扰性好等特点。这类传感器已广泛用于脉搏、管壁压力波动等微小信号的检测。但与此同时,对于微压传感器精准度的检验这一技术难题,就迫切需要简便的测量装置测量该类型传感器的性能。 为了解决微压力传感器灵敏度和非线性的矛盾,在结构上,综合梁膜结构与平膜双岛结构的优点,采用双岛-梁结构。岛区的面积不是按比例放大或缩小。首先,为了增加灵敏度,应尽可能减小窄梁区的长度和宽度。因为从对“梁-膜-岛”结构的有限元分析和近似解析分析中发现,减小窄梁区的长度和宽度可以明显地使梁上的应力增大。并且当中间窄梁的长度约为两边窄梁长度的2倍时,器件的线性度最好。虽然有双岛限位结构,但在高过载情况下,硅膜将首先从岛的边区和角区破裂。这是因为传统的岛膜结构都是采用常规的有掩模的各向异性湿法腐蚀,从硅片背面形成硅膜和背岛。硅膜是晶面,边框和背大岛侧面都是晶面,夹角为54.74°的锐角。 根据力学原理,在角区存在应力集中效应,使硅膜在正面或背面受压以后,角区会具有应力的极值,因此破裂首先从该处发生。引入应力匀散结构以后,使角区变成具有一定曲率的圆角区,使该区的应力极值下降。在硅膜与边框或背岛的交界处要形成有一定曲率半经的缓变结构,采用一般的常规各向异性湿法腐蚀是无法实现的。为此,采用了掩模-无掩模各向异性湿法腐蚀技术。
来国内外研制和应用的一种新型传感器。他的基本原理是将载荷传递到一个轮辐式的弹性体上,通过测量轮辐上的剪应力来间接地测量载荷,故称为轮辐式剪切力传感器。他有着优良的性能价格比,因此无论是在测量领域的广度,还是在测量的准确度上他都有着很强的竞争力。 轮辐式传感器与传统的随着计算机技术和信息处理技术的不断发展和完善,作为提供信息的传感器,人们往往把他比作电脑的“五官”,即通过他来灵敏地采集各种信息,为电脑提供思维、判断和控制的基础。因而传感器的发展在测量与监控系统中就显得尤为重要。 轮辐式传感器是近年拉压式传感器相比,具有精度高、滞后小、重复性好、线性好、抗偏心载荷和侧向力的能力强、结构高度最小、重量轻等优点,因此这种传感器在大、中量程测量方面有着广泛的应用,并具有良好的市场前景。 轮辐式传感器结构设计的主要原则:第一,要有很好的刚性。为了使传感器工作状态保持稳定,减轻外界振动干扰的影响,应尽量使弹性体在负荷作用下的弹性位移减少,使之具有较高的固有频率。第二,要有简单合理的整体性结构。弹性体应尽量为一个整体,避免组合式结构。减少诸如紧固松动、焊接变形等带来的影响,并有利于简化加工工艺,降低成本。第三,对作用力位置的变化和干扰力的影响不敏感。弹性体应变敏感区的应力分布,希望只随作用力的大小而变化。第四,弹性体有效工作区应有良好的线性和最大应变值。第五,弹性体工作区的工艺性能好,包括机械加工、粘贴和密封安装工艺好。第六,具有低外形结构,安装方便,互换性好。低外形结构可以增强抗侧向力的能力,使工作状态稳定。 更多关于轮辐式传感器的相关资料请参考:http://www.dzsc.com/product/searchfile/3871.html