高精度气浮旋转平台采用闭式气浮结构设计,直驱电机驱动,圆光栅闭环反馈,实现高分辨率、高精度运动控制。技术特点:直接驱动无槽,无刷伺服马达高速、高稳定性极佳的误差运动与偏转特性负载:2kg运动模式:支持开环与闭环轻量化、结构紧凑,高可靠性模块化设计,摩擦单元可替换超高真空兼容性 应用领域:工业机器人 纳米表面测量晶圆检测 光纤光学和光子学航空电子设备 精密扫描硅片检查 半导体设备智能制造 超精密微细加工规格参数:型号RAF-85C* 运动轴θX传感器类型光栅传感器行程(°) 360定位重复性(μrad) ≤5(带载750g)定位精度(μrad)≤10(带载750g)30°闭环响应时间(ms)≤10(带载750g)最大负载 (kg) 5 轴向跳动(nm)50径向跳动(nm)50平行度 (μm)40旋转惯量 (kg*m² )11.2x10-4抵抗过载冲击(带载750g)4g(四倍重力加速度)轴向与径向过载冲击自重(g)1544尺寸(mm)150x150x96材料铝合金/钛合金纳米定位平台
留言咨询