外置传感器

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外置传感器相关的厂商

  • 合肥力智传感器系统有限公司,专门从事传感器、变送器、智能仪器、仪表等方面的科研开发与制造。公司成立十多年来,力智测控以雄厚的技术、科技开发力量及精湛的生产工艺水平,研制、开发、制造上百种力敏传感器、压力变送器、智能仪表及计算机控制系统。广泛应用于冶金、化工、油田、军工、航空航天、各大科研所、院校、汽车、交通、能源、机械制造、建材等行业的计算机和自动化过程控制。产品遍布全国,创新、诚信、奋进为企业精神,坚持以优质的产品,真诚的服务和卓越的信誉,共同创造和见证您我共同的辉煌历程。你的需要就是我们的服务。我们愿和国内外客商真诚合作、共同发展。我们等待着你的到来。
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  • 安徽天光传感器有限公司创建于1991年,占地面积22000平方米。主要研发、生产、销售:称重传感器,电力覆冰检测传感器,扭矩传感器,拉力传感器,轴销传感器,压力传感器,拉压力传感器以及相配套测控仪表等产品。二十多年来天光不断吸取国内外的先进技术,引进国外领先的设备与工艺,学习与吸收现代企业管理理念,先后研发、生产了百余种测力传感器及配套仪器仪表,产品广泛应用于军工、航空航天、油田、交通、医药、冶金建材、教学等行业的计量与自动化过程中的检测等方面,其半导体应变计的生产工艺、设备及产量为国内领先,已申报发明专利。2008年我公司荣幸为北京奥运会主体育场鸟巢提供专用传感器,并获得好评。 陈圆圆180 5523 0933
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  • 迈恩传感科技有限公司是一家专注于位置测量技术的高新 技术企业。根据不同的原理,公司开发出塑胶碳膜式直线位 移传感器、磁致伸缩位移传感器、磁感应式直线位移传感 器、差动变压器式(LVDT)位移传感器、拉绳位移传感器, 也代理众多国外位移传感器产品。公司所经营的产品,广泛 应用于电梯、液压系统、立体车库、产业机械、测量系统, 在产品的可靠性、稳定性、精度和环境适应性方面,赢得客 户的广泛认同。 迈恩传感科技有限公司基于电位器的原理,所开发出来的 塑胶导电碳膜电阻式直线位移传感器,在应用中,以比例电 压输出来检测绝对位置,立意巧妙,原理简单,机构轻巧, 稳定可靠,环境适应性强,寿命长,可以适用于大部分机械 的位置控制。 迈恩传感科技有限公司基于磁致伸缩原理,开发出磁致伸 缩位移传感器,有外置滑块式、液位式、油缸内置式多种安 装型式,以及多种输出方式。产品性能稳定可靠,抗干扰能 力强,是一款性价比非常高的产品。 迈恩传感科技有限公司独立自主开发的磁感应牵引式碳膜 直线位移传感器,具有自主知识产权,有外置滑块式、液位 式、油缸内置式三种安装方式,可以有电压、电流多种信号 输出模式,并通过国家权威机关“本安”防爆认证。是替代 价格昂贵且对电磁环境适应性有一定困难的磁致伸缩位移传 感器产品的第一选择。公司专门开发出非线性输出的特殊位 移传感器,可以广泛使用于油罐车、槽车以及非标准液位面 液体体积的实时检测,无需配置昂贵的显示仪表,无需复杂 的计算和设置,就可以测量液体的体积。 迈恩传感科技有限公司引进国外技术,开发出基于差动变 压器原理的LVDT位移传感器,专门适用于测量微小位移变化 量,具有很高的重复性精度和线性精度。 迈恩传感科技有限公司引进消化国外先进技术,开发出拉 绳位移传感器,产品结构紧凑,性能可靠,行程范围宽(可 达100米)适用多种工业用途。详细资料介绍详见拉绳位移 传感器产品介绍。
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外置传感器相关的仪器

  • 用途:SM-5A外置传感器声纳测深仪非常精确,质量可靠。它对于航海、捕鱼、潜水、海岸测量以及科学工作都很适用,从您的小艇上就能够很轻易地测量出水深,有利于巡航人员进行船舶抛锚。SM-5A外置传感器声纳测深仪的传感器位于12英尺(3.65米)的线缆末端,它可以被安装在大型船舶的船体内部,也可以安装在船体外部的杆子或船钩上。如果您离水不够近,无法使用SM-5便携式声纳测深仪的话,SM-5A外置传感器声纳测深仪将会很有用。它的线缆和配件是防水的,但是主机不可在水下使用,因此请勿放入水中。可选的附件套件包含(A)用于外部船体安装的坚固的吸盘支架,以及(B)用于立杆或船钩安装的Velcro / 2-block附件。如果您需要一根长度超过12 英尺(3.65米)的线缆,我们可以为您定制。 技术规格:频率200khz(光束角为24度)范围2-260英尺(0.6米—60.9米)电池标准的9伏的干电池(大约可读取500个数据)尺寸198 *43mm重量284g(含电池)产地:美国
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  • 用途:3415FX便携式光照辐射测量仪用于测量环境中的实时光照辐射,通过配备不同的传感器,可测量光合有效辐射、总辐射、紫外辐射。具有体积小,携带方便的特点。读数表:显示液晶显示屏传感器接口1个供电9V碱性电池可选传感器:太阳总辐射传感器(3670I)图示测量范围0~1500 W/m2测量精度±5%分辨率1 W/m2反应波段300~1100nm光合有效辐射传感器(3668I)图示测量范围0~2500 μmol/m2/s测量精度±5%反应波段400~700nm3探头型杆式光合有效辐射传感器(3668I3)图示测量范围0~2500 μmol/m2/s测量精度±5%反应波段400~700nm6探头型杆式光合有效辐射传感器(3668I6)图示测量范围0~2500 μmol/m2/s测量精度±5%反应波段400~700nm紫外辐射传感器(3676I)图示测量范围0~200.0 μmol/m2/s测量精度±5%反应波段250~400nm 产地:美国
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外置传感器相关的资讯

  • 传感器行业未来关注的四大领域
    未来值得关注的四大领域  随着材料科学、纳米技术、微电子等领域前沿技术的突破以及经济社会发展的需求,四大领域可能成为传感器技术未来发展的重点。  一是可穿戴式应用。据美国ABI调查公司预测,2017年可穿戴式传感器的数量将会达到1.6亿。以谷歌眼镜为代表的可穿戴设备是最受关注的硬件创新。谷歌眼镜内置多达10余种的传感器,包括陀螺仪传感器、加速度传感器、磁力传感器、线性加速传感器等,实现了一些传统终端无法实现的功能,如使用者仅需眨一眨眼睛就可完成拍照。当前,可穿戴设备的应用领域正从外置的手表、眼镜、鞋子等向更广阔的领域扩展,如电子肌肤等。日前,东京大学已开发出一种可以贴在肌肤上的柔性可穿戴式传感器。该传感器为薄膜状,单位面积重量只有3g/m2,是普通纸张的1/27左右,厚度也只有2微米。  二是无人驾驶。美国IHS公司指出,推进无人驾驶发展的传感器技术应用正在加快突破。在该领域,谷歌公司的无人驾驶车辆项目开发取得了重要成果,通过车内安装的照相机、雷达传感器和激光测距仪,以每秒20次的间隔,生成汽车周边区域的实时路况信息,并利用人工智能软件进行分析,预测相关路况未来动向,同时结合谷歌地图来进行道路导航。谷歌无人驾驶汽车已经在内华达、佛罗里达和加利福尼亚州获得上路行使权。奥迪、奔驰、宝马和福特等全球汽车巨头均已展开无人驾驶技术研发,有的车型已接近量产。  三是医护和健康监测。国内外众多医疗研究机构,包括国际著名的医疗行业巨头在传感器技术应用于医疗领域方面已取得重要进展。如罗姆公司目前正在开发一种使用近红外光(NIR)的图像传感器,其原理是照射近红外光LED后,使用专用摄像元件拍摄反射光,通过改变近红外光的波长获取图像,然后通过图像处理使血管等更加鲜明地呈现出来。一些研究机构在能够嵌入或吞入体内的材料制造传感器方面已取得进展。如美国佐治亚理工学院正在开发具备压力传感器和无线通信电路等的体内嵌入式传感器,该器件由导电金属和绝缘薄膜构成,能够根据构成的共振电路的频率变化检测出压力的变化,发挥完作用之后就会溶解于体液中。  四是工业控制。2012年,GE公司在《工业互联网:突破智慧与机器的界限》报告中提出,通过智能传感器将人机连接,并结合软件和大数据分析,可以突破物理和材料科学的限制,并将改变世界的运行方式。报告同时指出,美国通过部署工业互联网,各行业可实现1%的效率提升,15年内能源行业将节省1%的燃料(约660亿美元)。2013年1月,GE在纽约一家电池生产企业共安装了1万多个传感器,用于监测生产时的温度、能源消耗和气压等数据,而工厂的管理人员可以通过iPad获取这些数据,从而对生产进行监督。超声波气象站集合了7个传感器,为工业生产提供了一流的天气监测信息,为预防一些灾害事件提供可靠信息,从而提高效率,降低和总的成本。  此外,荷兰壳牌、富士电机等跨国公司也都在该领域采取了行动。
  • 福禄克携5款温度、压力、电学计量校准产品亮相世界传感器大会
    仪器信息网讯 8月23日,为期三天的2022世界传感器大会在郑州国际会展中心完美落幕,此次传感器大会由中华人民共和国工业和信息化部、中国科学技术协会与河南省人民政府主办,郑州市人民政府、河南省工业和信息化厅、河南省科学技术协会、中国仪器仪表学会承办。福禄克(FLUKE)展位本次世界传感器大会,众多知名传感器公司携新品和主推产品参展,同时也吸引了多家仪器企业参加,福禄克(FLUKE)公司也携一系列计量校准产品亮相。据了解,福禄克早在2000年就收购了Wavetek Wandell Goltermann的精密测量部门,从而稳固了其在电气校准市场内已经获得的地位。近几年,福禄克公司又先后收购了以温度计量和校准著称的 HART公司,以及以压力计量和校准而著称的DHI公司,从而使福禄克公司的计量和校准技术和产品覆盖了电学、温度以及压力,成为全面提供计量和校准产品的仪器仪表公司。1586A高精度多路测温仪(下)和外置接线模块(上)1586A高精度多路测温仪可以扫描测量并记录直至40通道的直流电压和电流,电阻,扫描速度可达每秒10个通道。1586A可以配置为多通道的记录仪在现场使用,也可以配置为参考温度计连接方式用于实验室的温度传感器校准。1586A高精度多路测温仪可满足制药,生物,食品,航空航天以及汽车行业的大量的温度分布,传感器校准,温度测量的应用。2271A工业压力校准器这款仪器兼容两个不同精度级别的模块。PM200模块为大部分量程提供 0.02% FS。PM500模块提供0.01%的读数不确定度,确保2271A可用于测试或校准更高精度的变送器和数字仪表。2271A的压力量程达到-100 kPa至20MPa(-15 psi至3000psi),满足较宽范围的压力计和传感器需求。仪器内置支持HART功能的电学测量模块(EMM),因此能够对4-20 mA设备(例如,智能变送器、压力计和开关)进行闭环、全自动校准。此外,该仪器顶部的双测试端口可安装两台被测设备(DUT),提升工作效率。9173高精度干式计量炉干井炉是早期最传统的现场热源。而福禄克最早开发的干式计量炉,其不确定度要远远小于干井炉的不确定度。不确定度越低,客户就越有能力校准准确度更高的传感器。干式计量炉提供了接近恒温槽的性能,但是却不需要昂贵的恒温槽液体。干式计量炉达到预定温度点并且稳定的时间比恒温槽快5到10倍,这样即可节省技术人员的工作时间,提高检定速度。干式计量炉的便携性使其能够到现场进行校准的工作,从而解决了恒温槽在运输上的困难。而此次参展的福禄克9173高精度干式计量炉采用了双段控温技术。传统的炉子在轴向(垂直方向)的温度场很难做到均匀,越接近炉口温度变化就越大。所谓双段控温就是在垂直方向上使用上下两层双路控温的方式,这种新型的模拟和数字控制技术提供了高达±0.005 C的稳定性。而且利用两段控温技术,轴向(垂直方向)的均匀性在60 mm区域内可达到±0.02 ℃。7109A便携式恒温槽在制药、生物科技和食品生产等行业,过程制造工厂大量使用卫生型温度传感器,这些传感器需要定期校准,在校准时必须停止生产。因此,校准效率越高意味着工厂停工时间越短。此外,在有些生产过程中,0.1摄氏度的误差就会造成严重成本损失,温度准确度对于保证质量至关重要。而本次展出的这款7109A便携式校准恒温槽与市面上许多恒温槽相比,系统准确度提高了两倍,能在更短的时间内校准更多的卫生型传感器,工作效率提高四倍。用户可以将4支卡箍式卫生型传感器同时置于恒温槽中进行校准,温度显示准确度达±0.1°C。对于小法兰或没有法兰的卫生型热电阻,校准效率甚至更高。7109A恒温槽覆盖温度范围可达-25°C至140°C,内置测温仪直接用于连接外部参考探头以及被校温度探头。8588A八位半数字多用表8588A是一款八位半数字化标准多用表,专门为校准实验室量身打造,拥有直观的用户界面和彩色屏幕和超过12项的测量功能,包括新增的数字化电压、数字化电流、电容、射频(RF)功率,以及用于交/直流电流的外部分流器,帮助用户将实验室级别的系统测试成本统一整合到单台测量仪器中。8588A拥有1年期直流电压准确度(2.7μV/V@95%置信区间,或3.5μV/V@99%置信区间)和最佳的24小时稳定度(0.5 μV/V@95%置信区间,或0.65 μV/V @99%置信区间),使其能够傲视市场上其他标准数字多用表。8588A还能够在短短1秒内产生稳定的八位半读数,进一步提高速度覆盖范围。
  • “五化”趋势助全球传感器冲刺800亿美元市场
    传感器融合了材料科学、纳米技术、微电子等领域的前沿技术,是新一代信息技术、高端制造装备、新能源汽车等战略新兴产业的先导和基础,也是智能交通、智能楼宇、智慧医疗、智慧基础设施等物联网应用的关键技术,具有技术含量高、经济效益好、辐射和带动力强等特点。   &ldquo 五化&rdquo 成为传感器技术发展的重要趋势   近年来,传感器技术新原理、新材料和新技术的研究更加深入、广泛,新品种、新结构、新应用不断涌现。其中,&ldquo 五化&rdquo 成为其发展的重要趋势。   一是智能化,两种发展轨迹齐头并进。一个方向是多种传感功能与数据处理、存储、双向通信等的集成,可全部或部分实现信号探测、变换处理、逻辑判断、功能计算、双向通讯,以及内部自检、自校、自补偿、自诊断等功能,具有低成本、高精度的信息采集、可数据存储和通信、编程自动化和功能多样化等特点。如美国凌力尔特(Linear Technology)公司的智能传感器安装了ARM架构的32位处理器。另一个方向是软传感技术,即智能传感器与人工智能相结合,目前已出现各种基于模糊推理、人工神经网络、专家系统等人工智能技术的高度智能传感器,并已经在智能家居等方面得到利用。如NEC开发出了对大量的传感器监控实施简化的新方法&ldquo 不变量分析技术&rdquo ,并已于今年面向基础设施系统投入使用。   二是可移动化,无线传感网技术应用加快。无线传感网技术的关键是克服节点资源限制(能源供应、计算及通信能力、存储空间等),并满足传感器网络扩展性、容错性等要求。该技术被美国麻省理工学院(MIT)的《技术评论》杂志评为对人类未来生活产生深远影响的十大新兴技术之首。目前研发重点主要在路由协议的设计、定位技术、时间同步技术、数据融合技术、嵌入式操作系统技术、网络安全技术、能量采集技术等方面。迄今,一些发达国家及城市在智能家居、精准农业、林业监测、军事、智能建筑、智能交通等领域对技术进行了应用。如,从MIT独立出来的Voltree Power LLC公司受美国农业部的委托,在加利福尼亚州的山林等处设置温度传感器,构建了传感器网络,旨在检测森林火情,减少火灾损失。   三是微型化,MEMS传感器研发异军突起。随着集成微电子机械加工技术的日趋成熟,MEMS传感器将半导体加工工艺(如氧化、光刻、扩散、沉积和蚀刻等)引入传感器的生产制造,实现了规模化生产,并为传感器微型化发展提供了重要的技术支撑。近年来,日本、美国、欧盟等在半导体器件、微系统及微观结构、速度测量、微系统加工方法/设备、麦克风/扬声器、水平/测距/陀螺仪、光刻制版工艺和材料性质的测定/分析等技术领域取得了重要进展。目前,MEMS传感器技术研发主要在以下几个方向:(1)微型化的同时降低功耗 (2)提高精度 (3)实现MEMS传感器的集成化及智慧化 (4)开发与光学、生物学等技术领域交叉融合的新型传感器,如MOMES传感器(与微光学结合)、生物化学传感器(与生物技术、电化学结合)以及纳米传感器(与纳米技术结合)。   四是集成化,多功能一体化传感器受到广泛关注。传感器集成化包括两类:一种是同类型多个传感器的集成,即同一功能的多个传感元件用集成工艺在同一平面上排列,组成线性传感器(如CCD图像传感器)。另一种是多功能一体化,如几种不同的敏感元器件制作在同一硅片上,制成集成化多功能传感器,集成度高、体积小,容易实现补偿和校正,是当前传感器集成化发展的主要方向。如意法半导体提出把组合了多个传感器的模块作为传感器中枢来提高产品功能 东芝公司已开发出晶圆级别的组合传感器,并于今年3月发布能够同时检测脉搏、心电、体温及身体活动等4种生命体征信息,并将数据无线发送至智能手机或平板电脑等的传感器模块&ldquo Silmee&rdquo 。   五是多样化,新材料技术的突破加快了多种新型传感器的涌现。新型敏感材料是传感器的技术基础,材料技术研发是提升性能、降低成本和技术升级的重要手段。除了传统的半导体材料、光导纤维等,有机敏感材料、陶瓷材料、超导、纳米和生物材料等成为研发热点,生物传感器、光纤传感器、气敏传感器、数字传感器等新型传感器加快涌现。如光纤传感器是利用光纤本身的敏感功能或利用光纤传输光波的传感器,有灵敏度高、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀、绝缘性好、体积小、耗电少等特点,目前已应用的光纤传感器可测量的物理量达70多种,发展前景广阔 气敏传感器能将被测气体浓度转换为与其成一定关系的电量输出,具有稳定性好、重复性好、动态特性好、响应迅速、使用维护方便等特点,应用领域非常广泛。另据BCC Research公司指出,生物传感器和化学传感器有望成为增长最快的传感器细分领域,预计2014至2019年的年均复合增长率可达9.7%。   未来值得关注的四大领域   随着材料科学、纳米技术、微电子等领域前沿技术的突破以及经济社会发展的需求,四大领域可能成为传感器技术未来发展的重点。   一是可穿戴式应用。据美国ABI调查公司预测,2017年可穿戴式传感器的数量将会达到1.6亿。以谷歌眼镜为代表的可穿戴设备是最受关注的硬件创新。谷歌眼镜内置多达10余种的传感器,包括陀螺仪传感器、加速度传感器、磁力传感器、线性加速传感器等,实现了一些传统终端无法实现的功能,如使用者仅需眨一眨眼睛就可完成拍照。当前,可穿戴设备的应用领域正从外置的手表、眼镜、鞋子等向更广阔的领域扩展,如电子肌肤等。日前,东京大学已开发出一种可以贴在肌肤上的柔性可穿戴式传感器。该传感器为薄膜状,单位面积重量只有3g/m2,是普通纸张的1/27左右,厚度也只有2微米。   二是无人驾驶。美国IHS公司指出,推进无人驾驶发展的传感器技术应用正在加快突破。在该领域,谷歌公司的无人驾驶车辆项目开发取得了重要成果,通过车内安装的照相机、雷达传感器和激光测距仪,以每秒20次的间隔,生成汽车周边区域的实时路况信息,并利用人工智能软件进行分析,预测相关路况未来动向,同时结合谷歌地图来进行道路导航。谷歌无人驾驶汽车已经在内华达、佛罗里达和加利福尼亚州获得上路行使权。奥迪、奔驰、宝马和福特等全球汽车巨头均已展开无人驾驶技术研发,有的车型已接近量产。   三是医护和健康监测。国内外众多医疗研究机构,包括国际著名的医疗行业巨头在传感器技术应用于医疗领域方面已取得重要进展。如罗姆公司目前正在开发一种使用近红外光(NIR)的图像传感器,其原理是照射近红外光LED后,使用专用摄像元件拍摄反射光,通过改变近红外光的波长获取图像,然后通过图像处理使血管等更加鲜明地呈现出来。一些研究机构在能够嵌入或吞入体内的材料制造传感器方面已取得进展。如美国佐治亚理工学院正在开发具备压力传感器和无线通信电路等的体内嵌入式传感器,该器件由导电金属和绝缘薄膜构成,能够根据构成的共振电路的频率变化检测出压力的变化,发挥完作用之后就会溶解于体液中。   四是工业控制。2012年,GE公司在《工业互联网:突破智慧与机器的界限》报告中提出,通过智能传感器将人机连接,并结合软件和大数据分析,可以突破物理和材料科学的限制,并将改变世界的运行方式。报告同时指出,美国通过部署工业互联网,各行业可实现1%的效率提升,15年内能源行业将节省1%的燃料(约660亿美元)。2013年1月,GE在纽约一家电池生产企业共安装了1万多个传感器,用于监测生产时的温度、能源消耗和气压等数据,而工厂的管理人员可以通过iPad获取这些数据,从而对生产进行监督。此外,荷兰壳牌、富士电机等跨国公司也都在该领域采取了行动。   传感器产业化发展的重要趋势   近年来,随着技术研发的持续深入,成本的下降,性能和可靠性的提升,在物联网、移动互联网和高端装备制造快速发展的推动下,传感器的典型应用市场发展迅速。据BCCResearch公司分析指出,2014年全球传感器市场规模预计达到795亿美元,2019年则有望达到1161亿美元,复合年增长率可达7.9%。   亚太地区将成为最有潜力的市场。目前,美国、日本、欧洲各国的传感器技术先进、上下游产业配套成熟,是中高端传感器产品的主要生产者和最大的应用市场。同时,亚太地区成为最有潜力的未来市场。英泰诺咨询公司指出,未来几年亚太地区市场份额将持续增长,预计2016年将提高至38.1%,北美和西欧市场份额将略有下降。   交通、信息通信成为市场增长最快的领域。据英泰诺咨询公司预测,2016年全球汽车传感器规模可达419.7亿欧元,占全球市场的22.8% 信息通信行业至2016年也可达421.6亿欧元,占全球市场的22.9%,且有可能成为最大的单一应用市场。而医疗、环境监测、油气管道、智能电网等领域的创新应用将成为新热点,有望在未来创造更多的市场需求。   企业并购日趋活跃。美国、德国和日本等国的传感器大型企业技术研发基础雄厚,各企业均形成了各自的技术优势,整体市场的竞争格局已初步确立(附表)。需要指出的是,大公司通过兼并重组,掌控技术标准和专利,在&ldquo 高、精、尖&rdquo 传感器和新型传感器市场上逐步形成垄断地位。在大企业的竞争压力下,中小企业则向&ldquo 小(中)而精、小而专&rdquo 的方向发展,开发专有技术,产品定位特定细分市场。据统计,2010年7月至2011年9月,传感器行业中大规模并购交易多达20多次。如美国私募股权公司VeritasCapitalIII以5亿美元现金收购珀金埃尔默公司的照明和检测解决方案(IDS)业务 英国思百吉公司以4.75亿美元收购美国欧米茄工程公司的温度、测量设备制造业务。目前,越来越多的并购交易在新兴市场国家出现。

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  • 电气比例阀采用外置传感器和PID控制器实现化学机械抛光超高精度压力控制的解决方案

    电气比例阀采用外置传感器和PID控制器实现化学机械抛光超高精度压力控制的解决方案

    [color=#990000]摘要:为大幅度提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性,在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上,本文提出了升级改造方案,即采用串级控制法(双回路PID控制,也称级联控制),通过在现有电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器,可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级,从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#990000][b]一、问题的提出[/b][/color][/size]在半导体制造过程中,化学机械抛光(CMP)是在半导体晶片上产生光滑、平坦表面的关键工艺。CMP工艺中的压力控制是决定最终产品质量的关键因素。如果压力过高,会损坏半导体材料;如果压力太低,会导致表面不平整。CMP系统中需要配置专用的压力调节装置,以确保压力保持在安全范围内。通过将压力保持在安全范围内,压力调节装置有助于确保半导体晶片在CMP过程中不被损坏。目前的CMP系统中普遍采用电气比例阀作为压力调节器,其典型结构如图1所示。在CMP中采用比例阀来控制抛光过程中施加在晶圆上的压力。由于比例阀是电子控制和压力值的模拟信号输出,因此可以通过控制系统(如PLC)对其进行动态编程和压力监控,这意味可以根据被抛光的特定晶片准确改变施加的压力。此外,由于电气比例阀作为压力调节器是一个闭环控制,即使在下游压力发生变化期间,施加在抛光垫上的压力也会保持不变,由此实现压力的自动调节。[align=center][img=常规研磨机电气比例阀压力控制系统结构,600,280]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150917534790_1434_3221506_3.png!w690x322.jpg[/img][/align][align=center]图1 常规CMP系统中电气比例阀压力控制装置结构示意图[/align]在一些CMP工艺的实际应用中,要求抛光压力具有很高的稳定性,图1所示的常规压力调节装置则无法满足使用要求,这主要体现在以下几方面的不足:(1)电气比例阀的整体控制精度明显不足,其整体精度(包含线性度、迟滞和重复性)往往在1~2%范围内。这种精度水平主要受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约,而且进一步提高的空间非常有限。(2)电气比例阀安装位置与气缸有一定的距离,由此造成比例阀所检测到的压力值并不是气缸的真实压力,而且比例阀处压力与气缸压力之间有一定的时间滞后。为解决上述存在的问题,进一步提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性,在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上,本文将提出升级改造方案,即采用串级控制法(双回路PID控制,也称级联控制),通过在电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器,可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级,从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[size=18px][color=#990000][b]二、CMP设备压力控制的串级PID控制方案[/b][/color][/size]在传统的CMP设备压力调节过程中,采用电气比例阀进行压力调节的稳定性完全受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约。为了提高压力控制的稳定性,并充分发挥电气比例阀的自身优势,我们采用了一种串级控制技术,即在作为第一回路的电气比例阀中增加第二控制回路,其中第二控制回路由更高精度的压力传感器和PID控制器构成。串级PID控制方案的整体结构如图2所示。[align=center][img=03.超高精密研磨机电气比例阀压力串级控制系统结构,600,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150918245058_1534_3221506_3.png!w690x384.jpg[/img][/align][align=center]图2 串级控制法CMP系统压力控制装置结构示意图[/align]在图2所示的串级控制法压力调节装置中,安装了一个外置压力传感器用于直接监测气缸内的气压,压力传感器检测到的气缸压力信号传输给外置的PID控制器,外置PID控制器根据设定值或设定程序将控制信号传送给电气比例阀,比例阀根据此控制信号再经其内部PID控制器来调节高速电磁阀的动作,使得电气比例阀输出到气缸的气体气压与设定值始终保持一致。从上述串级控制过程可以看出,串级控制是一个双控制回路,是两个独立的PID控制回路,电气比例阀起到的是一个执行器的作用。串级控制法(也称级联控制法)是一种有效提升控制精度的传统方法,但在具体实施过程中,需要满足的条件是:[color=#990000]第二回路的传感器和PID控制器(这里是外置压力传感器和PID控制器)精度一般要比第一回路的传感器(这里是电气比例阀内置的压力传感器和PID控制器)要高。[/color]为了实现更高稳定性的CMP系统压力控制,我们推荐的实施方案是采用0.05%精度的外置压力传感器和超高精度PID控制器(技术指标为24位ADC、16位DAC和双浮点运算的0.01%最小输出百分比)。此实施方案我们已经进行过大量考核试验,压力稳定性可以轻松达到0.1%。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 分离式光电液位传感器是如何控制水位的

    分离式光电液位传感器是一种创新的液位控制技术,通过独特的设计和应用方式,实现了对水位的精准监测和控制。这种传感器采用了传统光学传感器的基础,但在设计上有了重大改进。传统光学传感器需要直接置于水箱内部,而分离式液位传感器则将菱镜部分设计成一体化,并置于水箱外部,通过光学组件分离感应水位,解决了水箱移动加水的难题。分离式液位传感器的工作原理十分巧妙。其内部集成了光学电子元件,通过外置的感应方式,实现了无接触、无机械运动的水位检测。这种设计不仅使传感器寿命更长,而且具有高精度、快速反应的特点,同时还支持个性化定制,满足不同用户的需求。[align=center][img=非接触式液位检测,660,440]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/03/202403191530008680_3779_4008598_3.jpg!w660x440.jpg[/img][/align]安装分离式[url=https://www.eptsz.com]光电液位传感器[/url]非常简便,只需在水箱上设计菱镜结构,即可从外部实现水位感应,无需直接接触水箱内部。这种安装方式不仅方便快捷,而且避免了外部结构件对水位传感器的干扰,也更容易清洁,有效地避免了细菌滋生的问题。这种先进的技术已经在多个领域得到了广泛的应用,如加湿器、冲奶机、净水器、热水器、咖啡机、洗碗机、电蒸锅、冷气扇、家电宠物饮水机、水泵、鱼缸、智能机器人、洗地机等工业设备中都可以看到它的身影。通过分离式光电液位传感器,这些设备可以实现更精确、更可靠的水位控制,提升了整体的使用体验和效率,为用户带来了诸多便利。

  • 常用的光电传感器有哪些

    常用的光电传感器有哪些

    [font=宋体][back=white]光电传感器是一种能够将光信号转化为电信号的传感器,广泛应用于工业自动化领域。常用的光电传感器主要包括一体式光电传感器、分离式光电传感器和管道光电传感器。[/back][/font][font=宋体][back=white]一体式光电传感器具有结构简单、安装方便的特点,采用的是光电原理,需要在水箱上开孔安装,适合水箱不需要移动的设备。[/back][/font][back=white] [/back][font=宋体][back=white]分离式光电传感器是在传统结构上,将棱镜部位与电子元件分离,棱镜涉及到水箱上,外置感应无接触式,无机械运动寿命长,从而可以移动水箱,随时加水,不容易藏污纳垢,容易清洁。[/back][/font][align=center][img=光电液位传感器,600,324]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309091352378805_6810_4008598_3.jpg!w600x324.jpg[/img][/align][font=宋体][back=white]管道光电传感器是一种专门用于检测管道内缺水的的传感器。管道光电传感器具有结构紧凑、安装方便、响应速度快的特点,适用于管道缺水检测的场景。[/back][/font][font=宋体]光电管道传感器有效解决了浮球式光电传感器低精度卡死的问题。也解决了电容式的感度衰减导致的不可控性失效。[/font][font=宋体][back=white][url=https://www.eptsz.com]光电传感器[/url]在小家电领域起着重要的作用,可以随时检测液位的变化,从而提醒用户,给我们的生活带来了很大的便利。根据不同的应用需求,可以选择适合的光电传感器类型,以实现精确、可靠的检测。[/back][/font]

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    艾本德外置活塞移液器M4 Eppendorf 艾本德 外置活塞M4手动连续分液器 可提供1μL - 10 mL的分液范围,是一款仅需一次吸液就可以完成100次分液的手动分液器。创新的计步器设计,即使被干扰,分液操作步骤也不会出错。可单手使用操作杆弹出排空的分液管,无需接触分液管。艾本德外置活塞移液器适用于冗长连续分液,如离心管或微孔板加样,分装试剂,一次吸液,多次放液放射性或腐蚀性的有毒物质分液,防污染易挥发(如乙醇)或黏稠(如甘油)液体的精准移液计数器:显示已执行的分液步数人体工程学的操作杆:分液操作及脱卸Combitip advanced 分液管人体工程学的填充杆:充填或排空 Combitip advanced分液管体积选项盘:每个 Combitip分液管可设定20种不同体积,拇指即可轻松调节体积手指挂钩:舒适地支撑手部,方便使用运动传感器:在未使用时Multipette自动关闭,使用时自动开启Combitip 传感器:自动 识别Combitip advanced分液管并显示体 艾本德外置活塞移液器产品货号Multipette® M4手动连续分液器,含支架(挂壁支架和/或分液器支架)4982 000.012Multipette® M4启动套装,包括 Multipette M4手动连续分液器1支,Combitip Rack分液管盒1 个,Combitip advanced分液管混合装4982 000.314Eppendorf TrackIT,包括软件和 RFID 读卡器3903 000.014Combitips advanced® 分液管Eppendorf Quality优质级100个0,1 ml0030 089.4050,2 ml0030 089.4130,5 ml0030 089.4211,0 ml0030 089.4302,5 ml0030 089.4485,0 ml0030 089.45610 ml0030 089.46425 ml0030 089.47250 ml0030 089.480配件Eppendorf Quality优质级Adapter 25 mL (1 pc.)0030 089.715Adapter 50 mL (1 pc.)0030 089.723Combitips advanced分液管Eppendorf Biopur生物纯级100个0,1 ml0030 089.6180,2 ml0030 089.6260,5 ml0030 089.6341,0 ml0030 089.6422,5 ml0030 089.6505,0 ml0030 089.66910 ml0030 089.67725 ml0030 089.68550 ml0030 089.693配件Eppendorf Biopur生物纯级Adapter 25 mL (7 pc.)0030 089.731Adapter 50 mL (7 pc.)0030 089.740Combitips advanced分液管PCR 洁净级 100 个0,1 ml0030 089.7660,2 ml0030 089.7740,5 ml0030 089.7821,0 ml0030 089.7902,5 ml0030 089.8045,0 ml0030 089.81210 ml0030 089.82025 ml0030 089.83950 ml0030 089.847Combitip Rack分液管盒,可放置8个Combitips advanced分液管(0.1-10 mL)0030 089.758工作原理:的工作原理非常简单——通过弹簧的伸缩力量使活塞上下活动,排出或吸取液体。移液器的结构:一般包括控制按钮(不同厂家设计不同,通常也通过此按钮进行吸液体积调解)、吸头推卸按钮、体积显示窗、套筒、弹性吸嘴、吸头。外置活塞式移液模式——粘稠度较大的液体顾名思义,活塞位于移液器套筒外,位于吸嘴内部,活塞与液体之间没有空气段,活塞为一次性的,对于粘稠度较大的液体,也能实现精确移液,由于无空气间隔,避免了样品于空气接触可能发生的气雾交叉污染,因此也非常适合是珍贵的试剂、生物样品的移取。
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