特种测试仪

SPM300系列半导体参数测试仪设备概览基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。① 光路接口盒：内置常用激光器及激光片组，拓展激光器包含自由光及单模光纤输入；② 光路转向控制：光路转向控制可向下或向左，与原子力、低温、探针台等设备连用，可升级振镜选项③ 明视场相机：明视场相机代替目镜④ 显微镜：正置科研级金相显微镜，标配落射式明暗场照明，其它照明方式可升级⑤ 电动位移台：75mm*50mm 行程高精度电动载物台，1μm 定位精度⑥ 光纤共聚焦耦合：光纤共聚焦耦合为可选项，提高空间分辨率⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合：标配CCD- 狭缝耦合方式，可使用光谱仪成像模式，高光通量⑧ 光谱CCD：背照式深耗尽型光谱CCD相机， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%⑨ 320mm 光谱仪：F/4.2高光通量影像校正光谱仪， 1*10-5 杂散光抑制比SPM300系列半导体参数测试仪主要应用SPM300系列半导体参数测试仪选型表型号描述SPM300-mini基础款半导体参数分析仪，只含一路532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台SPM300-SMS532多功能型半导体参数分析仪，含532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器SPM300-OM532开放式半导体参数测试仪，含532nm 激光器，定制开放式显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器系统参数项目详细技术规格光源标配532nm，100mW 激光器，其他激光可选，最多耦合4 路激光，可电动切换，功率可调节光谱仪320mm 焦距影像校正光谱仪，光谱范围90-9000cm-1,光谱分辨率2cm-1空间分辨率1μm样品扫描范围标配75mm*50mm，最大300mm*300mm显微镜正置显微镜，明场或者暗场观察，带10X,50X,100X 三颗物镜；开放式显微镜可选载流子浓度分析测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3，重复性误差5%应力测试可直观给出应力属性（拉力/ 张力），针对特种样品，可直接计算应力大小，应力均匀性分析（需额外配置电动位移台）, 应力解析精度0.002cm-1晶化率测试可自动分峰，自动拟合，自动计算出晶化率，并且自动计算晶粒大小和应力大小测试案例举例

特种探头拉曼光谱检测系统拉曼光谱是物质的指纹谱，通过拉曼光谱可以获取物质的声子谱、电- 声相互作用、晶格振动非简谐信息，测量物质融化曲线及固/ 液相变、结构、组成、状态等。常规的显微拉曼只能用于实验室测试，无法满足在线测试需求。北京卓立汉光仪器有限公司结合多年的拉曼光谱仪研制经验开发出特种光纤探头拉曼解决方案，可以用于特殊场景的在线分析。性能优势可满足高温高压实验环境下测试需求可满足固、液、气等多种类型的样品侵入式测试需求光纤结构，系统稳定耐用系统方案与配置技术参数激光器532nm，100mw785nm，350mw 光谱仪VPH 透射光栅光谱仪拉曼频移：200-4000cm-1； 光谱分辨率：优于 10cm-1VPH 透射光栅光谱仪拉曼频移：350-2400cm-1 光谱分辨率：优于 10cm-1CCD 探测器具有高像元分辨率的 CCD 芯片，分辨率 2000*256可见近红外拉曼专用 CCD，深制冷温度至 -60℃，读出噪声5 电子 / 像元 特种探头工作距离：3 mm 和 7 mm 可选，其他可定制工作温度：0-325℃，可定制最大压力：6000psi配置信息光谱仪型号Omni-iSpecT532A1Omni-iSpecT785A1拉曼频移波长宽度0-4100cm-1 /532-680nm-200-2400cm-1/770-965nmF/#F/1.8F/2.3焦距（入射 / 出射）85/85mm100/100mm光栅1800l/mm VPH1200l/mm VPH CCD 相机背感光深耗尽 CCD 有效像素 2000×256 像素尺寸 15um探测面尺寸 30×3.8mm背感光深耗尽 CCD 有效像素 2000×256 像素尺寸 15um探测面尺寸 30×3.8mm可调入射狭缝10um-6mm10um-6mm分辨率（典型值）@50um 狭缝0.17nm5cm-1@585nm，7cm-1 保证值0.25nm3cm-1@912nm，5cm-1 保证值光纤适配器XY 可调光纤适配器光纤接口：SMA，10mm 圆柱XY 可调光纤适配器光纤接口：SMA/ MPO/10mm 圆柱快门选配选配 内置长波通滤光片选配直径 50mm，最低波数 186cm-1选配直径 50mm，最低波数 309cm-1重量5kg5.8kg特种探头探头激发波长405, 514, 532, 633, 670, 671, 785, 808 nm. 其 他 可 选光谱范围100-4000 cm-1 @ 标准 ( 不同激光器范围不同 )样品端光斑大小~100 um @ 100 um 芯径激发光纤工作距离9mm/3mm@ 标准；12,15,18mm 可选数值孔径0.22 @ 标准探头尺寸2.25” 长 x 0.96”宽 x 0.58”高1.3” 直径 x 4.5”长探头材质超硬氧化铝，316 不锈钢；可根据需求定制探头柄尺寸3/8” 直径 x 3” 长度3/8” 直 径 x 2” 长 度可根据需求定制探头密封阀丁腈橡胶密封环，其他可定制探头密封材质全氟醚橡胶密封环，可根据需求定制滤光片效率O.D 6操作温度0-325 ⁰ C最大操作压力6000 psi光纤配置100/100 um 标准配置，其他可选光纤长度5m@ 标准；可根据需求定制接口类型FC 或者 SMA其他可定制探测器有效像素2000 x 256像元尺寸15 x 15 μm最短光学门宽30 x 3.8 mm读出噪声4.5 e-响应范围200-1100nm应用分享气体在线分析Casella A [1] 采用特种探头拉曼技术对二氧化钚废气流动进行在线监测，用于评估制备铀、钚等高纯金属时的氟化反应进程。目前公认的氟化反应使用具有毒性和腐蚀性的HF，很大程度限制了探针和接口材料的选择。下图为实时监测氟化反应废气装置示意图，采用光纤探头拉曼，激光通过阻挡HF 气体的透明窗口聚焦监测。此外该系统可以用于监测其它反应产物和环境中的气体等。图 光纤拉曼在线监测结构图图 不同参数下的拉曼光谱图图 反应气体的拉曼光谱强度- 时间关系图和热刨面图化学蚀变过程监控Parruzot B[2] 等人采用光纤探头拉曼光谱技术原位监测玻璃蚀变过程，实验时不锈钢密封的光纤拉曼探头需浸泡在恒温硼酸/ 硼酸盐溶液中，拉曼光谱监测溶液的pH 值和硼酸浓度变化，构建预测模型。通过光纤拉曼原位在线检测，可以实现近实时定量分析，也避免了环境实验干扰，如蒸发、SA/V 变化、污染物、温度等因素。图 实验装置（中）和溶液pH 值、硼酸浓度的拉曼光谱图（左、右）图 拉曼光谱模型图，DI（超纯水溶剂，A-D）SB（加硼酸盐溶剂,E-H），A,B,E,F 是拉曼光谱与时间三维图；C,G 是硼酸浓度模型图；D,H 是PH 值模型图 化学蚀变过程监控Lu W [3] 等人应用光纤拉曼原位监测微芯片反应器中金属- 有机物Co-MOF-74 生长过程，实验时FIR 和WAVS 提供物质的原子坐标和晶格信息，拉曼和MIR 提供分子结构信息并获得成核生长曲线。图 MOF 拉曼光谱随时间变化曲线，采用平面波密度泛函理论计算引用文献[1] Casella A, Carter J, Lines A, et al. In stream monitoring of off-gasses from plutonium dioxide fluorination[J]. Actinide Research Quarterly,2019: 31-35.[2] Parruzot B, Ryan J V, Lines A M, et al. Method for the in situ measurement of pH and alteration extent for aluminoborosilicate glasses using Raman spectroscopy[J]. Analytical chemistry, 2018, 90(20): 11812-11819.[3] Lu W, Zhang E, Qian J, et al. Probing growth of metal–organic frameworks with X-ray scattering and vibrational spectroscopy[J]. Physical Chemistry Chemical Physics, 2022.

ZC-400F型特种车辆制动仪一、产品特点1、特种车辆制动仪是淄博卓川电子科技有限公司自主研发的以高性能单片机为核心的智能化测试仪器，该仪器是按照特种车辆检测标准而设计的专用仪器。仪器配以点阵式液晶屏作为显示器件，汉字提示实时显示测试数据，配有内置打印机打印检测数据，配有标准RS-232接口，可与计算机通讯。2、此仪器配有GPS定位传感器，可准确测试被测车辆的速度及制动距离，可根据特种车辆制动标准对检测数据自动判定是否合格。3、仪器具有车牌号输入、日期自动显示、可存储数据的功能。二、技术参数1、速度：0～99.99 km/h 分辨力：0～0.01 km/h 示值误差：±2% 2、制动距离：0～99.99 m 分辨力：0.01 m 示值误差：±2% 3、内置锂电池（可反复充电）4、充电电压：220伏