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滑轨长量仪

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滑轨长量仪相关的资讯

  • 海顿科克为客户定制的直线滑轨系统
    海顿科克直线传动一直以为都非常擅长为客户的应用定制客户化的运动解决方案,一个典型的例子就是海顿科克为客户定制的直线滑轨系统,这个系统客户要求非常高硬度,精度以及重复定位精度。 这个系统的轴向导向是一个可承受高负载和高硬度的精密滚珠导轨,整个结构都是用挤压铝型材做成,强度可靠,支撑系统地所有部件。在该设计中,驱动装置是一个混合步进电机和一根精密的KERK丝杠。该丝杆由303不锈钢挤压而成,安装在丝杠和滚珠导轨上的是一个机加工铝滑块和一个内置聚甲醛驱动螺母。 该系统可以很容易的调整以适应不同的应用场合,导轨在 &ldquo z&rdquo 向上可承受的最大负载是353 lbs (1570N),在这个负载下能保证精度。其最大roll, pitch和yaw方向上能承受的扭矩是分别为200 in-lbs (22.65 Nm), 132 in-lbs (13.9 Nm),和 132 in-lbs (13.9 Nm),在实际应用中能承受的负载还取决于所选用的电机和螺杆的型号,该系统设计使用的螺杆是直径为9.5MM的螺杆,其导程从0.64MM到38.10MM可选。 该系统配一个步距角为1.8度的步进电机可以实现精确的定位,当然一个有刷或者无刷的直流电机也可以用做该系统的驱动电机,特别是在需要高速度,高扭矩的应用场合中,使用有刷或者无刷电机其定位需要靠编码器,编码器也可以根据客户要求加到整个系统中。 对于一些普通的旋转编码器都不能满足其定位要求的应用,该系统依然可以整合安装更高精度的编码器。 更多信息请访问海顿直线电机(常州)有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn
  • 莱伯泰科发布新型专利-带滑轨的固相萃取装置
    2012年3月14日,莱伯泰科被授予带滑轨的固相萃取装置的实用新型专利权,发明人莱伯泰科首席研究员张晓辉。本实用新型涉及固相萃取装置,特别涉及一种实验室所用的带滑轨的固相萃取装置,可广泛应用于环境、食品、药物、临床等分析领域中农药残留物的净化,有机污染物的痕量富集等。 近几年来,固相萃取技术的发展非常迅速,并且国内外手动、半自动、全自动的固相萃取装置也很多。但是这些装置中手动的固相萃取装置操作繁琐,全自动的固相萃取装置成本又相对较高。一般的手动固相萃取装置,因为萃取柱活化、上样和淋洗过程中的废液要流到废液瓶内而不是收集瓶中,所以开始时不能放入收集瓶架,淋洗之后再放空并打开萃取装置上盖将收集瓶架放入收集萃取液,这样就给实验人员带来操作的麻烦。 有鉴于此,为解决现有的固相萃取技术中的种种不足,本设计人基于相关领域的研发,并经过不断测试及改良,进而有本实用新型的产生。莱伯泰科产品12位手动固相萃取装置(WIN-SPE 12),便具有此专利设计。
  • 新型冰雪粒径测量仪和硬度测量仪助力“科技冬奥”
    高山滑雪最高时速达248km/h,滑雪赛道也需要“塑胶跑道”“更快,更高,更强”是奥林匹克的口号,充分反映了奥林匹克运动所倡导的不断进取、永不满足的奋斗精神。奥运会纪录的频频打破,不但有运动员的刻苦训练,教练员的辛勤指导,科技尤其是对于运动场地的科技提升也扮演了重要的角色。就拿大家熟悉的田径运动场而言,最初的跑道是煤渣跑道(相信很多70后、80后的老伙伴们都跑过吧),后来改成了人工合成的塑胶跑道,与煤渣跑道相比,其弹性好,吸震能力好,为运动员的发挥和成绩的提高提供了物质基础。在1968年的墨西哥奥运会上,在首次使用的塑胶跑道赛场上创造了诸多的奥林匹克纪录。2022年中国北京即将举行冬季奥林匹克运动会,中国提出了“科技冬奥”的概念,中国冰雪运动必须走科技创新之路。高山滑雪比赛是冬季奥运会的重要组成部分,被誉为“冬奥会皇冠上的明珠“。高山滑雪的观赏性强,危险性大,比赛时运动员最高时速可达到248km/h。高山滑雪比赛均采用冰状雪赛道。什么是冰状雪?所谓冰状雪,是指滑雪场的雪质形态,其表面有一层薄的硬冰壳,用于减小赛道表面对于滑雪板的摩擦力。可以说冰状雪赛道就是高山滑雪项目的塑胶跑道,其制作的质量对提高运动员的成绩及滑雪的舒适感,保护运动员的身体,延长运动寿命有着十分重要的作用。看似简单的冰状雪赛道,制作起来却大有讲究。冰状雪的制作过程十分复杂,目前采用的是向雪地内部注水的方案。但是注水的强度和注水的时间把握需要根据不同的赛道地点以及当时注水时的气温进行相应的调节,以保证冰状雪赛道既有一定的强度,又有足够的弹性,使得运动员能够在高速的高山滑雪比赛中舒畅的进行滑降、回转等比赛项目。与田径场塑胶跑道不同的是,每次比赛每一个运动员在进行高山滑雪比赛时,由于技术动作的需要,都或多或少的会对冰状雪的赛道产生一定损伤,为了保证比赛的公平性,前后出发的滑雪运动员的赛道雪质状态需要保证一致,因此冰状雪赛道还需要有一定的厚度以及均匀性。研制新型冰状雪测量仪器,保障赛道质量既然冰状雪赛道有如此多的要求,那么过去是如何判断冰状雪赛道的雪质的呢?主要是采用人工判断的方法,即找一些有经验的裁判员用探针安装在电钻上进行触探工作,通过触探工作反馈的手感判断冰状雪赛道的建造质量。这种带有一定“盲盒”性质的判断工作往往会显得很不透明,也不利于这项运动的推广。助力2022北京冬奥会,依托科技部国家重点研发计划“科技冬奥”重点专项2020的“不同气候条件下冰状雪赛道制作关键技术”项目,中国科学院南京天文光学技术研究所南极团队和中国气象科学研究院共同合作研发了用于判断冰状雪赛道质量的冰雪粒径测量仪和冰雪硬度测量仪,其目的在于将冰状雪质量的人工主观判断,变成清晰可见的客观物理数据,通过对这些物理数据的科学分析,结合有经验的运动员的滑雪体验,掌握不同地点,不同天气条件下冰状雪赛道的制作方法。主要有如下两种仪器:冰雪粒径自动测量仪和冰雪硬度自动测量仪。积雪颗粒的形状及大小是影响雪的力学性质的主要因素,不同大小雪粒之间在自然状态下空隙不断变小,雪中含有的空气降低,使得雪粒间的化学键合力增强,从而影响雪的硬度。那么如何测量积雪的颗粒呢,科研人员采用漫散射原理:近红外光经过粗糙的表面会被无规律的向各个方向反射,会造成光强度减弱,光减弱的大小跟表面的粗糙相关,而积雪表面的粗糙程度是由粒径决定的。通过测量光减弱的比例间接的测量出冰雪的颗粒大小。冰雪粒径自动测量仪测量注水雪样雪的硬度测试是反映冰雪强度的重要指标之一,冰雪硬度测量仪的原理是通过电机带动滑轨驱动探头打入冰状雪赛道内部,并读取探头受到的反作用力的大小来判断冰雪的硬度条件。该方法的好处是可以做到基本无损的对赛道进行冰雪硬度的测量,不影响赛道的后续使用,并且可以通过读取力和冰状雪深度的曲线了解冰状雪赛道的均匀性。针对高山滑雪的赛场坡度较陡,人工攀爬十分困难,科研人员在仪器的便携性上做了特殊的设计,设计了一款折叠式的硬度测量仪,方便携带,可以从坡顶沿雪道一直测量到坡底,实现了仪器的“就地展开”和“指哪测哪”的功能。冰雪硬度测量仪现场工作照片2020年11月-2021年3月,抓住冬奥会举办前的最后一个冬季的机遇,在冬奥会举办地北京延庆、河北张家口以及黑龙江哈尔滨亚布力冬季体育训练基地对不同气候条件、不同注水强度的冰状雪赛道,使用研制的冰雪粒径自动测量仪和冰雪硬度自动测量仪进行了粒径及冰雪硬度测试,获得了不同深度冰雪粒径的变化图以及不同深度的冰雪硬度的曲线图。冰状雪赛道压强-深度关系图该项目的首席科学家,中科院西北研究院冰冻圈科学国家重点实验室副主任王飞腾研究员认为“雪粒径及硬度计等新型冰雪仪器的研究,将过去以人工经验为主的冰状雪赛道状态判断变为了客观、清晰的科学指标,为冰状雪赛道制作标准的透明化提供了参考依据”。项目攻关团队的带头人,国际冰冻圈科学协会副主席,中国气象科学研究院丁明虎研究员认为“雪粒径和硬度计的设计充分考虑了不同于自然雪的人工造雪的特殊情况,仪器在项目工作中表现优异,性能稳定,可靠性高。”未来将在南极天文台发挥作用冰雪强度、硬度的测量不仅可以应用于滑雪相关的体育运动中,在未来的极地工程建设上也能发挥作用。遥远的南极虽然不是适合人类居住的地方,但是却有着良好的天文观测条件。根据2020年在 Nature 上发表的一篇文章,证明昆仑站所在的冰穹A地区的光学天文观测条件优于已知的其他任何地面台址。这项研究成果确认了昆仑站有珍贵的天文观测台址资源,为我国进一步开展南极天文研究奠定了科学的基础。但是如何在南极地区安装大型望远镜又有很多实际的困难,其中之一就是普通的大型望远镜的基墩都是直接安装在地球的基岩上,这样基墩比较扎实稳固,能保证望远镜在观测时不会因为地基不稳产生晃动,但是冰穹A地区的冰大约有4000m那么厚,相当于1500层楼房那么高,如果再想将望远镜基墩打入基岩显然难以做到。那么大型望远镜如何能够平稳的伫立在南极浮动的冰盖上呢?这就需要科学家们对冰穹A地区的冰雪进行特殊的加固处理,使其能够满足基墩的设计要求。在加固处理完后,我们的雪粒径和硬度测量仪就可以对加固后的冰雪强度进行测量,通过科学的数据检验其是否能够满足南极大型望远镜的需求。
  • 中国科大等实现基于碳化硅中硅空位色心的高压原位磁探测
    中国科学技术大学郭光灿院士团队在碳化硅色心高压量子精密测量研究中取得重要进展。该团队李传锋、许金时、王俊峰等与中科院合肥物质科学研究院固体物理研究所高压团队研究员刘晓迪等合作,在国际上首次实现了基于碳化硅中硅空位色心的高压原位磁探测。该技术在高压量子精密测量领域具有重要意义。3月23日,相关研究成果以Magnetic detection under high pressures using designed silicon vacancy centres in silicon carbide为题,在线发表在《自然材料》上。高压技术广泛应用于物理学、材料科学、地球物理和化学等领域。特别是压力下高临界温度超导体的实现,引起了学术界的关注。然而,原位高分辨率的磁测量是高压科学研究的难题,制约高压超导抗磁行为和磁性相变行为的研究。传统的高压磁测量手段如超导量子干涉仪难以实现金刚石对顶砧中微米级样品的弱磁信号的高分辨率原位探测。为了解决这一关键难题,金刚石NV色心的光探测磁共振技术已被用于原位压力诱导磁性相变检测。而由于NV色心具有四个轴向,且其电子自旋的零场分裂是温度依赖的,不利于分析和解释测量得到的光探测磁共振谱。针对高压磁探测的难题,研究组加工了碳化硅对顶砧(又称莫桑石对顶砧),然后在碳化硅台面上利用离子注入产生浅层硅空位色心,并利用浅层色心实现高压下的原位磁性探测。碳化硅中的硅空位色心只有单个轴向,且因电子结构的特殊对称性,该色心电子自旋的零场分裂是温度不敏感的,可较好地避免金刚石NV色心在高压传感应用中遇到的问题。研究组刻画了硅空位色心在高压下的光学和自旋性质,发现其光谱会蓝移,且其自旋零场分裂值随压力变化较小(0.31 MHz/GPa),远小于金刚石NV色心的变化斜率14.6 MHz/GPa。这将利于测量和分析高压下的光探测磁共振谱。以此为基础,研究组基于硅空位色心光探测磁共振技术观测到钕铁硼磁体在7GPa左右的压致磁相变,并测量得到钇钡铜氧超导体的临界温度-压力相图。实验装置和实验结果如图所示。该实验发展了基于固态色心自旋的高压原位磁探测技术。碳化硅材料加工工艺成熟,可大尺寸制备,且相对金刚石具有较大的价格优势。该工作为磁性材料特别是室温超导体高压性质的刻画提供了优异的量子研究平台。该成果得到审稿人的高度评价:“总的来说,我发现这项工作非常有趣,通过展示碳化硅中室温自旋缺陷作为原位高压传感器的使用。我认为这项工作可以为使用碳化硅对顶砧的量子材料的新研究打开大门。”研究工作得到科技部、国家自然科学基金、中科院、安徽省、中国科大和四川大学的支持。实验结果和示意图。a、碳化硅对顶砧和浅层硅空位色心探测磁性样品示意图;b、硅空位色心零场劈裂随压力的变化关系;c、钕铁硼材料的磁性相变探测;d、钇钡铜氧超导材料的Tc-P相图;e、基于碳化硅中硅色心实现高压原位磁探测的示意图。
  • 科众精密仪器-光学接触角测量仪原理
    科众精密-光学接触角测量仪原理 接触角是液体在液固气三态 交接处平衡时所形成的角度,液滴的形状由的表面张力所决定,θ 是固体被液 体湿润的量化指标,但它同时也能用于表面 处理和表面洁净的质量管控,表面张力 液体中的分子受到各个方向 相等的吸引力,但在液体表面的分子受到液体分子的拉力会大于气体分子的拉力,所以 液体就会向内收缩,这种自发性的收缩称之为表面张力 γ。对于清洗性,湿润度,乳化作用和其它表面相关性质而言,γ 是一个相当敏感的指标 悬垂液滴量测法悬垂液滴测量能提供 一个非常简便的方法来量测液体的表面张力 (气液接口) 和两个液体之间的接口张力 (液液接口) ,在悬垂液滴量测法中,表面张力和界面张力值的计算是经由分析悬吊在滴管顶端 的液滴的形状而来,接触角分析可依据液滴的影像做 杨氏议程计算 表面张力和接口张力。这项技巧非常的准确,而且在不同的温度和压力下也可以量测。 前进角与后退角使用在固体基板上的固着液滴可以得到静态的接触角。另外有一种量测方式称之为动态接触角,如果液固气三态接触的边界是处于移动状态,所形成的角度称之为前进角与后退角,这个角度的求取是由液滴形状的来决定。另外,固体样品的表面张力无法被直接量测,要求取这个值,只要两种以上的已知液体, 就可求得固体表面的临界表。以下是通过接触角测量仪测量单位济南大学材料学院设备序号5设备名称接触角测定仪 数量1调研产品(品牌型号)科众KZS-20共性参数1. 接触角测量范围:0~180°,接触角测量分辨率:±0.01°,测量精度±0.1°。2. 表界面张力测量范围和精度:0.01~2000mN/m,分辨率:±0.01mN/m。3. 光学系统:变焦镜头(放大倍率≧4.5倍),前置长焦透镜,通光量可调节。4. 高清晰度高速CCD,拍摄速度可达1220张图像/S,像素最高可达2048 x 1088。5. 光源:软件可调连续光强且无滞后作用的光源。6. 注射体积、速度可以软件进行控制;注射单元精度≤0.1uL;注射液体既可通过软件,亦可通过手动按钮控制液体注射。7. 注射单元调节:注射单元可进行X-、Y-、Z-轴准确调节;8. 整个注射单元支架可以旋转90°调整。9. 滚动角测量:自动倾斜台(整机倾斜),可调节倾斜角度范围≥90°,可测量滚动角。10. 接触角拟合方法:宽高法、椭圆法、切线法、L-Y法11. 动态接触角计算:全自动的动态接触角测量,软件控制注射体积、速率、时间,自动计算前进角和后退角。12. 表面自由能计算:9种可选模型计算固体表面自由能及其分量,分析粘附功曲线、润湿曲线。13. 具有环境控温功能,进行变温测试(0-110 oC), 分辨率0.1K。14. 品牌计算机: i7 4790 /8GB内存/1TB(7200转)硬盘/2G独立显卡/19英寸液晶显示器/DVD刻录光驱。15. 必备易耗品(供应商根据投标产品功能提供)16. 另配附件,要求:进口微量注射器3个,备用不锈钢针6根,一次性针头100根、适合仪器功率的稳压电源(190-250V)1台、配置钢木结构实验台( C型钢架、钢厚≥1.5mm,长2m、宽0.75m,板材采用三聚氰胺板,铝合金拉手,铰链采用国际五金标准,抽屉三阶式静音滑轨、抽屉负重≥25KG,含专用线盒,可安装5孔或6孔插座,优质地脚)。17. 售后服务:自安装调试验收完毕后之日起24个月内免费保修;每年提供至少一次的免费巡检。
  • 质监工商划归地方管理启动 业内争议能否保证食品安全
    工商部门的垂直管理始于1998年底。1999年以来,工商、质监、国土、药监部门都实施省级以下垂直管理模式。当时主流意见认为这一改革有利于使食品安全执法摆脱地方保护主义的操控和干预。但到了2008年,根据国务院办公厅文件,药监被改为地方管理模式。加上此次质监、工商部门的变动,食品监管资源有在地方层面整合的趋势。  传闻多日之后,旨在将质监、工商部门划归地方管理的改革终于缓步启动。  这次备受瞩目的重大改革始于国务院办公厅10月10日下发的[2011]48号文。该文件宣布取消已实行12年的省以下质监、工商部门垂直管理制度,而将这些部门重新改为属地化分级管理。  本报记者获悉,连日来,国家质检总局和工商总局已先后召开相关会议,贯彻部署国办48号文的执行。安徽等地甚至已暂时冻结本省质监、工商系统的人事编制及国有资产。  相比之下,各地工商系统则异常沉静。安徽省天长市工商行政管理局官网还转载了一篇题为《国家工商总局调整省以下工商行政管理体制问题座谈会主要精神传达提纲》。当中显示,"由中央编办通知各省(区、市)编办,贯彻落实国务院办公厅[2011]48号文件暂不启动"。  据本报记者了解,按照国办48号文精神,调整省级以下垂直管理体制,省、市政府是具体组织实施者。而由于各省目前具体实施意见尚未出台,观望气氛较浓。  全国人大推动属地化改革  各种迹象显示,此次改革与全国人大的推动有关。  据本报记者查证,全国人大常委会执法检查组曾于今年3月至5月开展《食品安全法》执法检查工作,并于检查结束后提出了理顺食品安全监管体系的建议。  检查工作结束后,在6月29日举行的十一届全国人大常委会第二十一次会议第二次全体会议上,全国人大常委会副委员长路甬祥曾代表执法检查组向常委会做关于检查《食品安全法》实施情况的报告。  路甬祥在中提出,要"进一步强化地方政府的责任,加强基层监管能力建设,建议国务院进一步研究解决好条条监管和块块监管的统筹协调,加强地方政府的责任,使其切实担负起法律要求的'负总责'的责任。"  而执法检查组这一意见的形成,则可能来自检查过程中地方政府的反馈。  质检系统内部近日流传一份 "2011年10月21日国家质监总局局长支树平在全国质监局长会议上的讲话"。讲话中说:"今年上半年,全国人大开展《食品安全法》执法检查时,许多地方政府反映,法律要求地方政府(对食品安全监管)负总责,但是承担重要监管职责的工商、质监是垂直管理……我们明白,这种抱怨由来已久 中编办对工商质监分级管理的考虑也不是一天两天了。"  这份来源不明的讲话的真假迄今未得到证实。但国家质检总局官网显示,10月21日当天的确召开了一次全国质监局长会议,内容是传达学习国办48号文,"了解情况,听取意见,研究贯彻落实的具体办法"。  改革的另一部动因,还来自质监、工商系统公务员群体的反馈。多年来,在垂直管理的架构中,质监、工商系统公务员的流动渠道受到较大限制,他们大多只能在垂直体系内寻求晋升,而难以像地方政府其它部门公务员那样,获得大量横向调动交流的机会。  改革的最初论证似乎比全国人大执法检查组的动议更早。据一位参与2010年年底举办的安徽省机构编制业务培训会的人士透露,给他们培训的北京来的上级领导在培训会上表示,工商等部门没有理由搞"上下垂直"。  安徽冻结两大系统编制资产  尽管改革呼声由来已久,但当上月中旬国办48号文下发时,质监、工商系统的人们仍"普遍感觉比较突然,没有思想准备",这种情况在基层部门尤甚。  甚至当48号文在网上传播时,两大系统内不少人仍猜疑"文件是假的"。"这次显得有点神秘。"安徽省工商系统一位人士11月8日向记者表示,他至今尚未看到关于此次变动的任何书面文件,"只是听单位领导通过一次气"。  虽然观望气氛仍浓,但还是有的省份已行动起来。  动作最快的是安徽省。该省在10月21日全国质监局长会议当天就下发通知,要求在省级以下工商质监行政管理体制调整期间冻结机构编制。  本报记者掌握的这份编号为皖政办秘[2011]168号的文件显示,安徽方面暂冻全省市县工商局、质监局及所属事业单位的机构编制、干部提拔及人员调入。  不仅如此,还暂时冻结了全省市县工商局、质监局及所属事业单位机构的国有资产。此举显然反映了地方政府的一种预期,即改革一旦启动,需要在人、财、物方面避免震荡的发生。  以人事为例,原来工商系统官员可以内部升迁,由省里面到市里面,或者市里面到省里面,甚至异地交流,而一旦属地化管理后,就只能"画地为牢"了。  "划归地方后,出于各种原因,质监、工商系统将难免发生一些相应的职位调整,这导致部分干部想法较多。" 广东质监系统一位人士告诉记者,"比如我以前从佛山可以调到汕头,但以后估计就很难了。"为此,曾传出某省份建议参照国土厅的领导管理方式,由上级管理下级领导班子,地方管理财、物,避免这种现象的发生。  而普通的公务员则更关注收入的变化,划归地方后,个人待遇也要和当地公务员看齐,归到富裕地区薪酬可能上涨,归到贫困地区收入就可能下降。上述广东和上海的公务员则表示并不担心,"我们这里是经济发达地区,下到地方的收入可能更高。"  据了解,下一步可能将成立以国务院办公厅牵头,中央编办和工商总局、质检总局分管人事体制工作的领导参加的部级协调小组,共同研究改革中遇到的问题。  改革轮回与成败之争  相比对个人进退的顾虑,更大的担忧来自对改革成败的思量。  工商部门的垂直管理始于1998年底。1999年以来,工商、质监、国土、药监部门都实施省级以下垂直管理模式。当时主流意见认为这一改革有利于使食品安全执法摆脱地方保护主义的操控和干预。  但到了2008年,根据国务院办公厅文件,药监被改为地方管理模式。加上此次质监、工商部门的变动,食品监管资源有在地方层面整合的趋势。  12年改革走了一个轮回,属地化管理又能否胜任食品安全保障之责?  "垂直管理时,地方无法调动工商、质检部门的力量,因此在监管食品安全上缺乏抓手。将工商和质检下放则可以有效地归地方统一管辖,可以减少相互扯皮现象,有利于落实地方政府负总责。"一位上海市的质检人士向本报记者表示。  但工商、质检部门下放地方后,地方政府会有更多便利干预质检、工商部门对食品安全的执法。这种情况在质监、工商垂直管理之前就一直存在,在2008年后药监部门按下放地方过程中,也有类似的担忧声音。  据了解,当年全国19个省区的1144名基层药监局局长曾联名"上书",在"致党和国家领导人一封公开信"中写道:"平时不出事,你好我也好,一旦出了事,地方政府就会千方百计大事化小,小事化了,隐瞒遮掩,推脱责任。"  当然,也有部分观察人士对属地化管理持乐观态度。他们认为,现在已不同于12年前,近年对地方政府一把手的问责机制日益严厉,地方一把手面临很大的食品安全压力。在这种情况下,药监、质监、工商部门相继下放,让食品监管资源和权责在地方层面整合,是一种合理的趋势。  "为使地方政府权责一致,发生恶性事件时有能力监管而又不推脱责任,把垂直管理改回属地管理非常有必要,把责任跟乌纱帽相连,是现在有效的治理机制。"国家行政学院教授竹立家说。
  • 精密测量仪器产业发展与制造业数字化转型的思考与建议——访中国计量测试学会秘书长马爱文
    近日,第3届高端测量仪器国际论坛暨第13届精密工程测量与仪器国际会议(IFMI & ISPEMI 2024)在山东青岛成功举办。会议邀请各国精密工程测量与仪器领域的高层科学家、专家与业界领袖,就国际精密工程测量与仪器领域面临的重大机遇、重大科学问题和关键技术问题展开深入研讨,展望其未来发展方向和技术路线等。会议期间,仪器信息网特别策划了专访环节,荣幸地邀请到了中国计量学会秘书马爱文,就我国精密测量仪器产业发展现状与建议、精密测量技术未来发展方向、制造业转型升级面临的挑战等话题展开分享。国产精密测量仪器产业发展面临瓶颈马爱文秘书长表示,“国内精密测量仪器的发展正面临瓶颈期。从更宏观的视角审视,精密测量技术是社会发展水平的缩影。我们过去常言,测得准才能造得精。这意味着,只有不断推进高精度测量仪器的研发与应用,才能引领产品向更高质量、更高精度迈进。以机械制造业为例,要实现高精尖产品的制造,其背后的工业母机必须具备远超产品本身的精度标准,而测量技术则需再上一层楼,至少达到母机精度的三分之一以上额外精度,方能确保产品的质量。然而,不可否认的是,我国在机械加工领域,包括精度、可靠性等方面,仍面临诸多挑战,这也在一定程度上折射出我国精密测量仪器及其技术与国际先进水平之间的显著差距。更为严峻的是,国际上的高精度产品禁运政策,如同一道无形的壁垒,严重制约了我国多个产业,尤其是高精度仪器仪表产业的发展。但我坚信,挑战与机遇并存,中华民族自古以来便以坚韧不拔、勇于探索著称,面对重重困难,我们定能迎难而上,研发出具有自主知识产权的高精度测量仪器,满足社会高质量发展的迫切需求。”多措并举,推动精密仪器产业高质量发展马爱文秘书长进一步谈到:“推动精密仪器产业的全面发展,需采取多维度策略,首要且核心的是计量测试技术的坚实基础。2018年国际单位制迎来重大变革,将七个基本量被定义于基本物理常数之上,为全球测量技术领域树立了统一的基准线。然而,要精准定义这七个基本量、构建坚实的计量基准体系,仍面临漫长且艰巨的探索之路。鉴于此,国家应聚焦基础研究,攻克计量基准难题,研发高精度仪器,为技术转化与社会应用奠定基础。同时,仪器仪表产业需加大科研投入,加速成果转化,将创新应用于实践。国家与产业界共同努力,才能推动我国精密仪器产业的蓬勃发展。高精密测量仪器的性能,实为整个产业技术水平的集中展现。其内部集成的芯片、精密齿轮及诸多基础零部件,其性能与品质直接决定了仪器的测量精度。这些部件共同构建了一个精密而复杂的产品系统,而系统性问题的解决,如误差调控,便成为推动仪器仪表产业向前发展的关键所在。以激光干涉仪为例,其高精度的实现同样依赖于多元零部件的精密配合。因此,零部件的质量、设计思路、制造工艺等因素,均对精密测量仪器的整体精度产生影响。中国若要在高精度测量仪器领域取得突破,不仅需计量部门的不懈努力,更需整个产业链上下游的协同提升。近年来,我持续关注国产仪器与国外同行在性能与市场上的差距。从设计等多个维度来看,国产仪器已在众多领域展现出替代进口产品的强劲实力。然而,在稳定性和可靠性方面,国产仪器及设备存在一定短板。以机床制造为例,德国机床采用经过30年应力消除的钢材制作导轨,以确保长期精度稳定,而国内企业往往难以达到这种高标准,甚至存在直接使用未经充分应力消除的钢材制作导轨的情况。这直接导致机床在使用一两年后,因应力变化而影响测量精度,发生精度漂移。此现象并非个例,也广泛存在于各类精密测量与测试设备中。国产设备在初期往往表现出色,但长期使用后精度下降的问题较为突出。尽管国家已建立了严格的检定校准制度作为外部保障,但提升设备自身的稳定性和可靠性才是治本之策。此外,在科研领域,前沿理论的探索与现场实际应用的紧密结合也至关重要。针对仪器设备在不同应用环境下的性能变化,特别是测量精度的波动及其对最终结果的潜在影响,亟需深入探究。当前,我国计量体系已臻完善,国家计量院专注于计量基准的研究,各省计量院则负责计量标准的制定。同时,众多高校与科研院所也在测量技术领域深耕细作。我们应凝聚各方智慧与力量,共同推动高精度测量技术及仪器的研发与转化进程,以切实满足企业及社会发展的实际需求。当前,国家高度重视这一领域的协同发展,通过NQI等支撑项目,积极促进产学研深度融合,确保企业界的广泛参与。”AI与量子测量赋能精密测量技术发展聚焦精密测量技术,仪器厂商正积极拥抱人工智能(AI)技术,通过深度融合与创新应用,实现测量精度与效率的双重提升。对此,马爱文秘书长认为,人工智能与精密测量之间相辅相成,不可分割。精密测量借助人工智能的算法优化,显著提升了测量精度;然而,若过度聚焦于人工智能,可能导致对测试技术基础工艺及零部件材料研究的忽视,从而限制了测量技术的整体进步。因此,他强调两者应形成良性的互动循环,人工智能为精密测量提供算法支持,精密测量则为人工智能算法提供精确数据,共同推动整个系统性能的大幅提升。在探讨精密测量的未来发展方向时,马爱文秘书长则表示:“量子测量技术无疑是一个极具潜力和前瞻性的领域。随着2018年国际单位制中七个基本单位全面基于基本物理常数重新定义,人类社会正式迈入了量子时代,极大地促进了量子测量技术的发展。量子测量技术,简而言之,是利用量子、原子、分子等微观粒子作为测量工具,依托其独特的物理特性(如体积小、能量高、带电性、磁性等)来精确感知和测量外界环境的变化。这一技术因其极高的灵敏度,在精密测量领域展现出前所未有的优势,被视为未来发展的重要方向。然而,量子测量仍需攻克诸多技术难题,如离子干涉、离子阱的精确控制、单控温色芯技术的突破等。这些技术挑战要求我们在研发过程中不断创新,攻克难关,以实现量子测量技术的突破与应用。尽管如此,量子测量的潜力和价值不容忽视。它将成为人类认知世界、利用自然规律的重要工具。因此,我衷心希望仪器仪表产业能够紧跟量子测量技术的发展步伐,积极投入研发创新,推出具有自主知识产权的量子测量产品与设备。”精密测量:筑牢数字化与智能化转型的基石2024年3月,工信部等七部门联合印发《推动工业领域设备更新实施方案》,围绕推进新型工业化,以大规模工业设备更新为抓手,实施制造业技术改造升级工程,以数字化转型和绿色化升级为重点,推动制造业高端化、智能化、绿色化发展。针对此重大举措,马爱文秘书长发表了深刻见解:“数字化转型是一个多维度、深层次的变革过程。基于我在工业计量与测量领域的研究,以及对众多工业企业的实地考察,我深刻体会到,我国工业发展尚处在1.0至2.0的初级阶段,数字化与智能化水平与国际前沿存在显著差距,这主要受限于历史工业基础薄弱。然而,值得注意的是,国内大型企业已积极投身数字化、智能化、网络化转型,并初显成效,特别是在汽车制造业中,智能化技术的应用彻底革新了这一传统行业。关于精密测量技术,对于大多数工业企业而言,当前或许并不需要过于高端的测量设备;但在高端装备制造领域,如芯片制造与航空航天关键部件(如齿轮)的制造中,高精度测量仪器不可或缺。这种高精度需求推动了精密测量技术的发展,反过来精密测量技术也促进了工业企业的智能化与快速化进程。传感器作为智能化的基石,其高精度制造同样离不开先进测量技术的有力支撑。因此,精密测量技术与工业智能化之间形成了相辅相成、共同发展的良性循环。工信部最新推出的大规模设备更新政策,旨在通过优化生产工艺与流程,引领工业企业借助数字化转型实现制造质量的提升。在此过程中,我强烈建议加强对测量仪器与设备的集成应用,将其直接嵌入生产流程,确保产品质量的显著提升。以汽车制造业为例,高精度测量技术是机床与机器人高效运作的关键。只有确保机器人装配精准无误,才能组装出高质量汽车。因此,我们必须将计量与高精度测试技术融入设备更新与工艺改造之中,确保每一次升级都是对品质追求的深刻实践,而非简单的设备替换。此外,国家大力倡导的数字化转型及大数据应用,其根基源自精准的测量技术,特别是稳定可靠的高精度数据。这些数据不仅是提升产品质量的基石,也是节能减排、精细化管理及应对气候变化等战略决策的重要依据。因此,我们呼吁将计量与测试技术贯穿于产品全生命周期的每一个环节,从设计、研发、制造到检验、报废,全程赋能产业升级,减少资源浪费,促进可持续发展。同时,这也为测量仪器制造企业与供应商带来了前所未有的发展机遇,但前提是他们必须持续提供高质量的产品与服务,以满足市场的测量需求。”采访中,马爱文多次强调,精密测量技术不仅是产业升级的基石,更是国家高端科研不可或缺的支撑。作为科学研究的先行者,高精度的测量仪器应广泛服务于各科研领域,提供可靠的测量手段。与此同时,智慧城市、智慧交通、医疗及生命科学等领域都离不开精密的测量设备与仪器。我衷心希望,全国的仪器仪表制造企业能够瞄准社会需求,研发出更多高质量、高性能的测量仪器设备,共同促社会进步与发展。
  • 安徽将工商质检食品药品部门划归地方管理
    法制网合肥2月9日电 今天,安徽省省长王学军在安徽省十二届人大三次会议上说,今年该省将完成省级以下工商、质检、食品药品行政管理体制调整改革,工商、质检、食品药品部门将划归地方政府管理。  王学军表示,安徽省将坚持与国务院机构改革和职能转变相衔接,稳步推进大部门制改革,承接落实好取消下放的审批事项。加快事业单位分类改革,分级建立集中统一的公共资源交易平台。  据了解,安徽省工商、质检、食品药品行政管理体制调整改革已在筹备过程中,春节刚过,新组建的合肥市食品药品监督管理局即正式挂牌,整合原合肥市食安办、卫生(食药监)、质监、工商等部门的食品药品监管职责,主要负责全市食品生产、流通、餐饮服务环节食品安全监管和药品、医疗器械生产、流通、使用全过程质量安全监管。
  • 国家重点研发计划项目"低场量子电阻测量仪"通过验收
    近日,由514所航天河公司牵头的国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”专项“低场量子电阻测量仪”项目顺利通过国家科技部、高技术研究发展中心组织的综合绩效评价验收。 验收会以视频的方式进行,科技部高技术研究发展中心组织了来自清华大学、北京大学、中科院、中国计量院等单位的国内顶级技术专家和财务专家形成的评审专家组。项目负责人徐思伟研究员对项目执行情况进行了汇报、黄晓钉研究员对项目技术进展进行了汇报。 专家组严格按照项目任务书,对项目目标和考核指标完成情况、研究成果水平及创新性、成果示范推广及应用前景、项目组织管理及内部协作配合、人才培养等情况进行综合绩效评价。经过质询和讨论,专家组一致认为:项目攻克了多项核心技术,高质量完成了任务书规定的研究内容和考核指标,通过终期验收。 “低场量子电阻测量仪”项目由514所航天河公司牵头,北京东方计量测试研究所、中国计量科学研究院、中船重工鹏力(南京)超低温技术有限公司、中国科学院电工研究所、湖南银河电气有限公司、中国工程物理研究院计量测试中心和北京博华鑫诺科技有限公司联合承担。项目组经三年艰辛努力,研制出新型量子电阻测量仪,可满足国内电阻计量和精密电阻测量的广泛需求。 项目组利用“低场量子电阻测量仪”产品的技术优势,已经在型号测试、军工计量和高精度仪表研制领域开展了应用研究,对装备计量保障和国产精密仪器技术指标的提升发挥了重要作用。后续,514所将进一步持续开展推广应用工作,服务国计民生。
  • SiC市场迎来爆发期,全球最大碳化硅晶圆厂2022年初投产
    近日,第三代半导体龙头厂商科锐(Cree)公布了其最新财报,截至6月27日的2021财年第四季度财报,科锐营收略高于预期,达1.458亿美元,同比增长35%,环比增长6%。展望下一季度,科锐目标收入在1.44亿美元到1.54亿美元之间。同时,Cree首席执行官Gregg Lowe也再次确认,其位于纽约州马西镇的碳化硅(SiC)晶圆厂有望在2022年初投产,该厂于2019年开始建设,为“世界上最大”的碳化硅晶圆厂,将聚焦车规级产品,是科锐10亿美元扩大碳化硅产能计划的一部分,也是该公司有史以来最大手笔的投资。同日,科锐宣布与意法半导体(ST)扩大现有的多年长期碳化硅(SiC)晶圆供应协议。根据新的供应协议,科锐在未来几年将向意法半导体提供150毫米碳化硅裸片和外延片。△Source:科锐官网在工业市场,碳化硅解决方案可实现更小、更轻和更具成本效益的设计,更有效地转换能源以开启新的清洁能源应用。Gregg Lowe表示,我们与设备制造商的长期晶圆供应协议现在总额超过13亿美元,有助于支持我们推动行业从硅向碳化硅转型。市场迎来爆发期,厂商加速扩产碳化硅衬底材料是新的一代半导体材料,属于半导体产业的新兴和前沿发展方向之一,主要应用于以5G通信、国防军工、航空航天为代表的射频领域和以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域。全球市场上,6英寸SiC衬底已实现商业化,主流大厂也陆续推出8英寸样品。根据公开信息,科锐能够批量供应4英寸至6英寸导电型和半绝缘型碳化硅衬底,且已成功研发并开始建设8英寸产品生产线。此外,今年7月27日,意法半导体就宣布,制造出首批8英寸SiC晶圆片。当前,全球碳化硅半导体产业市场快速发展并已迎来爆发期,国际大厂纷纷加大投入实施扩产计划,如碳化硅国际标杆企业美国科锐公司于2019年宣布投资10亿美元扩产30倍之外,而美国贰陆公司、日本罗姆公司等也陆续公布了相应扩产计划。此外,国内宽禁带半导体产业的政策落地和行业的快速发展吸引了诸多国内企业进入,如露笑科技、三安光电、天通股份等上市公司均已公告进入碳化硅领域;斯达半导3月宣布加码车规级SIC模组产线;而比亚迪半导体、闻泰科技、华润微等也有从事SiC器件,此外,天科合达、山东天岳等国内厂商也都走在扩产路上。
  • 我国基本实现棉花质量仪器化检验
    棉花的仪器化检验是依据棉花标准,通过科学的仪器化检验方法,利用规范化的测试手段来鉴定棉花质量的过程。中国的棉花仪器化检验,在&ldquo 七五&rdquo 、&ldquo 八五&rdquo 期间,主要以常规仪器检验单项指标检验为主,这些检验方法检测速度慢,重复性差,效率低,而且测试指标单一,无法满足纺织大国对棉花检验的需求。1980年以来,我国逐渐引进大容量棉纤维快速测试仪(HVI),大大缩小了与国际间纤维品质检测技术的差距。2003年9月,国务院批准了《棉花质量检验体制改革方案》,方案要求用5年左右的时间建立起我国的棉花仪器化检验标准和体系,并支持国产大容量棉花测试仪的研发,经过将近10年的时间,我国已基本实现棉花质量的仪器化检验,正在全国范围内推广。  棉纤维仪器化检验必须具备恒温恒湿环境条件,为了保证样品测试结果一致性和重复性,仪器要求样品的取样量约在8.5~50克之间。样品量越大,代表性越好,测试结果的准确性越高。棉花试验送检棉样一般要求取样时随机取样、混合均匀,数量在20~50克之间。  与此同时,采用校准棉样,对仪器进行长度、长度均匀度、纤维细度和强度指标校验。采用颜色板来校验颜色。除了校验之外,每隔几个小时在每台仪器上还要测定一些已知值的样品。如果测试值与已知值的偏差超过一定的允许范围,则进行仪器校正。  农业部棉花品质检测中心上个世纪80年代引进HVI900A开展棉花的仪器化检测,对我国的棉花定期抽检,了解棉花品质。2005年又开始使用国产大容量棉花测试仪XJ120,由于测试抽检棉样取样量少,所以都是用半自动仪器,经过30年的抽检,对我国的棉花品质有了一定的了解。  根据中国主产棉花品种棉纤维的长短、粗细,棉纤维可划分为长绒棉、细绒棉和粗绒棉三大类别。长绒棉根据纤维长短和经济价值又可分为超长绒棉和中长绒棉;细绒棉根据棉纤维的颜色可分为白棉、黄棉和灰棉,而根据棉纤维加工方式又可分为皮辊棉和锯齿棉,皮辊棉和锯齿棉由于加工特性不同,纤维的外观形态、疵点种类、含杂量以及长度、衣分等都有很大差异。根据颜色可分为白棉和彩色棉。  陆地棉原产墨西哥,是世界上种植最多的品种,占99%以上,品质好,产量较高,纤维长度一般在26~32毫米,可纺80支以下纱线;海岛棉原产南美,纤维长度一般在34~50毫米,可纺80~200支高档纱,产量较低,需求量较少;亚洲棉又称中棉,从印度传入中国,纤维短粗,不适宜机器纺织,产量低,国内已无种植;草棉原产于非洲南部,纤维细短,不适宜机器纺织,产量低。细绒棉又称陆地棉,其正常成熟籽棉棉瓣肥大蓬松,纤维柔软有弹性,纤维细而长,目前我国细绒棉长度一般在25~33毫米,纤维比强度在18~37cN/tex(HVICC校准),马克隆值在2.0~6.5,可用于纯纺10~60英支的细纱。长绒棉是指海岛棉和海陆杂交棉,正常成熟籽棉棉瓣稍蓬松,纤维细长柔软,籽皮颜色稍暗,纤维细而长,一般在33毫米以上,强度很高,马克隆值偏细,可用于纯纺60~120英支的高档纱或特种纱。  &ldquo 棉花的质量应满足纱线、织物的质量要求和纺织加工的需要。&rdquo   纱线粗细不同,织成的织物厚薄不同,不同号数纱线纺纱工艺不同,对纤维性能要求也不同,纺织工业对棉花的质量要求也为棉花育种和棉花生产指明了方向。首先是对细度的要求,细纤维纺细纱,粗纤维纺粗纱,其次要求提高纱线的单纱断裂强力,必须提高棉纤维断裂比强度,保证棉纤维的长度和成熟度,减小短纤维含量,减少异性纤维和棉花含糖。  农业部棉花品质监督检验测试中心经多年联合调查,结果表明我国生产领域棉纤维上半部平均长度以中绒28.0~30.9毫米为主,占77.1%;比强度分布在中等档次26.0~28.9cN· tex-1,占44.5%;马克隆值多数分布在4.3~4.9,占49.34%;综合纤维品质有逐年提高趋势。  近些年来转基因抗虫棉的大面积推广,提高了抗虫性能,保证了棉花产量,改善了纤维品质,纤维的长度和强度都有所提高,但马克隆值也相应有所改变,这种变化有待更深一步的研究。  &ldquo 棉花的仪器化检验,为了解我国棉花品质提供了仪器化保证。&rdquo   农业部棉花检测中心每年测试棉样将近10万份,集中在每年的9月份到次年的3月份,没有大容量测试仪器要完成这些测试并及时了解当年的棉花品质几乎是不可能的。  目前,国际市场竞争激烈,我国纺织品和服装出口的国际依存度较高,而出于战略考虑,棉花原料供给应立足国产。当前,我国中档棉花竞争力较强,能够满足国内纺织工业生产需求,但高、低档棉花仍需进口,作为结构的补充和调剂。  我国逐步开展的大容量仪器化的逐包检验,为纺织企业提供了可靠的质量信息保证。尤其是陕西长岭纺织机电公司推出的新型国产大容量棉花综合性能测试仪器XJ128的逐步推广,对我国棉花产业和纺织工业的发展具有划时代的意义。它可帮助棉花研究部门及时了解棉花品质,提高育种水平,帮助纺织企业合理利用棉花,提高制成品的质量,并有助于我国棉花检验水平的提高,制定适应仪器化检验的相关棉花标准,与国际市场接轨。
  • 晶升股份8英寸碳化硅长晶设备交付重庆某客户
    8月7日,晶升股份在投资者互动平台表示,其第一批8英寸碳化硅长晶设备已于2024年7月在重庆完成交付。这意味着晶升股份8英寸碳化硅长晶设备已完成验证,开启了批量交付进程。2023年6月,晶盛机电宣布成功研发出8英寸单片式碳化硅外延生长设备。据介绍,该设备可兼容6/8英寸碳化硅外延生产,在6英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上,解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题,实现了成熟稳定的8英寸碳化硅外延工艺。切片方面,晶升股份曾披露,切割设备计划于今年4月左右发往客户做最终测试,若测试成功即可正式推出。据了解,目前,晶升股份正在从设备方面大力布局8英寸碳化硅衬底和外延环节,有望在2023年持续开拓三安光电、东尼电子、比亚迪等客户的基础上,进一步拓展市场。
  • 住友矿山将量产新一代碳化硅功率半导体晶圆
    近日,住友矿山表示,计划量产新一代功率半导体晶圆,而且会使用自主研发的最新技术将价格降低10%到20%。住友矿山希望凭借这种新型碳化硅晶圆抢占美国科锐等领先企业的市场,使全球份额占比达到10%,预计2025年实现月产1万片。住友矿山是全球最大的车载电池正极材料厂商,拥有物质结晶技术,现将利用其他业务所培育出的技术实力进入半导体材料领域。据了解,住友矿山所开发的技术是在因结晶不规则而导致价格较低的残次品“多晶碳化硅”上贴一层可以降低发电损耗的“单晶碳化硅”可将价格降低10%~20%。纯电动汽车的逆变器在采用这款新型晶圆所制成的碳化硅功率半导体时,能将电力损耗降低10%左右。通过提高功率半导体的性能,减小整个单个装置的尺寸,有利于延长纯电动汽车的续航里程。从技术的角度来说,与硅基功率器件制作工艺不同,碳化硅器件不能直接制作在碳化硅单晶材料上,需要在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料,最后在外延层上制造各类器件。传统的碳化硅外延基于单晶衬底,以实现晶格匹配和降低缺陷密度(微管、位错、层错等),但是单晶碳化衬底制备的成本较高。“住友矿山可实现从多晶碳化硅衬底上外延单晶硅层材料,在技术与成本上具有明显的优势。”赛迪顾问集成电路中心高级咨询顾问池宪念表示。而成本方面,相对于硅基材料功率半导体,碳化硅功率半导体能够降低电力功耗,会是功率半导体产品领域未来具有发展潜力的竞品。此外,消费终端的生产对于价格十分敏感,住友矿山碳化硅新晶圆的成本能够降低1~2成,价格优势将会成为住友矿山有效的竞争力之一。随着电动车对碳化硅功率半导体的需求日渐增长,这条新赛道上的竞争也越来越激烈。目前除了美国科锐外,美国II-VI公司及罗姆旗下的德国SiCrystal等也在涉足碳化硅半导体晶圆业务。对于这项新技术是否可以帮助住友矿山抢占科锐市场的问题,池宪念认为,美国科锐公司是全球6/8英寸碳化硅单晶衬底材料可实现产业化的龙头公司,在市场和技术上具有领先优势。如果住友矿山的新一代碳化硅半导体晶圆材料能够通过下游厂商的验证,并实现量产,则其将成为美国科锐公司的有力竞争者。
  • 住友矿山将量产新一代碳化硅功率半导体晶圆
    近日,住友矿山表示,计划量产新一代功率半导体晶圆,而且会使用自主研发的最新技术将价格降低10%到20%。住友矿山希望凭借这种新型碳化硅晶圆抢占美国科锐等领先企业的市场,使全球份额占比达到10%,预计2025年实现月产1万片。住友矿山是全球最大的车载电池正极材料厂商,拥有物质结晶技术,现将利用其他业务所培育出的技术实力进入半导体材料领域。据了解,住友矿山所开发的技术是在因结晶不规则而导致价格较低的残次品“多晶碳化硅”上贴一层可以降低发电损耗的“单晶碳化硅”可将价格降低10%~20%。纯电动汽车的逆变器在采用这款新型晶圆所制成的碳化硅功率半导体时,能将电力损耗降低10%左右。通过提高功率半导体的性能,减小整个单个装置的尺寸,有利于延长纯电动汽车的续航里程。从技术的角度来说,与硅基功率器件制作工艺不同,碳化硅器件不能直接制作在碳化硅单晶材料上,需要在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料,最后在外延层上制造各类器件。传统的碳化硅外延基于单晶衬底,以实现晶格匹配和降低缺陷密度(微管、位错、层错等),但是单晶碳化衬底制备的成本较高。“住友矿山可实现从多晶碳化硅衬底上外延单晶硅层材料,在技术与成本上具有明显的优势。”赛迪顾问集成电路中心高级咨询顾问池宪念向《中国电子报》记者表示。而成本方面,相对于硅基材料功率半导体,碳化硅功率半导体能够降低电力功耗,会是功率半导体产品领域未来具有发展潜力的竞品。此外,消费终端的生产对于价格十分敏感,住友矿山碳化硅新晶圆的成本能够降低1~2成,价格优势将会成为住友矿山有效的竞争力之一。随着电动车对碳化硅功率半导体的需求日渐增长,这条新赛道上的竞争也越来越激烈。目前除了美国科锐外,美国II-VI公司及罗姆旗下的德国SiCrystal等也在涉足碳化硅半导体晶圆业务。对于这项新技术是否可以帮助住友矿山抢占科锐市场的问题,池宪念认为,美国科锐公司是全球6/8英寸碳化硅单晶衬底材料可实现产业化的龙头公司,在市场和技术上具有领先优势。如果住友矿山的新一代碳化硅半导体晶圆材料能够通过下游厂商的验证,并实现量产,则其将成为美国科锐公司的有力竞争者。
  • 2012岛津分析/测量仪器收入预计$20亿 增长1.8%
    仪器信息网讯 根据岛津公司公布的2012财年展望,公司预计,截至2013年3月31日的2012财年(2012.4.1-2013.3.31),岛津总收入预计为2670亿日元(约合33.80亿美元),相比于2011财年2663亿日元(约合33.71亿美元)微增0.3%。2012财年岛津总收入及各项业务收入情况表  岛津最大业务分析及测量仪器2012财年收入预计为1560亿日元(约合19.75亿美元),2011财年该项业务收入为1533亿日元(约合19.41亿美元),同比增长1.8%。  据岛津公司的2012财年半年报(2012.3.31-2012.9.30),岛津公司收入1246亿日元(约合15.77亿美元),相比于去年同期下降了0.6%。分析及测量仪器业务收入709亿日元(约合8.97亿美元),相比去年同期增长1.4% 其中通用分析仪器销售收入447亿日元(约合5.66亿美元),同比增长2.4%,而色谱质谱仪器销售收入329亿日元(约合4.16亿美元),同比下降0.2% 表面分析仪器销售收入41亿日元(约合5190万美元),同比下降5.8% 环境监测仪器销售收入39亿日元(约合4937万美元),同比增长1.3% 试验机及无损检测仪器销售收入75亿日元(合约9494万美元),同比增长2.2%。2012财年上半年岛津中国区收入情况一览  而分析及测量仪器业务中国区上半年收入为142亿日元(约合1.80亿美元),相比2011财年同期的133亿日元(约合1.68亿美元)增长6.7%。(注:文中日元与美元按1美元=79日元换算)(编译:杨娟)
  • 红点新桂再创佳绩 Biolin光学接触角测量仪获2019新品奖
    文章来源:仪器信息网2020年5月20日,由仪器信息网主办,“科学仪器新品”评审委员会、“新品首发”栏目承办的科学仪器“新品奖”在线发布盛典盛大召开,首次云端揭晓了2019年度科学仪器“新品奖”获奖名单,22台仪器获此殊荣。大昌华嘉科学仪器部代理的Biolin光学接触角测量仪(水滴角测量仪)ThetaFlex荣获大奖。中航工业失效分析中心/北京航空材料研究院副主任刘昌奎公布了获奖结果。Biolin光学接触角测量仪(水滴角测量仪)ThetaFlex是2020年国际红点产品设计大奖最佳设计奖得主之一。仪器全自动化程度高,测量速度快,重复性好。具有独特的3D形貌模块,可以测量粗糙度对润湿性的影响。Biolin光学接触角测量仪(水滴角测量仪)ThetaFlex“科学仪器新品”评审委员会创新点评:Theta Flex软件具有独特的自动液体纯度检测功能,防止使用错误液体或不纯净液体影响实验结果,该功能很具有竞争力。可以记录液滴图像并且自动分析液滴的形状,对固液界面的研究非常有有意。虽然接触角测量仪是个小众产品,但该仪器在性能等各方面有很大的优越性,针对某些特定的应用领域有较大的促进作用。
  • 沈阳自动化研究所IDE团队成功研出大型圆柱度测量仪
    近日,中国科学院沈阳自动化研究所智能检测与装备研究室IDE团队在国家重点研发计划项目的支持下,经过艰苦攻关,创新性提出了高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法,并依此方法研发了大型圆柱度测量仪。大型零件圆柱度测量仪样机圆柱度是精密回转类零件重要的精度指标之一。目前,圆柱度测量仪大多通过接触式传感器获取被测目标信息,采用精密转台回转的方式实现测量,如英国Talyrond公司研制的最大测量直径达1.6米的1600型圆柱度测量仪。接触式传感器的可形变量极小,在圆柱度测前定心调整过程中,大偏心距累积的运动定位误差极易超出传感器的极限行程而造成传感器损坏。受被测对象的尺寸、重量及高精密转台的制造技术等因素的影响,过大的载荷将严重影响精密轴系的回转精度,所产生的随机误差难以通过算法有效补偿,无法满足大型工件的高精度测量需求。对于直径超过2米的大型轴承套圈,由于零件尺寸巨大、圆柱度测量精度要求高以及测量环境的局限性,现有的接触式传感器与转台回转的测量方式难以满足其测量要求。因此,亟需研究针对大型回转类零件圆柱度的现场快速精密测量方法及相应的评定技术。沈阳自动化所智能检测与装备研究室IDE团队提出的高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法采用具有精密、隔震等特性的气浮驱动技术,配合精密耦件,通过测前快速自适应偏置调整技术实现工件测前自动定心,采用精密测头回转的方式快速获取有效测量信息。在测量原理方面,提出了更完善的圆柱度测量模型及误差分离算法,测前定心与实际测量采用分立的运动控制系统,既解决了大型工件的载荷问题,又能够通过模型参数拟合的方式实现偏心、测量线偏置、被测圆柱轴倾斜等误差的精准分离;测量系统采用对称式双测头测量方案,综合了非接触式位移传感器安全、柔性的特点与接触式位移传感器精密、可靠的特性。本方法的提出突破了传统测量方法在大型圆柱度测量过程中的局限性,实现了大型回转类零件圆柱度测前自适应偏置调整和现场快速精密测量。目前,该研发团队已完成大型圆柱度测量仪原理样机的研发工作,并在《光学精密工程》《中国激光》等高质量期刊发表相关论文2篇,申请发明专利4项。经过国家权威计量专家及天津计量院的检定,大型圆柱度测量仪样机的回转精度为42.6nm,Z向导轨精度139nm/100mm,最大测量直径为2500mm,且其测量范围可根据使用需求进一步拓展。这意味着该原理样机的核心技术指标已达到国内领先、国际先进水平。本项目的实施将进一步夯实我国大型轴承及以大型轴承为核心基础部件的高端装备的制造技术基础,填补直径大于2米的大型轴承圆柱度测量仪的国内空白,掌握大型圆柱度测量仪的核心技术,提高轴承及相关行业的自主创新能力,为我国高铁、风电和高档数控机床等高端装备制造业的进一步发展提供保障能力,对我国从制造大国迈向制造强国,具有重要的现实意义和巨大的社会经济效益。
  • Photonic Lattice发布PA系列双折射测量仪新品
    PA系列是日本Photonic lattice公司倾力打造的双折射/应力测量仪,PA系列测量双折射测量范围达0-130nm,可以测量的样品范围从几个毫米到近500毫米。PA系列双折射测量仪以其技术的光子晶体偏光阵列片,独有的双折射算法设计制造,得到每片样品仅需几秒钟的测量能力,使其成为业内,特别是工业界双折射测量/应力测量的选择。 PA-300 主要特点:操作简单,测量速度可以快到3秒。视野范围内可一次测量,测量范围广。更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。具有多种分析功能和测量结果的比较。维护简单,不含旋转光学滤片的机构。高达2056x2464像素的偏振相机。 应用领域:光学镜片智能手机玻璃基板碳化硅,蓝宝石等 技术参数:项次项目 具体参数1输出项目相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】2测量波长520nm3双折射测量范围0-130nm4测量最小分辨率0.001nm5测量重复精度1nm(西格玛)6视野尺寸27x36mm到99x132mm(标准)7选配镜头视野低至7x8.4(扩束镜头)8选配功能实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制 测量案例:创新点:操作简单,测量速度可以快到3秒。视野范围内可一次测量,测量范围广。更直观的全面读取数据,无遗漏数据点。具有多种分析功能和测量结果的比较。维护简单,不含旋转光学滤片的机构。高达2056x2464像素的偏振相机。PA系列双折射测量仪
  • 高精度、复合式、智能、易用 | 2024上半年几何量测量仪器新品盘点
    随着工业4.0浪潮的持续深化,高精度、智能化、集成化的测量仪器成为推动制造业转型升级的关键力量。2024年上半年,众多仪器厂商凭借其深厚的技术积累和创新能力,推出一系列几何量精密测量仪器新品,不仅提升了测量技术的边界,更为智能制造注入了新的活力。本文特对2024年上半年上市新品进行盘点,以飨读者。(本文产品信息来源网络公开信息,如有遗漏,欢迎留言补充。联系邮箱:niuyw@instrument.com.cn)海克斯康 SmartScan VR800智能蓝光扫描系统3月,海克斯康发布SmartScan VR800智能蓝光扫描系统。该新品是首款配备自动变焦镜头的结构光3D扫描仪,拥有智能分辨率、智能变焦和智能抓拍三大创新功能。它专为提高工作效率而设计,通过简单的软件设置,即可完成扫描分辨率和测量范围的快速调整,为用户实现精确、高效的扫描测量提供了前所未有的创新体验。 OCTAV HP高精度复合式影像测量专机4月,在2024中国数控机床展览会(CCMT)期间,海克斯康发布重量级新产品——OCTAV HP高精度复合式影像测量专机。该产品精度高达0.4μ+,是一款为满足用户对于高精度、高性能、高稳定性测量需求而设计的高端复合式影像测量专机。该新品将行业内先进的测量传感技术,包括高精度的接触式触发和扫描技术,基于影像测头的视觉检测技术,基于共聚焦白光测头的光学扫描测量技术等,定制化集成到一台测量设备上,实现了一机多能以及高精度复合式测量。OCTAV HP亚微米级别的影像测量功能结合先进的多传感器融合技术,适用于航空航天、半导体、新能源、3C电子、医疗等行业领域。蔡司CAPTUM三坐标测量机3月 28 日,深圳ITES展会现场,蔡司盛大推出全新三坐标测量机CAPTUM。新品具有安装快捷、服务便利、操作简便等优势,为企业提供坚实可靠的质量保障。值得一提的是,CAPTUM 家族首次引入“Plug and Play”即插即用设计概念,让用户操作更为便捷。其高适配的应用场景特点,更是让三坐标的应用变得更简单易用。4月,在第十六届重庆国际电池技术交流会/展览会(CIBF 2024)上,蔡司发布O-INSPECT 863 Duo多用途复合式坐标测量机,该新品是一款集成了三坐标测量功能、影像测量以及显微镜检测功能的复合式测量设备,配备连续扫描接触式测量、高倍率变焦影像镜头等,广泛应用于电子、医疗、汽车、航空航天领域的复杂工件的形位公差测量及缺陷检测。天准科技CM系列三坐标测量机4月,在第十三届中国数控机床展览会(CCMT 2024)上,天准科技发布CM系列三坐标测量机,该新品以超高精度 0.3μm 国家重大专项复合测量机技术背景为研发基础,目前拥有CMZ/CMU/CME 三大系列,集Vispec Pro软件系统、HSP测头/TR50旋转测座探测系统、驱控一体TCC电控、直线电机驱控技术四大自研技术为一体,同时创新性地将工业级的碳化硅陶瓷材料运用在高端系列机型上,重新定义行业精密测量标准,广泛应用于汽车、模具、机械加工、精密制造、计量院所、航空航天等领域。6月18日,在第十六届中国国际机床工具展览会(CIMES)上,天准科技发布了全新VMZ超高精度影像仪。该新品在测量精度以及稳定性上实现了跨越式提升,测量精度高达0.8μm,最大倍率高达4000倍。出色的测量精度和稳定性,使其能够轻松应对各种复杂测量任务,适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。思看科技NimbleTrack灵动式三维扫描系统4月9日,思看科技发布NimbleTrack灵动式三维扫描系统和NimbleTrack灵动式三维扫描系统。NimbleTrack集全无线、不贴点、双边缘计算、一体成型架构于一身,精准驾驭中小型场景动态三维测量场景,其扫描仪和跟踪器深度集成高性能芯片与嵌入式电池模组,实现了全域无线测量和高速稳定的数据传输,开启工业计量智能无线新时代。AM-CELL C系列自动化3D检测系统AM-CELL C系列自动化3D检测系统创新性融入核心单元设计理念,集易部署、易操控、高拓展性、全方位安全于一体,为中小型零部件检测打造自动化交钥匙解决方案,探寻智能制造更多可能。中图仪器WD4000系列无图晶圆几何量测系统2月,中图仪器针对晶圆几何形貌量测需求,基于在精密光学测量多年的技术积累,历经数载,自研了WD4000系列无图晶圆几何量测系统,适用于线切、研磨、抛光工艺后,进行wafer厚度(THK)、整体厚度变化(TTV)、翘曲度(Warp)、弯曲度(Bow)等相关几何形貌数据测量,能够提供Thickness map、LTV map、Top map、Bottom map等几何形貌图及系列参数,有效监测wafer形貌分布变化,从而及时管控与调整生产设备的工艺参数,确保wafer生产稳定且高效。3月,中图仪器发布Mizar Silver三坐标测量机,融汇多项核心创新技术,采用低热膨胀花岗岩导轨系统、环抱式气浮支撑系统、Z轴柔性平衡设计、高刚性传动系统、空间21项结构误差补偿技术等,并装载全自主化运动控制器与测头测座系统,自主化三坐标测量软件PowerDMIS。先临三维FreeScan UE Pro2 无线高速激光手持三维扫描仪5月,先临三维发布FreeScan UE Pro2 无线高速激光手持三维扫描仪。此番创新融合了嵌入式边缘计算模块,实现无线传输功能,为用户带来了前所未有的操作自由。这款新品借助内置的嵌入式边缘计算模块与灵活的移动电源支持,可以更加游刃有余地获取高精度三维数据。基恩士VM-6000大范围三坐标测量仪5月,基恩士发布VM-6000大范围三坐标测量仪,通过接触探头、激光扫描探头,单人即可在现场测量大型产品的尺寸、形状。新品测量范围由原来的15m扩大到25m,适用于各行各业的大型产品。Qualifire&trade 激光干涉仪2024年初,阿美特克 旗下Zygo公司宣布发布其最新的激光干涉仪Qualifire&trade 。Qualifier加入了一系列高端干涉仪解决方案,旨在支持半导体、光刻、星载成像系统、尖端消费电子产品、国防等行业中最苛刻的计量应用。这款干涉仪在不牺牲性能的情况下,将显著的增强功能集成到一个更轻的小型封装中。秉承Zygo在计量领域的卓越标准,Qualifire&trade 不仅确保了高精度,更通过精细化的人体工程学设计优化了用户交互体验,使操作更为高效,部署更加灵活,完美平衡了性能与便捷性。综上所述,2024年上半年发布的一系列新品,在高精度、集成化、智能化、自动化、便捷性与易用性等多个维度实现了显著突破与创新。这些技术的深度融合可大幅提升生产效率与灵活性,降低对人工的依赖,助力企业降本增效。这一系列创新成果,无疑为工业4.0智能制造的加速推进提供了强有力的技术支持和保障。
  • 哈尔滨科友半导体“8英寸碳化硅长晶设备及工艺”通过中国电子学会科技成果鉴定
    据科友半导体消息, 在14日举办的宽禁带半导体材料技术成果鉴定会上,哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(以下简称“科友半导体”)“8英寸碳化硅长晶设备及工艺”通过中国电子学会科技成果鉴定。资料显示,科友半导体是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家高新技术企业,研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域,已形成自主知识产权,实现先进技术自主可控。2022年底,科友半导体通过自主设计制造的电阻长晶炉产出直径超过8英寸的碳化硅单晶,晶体表面光滑无缺陷,最大直径超过204mm。这是科友半导体继去年10月在6英寸碳化硅晶体厚度上实现40mm突破后,在碳化硅晶体生长尺寸和衬底尺寸上取得的又一次极具历史意义的重大突破。哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司董事长赵丽丽表示,未来科友半导体将继续加大技术投入,快速推进二期工程。
  • 科友半导体碳化硅跻身8吋行列
    12月30日,记者从科友半导体获悉,公司试验线再传捷报,科友半导体通过自主设计制造的电阻长晶炉产出直径超过8吋的碳化硅单晶,晶体表面光滑无缺陷,最大直径超过204mm。这是科友半导体于今年10月在6吋碳化硅晶体厚度上实现40mm突破后,在碳化硅晶体生长尺寸上取得的又一重大突破。科友半导体从实现6吋碳化硅晶体稳定生长开始,就着手布局8吋碳化硅晶体研发,并得到了当地政府、科技等部门的关注和支持。在历经数年的研发实验、成功制备出8吋碳化硅电阻长晶炉后,着力解决了大尺寸长晶过程中温场分布不均匀以及气相原料碳硅比和输运效率等问题,同时专项攻关解决应力大导致的晶体开裂问题。在多年无数次的探索、模拟、实验、重复、改进后,借助科友半导体自主研发的热场稳定性高、工艺重复性好的电阻长晶炉,研发团队终于掌握了8吋碳化硅晶体生长室内温场分布和高温气相输运效率等关键技术,获得了品质优良的8吋碳化硅单晶,为实现下一步的8吋碳化硅晶体产业化量产打下坚实的基础。在碳化硅产业链成本中,衬底占比约为47%,是最“贵”的环节,同时也是整个产业链中技术壁垒最高的环节。国际上8吋碳化硅单晶衬底研制成功已有报道,但迄今尚未有产品投放市场。8吋碳化硅长晶工艺的突破,意味着科友半导体在单晶制备技术水平上达到了一个新的高度。资料显示,科友半导体全称哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司,于2018年5月成立,是一家国家级高新技术企业,专注于半导体装备研发、衬底制造、器件设计、技术转移和科研成果转化。公司以哈尔滨为总部,打造国家级第三代半导体装备与材料创新中心。
  • 大突破!意法半导体成功制造出200mm碳化硅晶圆
    7月27日消息,“意法半导体中国”官方微信宣布,意法半导体(简称“ST”)瑞典北雪平工厂成功制造出首批200mm (8英寸)碳化硅(SiC)晶圆片,这些晶圆将用于生产下一代电力电子芯片的产品原型。资料显示,碳化硅一种宽禁带化合物半导体材料,相对于传统的硅材料来说,碳化硅属于第三代半导体材料的典型代表,其拥有禁带宽度宽、耐高温、耐高压、高频、大功率、抗辐射等特点,具有开关速度快、效率高的优势, 可大幅降低产品功耗、提高能量转换效率并减小产品体积。目前,碳化硅半导体器件主要应用于高压输变电、轨道交通、电动汽车、通讯基站等重要领域。需要指出的是,而碳化硅材料的生长也效率非常低,并不像硅材料那样,可以相对容易的制备出数米长的晶棒。目前碳化硅生长出来体积也相对比较小,所以大多数情况下都只能制备成直径100mm或150mm晶圆。而且,碳化硅属于硬度非常高(碳化硅单晶材料莫氏硬度分布在9.2~9.6之间,仅仅比金刚石的硬度低0.5左右)的脆性材料,因此,碳化硅晶圆的制备损耗非常高(通常损耗高达三分之二),良率也比较低。在第九届EEVIA年度中国电子ICT媒体论坛暨2021产业和技术展望研讨会上,英飞凌电源与传感系统事业部市场总监程文涛就表示:“碳化硅材料的加工门槛非常高,因此目前这个行业主要的碳化硅厂商,都是一些IDM厂商。目前在SiC晶圆这一块,排在第一位的Cree差不多占了60%的市场,其次是美国II-VI公司,市场份额约为16%。”此次,ST宣布成功制造出首批200mm (8英寸)碳化硅(SiC)晶圆片,确实令业界感到非常的震撼。200mm的碳化硅晶圆相比与150mm的碳化硅晶圆相比,可用于制造集成电路的可用面积几乎扩大1 倍,使得产量和生产效率可以得到极大的提升。此外,在良率方面,ST表示,依托于意法半导体碳化硅公司(前身是Norstel公司,2019年被ST收购)在SiC硅锭生长技术开发方面的深厚积累和沉淀,ST的首批200mm SiC晶圆片质量上乘,影响芯片良率和晶体位错的缺陷非常少。200nm碳化硅晶圆的合格芯片产量也达到了150mm碳化硅晶圆的1.8 - 1.9 倍。ST表示,SiC晶圆升级到200mm标志着ST面向汽车和工业客户的扩产计划取得重要的阶段性成功,巩固了ST在这一开创性技术领域的领导地位。这项颠覆性技术可实现更高效的电能转换,更小的更轻量化的设计,节省更多的系统设计总体成本,这些都是决定汽车和工业系统成功的关键参数和因素。不过,需要指出的是,目前SiC器件的生产线都还是150mm的产线,因此SiC晶圆升级到200mm,还需要对制造设备和整体支持生态系统进行升级更换。目前ST正在与供应链上下游技术厂商合作开发自己的制造设备和生产工艺。资料显示,ST在SiC领域的领先地位归功于25年的专注和研发投入,拥有 70 多项专利。目前ST量产碳化硅产品STPOWER SiC是在卡塔尼亚(意大利)和宏茂桥(新加坡)两家150mm晶圆厂完成前工序制造,后工序制造是在深圳(中国)和布斯库拉(摩洛哥)的两家封测厂进行的。SiC晶圆升级到200mm属于公司正在执行的SiC衬底建新厂和内部采购SiC衬底占比超40%的生产计划。
  • 华盛昌智能传感测量仪研发生产建设项目动工
    2023年6月9日上午,华盛昌(惠州)科技实业有限公司智能传感测量仪研发生产建设项目奠基动工仪式在惠州市仲恺高新区潼湖生态智慧区举行。   据悉,华盛昌(惠州)科技实业有限公司智能传感测量仪研发生产建设项目位于潼湖生态智慧区中韩(惠州)产业园起步区内,建成投产后主要进行数字万用表、数字钳形表、电力测试器、红外热像仪、红外测温仪等各类多功能测量仪器的研发生产和销售。项目规划用地面积约3.1万平方米,总建筑面积约11.7万平方米,总投资额约4亿元,项目全部建成并达产后预计年总产值约12亿元。   华盛昌(惠州)科技实业有限公司系深圳市华盛昌科技实业股份有限公司全资子公司,深圳市华盛昌科技实业股份有限公司作为国内集专业自主设计、研发、生产和销售各类测量仪器仪表于一体的企业,华盛昌坚持持续创新发展,为更好响应国家政策,其在原有的业务基础之上拓展了医疗和新能源领域。其建立了分子诊断技术平台、免疫层析技术平台,并推出了实时荧光定量PCR分析仪,另一方面,华盛昌创新设计研发充电桩、户外移动电源、家用储能等系列新能源产品,积极布局新能源板块海内外业务。
  • 碳化硅SiC衬底抛光新方向
    碳化硅作为一种新兴的半导体材料,具有导热率高、宽禁带、高击穿电场、高电子迁移率等特性,使得其成为目前研发比较集中的半导体材料之一。因为这些性能,碳化硅可以广泛地应用于衬底、外延、器件设计、晶圆制造等多个领域。据中研普华产业研究院发布的报告显示,2023年中国碳化硅外延设备市场规模约为13.07亿元,预计到2026年将增至26.86亿元,由此可见其巨大的潜力市场。然而在实际应用过程中,碳化硅非常硬,莫氏硬度约为9.5,接近于金刚石,导致其在抛光研磨过程中存在一定的难点,给现有的加工技术带来了巨大的挑战。金属摩擦诱导反应磨削技术金属摩擦诱导反应磨削技术主要是以金属摩擦诱导化学作用为原理,在反应变质层的不断生成及去除的循环过程中,实现碳化硅的高速去除。碳化硅虽然莫氏硬度非常高,但它不适用于加工黑色金属,因为碳化硅会在高温下分解,碳原子和硅原子会扩散到金属中形成金属硅化物和不稳定的金属碳化物,在冷却过程时逐步进行分解,造成磨损极其严重。根据这一特点,人们推断纯金属可以与碳化硅在一定条件下发生化学反应。在实验过程中,碳化硅衬底的碳面往往有着近乎无损伤的表面,而硅面存在大量裂纹、位错、层错和晶格畸变等晶体缺陷。用铁摩擦碳化硅衬底的碳面材料去除率可达330µ m/h。用纯镍摩擦碳化硅衬底的硅面材料去除率为534µ m/h。目前这一方法的相关研究较少,主要聚焦在小尺寸的碳化硅加工上,但它在碳化硅衬底磨抛和碳化硅芯片减薄加工中具有巨大的潜力。溶胶凝胶抛光技术溶胶凝胶抛光技术是一种绿色、高效的抛光方法,通过使用半固结磨料和柔性基材,借助软质基体所拥有的柔性特点,实现了磨粒的“容没”效应,以在极硬半导体衬底上实现超光滑和低缺陷密度的表面。这种方法结合了化学和机械作用,可以在不造成严重表面或亚表面损伤的情况下,有效的抛光极硬半导体衬底。与传统CMP相比,溶胶凝胶抛光技术能够在短时间内显著降低表面粗糙度,并实现较高的材料去除率;软质基体由于具有较好的柔韧性,可以在较低的抛光压力下工作,减少对工件和设备的压力需求,减少磨粒的磨损和脱落,延长磨粒的使用寿命。前驱体物质(通常是金属有机化合物)转化为溶胶,通过水解和缩合反应形成凝胶,在溶胶-凝胶抛光垫中,磨粒被部分固定在凝胶基质中,这样可以在保持磨粒活动性的同时,提供一定的机械强度。国内学者利用这一技术对HTHP单晶金刚石(111)面进行加工,抛光22h后,表面粗糙度从230nm降至1.3nm。磨粒划擦诱导碳化硅水反应的磨抛技术磨粒划擦诱导碳化硅水反应的磨抛技术是一种先进的材料加工技术,主要应用于碳化硅等硬脆材料的精密加工。这项技术利用磨粒在加工过程中对碳化硅表面产生的划擦作用,结合水反应来改善材料的去除效率和表面质量。通过控制磨粒的容没效应,使得磨粒保持在同一高度上,通过磨粒划擦诱导碳化硅表面生成非晶碳化硅,非晶碳化硅与水可以反应生成软质二氧化硅,再通过磨粒划擦去除二氧化硅的变质层。在纳米尺度中,碳化硅衬底表面在金刚石等压头的反复机械作用下会被诱导成非晶化的碳化硅。非晶化的碳化硅和水反应生成二氧化硅的影响因素包括载荷、接触状态、速度和温度,通过对这一过程的合理利用,可以使碳化硅衬底的加工效率、表面质量得到显著的提升,可以合理避免裂纹的产生。当前以CMP为代表的化学反应研磨抛光技术是加工碳化硅衬底的重要手段,但加工效率非常低,材料去除率只能达到0.5µ m/h左右,而金属摩擦诱导反应磨削技术可以达到300-500µ m/h。目前有关于这部分的研究还较少,在后续表面的处理、材料的选用等还有待进一步的优化,相信在未来,以机械诱导为主的反应磨抛技术可以给我们带来更多的惊喜!
  • 红点新桂再创佳绩 Biolin光学接触角测量仪获2019优秀新品奖
    p style="text-align: justify text-indent: 2em "2020年5月20日,由仪器信息网主办,“科学仪器优秀新品”评审委员会、“新品首发”栏目承办的科学仪器“优秀新品奖”在线发布盛典盛大召开,首次云端揭晓了a href="https://www.instrument.com.cn/zt/XP2019" target="_self" style="color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 176, 240) "2019年度科学仪器“优秀新品奖”获奖名单/span/a,22台仪器获此殊荣。大昌华嘉科学仪器部独家代理的Biolin光学接触角测量仪(水滴角测量仪)ThetaFlex荣获大奖。中航工业失效分析中心/北京航空材料研究院副主任刘昌奎公布了获奖结果。/pscript src="https://p.bokecc.com/player?vid=FB080171B504F7B59C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/scriptp style="text-align: center text-indent: 0em "strong获奖仪器专家点评及厂商代表感言/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Biolin光学接触角测量仪(水滴角测量仪)ThetaFlex是2020年国际红点产品设计大奖最佳设计奖得主之一。仪器全自动化程度高,测量速度快,重复性好。具有独特的3D形貌模块,可以测量粗糙度对润湿性的影响。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 200px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202005/uepic/88d183b3-a80a-4bda-9ba0-e5115ea403bd.jpg" title="微信图片_20200512163131.png" alt="微信图片_20200512163131.png" width="300" height="200" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C253967.htm" target="_self" style="text-decoration: underline "strongBiolin光学接触角测量仪(水滴角测量仪)ThetaFlex/strongstrong/strong/a/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong“科学仪器优秀新品”评审委员会创新点评/strong/span:Theta Flex软件具有独特的自动液体纯度检测功能,防止使用错误液体或不纯净液体影响实验结果,该功能很具有竞争力。可以记录液滴图像并且自动分析液滴的形状,对固液界面的研究非常有有意。虽然接触角测量仪是个小众产品,但该仪器在性能等各方面有很大的优越性,针对某些特定的应用领域有较大的促进作用。/p
  • 长电科技:车规级功率器件产线“跑出加速度”
    目前,长电科技在上海临港加速建设公司首座大规模生产车规级芯片成品的先进封装基地,以服务国内外汽车电子领域客户和行业合作伙伴。该项目作为专业的汽车芯片封测工厂,将配备高度自动化的汽车芯片专用生产线,并建立完善的车规级业务流程。其目标是全面打造车规级芯片智能制造和精益制造的灯塔工厂,并以零缺陷为目标,为客户提供稳健的生产过程控制和完备的质量检验流程,以满足车规芯片制造的严苛要求。与此同时,长电科技在江阴搭建车规级封装中试线,强化与客户的合作,帮助客户提前锁定未来临港汽车芯片先进封装基地的产能。中试线于2023年底设备陆续进场,2024年第一季度成功通线,并率先推出两款碳化硅(SiC)塑封模块样品,主要以单面散热外形封装为主,满足客户双芯片和多芯片并联方案。其中一款单面散热模块采用双面银烧结与铜线键合工艺,实现多颗SiC芯片并联,持续工作结温达175℃,在800V电池系统中输出电流有效值高达700Arms。另一款小型化封装模块,在原有压力银烧结工艺的基础上,探索新型创新烧结工艺,不仅解决了外溢和裂纹风险,而且使生产效率得到显著提升。以上两款SiC封装器件是应对新能源汽车主牵引驱动器的高功率密度、高可靠性等需求研发的重要产品,涵盖750V/1200V耐压等级,可应对纯电及混动应用场景下的不同需求挑战。作为封测行业的领军企业,长电科技以创新研发为动力,以应用为驱动,以可靠性为核心,与国内外重要客户形成联合开发模式,在模块设计、模块制造和单管封装等方面形成核心能力。公司从封装协同设计、仿真、封装可靠性验证、材料及高压、高频、高功率测试方面给予客户高效技术支持服务,并且持续与相关产品头部企业合作开发新的解决方案并实现量产落地。未来,长电科技将持续为客户提供高品质、高效率、低成本的解决方案,助力客户在新能源汽车领域取得更大的成功。
  • 百特参加全国二氧化硅技术交流会,助力产业转型再发展
    二氧化硅材料领域正处于产业转型的快速发展期,这个传统支柱行业,如今仍在峥嵘发展、求新求变。新兴领域的快速增长,创新产品的出现,不断引领市场风潮,各领域的企业及专家学者们通过对传统技术优化、传统应用升级,以及新技术、新应用的创新突破,推动着二氧化硅产业迸发出新的生命力。7月9-10日,丹东百特参加了由粉体圈在湖南长沙举办的“2021年全国二氧化硅材料技术创新与高端应用交流会”。在本次会议中,丹东百特产品总监宁辉博士做了《光散射技术在氧化硅材料表征中的应用》的报告。宁博士在报告中分别介绍了针对不同颗粒大小和理化指标的几种常用检测方法,及相应的技术原理、检测特点和适用情况,着重讲解了zeta电位对悬浮液体系的影响和用电泳光散射法检测zeta电位的检测原理。宁博士专业的报告赢得现场阵阵热烈的掌声。在仪器展示区,丹东百特展出了Bettersize2600激光粒度分布仪和BeNano 90 Zeta纳米粒度及Zeta电位分析仪。Bettesize2600激光粒度分布仪采用正反傅里叶技术,量程达到0.02-2600μm,高精度的数据采集与处理系统使测试结果达到同类进口仪器水平,它还具有一键式SOP智能化操作,十分钟就可以学会操作流程。BeNano 90 Zeta是丹东百特历时多年研究,凝聚校企科研力量,全新打造的新一代纳米粒度及Zeta电位分析仪。它集成了动态光散射、静态光散射和电泳光散射三种技术于一体,既能测量颗粒的粒度和Zeta电位,又能测量聚合物的分子量。作为表征纳米颗粒的高端光学测量仪器,BeNano 90 Zeta在药物及药物释放体系、生命科学和生物制药、油漆油墨和涂料、食品和饮料、纳米材料以及学术领域中有广泛的用途,其应用范围涵盖多肽、抗原、抗体、脂质体、水凝胶、微乳液、乳液、高分子溶液、蛋白质样品、纳米金属/非金属颗粒等等。综合各方表现,BeNano 90 Zeta可以堪称是一款“精确,智能,值得信赖”的全新纳米粒度及Zeta电位分析仪。经过26年持续创新和诚信经营,丹东百特发展成为业界知名的粒度粒形仪器和技术提供商。百特稳扎稳打,砥砺前行,凭借高端的品质和完善的服务在粒度测试仪器行业深耕细作。截止2020年,百特仪器的国内外市场保有量超过20000台,是世界粒度粒形仪器市场保有量最多的品牌之一,并斩获各种国内外专业级认证,其中包含71项专利,21项软件著作权,ISO9001,CE和FDA 21 CFR Par11等等。未来百特将继续为新老客户提供更加优质的产品和服务,为实现“打造精品仪器,争创国际品牌”的目标奋发前行。
  • 国内碳化硅半导体领域科研专家盘点
    第三代半导体材料又被称之为宽禁带半导体材料。主要包括碳化硅(SiC)、氮化嫁(GaN)、金刚石等。目前其主要在半导体照明、激光器和探测器、电力电子器件等领域应用。相比于第一、二代半导体材料,第三代半导体材料的物理特性方面优势十分明显,比如禁带宽度大、较高的热导率、较高的击穿电场以及更高的抗辐射能力等等,正是因为上述这些优势,第三代半导体材料是制作高频、高温、抗辐射及大功率器件的优异材料。而碳化硅作为第三代半导体家族的重要一员,其具有高热导率、高击穿场、高饱和电子迁移率、抗辐射和化学性质稳定等突出优点。而碳化硅器件具有开关频率高、功率密度高、损耗低、尺寸小等优点,可以在高功率、高频以及极端特殊环境下应用,例如在清洁能源汽车、车载充电器、城市轨道交通、城市输电等领域己经得到应用,并显示出优异的性能。同时碳化硅与氮化镓具有相近的晶格常数与热膨胀系数,是GaN薄膜异质外延生长的理想衬底材料,可以在半绝缘的SiC衬底上外延GaN薄膜制备一系列的微波射频器件,其研发生产将会推动5G技术的快速发展与应用。由于碳化硅广阔的市场前景,各国自上世纪八十年代以来便制订了一系列相关的科研计划并不断加大相关领域的研发投入。我国虽然碳化硅领域的相关研究起步较晚,但经过我国科研工作者二十多年的研究,相关工作也己取得突破性的进展。一系列重大项目的快速推进,如科技部863计划2002年启动的“碳化硅单晶衬底制备”项目、2006年启动的“2英寸以上半绝缘碳化硅材料与功率电子器件”项目、2011年启动的“高压大容量碳化硅功率器件的研发”项目等,使得国内碳化硅行业快速发展,在我国军事、航天、通讯等各领域得到应用。针对于此,仪器信息网分析和统计了2018-2020年,三年来的碳化硅相关的学位论文,共计232篇。碳化硅不仅可用于第三代半导体领域,盘点论文已剔除非半导体领域的研究,论文的研究方向覆盖了碳化硅材料制备、工艺开发、器件研究、应用分析等方面。学位论文数量排行图中给出的是学位论文三年间发表数量前九名,可以看出,电子科技大学在碳化硅领域多有建树。具体论文内容来看,电子科技大学的研究主要集中于MOSFET驱动电路、器件设计等方面。哈尔滨工业大学的研究方向主要是碳化硅的具体应用和抛光工艺。从近三年可以看出,2020年明显论文数量下降,而2019年还有所上升。这一结果并不能表明碳化硅半导体材料的研究热度变化,这可能是由于2020年发表的部分论文签署了论文保密协议,存在论文披露的滞后性。进一步,我们统计盘点了各高校的论文指导教师名单,需要注意的是,部分论文存在校外指导。(以下排名不分先后)学校论文指导教师安徽工业大学周郁明北方工业大学曹淑琴、韩军北京交通大学郑琼林、杨中平、林飞、李艳、郭希铮大连理工大学夏晓川、梁红伟、张建伟、杜国同、王德君、唐大伟、电子科技大学赵建明、何金泽、荣丽梅、张小川、周泽坤、邓小川、张有润、张金平、罗小蓉、杜江锋、徐红兵、钟其水、王雷、毕闯、李辉、东南大学孙立涛、徐涛、顾伟、孙伟锋、陆生礼、陈健、王继刚、广东工业大学阎秋生广西大学万玲玉贵州大学高廷红桂林电子科技大学李琦哈尔滨工程大学王颖哈尔滨工业大学周密愉、董尚利、杨剑群、翟文杰、杨明、郭亮、贲洪奇、高强、王晨曦、徐永向、张东来、李春、张国强、王高林杭州电子科技大学王颖、刘广海、合肥工业大学徐卫兵河北工业大学张保国、李尔平、湖北工业大学潘健湖南大学王俊、熊劼、陈鼎、高凤梅、姜燕、雷雄、沈征、帅智康华北电力大学崔翔、赵志斌、温家良、赵志斌、魏晓光、韩民晓、蒋栋、欧阳晓平华南理工大学姚小虎、Timothy C. Germann、耿魁伟、陈义强、华侨大学于怡青、胡中伟、段念、黄辉、郭新华、陈一逢、华中科技大学傅华华、梁琳、林磊、康勇、彭力、淮北师范大学刘忠良吉林大学吴文征、邢飞、赵宏伟、陈巍、呼咏、吉野辰萌、张文璋、赵继、李志来江南大学倪自丰江苏大学乔冠军昆明理工大学彭劲松、陈贵升、兰州大学张利民兰州交通大学汪再兴、杜丽霞、白云兰州理工大学卢学峰南方科技大学邓辉南京大学陆海、吴兴龙南京航空航天大学魏佳丹、秦海鸿、邢岩南京理工大学董健年青岛科技大学于飞三峡大学孙宜华、姜礼华、厦门大学孙道恒、王凌云山东大学马瑾、葛培琪、徐现刚、彭燕、李康、高峰、陈延湖、白云、王军上海电机学院赵朝会、杨馄、上海师范大学陈之战深圳大学彭建春沈阳工业大学何艳、关艳霞、苏州大学陶雪慧、太原理工大学杨毅彪天津大学徐宗伟、李连钢、天津工业大学宁平凡、孙连根、于莉媛、高志刚、张牧、高圣伟、黄刚、牛萍娟天津理工大学王桂莲武汉工程大学满卫东武汉科技大学柯昌明武汉理工大学涂溶、章嵩西安电子科技大学贾仁需、乐立鹏、王悦湖、汤晓燕、张玉明、戴显英、倪炜江、张艺蒙、宗艳民、张金平、郭辉、黄维、段宝兴、西安工程大学朱长军、李连碧、杨楞、张红卫、西安理工大学蒲红斌西华大学阳小明、吴小涛西南交通大学张湘湘潭大学李建成冶金自动化研究设计院王东文、陈雪松、云南大学陈秀华长安大学张林长春理工大学魏志鹏长沙理工大学谢海情、吴丽娟浙江大学祝长生、盛况、吴新科、郭清、邱建琪、何湘宁、吴建德、赵荣祥、李武华、徐德鸿郑州大学张锐郑州航空工业管理学院张锐、刘永奇中北大学梁庭中国科学技术大学刘长松、李辉、张军、李震宇、李传锋、许金时中国科学院大学陈小龙、施尔畏、黄维、夏晓彬、高大庆中国空间技术研究院于庆奎中国矿业大学伍小杰、戴鹏中国运载火箭技术研究院朱大宾重庆大学胡盛东、周林、周建林
  • 全国量具量仪标准化委员会第七次会议召开
    近日,全国量具量仪标准化委员会第七次会议在广西自治区桂林市召开。由河南省计量院长度所黄玉珠、贾晓杰等起草的《水平仪检定器》、《水平仪零位检定器》和《方箱》三项行业标准顺利通过全国量具量仪标准化委员会审查。   水平仪检定器是用于测量小角度的精密仪器,具有准确度高、稳定性好、数据直观、操作方便等特点,逐渐被广大客户认同和使用,但目前国内尚无标准可循。该三项标准制定了科学合理的技术要求和检验方法,为产品的生产、销售、使用提供了科学依据,对规范产品市场竞争,产业结构优化,推动行业发展具有重要意义。  国量具量仪标准化技术委员会SAC/TC132(以下简称:全国量标委)是由国家标准化管理委员会委托中国机械工业联合会领导,国家标准化管理委员会颁发印章,在量具、量仪、数显装置专业领域内,从事全国标准化工作的技术工作组织,负责全国量具、量仪、数显装置专业技术领域的标准化的技术归口工作。
  • 天域半导体“碳化硅外延片的生长工艺”专利公布
    天眼查显示,广东天域半导体股份有限公司“碳化硅外延片的生长工艺”专利公布,申请公布日为2024年6月28日,申请公布号为CN118256991A。背景技术碳化硅半导体具有优良的稳定性、高热导率、高临界击穿场强、高饱和电子漂移速度等优良特性,是制作高温、高频、大功率和强辐射电力电子器件的理想半导体材料。与传统的硅器件相比,碳化硅器件能够在10倍于硅器件的电场强度下正常工作。用于制作碳化硅器件的碳化硅材料通常是在碳化硅衬底上生长碳化硅外延片。目前的碳化硅外延片,尤其是8英尺的碳化硅衬底,其晶体缺陷密度高,碳化硅衬底的长晶技术并不成熟,尤其是一些TSD、BPD、SF等缺陷会贯穿上来,所以需要有非常高的外延生长技术将其在外延层初期抑制住。而目前外延生长技术较为单一,主要为单一外延生长技术沉积,当前比较普遍的是采用化学气相沉积(CVD)生长外延片。现有化学气相沉积(CVD)外延生长是在碳化硅衬底上生长一层SiC外延层,以高纯H2作为输运和还原气体、TCS和C2H4为生长源(即为H2+SiH4+C2H4)、N2作为N型外延层的掺杂源、Ar作为保护气体。其工艺的主要生长环境要求1500℃以上高温,反应室内气压低于1×10-6mbar,并且水平式单片生长因其均匀性问题需要气悬浮基座旋转。于碳化硅衬底上直接采用化学气相沉积外延无法生长出高质量的、组分和杂质浓度更精确控制的单晶薄膜,并且会有残余气体对碳化硅薄膜有污染,导致衬底贯穿上来的晶体缺陷无法有效抑制,并且生长速率偏向快速,无法更精准的控制薄膜沉积。由上可知,目前的化学气相沉积外延层仍然存在各种缺陷,其会对碳化硅器件特性造成影响,所以针对碳化硅的外延生长工艺需要进行不断的优化。发明内容本发明提供了一种碳化硅外延片的生长工艺。此碳化硅外延片的生长工艺包括依次的如下步骤:(I)将碳化硅衬底进行前处理;(II)采用分子束外延设备于所述碳化硅衬底上形成第一碳化硅缓冲层;(III)置于化学气相沉积设备的外延炉中,先于1000~1400℃下进行热处理,再升高温度进行气相沉积以于所述第一碳化硅缓冲层上形成第二碳化硅缓冲层;(IV)于所述第二碳化硅缓冲层上外延生长出预定厚度的外延层。本发明的碳化硅外延片的生长工艺可消除反应产物污染,在衬底与外延层间做好贯穿晶体缺陷的转化,可完美的隔离外延缺陷。
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