激光对准仪

产品介绍LJT120激光轴对准测试系统用与激光测距机的发射端和接收端及瞄准通道（瞄准镜、热像仪、VIS-NIR相机）的轴对准。LJT测试系统支持所有类型激光测距机（单脉冲/多脉冲、不同波长）的轴对准测试以及不同的应用（科研/生产线/快速检测/**终质量检测/维修等），LJT测试系统针对激光测距机的轴对准方向进行了优化设计。LJT120测试系统的功能包括：1.激光测距机发射端与光学瞄准镜直接的轴对准偏差；2.激光测距机发射端与热像仪之间的轴对准偏差；3.激光测距机发射端与电视相机之间的轴对准偏差；4.激光测距机发射端与接收端的轴对准偏差；5.激光测距机的发散角；6.激光测距机的接收端的视场角。产品参数被测激光测距机范围参数范围被测激光测距机类型单脉冲/多脉冲，双通/共轴，内部或外部带指示通道的波长905/910nm，1064nm，1540nm，1550nm，1570nm（其他波长可选）被测LRF发射/接收通道**大口径70mm被测LRF与其他通道（热像仪、可见光相机等）**大距离80mm设备重量：45kg（主模块+平台）+ 3kg组件 + PC设备尺寸：（主模块+平台）(H x L x W) 650 mm x 1600 mm x 300 mm

本系列其它产品型号 共4条 名称型号货号 描述AlignMeter LA 大光束光学激光准直仪 350-1100nmAlignMeter-LAE80100203光子探测器：Si PSD；可测光斑范围：22.5x22.5mm； 运行温度：0℃-35℃；波长：350-1100nm； 位置分辨率：≤±2um；位置精确度：±50um； 角度测量范围：±2°；角度分辨率：±1sec； 功率范围：100uW-5mW无衰减片)；功率精确度：±5%； 接口：USB2.0AlignMeter USB 激光指向稳定测量仪 350-1100nm (透镜焦距50mm PSD大小9x9mm)ALIGN-USB-50-9x9E80100205波长：350-1100nm；PSD大小：9x9mm；透镜焦距：50mm；位置分辨率：≥0.1um；位置精确度：±15um；角度测量范围：180mRad；角度分辨率：0.02mRad； 角度精确度：0.5mRad；重量：140GrAlignMeter USB 激光指向稳定测量仪 350-1100nm (透镜焦距100mm PSD大小9x9mm)ALIGN-USB-100-9x9E80100206波长：350-1100nm；PSD大小：9x9mm；透镜焦距：100mm；位置分辨率：≥0.1um；位置精确度：±15um；角度测量范围：80mRad；角度分辨率：0.01mRad； 角度精确度：0.25mRad；重量：180GrAlignMeter USB 激光指向稳定测量仪 350-1100nm (透镜焦距200mm PSD大小4x4mmmm)ALIGN-USB-200E80100207位置PSD大小：4 x 4 mm； 可用光束尺寸范围：50 μm to 3 mm； 更新速率：Max. 150 Hz at 500 Hz digital filter； 光谱范围：350 - 1100 nm （在可见光400-700 nm处校准）； 位置测量范围：3.5 mm dia. circle max.； 功率范围：10 μW - 10 mW with filters； 功率精度：±5%；； 角度测量范围：17 mRad； 角度分辨率：0.005 mRad (50 Hz Filter) – 0.0003 degrees； 位置精度：±5 μm edge to edge；产品总览AlignMeter USB是同时测量位置和角度位移,该系统对光束的位置和角度位移以及功率显示进行实时测量,分辨率也可以降到0.1um。系统测量连续波光束,并提供便携、快速、准确的光束准直的解决方案。它是USB2.0设备,系统可以在笔记本电脑上运行，Windows 7操作系统(32和64位)。通过USB端口控制多种设备是可能的。数据交流通过TCP / IP通信协议或RS232。ActiveX软件集成到客户的应用程序上。一个完整的系统基于传感器头附有3米长电缆、带USB2.0连接线的电子箱、软件在磁盘上,手提箱。AlignMeter LA是大光束光学准直系统,该系统执行同步测量光轴性(µ m),角偏差(mRad)以及jue对的功率。系统测量连续波光束,并提供便携、快速、准确的光束准直的解决方案。可用的光束尺寸是22.5毫米,角测量范围±2°，分辨率±1秒。它是USB2.0设备,系统可以在笔记本电脑上运行，Windows 7操作系统(32和64位)。通过USB端口控制多种设备是可能的。数据交流通过TCP / IP通信协议或RS232。ActiveX软件集成到客户的应用程序上。一个完整的系统基于传感器头附有3米长电缆、带USB2.0连接线的电子箱、软件在磁盘上,手提箱AlignMeter Wireless 无线版 实时激光位置和角位移测量仪(对准/准直仪) 350-1100nm,AlignMeter Wireless 无线版 实时激光位置和角位移测量仪(对准/准直仪) 350-1100nm通用参数1、AlignMeter USB 型AlignMeter USB是同时测量位置和角度位移,该系统对光束的位置和角度位移以及功率显示进行实时测量,分辨率也可以降到0.1um。系统测量连续波光束,并提供便携、快速、准确的光束准直的解决方案。它是USB2.0设备,系统可以在笔记本电脑上运行，Windows 7操作系统(32和64位)。通过USB端口控制多种设备是可能的。数据交流通过TCP / IP通信协议或RS232。ActiveX软件集成到客户的应用程序上。一个完整的系统基于传感器头附有3米长电缆、带USB2.0连接线的电子箱、软件在磁盘上,手提箱。AlignMeter USB特点：■ 通用性：可测量光束位置（直径高达9mm）、角度（高达180mRad）和功率（无滤波片10uW-5mW）■ 精确度：低至0.1um分辨率@50Hz数字滤波器，位置测量：±15um和低至0.005um分辨率，角度测量：±0.125mRad■ 便捷性：USB2.0接口，探测器和软件在Notebook/Desktop WinXP/Vista/7/8均可工作■ 友好的软件操作，具有完整的联机帮助程序 AlignMeter USB 50mm焦距版本PSD大小9 x 9 mm4 x 4 mm可用光束尺寸范围 50 μm to 8 mm 50 μm to 3 mm更新速率Max. 150 Hz ,在500 Hz数字滤波器时 (Max. 150 Hz at 500 Hz digital filter)Max. 150 Hz at 500 Hz digital filter光谱范围350 - 1100 nm350 - 1100 nm位置测量范围 8 mm dia. circle max. 3 mm dia. circle max.功率范围10μW-10 mW，带滤波器10μW-10 mW，带滤波器功率精度（*）±5%±5%角度测量范围 180 mRad 90 mRad角度分辨率0.02 mRad (50 Hz 滤波器)0.01 mRad (50 Hz Filter) AlignMeter USB 100mm焦距版本PSD大小9 x 9 mm4 x 4 mm可用光束尺寸范围 50 μm to 8 mm 50 μm to 3 mm更新速率Max. 150 Hz at 500 Hz digital filterMax. 150 Hz at 500 Hz digital filter光谱范围350 - 1100 nm350 - 1100 nm位置测量范围 8 mm dia. circle max. 3 mm dia. circle max.功率范围10 μW - 10 mW with filters10 μW - 10 mW with filters功率精度（*）±5%±5%角度测量范围 80 mRad 40 mRad角度分辨率0.01 mRad (50 Hz Filter)0.006 mRad (50 Hz Filter) AlignMeter USB 200mm焦距版本位置PSD大小4 x 4 mm可用光束尺寸范围50 μm to 3 mm更新速率Max. 150 Hz at 500 Hz digital filter光谱范围350 - 1100 nm (calibrated at visible 400-700 nm)位置测量范围3.5 mm dia. circle max.功率范围10 μW - 10 mW with filters功率精度（*）±5%角度测量范围17 mRad角度分辨率0.005 mRad (50 Hz Filter) – 0.0003 degrees位置精度±5 μm edge to edge, ±1 μm for small movements版本对比型号波长透镜焦距位置分辨率位置精确度角度测量范围角度分辨率角度精确度重量AlignMeter 50350-1100nm50mm≥0.1um±15um180mRad0.02mRad0.5mRad140GrAlignMeter 100100mm≥0.1um±15um80mRad0.01mRad0.25mRad180Gr注:完整的系统，包括一个歧管箱、USB2.0电缆、测量头、CD/DVD驱动器上的软件和用户手册、手提箱。可选配件ALIGN-FLT-NG4:NG4过滤器在外壳中ALIGN-FLT-NG9:NG9过滤器在外壳中ALIGN-FLT-NG10:NG10过滤器在外壳中ALIGN-HOOD:55mm长，用于环境光抑制2、AlignMeter LA 型AlignMeter LA是大光束光学准直系统,该系统执行同步测量光轴性(µ m),角偏差(mRad)以及jue对的功率。系统测量连续波光束,并提供便携、快速、准确的光束准直的解决方案。可用的光束尺寸是22.5毫米,角测量范围±2°，分辨率±1秒。它是USB2.0设备,系统可以在笔记本电脑上运行，Windows 7操作系统(32和64位)。通过USB端口控制多种设备是可能的。数据交流通过TCP / IP通信协议或RS232。ActiveX软件集成到客户的应用程序上。一个完整的系统基于传感器头附有3米长电缆、带USB2.0连接线的电子箱、软件在磁盘上,手提箱产品特点：■ 既可测光束椭圆度、角度漂移，又可测功率■ 只适用于连续光束测量■ USB可控多台仪器■ TCP/IP通信协议和远程控制■ ActiveX软件集成在客户的应用程序中参 数数 值光子探测器Si PSD可测光斑范围22.5x22.5mm运行温度0℃-35℃波长350-1100nm位置分辨率≤±2um位置精确度±50um角度测量范围±2°角度分辨率±1sec功率范围100uW-5mW无衰减片)功率精确度±5%接口USB2.03,AlignMeter Wireless（无线版本）测试实时激光位置和角位移AlignMeter Wireless（无线版本）产品特点：分析入射激光束进入其孔径的角度方向（θxθy）和位置方向-多功能-使用PSD探测器技术测量功率和角度入射方向-精确：分辨率低至0.1µ m和50 Hz数字滤波器，分辨率低至0.005 mRad。-焦距：100 mm-无线（蓝牙5.0）AlignMeter Wireless（无线版本）产品参数：PSD尺寸9*9mm光束直径范围50um-8mm更新频率100Hz(Max)at300Hz digital filter光谱范围350-1100nm（在可见光400-700nm处进行校准）位置测量范围9*9mm位置分辨率＞1um功率范围100uW-10mW(With filters)能量精度±5%角度测量范围80mRad角度分辨率0.001mRad(50Hz Filter)软件安装包适用于 Windows 的完整软件包，包括用于定制应用程序的 DLL。AlignMeter Wireless（无线版本）订购信息：完整的系统，包括测量头、软件和CD/DVD驱动器上的用户手册、充电电缆和手提箱。在性能和软件方面与USB版本相似。ALIGN-WL-100-9x9:焦距f=100mm的测量头可以在不充电的情况下运行长达8小时 AlignMeter Wireless（无线版本）可选附件：ADPT-WL： 用于铰接臂的安装适配器ALIGN-FLT-NG4： 带外壳的 NG4 过滤器ALIGN-FLT-NG9: 带外壳的 NG9 过滤器ALIGN-FLT-NG10: 带外壳的 NG10 过滤器ALIGN-HOOD: 55 mm长，用于抑制环境光USB50 ,100, 200的尺寸LA尺寸AlignMeter Wireless 无线版本尺寸 mm公司简介筱晓(上海)光子技术有限公司成立于2014年,是一家被上海市评为高新技术企业和拥有上海市专精特新企业称号的专业光学服务公司，业务涵盖设备代理以及项目合作研发，公司位于大虹桥商务板块，拥有接近2000m² 的办公区域，建有500平先进的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室，为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。十年来,依托专业、强大的技术支持，以及良好的商务支持团队，筱晓的业务范围正在逐年增长。目前业务覆盖国内外各著名高校、顶级科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室，奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。主要经营激光器/光源半导体激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子级联激光器、FP激光器、VCSEL激光器）气体激光器（HENE激光器、氩离子激光器、氦镉激光器）光纤激光器（连续激光器、超短脉冲激光器）光学元件光纤光栅滤波器、光纤放大器、光学晶体、光纤隔离器/环形器、脉冲驱动板、光纤耦合器、气体吸收池、光纤准直器、光接收组件、激光控制驱动器等各种无源器件激光分析设备高精度光谱分析仪、自相关仪、偏振分析仪，激光波长计、红外相机、光束质量分析仪、红外观察镜等光纤处理设备光纤拉锥机、裸光纤研磨机 。

产品介绍：JT400轴对准测试系统外观图Inframet设计生产的用于测试多传感器监控系统的MS系列测试系统不仅支持这些监控系统的扩展性测试，也支持轴对准测试。然而，MS系列测试系统是相对昂贵高端的测试系统。JT多传感器轴对准测试系统是相对经济的系统，用于**的轴对准测试以及光电多传感器监控系统的基本参数测试。测试功能：1.不同视场的热像仪的轴对准；2.不同镜头焦距的可见光-近红外相机的轴对准；3.可见光-近红外相机与热像仪之间的轴对准；4.激光测距机与可见光-近红外相机之间的轴对准；5. 激光测距机与热像仪之间的轴对准；6.激光指示器与可见光/近红外相机以及热像仪之间的轴对准；7.可见光/近红外相机的分辨率/灵敏度；8.热像仪的分辨率；9.激光测距机的发散角；10.参考光轴与参考机械轴(平面)的对准误差。可选： 1. 可见光/近红外相机与短波红外相机之间的轴对准； 2. 热像仪与短波红外相机之间的轴对准； 3. 短波红外相机的分辨率/灵敏度。产品参数表1. JT系列系统的版本基于平行光管口径口径编码平行光管有效输出口径（mm）平行光管内死区 (mm)尺寸JT15015046270x340x740 mmJT20020051320x410x980 mmJT25025056350x440x1150mmJT30030070450x520x1450mmJT40040081550x620x1850mmJT50050096650x 720x2300 mmJT600600125750x820x2750mmJT-EX可选600以上//表2. JT测试系统版本编码计算机化控制/轴对准/测试功能模块X1非计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等） 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标 X2非计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等）以及单脉冲激光测距机 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器X3X2+多脉冲激光测距机与激光指示器可以被校准，增加了ABS卡，LIC卡以及两个ILU卡。CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，ABS卡，LIC卡以及两套ILU卡Y1计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等）与单脉冲激光测距机 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试 粗略测试激光测距机的发散角CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，图像采集卡，计算机，BOR软件Y2Y1+多脉冲激光测距机与激光指示器 CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，图像采集卡，计算机，BOR软件，ABS卡，LIC卡以及两套ILU卡Y3Y2+ JT光轴可垂直于被测系统固定平台的基准机械面 Y2+带自准直功能的CJT平行光管、及BRL相机Y4Y3+激光测距机的发散角测试功能Y3+SR10相机以及升级BOR软件Y5Y4+激光接收器轴对准功能Y4+BRES接收器对准模块和CBRES控制程序附加选项：1. JT工作站的任何版本都可以在所选版本中添加字母S，扩展到SWIR成像仪的测试。2. Inframet可以在所选版本中添加Borex，提供特殊的Borex平台来固定被测成像仪，以支持光电系统的专业对准。

图1. JAT 200轴对准测试系统外观图JAT移动式多传感器轴对准测试系统可以作为一个特殊可的移动轴对准系统，适用于在外场环境下测试不同光学传感器尺寸的多传感器光电系统。JAT测试系统是一套简单的，轻量化的测试系统，用于机载多传感器光电系统的轴对准以及基础测试，JAT测试系统的操作非常简便，图像投影系统/激光接收器模块均位于一个可移动的平台上。这些功能使得JAT测试系统是多传感器光电系统的维修或者执行重要命令之前的检测到的选择。JAT测试系统设计于支持机载光电系统的轴对准/基础测试，我们也可以提供升级的JAT测试系统用于测试陆地或者海洋环境下的多传感器监控系统。测试功能： 1. 不同视场的热像仪的轴对准； 2. 不同焦距镜头的电视相机/微光相机的轴对准； 3. 电视相机/微光相机与热像仪的轴对准； 4. 电视相机/微光相机与短波红外相机的轴对准； 5. 热像仪与短波红外相机的轴对准； 6. 单脉冲激光测距机与电视相机/微光相机的轴对准； 7. 多脉冲激光测距机与热像仪的轴对准； 8. 多脉冲激光测距机与电视相机（可见光通道）的轴对准； 9. 激光指示器与电视相机的轴对准； 10. 电视相机/微光相机的聚焦与分辨率/灵敏度测试； 11. 热像仪的聚焦与分辨率测试； 12. 短波红外相机的聚焦与分辨率/灵敏度测试。产品参数JT200轴对准系统技术参数编码参数数值1系统适用类型轴对准及多传感器的基础测试（热像仪，电视相机/微光相机/短波红外相机，激光测距机，激光指示器）2模块JT200测试模块，电池，TROL移动式推车，JT200测试系统包装箱，AC220V/DC电源3光学输出高度调节范围300mm到700mm4系统平行光管口径200mm（带孔可适配传感器孔径）5轴对准精度50μrad6平行光管分辨率不低于150lp/mrad7测试热像仪的投影口径不低于70mm8测试CCD相机的投影口径不低于60mm9测试激光测距机发射机的接收口径不低于40mm10红外靶标参数1. 方形靶标 2. 角尺寸：9mrad 3. 分辨率图形类型：一组3个三杆靶标（空间频率:5lp/mrad，10lp/mrad，15lp/mrad） 4. 轴对准图形：0.4mrad大小方形11可见光靶标参数1. 方形靶标 2. 角尺寸：3mrad 3. 分辨率图形类型：一组3个三杆靶标（空间频率: 10 lp/mrad-30lp/mrad） 4. 靶标对比度：30**12激光靶标参数1. 方形靶标 2. 角尺寸：9mrad 3. 用于转换入射激光辐射为热辐射 4. 用于转换入射激光辐射为可见辐射13尺寸（包含移动式推车）≤1250x 310x300mm14重量≤16 kg15手推车尺寸≤720x500x350 mm16手推车重量≤13kg17操作温度-25℃到+55℃18存储温度-20℃到+71℃19湿度可到96**，无冷凝

JIMS800轴对准测试系统JIMS测试系统作为JT测试系统的特殊版本，适用于测试光学口径超过1000mm的光电系统。是一套对于水平方向布局的光电系统测试理想的解决方案。由于CEB模块产生的内部对准误差较小， JIMS测试系统的测试精度（0.2mrad）会比JT测试系统（低于0.1mrad）略差。JIMS可以看作JT400系统带有CEB平行光管折镜的附加模块，可以在某方向（通常是水平方向）将平行光管孔径增加到1000毫米。对于成像/激光传感器位于大型水平平台上的超大型地球观测监视系统，JIMS是一个理想且经济的轴对准测试解决方案。产品参数表1 基于**大距离的JIMS系统型号产品型号被测光电系统两传感器**距离JIMS600600mmJIMS700700mmJIMS800800mmJIMS900900mmJIMS10001000mm表2 JIMS测试系统版本编码计算机化控制/轴对准/测试功能模块X1非计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等） 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试CJT400平行光管，VIR-A光源，CVIR-A控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，CEB扩展器 X2非计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等）以及单脉冲激光测距机 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试CJT400平行光管，VIR-A光源，CVIR-A控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，CEB扩展器 X3X2+多脉冲激光测距机与激光指示器可以被校准，增加了ABS卡，LIC卡以及两个ILU卡。CJT400平行光管，VIR-A光源，CVIR-A控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，ABS卡，LIC卡以及两套ILU卡，CEB扩展器Y1计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等）与单脉冲激光测距机 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试 粗略测试激光测距机的发散角CJT400平行光管，VIR-A光源，CVIR-A控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，图像采集卡，计算机，BOR软件，CEB扩展器Y2Y1+多脉冲激光测距机与激光指示器轴对准 CJT400平行光管，VIR-A光源，CVIR-A控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，图像采集卡，计算机，BOR软件，ABS卡，LIC卡以及两套ILU卡，CEB扩展器Y3Y2+ JT系统的光轴可以垂直于被测系统所在的平台参考机械平面Y2+更新了自动准直CJT平行光管、及BRL相机Y4Y2+**测量被测激光测距机的发散角 CJT平行光管，VIR-A光源，CVIR-A控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，图像采集卡，计算机，BOR软件，ABS卡，LIC卡以及两套ILU卡，BRL相机，SR10相机，CEB扩展器

自21世纪以来，由半导体微电子技术引发的微纳米加工时代依赖于微纳米尺度的功能结构与器件，实现功能结构微纳米化的基础是微纳米加工技术。台式Maskaligner对准光刻机打破了市面上传统激光直写设备高昂价格壁垒，是现阶段市面上低价的高品质对准光刻机；无需预热长寿命冷LED光源，低散度和高均匀性，内置同轴全高清校准数字显微镜，高品质电子晶圆压力和间隙控制，基于测微计的XYR晶圆对准台，多个物镜头灵活切换使用。

产品介绍：JT400轴对准测试系统外观图Inframet设计生产的用于测试多传感器监控系统的MS系列测试系统不仅支持这些监控系统的扩展性测试，也支持轴对准测试。然而，MS系列测试系统是相对昂贵高端的测试系统。JT多传感器轴对准测试系统是相对经济的系统，用于**的轴对准测试以及光电多传感器监控系统的基本参数测试。测试功能：1.不同视场的热像仪的轴对准；2.不同镜头焦距的可见光-近红外相机的轴对准； 3.可见光-近红外相机与热像仪之间的轴对准；4.激光测距机与可见光-近红外相机之间的轴对准；5. 激光测距机与热像仪之间的轴对准；6.激光指示器与可见光/近红外相机以及热像仪之间的轴对准；7.可见光/近红外相机的分辨率/灵敏度；8.热像仪的分辨率；9.激光测距机的发散角；10.参考光轴与参考机械轴(平面)的对准误差。可选： 1. 可见光/近红外相机与短波红外相机之间的轴对准； 2. 热像仪与短波红外相机之间的轴对准； 3. 短波红外相机的分辨率/灵敏度。产品参数 表1. JT系列系统的版本基于平行光管口径口径编码平行光管有效输出口径（mm）平行光管内死区 (mm)尺寸JT15015046270x340x740 mmJT20020051320x410x980 mmJT25025056350x440x1150mmJT30030070450x520x1450mmJT40040081550x620x1850mmJT50050096650x 720x2300 mmJT600600125750x820x2750mmJT-EX可选600以上//表2. JT测试系统版本编码计算机化控制/轴对准/测试功能模块X1非计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等） 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标 X2非计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等）以及单脉冲激光测距机 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器X3X2+多脉冲激光测距机与激光指示器可以被校准，增加了ABS卡，LIC卡以及两个ILU卡。CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，ABS卡，LIC卡以及两套ILU卡Y1计算机化测试系统 典型的成像系统的轴对准（热像仪，电视相机，光学瞄准系统等）与单脉冲激光测距机 测试范围：可见光-近红外相机以及热像仪的分辨率测试 粗略测试激光测距机的发散角CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，图像采集卡，计算机，BOR软件Y2Y1+多脉冲激光测距机与激光指示器 CJT平行光管，DNSB双色源，CDNSB控制器，USAF1951靶标，IR-USAF1951靶标，多图形靶标，一组MON卡，一组TEG卡，一组TEP卡，一组OA衰减器，AH1适配器，图像采集卡，计算机，BOR软件，ABS卡，LIC卡以及两套ILU卡Y3Y2+ JT光轴可垂直于被测系统固定平台的基准机械面 Y2+带自准直功能的CJT平行光管、及BRL相机Y4Y3+激光测距机的发散角测试功能 Y3+SR10相机以及升级BOR软件Y5Y4+激光接收器轴对准功能Y4+BRES接收器对准模块和CBRES控制程序附加选项：1. JT工作站的任何版本都可以在所选版本中添加字母S，扩展到SWIR成像仪的测试。2. Inframet可以在所选版本中添加Borex，提供特殊的Borex平台来固定被测成像仪，以支持光电系统的专业对准。

一, ELWI-GER 3000自准直仪易于调整、测量和记录,自准直仪利用光学对准和ELWI-GER3000测量系统，实现直线度和“平面度”的二维精确快速测量。该柔性系统适用于技术面、线性导轨的对准和控制，以及大型部件和轨道系统的曲率测量。产品特点同时保持X和Y方向的直线度不限位置使用无源反射器能够在真空中使用小巧紧凑，提供检查服务长距离测量高达 100m比先前版本快10到100倍比其他自准直仪精确5到20倍分辨率 0.1μm / m 精度高达 0.5 μm / m 缩放功能，便于对齐11英寸触摸屏IP 65，坚固轻便电池运行8小时通过智能手机进行数据传输和远程控制可以通过局域网和无线局域网进行数据传输带有文档跟踪的自动协议带有附加元件的自动距离检测用电子水准仪进行转角测量产品应用无需电脑，直接进行直线度评估机械工程线性导轨和轨道工厂、铁路和隧道建设技术参数测量方法:在倾度计算法中，镜座上或线性导轨架上的测量镜以等距的步长放置在测试对象上。通过高度差的求和(积分)，确定并显示直线度。该方法以尽可能低的测量不确定性获得高的精度。在高度法中，反射器也可以通过合适的底座或线性导轨或移动轴(机床工作台、导线等)连接，放置在任何位置。测量并直接显示与理想直线(光轴)的偏差。调整过程可以实时执行。软件在坚固的IP65平板电脑上进行直观的一触式操作图:触摸屏显示器（过程控制）1.附加转角测量装置的测量值2.显示下一个测量位置3.测量数据的图形或表格4.打开表格和图形参数的侧面菜单5.激活平均数6.切换图形/表格视图7.结束当前测量8.启动时间控制的自动装置9.选择前一个/下一个测量位置10.保存当前测量位置的测量值11.测量的评估和报告的创建12.标记下一个测量位置评估，ISO 1101 包含菜单指南和报告的图形评估。图形评估、菜单指南和报告1.返回上一个窗口2.结束测量3.把报告另存为.pdf格式4.报告预览5.调整日志数据6.图形和评估的配置技术规范(直线度标准*) ELWIMAT GER 3000直线度(倾度计算法)直线度/对准(高度计算法)AKF46/40AKF140/40AKF300/65200-13 K46-4，8 K90-5 K200-13 K300-20 K自由度编号2 x Angle2 x Angle2 x Angle2 x Angle2 x Position；1 x Distance尺寸长度/m0 – 30 – 100 – 200,6 - 500,2 - 5**0,3 - 10**0,6 - 50**2 - 100**视场/mm***1...151...151...151…5010…20010…30010…80020…1000再现性R ****1.5 μm/m0.5 μm/m0.25 μm/m0.25 μm/m5 μm/m3 μm/m1.5 μm/m1 μm/m准确度、线性度 0,1 % of value + 2R 0,5 % of value + 2R焦距/mm461403002004690200300交流传感器重量/kg0,81,12,91,50,70,91,51,6交流传感器尺寸? 40 f8；107 x 62 x 110mm3? 65 f8? 40 f8? 40 f8；107 x 62 x 110mm3接口/原型USB 3.0、LAN、HDMI、RS232 / JSONUSB 3.0、LAN、HDMI、RS232/ JSON推荐反射器Magnetic mirror D50、Mirror D65D80Reflectors P-/ R-/ D-3000订购编号801 331801 333801 337802 335802 331802 332802 334802 335 交付范围交流传感器，11英寸触摸模块，软件ELWI-GER，电源，传感器电缆，遥控器选项:软件应用程序，USB零模型电缆脚踏开关，各种反射器，安装配件 *根据应用/要求配备相应的传感器/反射器***根据工作距离(测量长度)和反射器类型而定**取决于单反射镜或双反射* * * *取决于其他环境条件二, WECL100 无线式光电自准直仪 658nm （样机免费试用）(Wireless Electronic Autocollimator)光电自准直仪是一种测量反射镜片的微小转角的设备。通过不同的安装方法，可以对机 械部件和导轨的直线度、垂直度、平行度、平面度、转角等进行高精度测量。 瑞荧仪器的 WECL100 光电自准直仪采用了全新的设计理念，尺寸小巧，极具性价比。 采用了内置电池和无线连接方案，一方面可避免线缆应力对测量的干扰，另一方面方便 用户在调装过程中，随时通过手机或平板电脑读取结果。WECL100 无线式光电自准直仪 658nm （样机免费试用）,WECL100 无线式光电自准直仪 658nm （样机免费试用）通用参数工作距离0-10米通光口径22mm波长658nm激光等级Class 2R分辨率0.1 urad重复性1 urad示值漂移1 urad(25°℃，2h)量程(x，y轴)-3500~+3500 urad示值误差任意300 urad内:5 urad任意3000 urad内:15 urad准确度土5 urad(-1500~+1500 urad)±15 urad (-3500~+3500 urad)标准JJG 202-2007光电自准直仪3级采样速率10 Hz充电电压5v电池工作时间5hours通讯方式WIFI客户端Windows/Android工作温度15~ 40 ℃模拟输出0~2.5V双通道尺寸51x310mm重量1250g自准直仪，是一种利用光的自准直原理将角度测量转换为线性测量的一种计量仪器。它广泛用于小角度测量、平板的平面度测量、导轨的平直度与平行度测量等方面。它是一种利用光的自准直原理测量平直度的仪器。当狭缝光源位于物镜的焦平面上时，光线将通过物镜折射为平行光束，再经由一垂直于光轴的平面反射镜将光束循原路反射回来。若是平面反射镜有偏斜，则放射光束聚焦后成的像，将偏离狭缝光源的原始位置。通过目镜读数，可测出反射镜对光轴垂直面的微小倾角。其内部结构如下图所示：自准直仪内部结构图。三, 激光分析自准直仪 350-1600nmDUMA光电激光分析自准直仪利用最新的成像技术为我们提供集聚焦自准直仪和光束轮廓仪于一体的专用仪器。自准直仪将准直仪和光束轮廓仪的功能组合在一个单元中。我们的精密激光器分析自准直仪（LAAC）将自准直仪的功能与激光束轮廓相结合产生入射激光束的精确角度定向及其发散角的测量。为了增加功能性，该系统在滑动尺上内置5xND(ND2, ND64,ND200, ND1000, ND100000)过滤器，显著增加了系统的动态范围。过滤器覆盖VIS范围，用于633nm波长的激光器。我们的精密LAAC具有内置调整功能，例如：快速对准激光，调整云台旋钮以及启用非常的增强校准程序。自准直仪应用是测量反射镜相对于自准直仪光轴的角度激光分析自准直仪 350-1600nm,激光分析自准直仪 350-1600nm产品特点用于检测和测量小角度偏差0.01秒分辨率动态范围大内置激光器用于粗对准功能齐全的软件套件允许您记录和记录您的测量结果通过USB端口连接到计算机精心设计的全合一装置产品应用LAAC的应用主要涉及到小角度信号的检测和测量位移。例如：入射激光束的测量。镜面角度的测量。相对于激光方向的机械轴测量。激光束轮廓和发散角的测量。直线工作台的直线度测量。旋转阶段的表征。楔角、棱镜角和多边形角的测量。反射面平行度的测量。表面平整度的测量。光学装置的校准。机器校准。CD/DVD ROM对齐。热稳定性测量。振动分析。瞄准孔瞄准技术参数参数技术规格激光器类型连续或脉冲响应波长350 – 1600 nm （在望远镜模式下）增益控制1 – 24 dB快门速度39 µ sec to 20 secFoV自准直仪±25’ (V) x ±40’ (H)FoV望远镜和光束轮廓仪±50’ (V) x ±1°20’ (H)通光孔径36 mm分辨率0.01 sec精确度1.0 sec相机（宽光谱范围）2.4 MegaPixels, 12 bit光源LED-650, optional: 1060nm.Special order 1310/1600 nm用于校准的回复反射器Ø 64mm N.W 280g Thread Ø 16mm ,5°光束发散测量低至 0.2 mRad 或更高视线保持与聚焦功能成正比±2.5 sec最小聚焦距离小于30cm内置粗瞄准激光指针638nm power 1.0mW Class 2 laser product,IEC60825-1同步软件、硬件（外部触发信号*）接口USB3.0曝光控制通过GUI编程外壳尺寸（长x宽x高），单位：mm230 x 135 x 160电源~2.5瓦（通过USB 3.0接口）重量（典型）2.5kg，含电缆四,DUMA激光自准直仪，LOD-PRO-20: 横向偏移装置Pro版业界最通用的钻孔瞄准装置。利用相对旋转潜望镜消除光学视差距离。将视线之间平行度保持在10秒弧以上。基于超稳定单片设计。DUMA激光自准直仪，LOD-PRO-20: 横向偏移装置Pro版,DUMA激光自准直仪，LOD-PRO-20: 横向偏移装置Pro版产品应用&bull 瞄准孔位于瞄准器和激光设备之间&bull 检查直线导轨的平行度&bull 检查旋转滚筒的平行度&bull 调整折叠激光共振腔技术参数参数值视差消除距离高达0.5 米 最大值：中心到中心的距离– 200 mm通光孔径标准 – 38 mm, 镜面尺寸 – 42 mm平行度最大偏差10 弧秒技术整体式潜望镜设计波长从深紫外（UV）到远红外( FIR)潜望镜的旋转角度360°折叠式潜望镜，不带底座275 mm折叠式潜望镜，带底座370 mm

ON-TRAK Photonics Corporation公司是基于位置感应检测器（PSD）技术的激光对准测量设备的先进制造商。 该公司成立于1991年，旨在满足新兴的非接触式位置，距离，运动和振动测量技术中对高质量产品日益增长的需求。 本节准确地解释了什么是激光对准，该测量技术如何工作以及我们如何进入并为您的业务设计和开发自定义应用程序。OT-4040便携式，二维准直介绍了一种简单，强大的方法，可以随时随地执行精确的对准测量。OT-4040准直激光系统可在可见的激光参考线上（延伸到300英尺长的线上）的任何点实时实时测量X-Y偏差。在项目展开时动态地对其进行监视。只需沿参考线将“透明”测量目标放到任何标准NAS工具范围中，然后使用附带的中央处理单元进行读数即可。OT-4040准直激光系统已得到飞机制造商，造船厂和汽车工业的广泛验证。 在各种挑战性的准直应用中，它显著简化了效率并减少了工时。一个典型的系统由一个OT-4040LL对准激光器，OT-4040 TTS4透明靶，OT-4040 TS4参考靶和两个OT-4040中央处理单元（每个靶一个CPU）组成。优化精度并获得很高的置信度。OT-4040在距离300英尺的地方提供保守指定的0.001英寸分辨率。 第三代光纤耦合激光二极管传输系统即使在苛刻的户外环境中也可确保长距离上出色的光束相干性。任何人都可以操作它。专注于你的工作，而不是你的准直系统。 OT-4040操作起来再简单不过了。事实上，即使是初次操作者也能在不到五分钟的时间内进行操作，且几乎不用看指导手册。该系统简单而直观。行业实力极端的工业环境？ 没问题。OT-4040 CPU和OT-4040 Target的设计可承受每天在地面上使用的严苛条件。理想的激光跟踪/光学望远镜替代品许多人认为仅对于准直应用而言，激光跟踪仪是“足够的解决方案”。相反，光学望远镜具有缓慢和主观的性能，通常被认为是“不够的解决方案”。OT-4040兼具两全其美的功能：精确度高，操作简便且具有成本效益。此外，OT-4040系统经过优化，可通过NAS标准外壳立即替换光学望远镜系统。最重要的优势是多点，动态，客观的测量-激光跟踪仪和光学望远镜都无法单独提供这些功能激光准直仪如何工作线性激光对准的原理很简单。固定的激光器瞄准最远距离为300英尺的参考靶，创建一条“空间线”，作为坚如磐石的测量参考。接下来，将一个或多个透明靶直接放置在光束路径中。当激光穿过每个透明靶时，目标能够确定激光束相对于加工球体中心的X-Y偏差。然后，该定位信息实时输出CPU，以进行控制，显示和分析。（可选的远程数据终端或计算机可用于数据收集或远程操作。）线激光的优势与竞争性准直技术相比，基于激光的准直具有明显的优势。●成本效益在这个特定的应用中性能优于激光跟踪系统，价格只是其中的一小部分。●超精密消除与主观手动方法相关的误差范围●实时反馈使用户能够进行现场准直调整●更快测量减少工时并提高项目效率。●远距离范围在最远300英尺的距离执行测量。● 同时测量可以同时测量多个目标。●数据分析位置数据可以通过计算机进行监控，存储和分析技术参数OT-4040 LL Ultralign激光器功率输出 Class IIA (1 mW visible red)波长 635 nm光束直径 8 to 12 mm光束轮廓 Circular gaussian, TEM00调制频率 10 Hz操作距离 0 to 300 feet (100 m)对中精度 + 0.002 inches (0.05 mm)镍氢电池寿命 24 hours continuous operation电力要求 12V/1A DC wall charger 重量 8 lbs. (3.64 kg.)总长度 14.5 inches (368.3 mm)外壳 NAS standard 2.2498 inches (57.15 mm) diameterOT-4040 CPU中央处理器分辨率 0.001 inches供电 Rechargeable NiMH batteries DC wall charger电池寿命 10-12 hours, depends on brightness显示 LED + 4 digit, programmable通信 RS-232 ASCII format重量 32 oz.尺寸 6 x 5 x 1.75 inches (H x W x D)如果您的业务要求在工程流程中进行精确准直，则可以从精确激光准直技术中受益。 请立即致电我们以了解我们如何提供帮助。 On-Trak Photonics致力于与我们的客户合作，为每个客户的特定需求开发任何类型的定制激光准直系统。 如果您参与涉及极精确的长距离测量的任何生产或研究过程，即使您当前对当前技术没有任何疑问，激光准直很有可能会提高准确性和效率。由于激光准直可以进行如此快速的测量，因此大大减少了进行这些测量所需的工时和工人数量，您在激光准直系统上的投资将迅速带来红利和重大的投资回报。 由于激光准直系统显示数字结果，因此消除了许多可能的人为错误。 随着测量变得更加准确和可靠，项目构建或研究的质量也会提高。、On-Trak Photonics可以为您提供适合特定应用的理想激光准直系统。 我们很乐意与您交谈，并演示激光准直可以为您的生产或研究过程带来的好处。 我们知道，一旦您意识到了激光准直的可能性，您就会想知道，没有激光准直如此长的时间，您是如何进行设计，研究或制造的。 立即致电给我们，您将可以更快，更准确地进行测量！

SK010PA-IR偏振测量仪 ----高精度全自动保偏光纤偏振态测量系统SK010PA是一款通用型偏振分析仪，该偏振分析仪通常用于对自由空间光路和保偏光纤光路进行偏振分析与测试。可实时对四个斯托克斯参数进行测量以获取光路偏振状态（SOP），并显示在庞加莱球面上。在保偏光纤的评估和偏振对准中具有巨大优势。设备结构紧凑，即插即用，可轻松集成到现有客制系统中进行快速校准和测量，软件操作简单、功能强大。在激光束耦合到保偏光纤的偏振对准应用中，SK010PA偏振分析仪提供优化光源入射偏振方向与光纤偏振轴对齐程序，并测量该过程产生的消光比（PER）。上述过程通过连续测量出射偏振状态期间，并使光纤轴相对于激光源的偏振轴旋转，保证出射偏振态尽可能接近庞加莱球面圆心。此外，SK010PA还可用于对准和量化延迟光学器件，如带有1/4波片的光纤准直器等。光纤偏振态测量仪产品特性：确定偏振状态 （SOP），包括所有四个斯托克斯参数、PER（偏振消光比）、偏振度 （DOP）、椭圆度等。USB 2.0 供电设备（控制、数据传输和电源）在庞加莱球面上显示SOP或偏振椭圆用于保偏光纤评估和偏振对准的特殊程序与用于自由光束应用的微型工作台系统、导轨或笼式系统兼容，包括兼容光纤应用的 FC APC 适配器光纤偏振态测量仪应用领域：耦合保偏光纤偏振对准 理想情况下，保偏光纤能保持耦合到光纤中的光的线性偏振态，然而在实际中，保偏光纤会在很小程度上影响偏振态，如温度、机械应力导致的弯曲和扭转等，这会使光纤出口处出现轻微的椭圆偏振。如下图所示。 SK010PA偏振测量仪提供将光源的入射偏振方向与光纤的偏振轴对齐以及测量由此产生的偏振消光比（PER） 的程序。保偏单模光纤在两种垂直的原理状态下引导耦合辐射，即光纤偏振轴（也称为慢轴和快轴）如下左图所示。 光纤耦合辐射的偏振消光比PER是耦合到光纤两个偏振轴的光功率电平之间的比值。偏振分析仪用于通过旋转光源的输入偏振轴来优化光源偏振轴与光纤偏振轴的偏振对准，见下右图。对于两个偏振轴，传播速度不同。当线偏振辐射没有精确耦合到这些状态之一时，辐射会分成两个垂直分量，分别耦合到光纤的偏振轴上。在光纤出口处，传播速度的差异会导致相移，这也取决于光纤的长度。如果该相移小于激光源的相干长度，则辐射会重新组合为椭圆偏振态。如果激光源的相干长度小于相移，则新出现的辐射部分去偏振。偏振分析仪支持两种情况的调整。SK010PA所测的SOP可在庞加莱球上可视化展示，如下图所示。在该图中，线性 SOP 位于球体的赤道上，圆极化状态位于球体的两极。偏振维持光缆输出端的预期偏振态可能会略微偏离赤道。该表示法中的倾斜角即为椭圆度 η，偏振维持光缆的偏振维持性由椭圆度 η 来表征。圆的半径表示对准的质量，对齐良好的保偏光纤状态为数据圆会收敛到一个点，即圆的中心，通常也位于庞加莱球的赤道上。测量过程分为如下两步：1、初始对准的测量 该过程首先在温度改变或小心弯曲光纤时记录出口极化状态，以引起出口极化波动。然后，一个圆圈自动拟合到数据点上，并显示平均值和PER（min）。在所示示例中，庞加莱球面上的圆具有较大的半径。2、通过反馈进行实时调整，并对优化后的对准进行测量在连续测量出射偏振态期间，光纤轴相对于激光源的偏振轴旋转。当出射偏振态尽可能接近庞加莱球面的圆心时，达到接近对准。颜色编码的对数条形图有助于找到min距离。然后进行第二次测量，揭示光纤优化偏振对准的参数。自由光路测量 偏振分析仪也可以用来在自由光束的应用中设置并定义一个的明确的偏振状态。对于这类测量，激光光轴与偏振分析仪的对准是必不可少的。偏振测量仪与微工作台、使用四连杆连接的40mm笼系统或轨道系统等兼容。1/4波片调整SK0101PA偏振分析仪可用于校准和量化延迟光学器件，例如集成四分之一波片的光纤准直器。对于这些准直器，通过旋转四分之一波片来调整输出偏振。到达极值时设置圆偏振光，右旋圆偏振光位于北极，左旋偏振光位于南极。光纤偏振态测量仪技术参数：光纤偏振态测量仪配置选项：光纤偏振态测量仪交付标准：SK010PA红外线USB连接线用于 FC-APC FC-PC 光纤连接器的适配器后装式适配器 PA-AP-M4操作软件： SKPolarizationAnalyzer for WINDOWS7， WINDOWS 10， WINDOWS Vista/XP （32/64 bit）DLL更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

AlignMeter激光准直仪新势力光电供应AlignMeter激光准直仪，用于测量激光光束的位置、角度和功率，光谱范围350-1100nm 、位置精度±15um、角度精度±0.125mrad、功率精度：±5%，采用USB2.0进行通讯，也可实现RS232或TCP/IP进行数据传输，ActiveX软件可实现客户端的二次开发功能。该系列激光准直仪应用广泛，包括：激光腔、直线度仪、对准机、宽床打印机。ModelDescriptionsALIGN-USB-50Measuring head with focal length f=50mmALIGN-USB-100Measuring head with focal length f=100mm (Standard configuration)ALIGN-LALarge Aperture (22.5mm×22.5mm) optical alignment system with accessories ND9: Optical filter M37X0.7, attenuation 1/8Optional accessoriesALIGN-FLT-NG4NG4 filter in housingALIGN-FLT-NG9NG9 filter in housingALIGN-FLT-NG19NG10 filter in housingALIGN-HOOD55mm long, for ambient light suppression相关商品 电子自准直仪 AngleMeter激光角度仪 BeamOn光束质量分析仪 SpotOn位敏探测系统

ON-TRAK Photonics Corporation公司是基于位置感应检测器（PSD）技术的激光对准测量设备的先进制造商。 该公司成立于1991年，旨在满足新兴的非接触式位置，距离，运动和振动测量技术中对高质量产品日益增长的需求。 本节准确地解释了什么是激光对准，该测量技术如何工作以及我们如何进入并为您的业务设计和开发自定义应用程序。OT-2020便携式，精确测量OT-2020旋转激光靶与旋转激光器串联使用，可提供最快，最准确的方法来测量100英尺以内的平面度，垂直度和直线度。电池操作可实现现场便携性，OT-2020已在众多应用中得到了证明，其中许多应用已被《财富》100强公司所采用。OT-2020 RS30型远程传感器可检测旋转激光的位置，OT-2020 CPU中央处理单元可实时读取测量值，此外还有多个选项可提供更大的灵活性和便利性。卓越的准确性优化精度并获得更多的置信度。OT-2020 RS30遥感器通过先进的硅位置感应检测器提供保守指定的0.001英寸分辨率和精度。完全便携将RS30遥感器放入可选的OT-2020 BK支架套件中，并在沿激光束路径的任何位置方便地进行瞬时测量。超简单的操作专注于您的工作，而不是旋转激光系统。 OT-2020的CPU操作简单新颖。 最小化，简单的控制使您几乎看一眼就可以启动和运行。行业优势OT-2020 CPU和RS30装在坚固的，定制加工的铝制外壳中，可以轻松经受极端工业环境的严酷考验。我们已经看到系统被刮擦，凹陷并被污垢覆盖，但经过多年的持续服务后，它们仍可完美运行。与所有旋转激光器兼容OT-2020与市场上所有旋转激光器即插即用兼容。 从0.3mW到3.0mW的四级自动量程调节以及与从1 RPM到1,000 RPM的所有激光跟踪速度的兼容性，使兼容性立即达到。 只需插入激光器，调整目标并开始进行测量。OT-2020技术规格OT-2020 CPU中央处理器分辨率 0.001 inches供电 镍氢可充电电池1A / 12V直流壁式充电器电池工作时间 8至10小时，具体取决于显示器的亮度设置显示屏 LED 4位数字，可编程8级亮度，高0.8英寸通信 USB操作温度 25° to 125° F贮存温度 -10° to 149° F重量 30 oz.尺寸 4 x 6 x 1.75 inches (H x W x D)安装 Six 8-32 tapped holes on back of CPU housingOT-2020 RS30遥感器重复性 0.001 inches捕捉高度 30 mm精度 0.001 inches直线性 0.1%操作温度 25° to 125° F贮存温度 -10° to 149° F重量 9 oz.尺寸 3.74 x 1.74 x 1.63 inches (H x W x D)安装 1/4英寸-20 tapped hole on back of RS1 housing Rotating 1/4英寸- 20 post mount adapter如果您的业务要求在工程流程中进行精确准直，则可以从精确激光准直技术中受益。 请立即致电我们以了解我们如何提供帮助。 On-Trak Photonics致力于与我们的客户合作，为每个客户的特定需求开发任何类型的定制激光准直系统。 如果您参与涉及极精确的长距离测量的任何生产或研究过程，即使您当前对当前技术没有任何疑问，激光准直很有可能会提高准确性和效率。由于激光准直可以进行如此快速的测量，因此大大减少了进行这些测量所需的工时和工人数量，您在激光准直系统上的投资将迅速带来红利和重大的投资回报。 由于激光准直系统显示数字结果，因此消除了许多可能的人为错误。 随着测量变得更加准确和可靠，项目构建或研究的质量也会提高。、On-Trak Photonics可以为您提供适合特定应用的理想激光准直系统。 我们很乐意与您交谈，并演示激光准直可以为您的生产或研究过程带来的好处。 我们知道，一旦您意识到了激光准直的可能性，您就会想知道，没有激光准直如此长的时间，您是如何进行设计，研究或制造的。 立即致电给我们，您将可以更快，更准确地进行测量！

Bond Alignment Systems键对准系统 1985年，EV Group发明了世界上第一个双面对准系统，彻底改变了MEMS技术，并通过分离对准和键合过程，在对准晶片键合方面树立了全球行业标准。 这种分离导致晶片键合设备具有更高的灵活性和通用性。 EVG的键合对准系统提供了最高的精度，灵活性和易用性以及模块化升级功能，并且已经在众多高通量生产环境中进行了认证。 EVG键对准器的精度可满足最苛刻的对准过程。 EVG 610 BA 键对准系统适用于学术界和工业研究的晶圆对晶圆对准的手动键对准系统。 EVG 620 BA 自动键对准系统用于晶圆间对准的自动化键合对准系统，用于研究和试生产。 EVG6200∞BA 自动键对准系统用于晶圆间对准的自动键合对准系统，用于中试和批量生产。 SmartViewNT 自动键对准系统，用于通用对准全自动键合对准系统，采用微米级面对面晶圆对准的专有方法进行通用对准。

接触式光刻和键合对准一体机是一种在微电子制造领域广泛使用的设备，它结合了接触式光刻和键合对准两种技术，为芯片制造提供了高精度、高效率的解决方案。以下是对该产品的详细介绍：一、产品概述接触式光刻和键合对准一体机是一款集接触式光刻和键合对准于一体的先进制造设备。它利用光源系统发射光线，通过掩模系统将图案投影到样品上，然后利用接触式光刻的方式在样品表面形成精确的图案。同时，设备还具备键合对准功能，可以实现样品与衬底的精确对准，确保制造出的芯片具有优异的性能。二、产品特点1. 高精度：接触式光刻和键合对准一体机采用先进的控制系统和软件算法，实现了高精度的光刻和键合对准。其分辨率可达到微米级甚至纳米级，满足微电子制造领域对高精度加工的需求。2. 高效率：设备采用自动化设计，可实现连续、快速的光刻和键合对准操作。同时，设备还具备快速更换不同规格尺寸的硅片的功能，进一步提高了生产效率。3. 稳定性好：设备采用高品质的材料和精密的制造工艺，确保了设备的稳定性和可靠性。长时间运行不会出现明显性能下降或故障，保证了生产线的稳定运转。4. 操作简便：设备采用图形化用户界面设计，操作简便直观。用户可以通过简单的操作即可完成复杂的光刻和键合对准操作，降低了对操作人员技能的要求。三、主要技术指标1. 分辨率：设备的光刻分辨率可达到1μm甚至更低，满足高精度加工的需求。2. 对准精度：设备的键合对准精度可达到±1μm，确保样品与衬底的精确对准。3. 曝光方式：设备支持接触式光刻，可以在样品表面形成精确的图案。4. 光源波长：设备采用紫外光源，光源波长可根据实际需求进行选择。5. 样品大小：设备支持多种规格的硅片处理，最大可处理4英寸及以下不规则形状基片。四、应用领域接触式光刻和键合对准一体机广泛应用于半导体光电器件、功率器件、传感器、混合电路、微波器件及微电子机械系统（MEMS）等微电子制造领域。它可以用于制造集成电路、微机电系统、光电子器件等，满足各种高精度加工需求。五、总结接触式光刻和键合对准一体机是一款集高精度、高效率、稳定性好和操作简便于一体的先进制造设备。它在微电子制造领域具有广泛的应用前景，是制造高性能芯片的重要工具之一。

1.产品概述：键合对准器 BA Gen4 Series 的晶圆对准晶圆功能建立在 SUSS MicroTec 掩模对准器中同样强大的掩模对准晶圆技术上。因此，BA Gen4 Series 不仅能高精度对准，还提供两衬底熔融键合的附加功能。SUSS MicroTecs 手动键合机 SB6/8 2代支持其他键合工艺。BA Gen4 Series 的用固定系统确保对准后的晶圆堆叠能够可靠传输。BA Gen4 Series 的手动操作性和简单改装性让用户能够在各种研发过程灵活使用。可供选用的对准方法覆盖大部分工艺。通过自动化功能，例如在屏幕上显示结构和自动楔形误差补偿，支持用户。2.产品优势：在光刻工艺中，只需对准器件晶圆同侧的结构（例如再布线层、微凸点 等），用顶部对准功能将掩模位置标记对准晶圆位置标记。 根据衬底的特性，这可以用存储的晶圆位置数据或者用两个现场照片 、SUSS MicroTec 开发的DirectAlign&trade 直接对准技术实现。掩模对准器的对准精度、清晰、强大的图像识别功能，即使在对比度不理想的情况下底面对准（BSA）。SUSS 掩模对准器凭借其的机械精度和稳定性带来的准确性强大的红外光源和高性能摄像系统。3.产品工艺：热键合（热键合是指两个平面基板自发粘合。 该工艺包括冲洗抛光盘，使其具备高度亲水性，然后使其相互接触并在高温下回火。 等离子体预处理工艺可使基板在室温条件下键合）自动化用于模式识别的软件辅助和自动对准自动楔形误差补偿基于Windows的直观界面，符合人体工程学，操作简单易懂

EVGLithography 光刻设备 EVG在光刻技术方面的关键能力在于其掩模对准器的高通量接触和接近曝光功能以及其抗蚀剂处理系统的内部处理知识。 EVG的所有光刻设备平台均已准备好300毫米，可以完全集成到其HERCULES光刻轨道系统中，并配有用于从上到下的侧面对准验证的度量工具。 EVG不断展望未来的市场趋势，因此提供了针对特定应用的解决方案，尤其是在光学3D传感和光子学市场中，其无与伦比的EVG的工艺和材料专业知识-广泛的优化研究涉及多种抗蚀剂材料。了解客户需求并提供有效的全球支持是EVG光刻解决方案成功的重要因素。 掩模对准系统 EVG的掩模对准系统可容纳尺寸多达300 mm的晶圆和基板，尺寸，形状和厚度各不相同，旨在为高级应用提供复杂的解决方案，并具有高度的自动化程度，并为研发提供充分的灵活性。 抗蚀剂处理系统 EVG100系列光刻胶处理系统在光刻胶涂层和显影的质量和灵活性方面建立了新的标准。立即探索 集成光刻光刻系统 光刻跟踪系统通过完全集成的生产系统和结合了掩模对准和曝光以及集成的预处理和后处理功能的高度自动化，完善了EVG光刻产品系列。

EVG610 Mask Alignment SystemEVG610 掩模对准系统 EVG610是一款紧凑的多功能研发系统，可处理200mm以下的小基板片和晶圆。 技术数据EVG610支持多种标准光刻工艺，例如真空，硬，软和接近曝光模式，并可选择背面对准。此外，该系统还提供其他功能，包括键对准和纳米压印光刻（NIL）。 EVG610提供快速的处理和重新安装工具，可在不到几分钟的时间内转换用户需求。其先进的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求，因此使其非常适合大学和研发应用。 特征晶圆/基片尺寸从zui大200 mm / 8' ’ 顶侧和底侧对齐能力高精度对准台 自动楔形补偿序列电动和配方控制的曝光间隙 支持zui新的UV-LED技术最小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导远程技术支持：多用户概念（无限数量的用户帐户和配方，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）敏捷处理和转换重组；台式或带防震花岗岩台的单机版附加功能：键对齐 红外对准 纳米压印光刻（NIL） 技术数据对齐方式：上侧对齐：≤±0.5 μm 底面要求：≤±2,0 μm红外校准：≤±2,0 μm /基板材料，具体取决于键对准：≤±2,0 μm NIL对准：≤±2,0 μm曝光源：汞光源/紫外线LED光源 楔形补偿 全自动-SW控制晶圆直径（基板尺寸）：高达100/150/200毫米曝光设定：真空接触/硬接触/软接触/接近模式曝光选项：间隔暴露/洪水暴露/扇区暴露 先进的对齐功能：手动对准/原位对准验证 手动交叉校正 大间隙对齐系统控制：作业系统：Windows文件共享和备份解决方案/无限制配方和参数；多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR；实时远程访问，诊断和故障排除；纳米压印光刻技术，紫外线零。

光学积木（支架、C型环、对准组件、连接器）光学积木是包括了带通滤波器和分色镜等元件的紧凑型单元。它们被设计用于光电倍增管（PMT）和高灵敏度相机进行的微弱光测量。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站 查看该产品更多详细信息！部分产品：产品图像产品型号产品名称 A10035分束器组件 A10035-90分束器组件 A10036快门组件 A10037滤波器适配组件 A10038连接组件 A10039C型适配器组件 A10455-02工具箱 A10657-01微阱样品板 A10760光束对准组件 A10858平台组件产品图像产品型号产品名称 A11058层阶搁板 A11213C型通用滤波器组件 A11214C型通用分色镜组件 A9865C型环 A10030-01适配器组件 A10031扩束器组件 A10032ND滤波器组件 A10033滤波器组件 A10033-90通用滤波器组件 A10034分色镜组件

用于晶圆间对准的自动键合对准系统，用于研究和试生产 EVG620键合对准系统以其高度的自动化和可靠性而闻名，专为最大150 mm晶片尺寸的晶片间对准而设计。 EV Group的键合对准系统具有最高的精度，灵活性和易用性，以及模块化升级功能，并且已经在众多高通量生产环境中进行了认证。 EVG的键对准系统的精度可满足MEMS生产和3D集成应用等新兴领域中最苛刻的对准过程。 基于Windows的用户界面在不同晶圆尺寸和不同键合应用之间快速更换工具选件自动对齐红外对准，用于内部基板键对准NanoAlign封装可增强处理能力可与系统机架一起使用面罩对准器的升级可能性

标准量子级联激光发射头HPQCL-Q&trade海尔欣QCL发射模块（含QCL）海尔欣推出国内首台一体化量子级联激光模组，内部集成了高质量进口QCL芯片、TEC温控、输出光准直及辅助对准红光等模块，配合昕虹QCL温控和电流集成驱动模块产品，即可组成一套完整QCL发射光源。安装设置非常简单，上手方便，维护成本超低，可帮助用户快速完成基于QCL的光源系统的搭建。&bull 集成QCL芯片、TEC温控、输出光准直及辅助对准红光等模块&bull 进口室温连续输出 (CW) 半导体QCL芯片，波长3–12微米可选&bull DFB单模输出光功率可达50mW以上，FP多模光功率可达100mW&bull 可选输出光准直，含共轴辅助对准红光&bull 标准空气制冷&bull 工业标准DB9驱动连接头，设置简单，一键开启标准量子级联激光发射头HPQCL-Q&trade海尔欣结构尺寸(单位: mm) 标准量子级联激光发射头HPQCL-Q&trade海尔欣接口定义标准量子级联激光发射头HPQCL-Q&trade海尔欣测试报告（样本）图 1. 波数（波长） VS 驱动电流 & 温度图 2. LIV曲线及光斑质量

产品介绍激光脉冲的接收端有一系列的应用，如光学通信系统，激光导引，激光跟踪器以及激光测距机等。在这些光电系统中，激光接收端的作用在于探测脉冲/由小尺寸光源发射的调制激光辐射。L64激光接收端测试系统是一套激光光斑投影机构，用于模拟被测激光接收端，提供发射光斑/反射激光脉冲辐射。可以在带宽范围内调节峰值功率，激光脉冲的时间参数，被模拟激光光斑的角尺寸。L64测试系统投影的光脉冲既工作于可见光波段，又支持工作于红外波段，后者的光源同时支持了热像仪与电视相机的采集，从而实现了激光指示器或者激光测距机中的发射端与接收端之间的轴对准功能。因此L64测试系统可以用于测试激光接收端与其他光电系统的轴对准以及其重要参数的测试。 产品参数设备技术指标1.激光接收器测试参数：接收器灵敏度，接收器动态范围；2.基本参数测试：激光接收器与不同功率，尺寸及时间特性的空间静态激光光斑的反馈关系；3.高级参数测试：激光接收器与不同功率，尺寸及时间特性的空间动态激光光斑的反馈关系；4.激光接收器与参考光电探测器（电视相机，热像仪）之间的轴对准。5.可工作在两种模式：PRF和PIM。

详细咨询来电：双面光刻机+EVG610/620光刻机+接触式光刻对准EVG620 是一款非常灵活和可靠的光刻设备，可以是半自动也可以配置为全自动形式。EVG620既可以用作双面光刻机也可以用作150mm硅片的精确对准设备；既可以用作研发设备，也可以用作量产设备。精密的契型补偿系统配以计算机控制的压力调整可以确保良率和掩膜板寿命的大幅提升，进而降低生产成本。EVG620先进的对准台设计在保证精确的对准精度和曝光效果的同时，大幅提高了产能。EVG光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、传感器、混合电路、微波器件及微电子机械系统（MEMS、）硅片凸点、芯片级封装以及化合物半导体等，涵盖了微电子领域微米或亚微米级线条的芯片的光刻应用。1. 高分辨率的顶部和底部显微镜2. 双面光刻和键合对准工艺3. 自动的微米计控制曝光间距4. 自动契型补偿系统5. 优异的全局光强均匀度6. 快速更换不同规格尺寸的硅片7. 高度自动化系统8. Windows图形化用户界面9. 可选配Nanoalign技术包以达到更高的工艺能力10. 薄硅片或翘曲硅片处理系统可选11. 光刻工艺模拟软件可选12. 三花篮上料台，可选五花篮台

红外激光划片机产品介绍：晶圆激光切割机/SA-IR20WD（底相机对准）型，相比传统机型，主要增加：底部相机、增加底部成像镜头、增加底部成像光源，可实现晶圆片底部对准，保留原有上相机更能，可实现正切和背切功能。技术参数：技术规格 项目 单位 数值对准方式 底部对准，兼容顶部对准最大加工尺寸 承片台 inch 4英寸最大切割深度 单晶硅 um ≤150微米 激光器功率 w 20瓦 激光器波长 nm 1064nm红外激光器 重复频率 KHZ 20千-60微米 切割速度 mm/s 150毫米每秒切割参数 切割线宽 um 40-60微米工作台承载方式 大理石 mm 厚度100毫米 最大耗电量 Kw 2.0千瓦 压缩空气供给压力 MPa 0.5-0.8兆帕 排风量（工厂自备） m³ /min 3立方每分钟 设备尺寸（W*D*H） mm 980*1270*1740毫米其他规格 设备重量 KG 660千克 排风口口径 mm 50毫米红外激光不能切割玻璃，玻璃会有裂纹；红外激光切割深度为80-90um，超过该深度裂片效果不佳，请在芯片工艺设计时，考虑片厚及沟槽深度，以决定所需要切割的硅总厚度。

SmartView NTAutomated Bond Alignment System for Universal AlignmentSmartViewNT 自动键对准系统，用于通用对准全自动键合对准系统，采用微米级面对面晶圆对准的专有方法进行通用对准 用于通用对准的SmartView NT自动键合对准系统提供了微米级面对面晶圆级对准的专有方法。这种对准技术对于在领先技术的多个晶片堆叠中达到所需的精度至关重要。 SmartView技术可以与GEMINI晶圆键合系统结合使用，以在随后的全自动平台上进行永久键合。特征适用于200毫米和300毫米配置的自动化和集成式EVG粘合系统（EVG560，GEMINI）用于3D互连，晶圆级封装和大批量MEMS器件的晶圆堆叠通用键对准器（面对面，背面，红外和透明对准）无需Z轴运动，也无需重新聚焦基于Windows的用户界面将键对对准并夹紧，然后再装入键合室手动或全自动配置（例如与GEMINI集成） 选件 可与EVG500系列晶圆键合系统，EVG300系列清洁系统和EVG810LT等离子系统结合使用，实现全自动的晶圆对晶圆对准操作以及盒对盒操作。 技术数据基板/晶圆参数尺寸：150-200、200-300毫米厚度：0.1-5毫米最高 堆叠高度：10毫米自动对齐：标准；处理系统：3个纸盒站（最大200毫米）或2个FOUP加载端口（300毫米）

EVG620 NT Mask Alignment System(semi-automated / automated)EVG620NT 掩模对准系统（半自动/自动） EVG620NT在最小的占位面积（最大150 mm晶圆尺寸）上提供了最先进的掩模对准技术。 技术数据EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著称，在最小的占位面积上结合了先进的对准功能和最优化的总体拥有成本，提供了最先进的掩模对准技术。它是光学双面光刻的理想工具，可提供半自动或自动配置以及可选的全外壳Gen 2解决方案，以满足大批量生产要求和制造标准。操作员友好型软件，最短的掩模和工具更换时间以及高效的全球服务和支持使它成为任何制造环境的理想解决方案。 EVG620 NT或完全容纳的EVG620 NT Gen2掩模对准系统配备了集成的隔振系统，可在各种应用中获得出色的曝光效果，例如对薄而厚的抗蚀剂进行曝光，对深腔进行构图以及可比较的形貌。以及薄而易碎的材料（例如化合物半导体）的加工。此外，半自动和全自动系统配置均支持EVG专有的SmartNIL技术。 特征晶圆/基板尺寸从碎片到150毫米/ 6' 系统设计支持光刻工艺的多功能性易碎，薄或翘曲的多种晶圆尺寸的晶圆处理，更换时间短带有间隔垫片的自动无接触楔形补偿程序自动原点功能，用于对准键的精确居中具有实时偏移校正的动态对准功能支持最新的UV-LED技术返工分拣晶圆管理和灵活的盒式系统自动化系统上的手动基材装载功能可以从半自动版本升级为全自动版本最小化系统占地面积和设施要求多用户概念（无限数量的用户帐户和配方，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）先进的软件功能以及研发与全面生产之间的兼容性；敏捷处理和转换重组；远程技术支持和SECS / GEM兼容性； 附加功能：键对齐 红外对准 纳米压印光刻（NIL） 技术数据曝光源：汞光源/紫外线LED光源先进的对齐功能：手动对准/原位对准验证 自动对齐 动态对齐/自动边缘对齐对准偏移校正算法：通量全自动：第一批生产量：每小时180片全自动：吞吐量对齐：每小时140片晶圆晶圆直径（基板尺寸）：高达150毫米；对齐方式： 上侧对齐：≤±0.5 μm ； 底侧对齐：≤±1,0 μm ； 红外校准：≤±2,0 μm /基板材料，具体取决于； 键对准：≤±2,0 μm； NIL对准：≤±3.0 μm曝光设定：真空接触/硬接触/软接触/接近模式/弯曲模式楔形补偿：全自动-SW控制曝光选项：间隔暴露/洪水暴露/扇区暴露系统控制 ，操作系统：Windows；文件共享和备份解决方案/无限制配方和参数；多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR；实时远程访问，诊断和故障排除。工业自动化功能：盒式磁带/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，弯曲，翘曲，边缘晶圆处理纳米压印光刻技术：SmartNIL；

1. 产品概述BA Gen4 键合机在键合过程中精确对准，键合对准器 BA Gen4 Series 是专为手动对准并键合两个 200 毫米以下晶圆而设计的。选配掩模对准器工具后还可使用各种功能。BA Gen4 Series 用于先进封装、MEMS 生产以及需要亚微米级精确对准和高重复性的应用中。2. 设备用途/原理教育领域：教师可使用免费的教育工作者资源套件，轻松设置教学实验。内置培训信号能帮助学生快速学会捕获和分析信号，学生们可以学习使用先进的硬件和软件，为将来工作做好准备。例如在电子电路实验教学中，帮助学生观察和分析各种电路信号的特性。电子电路研发：可用于对电子电路的设计、调试和故障排查。对电路中的信号进行精确测量和分析，如观察信号的波形、频率、幅度等参数，验证电路的性能和功能是否符合设计要求，帮助工程师快速定位和解决电路中的问题。比如在智能手机、电脑等电子产品的电路研发中发挥作用。工业生产检测：在工业生产线上，对产品的电子部件或电路进行质量检测和监控。能够检测信号的稳定性、一致性等，确保产品的质量和可靠性。例如在汽车电子生产中，对汽车电子控制单元的电路信号进行检测。3. 设备特点高更新速率：高达 50,000 波形 / 秒的更新速率（部分型号可达 200,000 波形 / 秒），可以让用户查看更多信号细节，能够显示其他类似价位示波器可能遗漏的随机、偶发的毛刺信号和异常。丰富的测量功能：提供专业测量，包括模板、算数运算、FFT（快速傅里叶变换）、模拟总线和协议触发 / 解码等，有助于快速分析和确定信号参数。直观的用户界面：具有简单、直观的用户界面和内置帮助系统，方便用户快速上手和操作。内置的帮助选项可让用户快速了解示波器的功能，进而提高测试和学习效率。多功能集成：集示波器、频率响应分析仪（波特图）、串行协议分析仪、WaveGen 函数发生器、数字电压表和频率计数器六种仪器的功能于一身，节省资金和工作台空间。内置培训信号：预装了多个培训信号，能让用户快速掌握示波器自带的测量和分析功能，这些培训信号还可与免费的教育培训套件结合使用。软件分析能力强：标配 PathWave BenchVue 示波器软件，能够自动执行测试并收集数据，可直观地控制示波器，轻松捕获屏幕图像并记录测量数据，进行更高效的分析。灵活的连通性：部分型号内置 USB 主机端口和设备端口，方便与 PC 连接；标准 LAN 连接允许多个工程师通过网络远程控制和共享使用仪器，方便在各种场所开展项目合作。

晶圆自动激光切割机/SA-IR20W-A（底相机对准）型，相比传统机型增加自动上下料功能，主要为：增加底部相机、增加底部成像镜头、增加底部成像光源，可实现晶圆片底部对准，保留原有上相机功能，可实现正切和背切功能，增加自动取料，自动对位，自动下料功能。技术规格 项目 单位 数值对准方式 底部对准，兼容顶部对准 最大加工尺寸 承片台 inch 5英寸最大切割深度 单晶硅 um ≤150微米 激光器功率 W 20瓦 激光器波长 nm 1064nm红外激光器 重复频率 KHZ 20千-80千赫兹 切割线宽 um 40-60微米切割参数 切割速度 mm/s 150毫米每秒工作台承载方式 大理石 mm 厚度100毫米 电源 AC 两相220-240V50HZ 最大耗电量 KW 2.0千瓦 压缩空气供给压力 MPa 0.5-0.8兆帕其他规格 排风量（工厂自备） m³ /min 3立方每分钟 设备尺寸（W*D*H） mm 980*1270*1740毫米 设备重量 kg 660千克 排风口口径 mm 50毫米1）控制系统由专用PIC程序+电脑主机构成，故障率低，可靠性高，操作简单，易于维护。2）切割传动方式通过直线电机传动，提高设备切割精度。3）上下料传动采用电机传动。4）上料采用感应器检测，无料，自动报警。5）CCD自动对位。6）收集盒方便取放。

IQ Aligner Automated Mask Alignment SystemIQAligner 自动掩模对准系统 EVGIQAligner平台经过优化，可用于最大200 mm晶圆的自动非接触式接近处理。 技术数据IQ Aligner是具有高度自动化的非接触式接近光刻平台，可满足将生产线中的掩模污染降至最低，增加掩模寿命和提高产品良率的需求。除了多种对准功能外，该系统还通过专门配置进行了广泛的安装和现场验证，可自动处理和处理翘曲或变薄的晶圆。标准的顶面或底面对准与集成的IR对准功能之间的混合匹配操作进一步拓宽了应用领域，尤其是在与工程或粘合基板对准时。该系统还通过快速响应的温度控制工具集支持晶片对准跳动控制。 特征：晶圆/基片尺寸从最大200 mm / 8' ’由于外部晶圆楔形测量，实现了非接触式接近模式增强的振动隔离各种对齐功能提高了过程灵活性跳动控制对齐功能多种晶圆尺寸的易碎，薄或翘曲的晶圆处理太鼓晶圆加工经验手动基板装载能力远程技术支持和SECS / GEM兼容性附加功能： 红外对准–透射和/或反射 ；IQ对准器 技术数据楔形补偿：全自动-SW控制 ； 非接触式；先进的对齐功能： 自动对齐； 大间隙对齐； 跳动控制对齐 ；动态对齐工业自动化功能：盒式磁带/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，弯曲，翘曲，边缘晶圆处理晶圆直径（基板尺寸）：高达200毫米；对齐方式：上侧对齐：≤±0.5 μm； 底侧对齐：≤±1,0 μm； 红外校准：≤±2,0 μm /基板材料，具体取决于曝光设定：真空接触/硬接触/软接触/接近模式/弯曲模式；曝光选项：间隔暴光/洪水暴光；系统控制，操作系统：Windows；文件共享和备份解决方案/无限制配方和参数；多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR；实时远程访问，诊断和故障排除；通量全自动：第一批印刷量：每小时85片；完全自动化：吞吐量对齐：每小时80个晶圆；

固体激光器 半导体激光器 气体激光器 氩离子激光器 光纤激光器 大功率光纤耦合激光器 皮秒激光器 飞秒激光器 调Q脉冲激光器 激光系统控制器 激光功率计 激光护目镜 激光波长测量 激光光束分析仪 多通道激光功率计 大功率激光器 激光光束位置测量仪 激光扩束镜 激光准直器 红外激光显示卡 红外激光观察仪 红外观察仪 激光测距仪 激光器温度控制器 激光光纤耦合器 高稳定性激光器 自相关仪 飞秒激光倍频器 可变光阑 便携式激光器 染料激光器 激光光谱测量 热电制冷片 激光光束定位系统 视频显微镜测量系统 2微米光纤激光器 飞秒光纤激光器 皮秒光纤激光器 脉冲光纤激光器 光纤隔离器 拉曼激光器 光功率计 飞秒激光脉冲自相关仪 激光二极管参数分析仪 激光二极管电流控制器 单模垂直腔面发射激光器 超连续谱激光器 超连续谱激光器附件 窄线宽光纤激光器 高功率激光二极管 激光光斑位置测量仪 激光准直仪 250系列多波长激光防护 中红外激光器 自动点胶机 不同波长YAG系列激光防护镜 白光激光光源 光束整形器 光纤耦合脉冲激光器 超快激光放大器-EDFA 紧凑型氩离子激光器 新型氩离子激光器 微型固体激光器 近红外激光器 红外激光器 光纤耦合激光对准系统 激光二极管 超窄线宽激光器 激光测试测量仪器 波长计 可调谐激光器

1.产品概述：MA300 Gen3 掩模对准器是用于 300 mm 和 200 mm 晶圆的高度自动化掩模对准平台。SUSS MicroTec 的 MA300 Gen3 是一款高度自动化的掩模对准平台，适用于 300 毫米和 200 毫米晶圆。它为 3D 封装、晶圆封装和倒装芯片应用而设计，但也可用于必须暴露 4 微米和 100 微米几何形状范围的其他技术。2.产品优势：MA300 Gen3 代表了 SUSS MicroTec 的新一代掩模对准器，旨在满足大批量制造环境中现代晶圆厂的要求。除了精度低至 0.5 μm （DirectAlign） 的标准顶部对准外，新的 3D 用对准平台还支持基于 300 mm 的三维 （3D） 封装光刻应用的底部和红外对准，例如用于 TSV 和切割街道的蚀刻掩模、背面再分布层 （RDL） 或凸块应用。虽然底部对准使 SUSS MicroTec 300 mm 掩模对准器能够处理双面结构化晶圆，但红外对准选项允许处理不透明但红外透明的材料，例如粘合剂，特别是对于薄晶圆处理或封装应用。与步进式对准器不同，接近掩模对准器在暴露非常厚的层时非常有效。掩模对准器提供较大的处理窗口，因为它们没有投影系统已知的焦深限制。