激涉测量仪

中图仪器SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在机床领域中的应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿在计量检定领域的应用1、测长机检定传统的测长机示值误差主要采用量块进行校准，受环境因素影响较大，校准条件要求高，且量程大于1m的测长机需要分段校准，效率低，而使用激光干涉仪进行校准，不仅可以提高效率，还可通过环境补偿单元对空气温度、压力、湿度和材料温度进行补偿，提高校准精度。2、三坐标测量机示值误差测量随着三坐标测量机技术的更新和发展，使用传统的量块、球板等已经难以满足大型三坐标测量机的检测要求，激光干涉仪测量准确度高，测量范围大，测量数据丰富，适合测量三坐标各项几何误差。3、位移传感器检定利用SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪对位移传感器检定成为发展趋势,其特点是测量精度高、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比，位移传感器自动检定系统与SJ6000激光干涉仪(标准)对定长位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。4、影像仪定位精度测量影像仪传统检测方法采用线纹尺比对法进行，存在着检测精度低、测量系统误差大、成因分析功能缺失、改善方向不精准、 检测效率低下等问题。使用激光干涉仪可以对影像仪的定位误差进行快速检测，对测量数据进行运算分析，利用软件生产补偿文件快速实施二维平面多点位补偿，可大大降低设备制造过程中的精度检测难度、提升检测效率及补偿效率。

中图仪器SJ6000机床精度激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000机床精度激光干涉测量仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。SJ6000机床精度激光干涉测量仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，如在机床加工领域：1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000激光干涉仪不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa 线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SJ6000数控机床倾斜轴激光干涉测量仪利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。SJ6000数控机床倾斜轴激光干涉测量仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。应用场景1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。 机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿 SJ6000数控机床倾斜轴激光干涉测量仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH 环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm 标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量。它通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量； 5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪以白光干涉技术为原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪非接触式高精密测量，不会划伤甚至破坏工件：【测量小尺寸样品时】可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，Z向扫描电机可扫描10mm范围，可测非常微小尺寸的器件；【测量大尺寸样品时】支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致；SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：粗糙度测量案例 硅晶圆粗糙度测量晶圆IC减薄后的粗糙度检测蓝宝石粗糙度测量部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器CHOTEST设备直线度激光干涉测量仪SJ6000利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。中图仪器CHOTEST设备直线度激光干涉测量仪SJ6000适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等； （6）支持手动或自动进行环境补偿。产品配置中图仪器CHOTEST设备直线度激光干涉测量仪SJ6000系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量应用SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。 部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa 线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器线性位移精度激光干涉测量仪SJ6000集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。中图仪器线性位移精度激光干涉测量仪SJ6000具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量配置及使用方法线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。 线性镜组可以针对不同方向的运动轴而搭建相应的测量光路，如下图：水平轴的线性测量示意图垂直轴的线性测量示意图SJ6000静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。线性测量应用中图仪器线性位移精度激光干涉测量仪SJ6000广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。测量软件（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块； （3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项： 平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器W系列白光干涉微观三维形貌测量仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。W系列白光干涉微观三维形貌测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。典型结果表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）自动拼接测量针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器W系列白光干涉微观三维形貌测量仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW白光干涉微观形貌测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW白光干涉微观形貌测量仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。 8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。粗糙度测量案例应用领域SuperViewW白光干涉微观形貌测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW白光干涉轮廓形貌粗糙度测量仪以白光干涉技术为原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。SuperViewW白光干涉轮廓形貌粗糙度测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量（见附录一）；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能； 7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW白光干涉轮廓形貌粗糙度测量仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。应用领域案例

SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。 产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。测量软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。产品应用SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。 对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。上一篇： 无图晶圆粗糙度测量设备

中图仪器SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能； (5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。产品特点参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝"；双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例： SuperViewW1白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

Adamand Namiki 光干涉内周面测量仪 NMH-01关键词：内周面划痕检测、内型面测量、内径检测、圆度检测、内型面形貌仪 对于精密孔加工零件，例如航空航天仪器中的燃料喷嘴、医疗器械中的中空零件、分析仪中的精密喷嘴和流体动力轴承，内周表面评估的重要性日益增加。 现有的测量仪器可以评估内径较大的加工零件的内径、圆度、表面粗糙度和形状。然而，除非将零件的主体切成两半，否则这些仪器无法测量孔加工零件。 Namiki Adamant 开发了“NMH-01 内型面测量仪 ”，这是一种非损伤的内周面测量仪，可以利用近红外光的光学干涉实现孔内周面的可视化。 由于Namiki Adamant的微电机技术和光通信技术，使这项独特的发明成为可能。它结合了我们世界上最小的 φ0.9mm 电机和我们获得专利的光学成像探头，并配备了我们获得专利的倾斜校正算法。它具有以下新功能： (1) 内径测量小至φ1.1mm；(2)同时测量内径、圆度、形状；(3) 重复精度σ＝0.2μm； 我们的仪器不仅可以观察和测量孔加工零件的内周面，还可以同时评估内径、圆度、表面粗糙度和形状，过去需要分别使用单独的仪器。这些功能将测量时间从约 30 分钟显着缩短至 30 秒，有助于提高客户的测量效率。 NMH-01 内型面测量仪特点：可测量的最小内径：1.1mm重复精度σ＝0.2μm自由设定：独创计算自动调整工作倾角。测量时间：30min（常规）缩短为30sec（同时测量内径/圆度/形状）安装最小的φ0.9mm电机的可测量最小直径φ1.1mm。重复测量精度：0.2μm通过半透明标准管Z大限度地减少光学振动和波动。设置自由测量通过算法处理自动调整工件的倾斜和偏心状态。NMH-01 内型面测量仪测量示例：连杆检测轴承检测划痕检测

SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪基于白光干涉技术原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

Thorlabs SI035剪切干涉仪 光学测量仪特性用于相干光束的定性准直测试仪适合1 mm到50 mm光束直径的各种选项分出 10%光束磁性耦合可调设计，可快速更换剪切板英制和公制螺纹安装孔输出端兼容30 mm笼式系统(除了SI500)下面提供更换的剪切板下面单独提供配件(不兼容SI500)SIVS放大观察屏，用于Ø 1 mm - Ø 10 mm光束SITST安装板，带SM1 (1.035"-40)内螺纹SICP和SICPSM1转接件，用于兼容30 mm笼式系统 Thorlabs剪切干涉仪设计用于定性检测相干光束的准直。它们为辅助准直透镜的对准提供一种快速的方法。剪切干涉仪包含一块楔形光学平板，相对入射光束以45°安装。光学平板前后表面的反射重叠在设备顶部的散射板上。散射板上刻的参考线指示入射光束是否准直。楔形光学平板由未镀膜的紫外熔融石英制成，透射范围从185 nm到2.1 µ m。如果用于红外光，需要红外观察仪才能看到散射板上的条纹。每个平板的楔角针对可接受光束的直径范围(刻在剪切板上)经过优化；详情请看规格标签。由于光45°角入射在平板上，条纹图案的强度取决于光的偏振。偏振垂直于入射平面时产生最大强度。构造每个剪切干涉仪包含三个部分：一个底座、一个带楔形光学平板的剪切板和一个带散射观察屏的板。为了搭建干涉仪，可用包含的带帽螺丝和六角扳手将观察屏板安装再底座上。剪切板通过磁力固定位置，方便更换带有不同楔形光学平板的剪切板。

光弹性系数测量仪姓名：田工(Allen)电话：（微信同号）邮箱：光弹性系数是材料的特性常数 主要是透明材料在受力后，会出现各项异性产生双折射现象。通过光弹性系数以及双折射测量，可以获得材料内部残余应力(Mpa)的值昊量光电提供的设备通过高精密应力双折射测量，可以实现对设备实时应力双折射值（nm）观测采集。于此同时，光弹性系数测量仪 通过高精度加压加力装置，同时获得外部压力（Mpa), 从而获得材料在一定压力下，对应光程差转换常数(nm/Mpa）光弹性系数测量仪产品通过共径干涉仪和基于傅立叶分析法，实现以速度快，精度高，不受振动和空气波动等干扰等特点的双折射测量，系统采用高稳定激光光源（2mw），实现优化化光学元件配置，实现长期几乎免维护时间光弹性系数测量仪参数:变形方式：拉伸/压缩测量样品尺寸：用于拉伸试验：10 x 80 mm用于压缩测试：Φ20mm，薄15mm厚度：0.3 至 15 毫米驱动系统：步进电机左右螺杆同时驱动拉伸压缩距离：100 毫米称重传感器：额定 50 N（可更换为 200 N、1000 N）恒温层控温：室温-200℃温控精度：±1℃光弹性系数测量仪可测量内容：光学特性 光弹性常数、双折射机械性能弹性模量（杨氏模量）、断裂强度通过这些测量，可以进行弹性区域的形态分析以及拉伸特性和取向特性的分析。 光弹性系数测量仪补充基本原理:让具有双折射的样品通过两频正交线偏振光（STZL 振荡光），使其主轴与偏振面重合。每个偏振分量通过样品的速度在样品的“双折射快轴”和“慢相”方向之间不同。因此，通过样品后，会出现“相位差”。通过使用光学外差干涉法检测相位差，可以高精度地定量测量样品的双折射量。外差干涉法测量双折射：通过叠加两个频率略有不同的波，可以观察到等于频率差异的“拍频”。从这个拍品中提取必要的信息称为外差法。由于光也是一种波，它自然会产生“频率“从“光学节拍”中提取信息称为光学外差干涉法。在调音中，我们经常使用音叉。考虑用它来调整你的吉他。一开始，如果在琴弦松动的情况下拨动琴弦同时使音叉发出声音，将分别听到琴弦的声音和音叉的声音。当琴弦逐渐拉紧时，整体听起来像是一个声音，但如果仔细聆听，您会发现声音以非常快的周期重复强弱（状态 1）。随着琴弦进一步拉紧，声音强度的周期逐渐变长（状态 2），最终声音的强度完全消失（状态 3）。这种声音的强度称为“节拍”。当两种声音（波）的频率不同时，感觉节拍就是不同的频率。当音叉音与弦音的频差较大时（状态1），节拍周期快（节拍频率大）。随着两个声音之间的频率差变小（状态 2），节拍周期变慢（节拍频率变小）。这样，两波重叠就产生了“拍”，拍的频率就等于两波的频率差。在这种情况下，音叉的频率是恒定的，因此如果将其视为参考信号，则可以通过拍频来区分（=检测）琴弦的频率，即声音的周期强度。在光的情况下，会发生与声音相同的现象。也就是说，当两种频率略有不同的光叠加时，就会产生与不同频率相等的光拍。这种称为“光节拍”，而光节拍的频率有时简称为“节拍频率”。光节拍被检测为光强度的周期性变化（明暗变化）。如果您向两个光之一提供一些信息，该信息将相应地出现在光学节拍中。这里的信息意味着为光的振幅、相位和频率提供某种信号。换句话说，当一个光具有某些信息时，可以在该光上叠加另一个“参考”光（这称为参考光）并从光拍频信号中提取信息。这种信号检测方法称为“光外差干涉法”。光学外差干涉测量具有以下特点。通过使用锁定放大器等检测信号，可以进行高精度、高灵敏度的测量。当信号信息仅为相位信息时，不受干扰引起的信号光强度波动的影响。它不受不同频率的信号分量（一般是噪声）的影响。通过增加参考光的强度，可以检测到微弱的信号。等等通过相关计算公式最终可以获得待测双折射：主轴方向的同时测量：但是，在上述方法中，（1）必须事先获得样品的双折射主轴方向，（2）主轴方向必须与振荡STZL 的偏振面... 因此，在围绕光轴旋转STZL振荡光的偏振面的同时检测相位差，同时获得双折射量及其主轴方向。为了使偏振面绕光轴旋转，我们利用了半波片的“将发射偏振面旋转了入射偏振面与波片主轴夹角的两倍”的特性。该图显示了使用光学外差法同时测量双折射量及其主轴方向的光学系统。在这种光学外差干涉仪中，STZL 振荡光的两个偏振分量通过完全相同的光路，从光源到光电探测器。因此，扰动的影响——例如振动和空气波动——将影响完全相同的两个极化分量。结果，由这些干扰引起的所有噪声分量都被抵消了，而光差拍信号根本不受影响。一般的光学干涉仪都需要实验设备来去除振动和空气波动，但根据这种测量方法，这种设备是不需要的。这是进行光学测量的一大优势。辅助信息：双折射当光从空气进入透明材料时，光在边界处发生弯曲。换句话说，行进方向发生了变化。这是由于空气和透明材料的不同特性。在我们周围的环境中，当我们进入浴缸或游泳池时，我们可以通过让我们的手臂看起来弯曲在水面上来体验它，水中的东西看起来比实际更近或更大。当光以这种方式进入不同的物质（例如，从空气到水）时，光传播的方向发生弯曲，称为“光的折射”。那么光为什么会折射呢？原因是光通过材料时，其通过的速度不同。从感官上来说，我们可以理解，在水中行走和在陆地上行走，在陆地上的速度要快得多。由于水的密度比空气大，阻力相应增加，所以你不能走得快。粗略地说，你可以用同样的方式来思考光。“当光线穿过致密的材料时，通过的速度会变慢。”如下图A所示，尝试将手腕浸入水中。然后，如果像 b 一样将手移向黄色箭头，由于水的阻力，手会自然弯曲。那时，手背会略微朝下。其实光行进的方向可以用这种方向来表示。在光的情况下，手背的方向称为“波前”。换句话说，当光线进入折射率高的地方时，光线的波阵面由于其电阻而弯曲，结果光线的行进方向发生弯曲。这就是光的折射。折射度因物质而异，每一种都有唯yi的值。

白光干涉仪是一种精密测量仪器，能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓、微观三维形貌、PV值、台阶、高度、平面度、盲孔等进行高精度测量。白光干涉仪的测量精度很高，精度可以达到亚纳米级别。以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动的白光干涉仪，精度高达0.03nm，扫描速度高达400μm/s。它应用的行业很广泛，可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、3C产品、材料、液晶等领域。

自进入信息时代以来，科技发展越发迅速。你知道光学测量仪及坐标测量机的重要性吗？下面影像测量仪厂家妙机和大家浅谈一下。　　测量、计算机和通信技术这三者的作用非常重要。如今手机电脑、平板等随处可见，无线网络等出现，使得信息技术发展迅速，现在信息已经广泛覆盖，在经济发展中的作用举足轻重。而在信息产业中又少不了计算机等硬件设备，所以说测量技术是信息技术的基础，仪器仪表却是信息技术的重要组成部分。由此可见仪器仪表和测量在现代社会中的重要性。　　近年来仪器仪表和测量也得到国家的重视，国家在各种政策方面也给予了很大支持。2001年的七届四次全国人大会议上，在国家经济与社会发展第十个五年计划纲要中国家就提出了“注重仪器仪表发展，将其放在重要位置。之后政府就下达了一大笔专项资金来支持仪器仪表发展，这就再次说明国家队仪器仪表的关注。2005至现在国家都下发了有关政策，都涉及到仪器仪表和测量如何发展。在航天计划和其他科技发展计划中，仪器仪表和测量也备受重视。所以这几年来仪器仪表和测量迅猛发展。　　在国家的注视下，仪器仪表和测量从稚嫩走向成熟。并且逐渐促进了国内仪器仪表行业的创新和研发，由以前的引进国外仪器，到现在能完全自己研发制造仪器，而且制造的仪器质量、精度都很高。尤其的光学影像及坐标测量行业，已经进入强烈的竞争时期，激烈的竞争更加促使了技术技能的更新。　　以上为影像测量仪生产厂家给大家讲解的内容，希望能帮助到大家，如有意向想要购买或者想了解更多关于这方面的知识的朋友们，欢迎关注妙机科技网站或者致电联系，我们妙机科技公司是一家致力于生产、销售为一体的测量厂家，值得信赖！

中图仪器GTS空间姿态激光跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术 目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架GTS空间姿态激光跟踪测量仪稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。 （3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。GTS空间姿态激光跟踪测量仪是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，是同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）的高性能光电测量仪器，已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。

中图高精度白光干涉光学3D轮廓测量仪SuperViewW1实现各种精密器件及材料表面的亚纳米级测量。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。中图高精度白光干涉光学3D轮廓测量仪SuperViewW1以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能； (5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。中图高精度白光干涉光学3D轮廓测量仪SuperViewW1具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器GTS激光跟踪工业机器人空间精度测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量。在大尺度空间测量工业科学仪器中，GTS激光跟踪工业机器人空间精度测量仪具有高的精度和重要性，是同时具有μm级别精度、百米工作空间的高性能光电仪器。能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。GTS激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点1、主机测量系统 （1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2)目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架 稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头iProbe 6D姿态探头采用机器视觉和重力对齐的传感融合技术，通过探头的局部坐标系和系统整体坐标系的配准变换解算测球的空间位置；不仅能对点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量，而且能够根据探头的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征进行快速、高精度的测量。3、iTracker 6D姿态智能传感器iTracker 6D姿态智能传感器采用主动反向跟踪和重力对齐技术，在测量时实时地调整探头的姿态并始终正对锁定测量激光束，通过运动学模型精密解算目标的三维空间位置坐标和空间姿态角度，可以测量非常宽范围的俯仰角和偏航角。 4、EyeScan跟踪式激光扫描系统EyeScan跟踪式激光扫描系统，采用视觉动态跟踪技术，实时跟踪定位扫描头的空间位置，配合跟踪仪，可实现大中型物体的实时高精度扫描。操作简单，无需贴点。5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件 基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。产品应用GTS激光跟踪工业机器人空间精度测量仪广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。技术创新1、高精度激光绝对测距技术采用新的机遇正交调制的方法进行连续频率扫描测距（QFCW），设计大动态范围变速扫频与高精度相位鉴别算法，通过正交调制技术大幅度提高信噪比，实现高精度快速“断光续接"复合测距。2、热力载荷均衡分布技术激光跟踪头采用温度热梯度场和力学载荷均衡分布设计，使得激光跟踪仪在长时间跟踪测量时，受重力偏载的影响最小，温度热梯度场均衡设计一定程度上减少热变形，在少量的热补偿之后便可以保证系统的高精度测量和高稳定性。3、光机统一误差建模和补偿技术针对系统建模校准和补偿，通过仪器几何光路系统、机械结构误差行程机理，建立包含所有光学、机械误差项的全误差运动光学模型，设计出一套快速的校准和补偿方法，使得跟踪测量系统能够达到空间坐标测量精度。

中图仪器GTS大尺寸空间激光跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，在大尺度空间测量工业科学仪器中具有高精度和重要性，是同时具有μm级别精度、百米工作空间的高性能光电仪器。GTS大尺寸空间激光跟踪测量仪是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。中图仪器GTS激光跟踪测量系统已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。 2、iProbe 6D姿态探头（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。 （4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。产品应用GTS大尺寸空间激光跟踪测量仪在各种大尺度空间精密测量领域，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。

产品介绍：TwoMP分子质量光学测量仪分子质量光学测量仪是一款创新的光学分析仪器，通过光干涉的原理去称量生物分子如蛋白/核酸的分子量，检测速度快且样品用量小，只需2ul样品，5分钟内即可完成检测。分子质量光学测量仪广泛用于测量蛋白分子量，蛋白的寡聚化状态，如蛋白的单体、二聚体等存在形式，以及蛋白与蛋白或蛋白与DNA的相互作用研究。检测原理：技术参数：检测波长：488nm分子量范围：30KDa-5MDa灵敏度：＜1ng准确度：±2%样品用量：2ul检测时间：1min产品优势：1、无标记检测，维持分子自然状态2、单分子检测，兼容各种buffer3、动态检测范围宽4、纯度、存在状态、相互作用检测5、检测速度快，样品用量少应用领域：蛋白质组学生物大分子药物细胞生物学

中图仪器GTS激光断光自锁跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。 （5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架GTS激光断光自锁跟踪测量仪稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。GTS激光断光自锁跟踪测量仪作为高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）的产品特点，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。中图仪器GTS激光跟踪测量系统已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。部分主机技术指标型号GTS3800基本规格跟踪头尺寸220×280×495 mm跟踪头重量21.3Kg控制器集成式激光器633nm,1mW/CW | Class 2防护等级IP54测量范围测量半径80米水平方向±360°垂直方向-145°~+145°目标识别目标自锁距离60m相机与视场角1.3MP | 10° FOV靶球规格靶球直径0.5英寸~1.5英寸球心距离3µ m~7.5µ m恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

特点：用于连续激光测量，波长测量精度高达 ±0.0001 nm内置标准稳频HeNe激光器实现连续校准可以同时实现光功率测量，准确度可达±15 %工作波长375 nm-12 μm，输入功率可以低至10 μW对于visible与near-IR波长，提供便捷的预准直光纤输入口，对于IR 与mid-IR波长，提供可见光辅助校准软件基于Windows系统，可采用USB或者Ethernet实现与PC的通讯便捷的平板电脑、智能手机应用程序实现在实验室内随时随地可以实现波长数据的汇报采用用户或者Labview程序可以实现自动波长数据报告，无需专用PC激光波长计选型建议： 波长信息对于诸如高精度激光光谱、光化学、原子冷却/俘获、光传感等很多应用来说都是非常关键的。671系列波长计可以实现激光波长的精确测量。该系列产品采用迈克尔逊干涉仪实现连续激光器的波长测量，精度高达±0.2 ppm。采用内置波长校准保证实验数据结果所需要的可靠准确度。Bristol 671系列高精度激光波长计 光学测量仪

电子脊柱测量仪济南多博智能科技有限公司Jinan Duobo Intelligent Technology Co.,Ltd.背景：现代社会高速发展，使人类的生活方式、生产方式以及生态环境都发生了根本的变化。致使人的肉体和精神都承担了前所未有的重负，脊柱也变得异常的脆弱，有时甚至经不起轻微的扭挫。特别是中小学生发生脊柱侧弯比例呈明显上升趋势，主要与孩子沉迷于网络游戏以及长期姿势不良和身体过度负重有关。生活条件的改善使孩子体格发育比过去明显高大，部分学校的课桌板凳仍然保持原先的高度，没有及时根据孩子的身高变化做相应调整。这导致很多孩子的脊柱出现问题，进而导致驼背、假性近视等。由于最老的目测、重力角测量、CT或X光测量等方法都能从不同的角度测量人体脊柱的相关参数，传统的测量方法都有难点及屏障。新诞生的电子脊柱测量仪原理采用三维电子加速度角感应和重力倾角技术，可实现无创、实时、准确的评估及跟踪监测脊柱畸形、姿势异常、活动能力异常等。可根据该测量仪提供的测试数据决定成年人或儿童是否需要进一步诊断和治疗。电子脊柱测量仪针对终端用户使用环境和要求的不同，我公司设计了两款产品用于脊柱测量，分别是：便携式和豪华推车式。电子脊柱测量仪是一种无创的手持式电子设备，它采用三维电子加速度角感应和重力倾角技术，可实时、准确的测量脊柱畸形、姿势异常、活动能力异常的角度值，从而评估脊柱是否正常。主要特点&bull 测量多种项目多种姿态，可在运动下进行测量，动态反应；&bull 无痛、无创、无辐射&bull 手持式设备、便携移动&bull 高准确度、动态取值&bull 简单易用、自动结果&bull 低成本，适用人群广主要参数&bull 原理：三维电子加速度角感应和重力倾角技术；&bull 测量角度范围：0--179º ；&bull 准确度：已测同向角度之间的误差范围：±1.5º &bull 测量速度快，单个项目的测量时间＜15秒。&bull 数据传输：蓝牙传输，在无障碍的情况下至少接收距离为3米；躯干倾斜角测量脊柱后凸（驼背）测量颈椎侧向弯曲测量胸椎侧向弯曲测量腰椎侧向弯曲测量颈椎前屈后伸测量胸椎前屈后伸测量腰椎前屈后伸测量颈椎水平旋转测量胸椎水平旋转测量腰椎水平旋转测量头部平衡测量肩部平衡测量腰部平衡测量公司简介济南多博智能科技有限公司坐落于美丽的泉城——济南，集设计、研发、生产、销售、服务于一体，是一家从事仪器设备相关产品研发和生产的专业公司. 我公司拥有一支国内行业专家学者所组成的研发队伍，科研力量十分雄厚，引进先进的生产设备，结合精湛的生产工艺，秉承完善的质量体系，致力开发生产高、精、尖的仪器设备。服务的客户群体涉及疾控系统、医疗系统、环保系统、科研院校等等不同行业部门。我们的技术服务团队为客户提供一对一式产品咨询、调试、维护以及后期开发定制服务，和国内众多终端以及经销商达成长期战略合作关系。在今后的发展道路上，公司秉承为顾客提供优质的产品及服务的宗旨，完善自己的产品、服务，回报广大新老客户，我们不会止步于此，必定再接再厉，共成长，同发展！

体积重量测量仪-茂宏BC测量仪体积重量测量仪-上海茂宏电子科技有限公司推荐 随着人力成本的不断增长对企业发展的影响越来越大，经济学者认为未来中国人力成本将会持续加速的上涨。人难招、人力成本高将会是大势所趋。这种情况下企业应及时改变运作思路，企业可通过人员的调整和现代化物流仓储的实施推广，以更少的人力完成更高的效率。相应地，也就降低了员工的人力成本外，更加提高了工作的时效性和科学性。　　货物商品的体积/重量数据对于物流/商超零售/电商/医药/是非常重量的。一方面，客户和物流企业之间的物流费用结算要对重量/体积的准确计量 企业内部数据优化管理。另一方面，及时准确的获取货物的重量/体积/条码数据对于物流企业的流程优化和决策过程也是有很重量的意义。但传统企业往往使用普通台秤或者平台秤对货物的重量进行计量，而需要测量体积的场合则一般使用皮尺等工具手工测量。在传统的方式下，货物的计量过程由手工完成，效率比较低下 计量结果也很容易引起贸易双方的争议 在将手工所测得的数据人工输入系统的过程中，也难免会发生因人为因素而产生的数据偏差.从而对之后一系列的货物配载，运费结算等等多个环节引起不必要的麻烦。　　早些年90年代以来，在世界范围内，以UPS,FEDEX,DHL,TNT为代表的国际快递公司率先开始采用先进的体积测量系统来对托运货物进行快速准确的计量，并实时传送至其物流数据库中。 可以智能测量长宽高外形尺寸的仪器我们俗称为体积重量测量仪，在国外该类仪器已经有40年之久的使用经验。因为其售价非常高昂，所以早些年国内的用户基本上就是跨国企业或者国内行业里的大佬企业，但这些年在该设备国内的认识度也是越发的提高。 国外设备原理一般采用的都是超声波、红外光栅、激光等传统传感器，其主要优点不但测量准确，而且数值稳定误差小，经过40年的不断升级完善，现如今已经属于非常成熟的产品了。这些年国内也涌现出一大批供应商，主要采用视觉拍照外加辅助等原理，其优点便是成本及入行门槛较低，但是在测量误差精度和性能稳定性方面以及受环境色彩的局限性和进口同类仪器相比还是存在一定的差距。 现我司推荐一款同样采用超声波传感技术的国产体积测量设备，其可以快速准确的测量出纸箱等规则物体的外形尺寸，并且能将误差控制在1-2m内，精度及性能参照进口同类仪器，但售价却是非常的国产化。 我司产品经理自2008年从事体积重量测量仪领域已有10年多的从业经验，有6年进口体积测量仪的销售经验，亲眼目睹当进口设备首次登入国内参加行业内展会上的冷清无人问津，到这两年一步步走到现如今的认知程度，对不同行业不同市场及不同客户使用案例还是比较了解。如有兴趣笔者也很乐意分享经典客户案例及使用场景介绍供大家学习参考。上海茂宏电子科技有限公司经销批发各类标准砝码、电子秤、测力仪、拉力计、电子天平、取样器、对色灯箱、色差仪、桶装秤、包装秤、体积重量测量仪以及自动化设备等产品畅销市场，积累了众多新老客户与消费者；公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。上海茂宏电子科技有限公司主营的铸铁砝码、无磁不锈钢砝码等品种齐全、价格合理。公司实力雄厚，重信用、守合同、保证产品质量，以多品种经营特色和薄利多销的原则，赢得了广大客户的信任与支持。体积重量测量仪-茂宏BC测量仪

光反射薄膜测厚仪原产国：美国薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术，我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。该产品是一款价格适中、功能强大的膜厚测量仪器，近几年，每年的全球销售量都超过200台。根据型号不同，测量范围可以从10nm到250um，它最高可以同时测量4个膜层中的3个膜层厚度（其中一层为基底材料）。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。 应用领域理论上讲，我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们最熟悉的应用领域(半导体薄膜，光学薄膜涂层，在线原位测量，粗糙或弧度表面测量)：□ 晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)；□ 晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...)；□ DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层；SOI硅片；□ MEMs厚层薄膜(100μm up to 250μm)；□ DVD/CD涂层；□ 光学镜头涂层；□ SOI硅片；□ 金属箔；□ 晶片与Mask间气层；□ 减薄的晶片( 120μm)；□ 瓶子或注射器等带弧度的涂层；□ 薄膜工业的在线过程控制；等等… 软件功能丰富的材料库：操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据，基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。软件操作简单、测速快：膜厚测量仪操作非常简单，测量速度快：100ms-1s。软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。软件带有构建材料结构的拓展功能，可对单/多层薄膜数据进行拟合分析，可对薄膜材料进行预先模拟设计。软件带有可升级的扫描功能，进行薄膜二维的测试，并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。

中图仪器GTS动态目标跟踪测量仪是高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）特点。系统由计算机、跟踪测量站、目标镜组成，将水平和垂直两个方向的角度测量与距离测量结合在一起，构成一个球坐标测量系统；通过目标镜完成空间几何元素测点信息的获取，并通过三维数据分析软件完成对空间几何元素尺寸、尺寸公差与形位公差、空间曲面与曲线的分析计算工作。GTS动态目标跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，在大尺度空间测量工业科学仪器中具有高精度和重要性，是同时具有μm级别精度、百米工作空间的高性能光电仪器。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。 （4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头 （1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS动态目标跟踪测量仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。应用领域广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。中图仪器GTS激光跟踪测量系统已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。

中图仪器GTS三坐标激光动态跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量，在大尺度空间测量工业科学仪器中具有高的精度和重要性。GTS三坐标激光动态跟踪测量仪作为高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。产品应用在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定；此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。中图仪器GTS三坐标激光动态跟踪测量仪已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。 （3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头 （1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。 4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。 6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。性能特点1、速度与精度的融合实现测量精度和速度的同时，具备挡光自动恢复的功能。2、目标球自动搜索断光时自动搜索目标球，完成断光续接，目标球自动锁定，提高测量效率。3、大尺寸测量范围广激光跟踪仪可测量直径达到160m的空间范围，适用于大尺寸三维测量。4、接触式测量借助靶球反射激光光束（SMR）确定三维空间坐标。5、持续稳定的支撑系统 三脚架底盘确保稳定的测量条件，避免环境震动带来的精度损失。6、集成化设计易携带结构设计紧凑，集成式的配件运输箱，整备体积小、重量轻，便于运输。