油箱加热器

细胞生长需要适宜的温度。哺乳动物细胞培养温度一般为36.5±0.5℃，偏离这一温度范围，细胞的正常代谢会受到影响，甚至死亡。总的来说，培养细胞对低温的耐受力比对高温强。温度上升不超过39℃，细胞代谢强度与温度成正比。39-40℃培养1h，细胞受到一定损伤但仍可能恢复；41-42℃培养 1h，细胞受到严重损伤，但不致全被杀死，个别仍可能恢复；43℃以上培养1h，细胞将被杀死。相反，温度不低于0度，对细胞代谢虽有影响，但并无伤害作用；把细胞置于25-35℃，细胞仍能生存和生长，但速度减缓；放在4℃数小时后，再回到37℃，细胞仍能继续生长。细胞代谢随温度降低而缓慢，温度降至冰点以下，细胞可因胞质结冰受损而死亡。温度控制对培养细胞的健康和生长非常关键。CO2培养箱能够对温度提供准确稳定的控制，主要有两种温控类型：水套式和气套式。它们的区别主要在它的加热方式上，其实气套式与水套式这两种加热方式对实验结果影响不大、都能够达到可靠的效果，只是在温度恒定和加热快慢上有所区别，所以用户可根据自身的实验环境和实验室条件来选择。1、水套式加热水套式加热方式是通过一个独立的水套层包围内部的箱体来维持温度恒定的，其主要优点是：水是一种很好的绝热物质，当遇到断电的时候，水套式系统就可以较长时间保持培养箱内的温度准确性和稳定性。但水套式需要对水箱进行定期加水、清空和清洗，并要经常监控水箱运作的情况，若清理不及时可能会有潜在的污染隐患。2、气套式加热气套式加热主要是通过设置在箱体气套层内的加热器直接对内箱体进行加热的，也叫六面直接加热；气套式和水套式相比较，加热速度更快。为了不影响培养，培养箱应在培养区域外安装一个风扇，可以帮助培养室内的空气循环，而不会干扰细胞培养；当箱门开启或关闭时，这种温和的空气循环可以加快内部温度，CO2浓度和湿度的恢复。此加热方式特别适用于短期培养以及需要箱门频繁开关取放样的实验。另外，对于用户来说气套式设计比水套式更简单化。

汽车燃油箱综合测试系统平台 我公司于2001年就为德国KOTAS制造了一套奥迪C6燃油箱检漏设备生产线，由于采用了PLC和计算机智能化自动检测合格与不合格分选智能存储打印和气动控制得到了德方的好评。在日本检湿传感器，在日方工作人员不能及时到现场的情况下，我们解决了安装调试。因此，德方亲自来我公司考察两次，又定制了一套PQ35检漏生产线的合同，我方用两个月的时间完成并验收。对于此次与贵公司合作的项目，我方将借鉴为德国KOTAS制做设备的经验，并结合国内外相关产品的优点为贵公司做出合格满意的产品。 一，系统构成及试验方案 本系统有四个组成部分，可分别进行如下试验 1， 汽车燃油箱油箱盖的密封性试验 2， 燃油箱耐压试验，安全阀开启压力试验及燃油箱进气阀开启压力试验 3， 塑料燃油箱角锤冲击试验 4， 燃油箱密封性试验。 该系统满足GB18296-2001和QC/T 644-2000标准中的相关要求。该系统为四个相对独立的试验平台。 试验平台一：该试验平台为燃油箱箱盖密封性试验台。技术要求参照QC/T 644-2000行业标准中4..6项，安全性能要求参照GB18296-2001国家标准中3.1项，试验方法参照QC/T 644-2000行业标准中5.4项和GB18296-2001国家标准中4.1项。油箱放到旋转台后装夹固定，在空载的情况下通过电动翻转台将油箱翻转180度，通过电机水平二维控制将漏杯定位在燃油箱箱盖下方。然后再将油箱翻转回位。通过流量控制装置装入额定量水后密封，油箱经通过PLC控制电机与减速器驱动操作平台翻转180度，将15秒稳定后一分钟内的漏液去皮称重。操作平台翻转回位，然后开封抽水松夹并将漏杯自动升起倒掉漏液。用户可通过计算机采集的漏液重量，打印试验结果，建议增加操作平台旋转时安全保护功能。 试验平台二：燃油箱耐压试验，安全阀开启压力试验及燃油箱进气阀开启压力试验台。燃油箱耐压试验的安全性能要求参照GB18296-2001国家标准中3.6，3.7，试验方法参照GB18296-2001国家标准中4.4，4.5项。燃油箱耐压试验分塑料油箱试验和金属油箱试验两种。塑料油箱耐压试验温度非常温。自动增压系统采用比例阀控制，注水采用流量控制装置控制注入额定容量。后俩项试验温度为常温。安全阀开启压力试验安全性能要求参照GB18296-2001国家标准中3.1项和3.4项，试验方法参照GB18296-2001国家标准中4.2项。进气阀开启压力试验技术要求参照QC/T 644-2000行业标准中4.8项，试验方法参照QC/T 644-2000行业标准中5.6项中。自动增压系统采用比例阀控制，注水采用流量控制装置控制注入额定容量，抽水时采用流量可控抽水装置。整个试验台可移动，试验配套外设随用随取。 试验平台三：塑料燃油箱角锤冲击试验台。本试验试验方法参照GB18296-2001国家标准z中4.6项。在油箱中加入额定液体后装夹，通过15KG重的三角形云锤，用30J冲击能量冲击易损伤部位；自动调整角锤高度，使角锤在20J~50J的范围内可调。整个装夹平台可垂直升降水平翻转，摆锤位置可水平调整。摆锤位置控制可分手动和自动两种。油箱内介质可过滤回收。注水采用流量控制装置控制注入额定容量。整个试验台可移动，试验配套外设随用随取。 试验平台四：燃油箱密封性试验台。具体技术要求参照QC/T 644-2000行业标准中4.5项中相关内容。试验方法参照QC/T 644-2000行业标准中5.3项。整个系统采用PLC控制，水下测漏箱采用高亮度照明易于检测。水循环过滤系统可另选。 二、技术指标及报价： 1、 燃油箱盖密封性试验： （1） 油箱注水流量控制装置和抽水系统：充满额定水　± 95%(此系统随取随用，此系统费用不包含在该项试验设备费用中，价格按市场同类产品价格做适当调整) （2） 翻转/复位精度：± 3° （3） 自动称量： 0～30g～100g连续称重 （4） PLC控制显示：0～15s～1min～2min （5） 合格/不合格报警、打印。 （6） 操作平台旋转时安全保护功能。 （7） 漏杯电子定位系统 （8） 报价： 燃油箱耐压试验，安全阀开启压力试验及燃油箱进气阀开启压力试验台： （9） 压缩空气源： 4.0Mpa（此设备随取随用，此设备费用不包含在该项试验设备价格中，价格按市场同类产品价格做适当调整） （10） 加压速率控制： 8kPa/min （11） PLC控制显示： 监测气源： 0～100kPa± 2% 开启压力控制： 0～100kPa± 1% 开启后压力检测：0～60kPa± 1% 加压速率控制： 0～8kPa/min± 2% （12） 合格/不合格报警、打印 （13） 安全防爆保护 （14） 53℃± 2℃水加热循环控制系统（此设备随取随用，此系统费用不包含在该项试验费用中，价格按市场同类产品价格做适当调整) 报价： 2、 塑料燃油箱角锤冲击试验 （1） 角锤规格： 三角冲锤 15kg （2） 冲击能量： 30J （3） 压力控制： 0～100kPa± 1% （4） 压力检测： 0～100kPa± 1% （5） 冲击位置移动/转动夹持系统 （6） 冲击锤提升系统 （7） 冲击防护罩 （8） 油箱内介质回收过滤系统 报价 以上塑料燃油箱角锤冲击试验需要在借鉴国内外相关产品的经验并根据客户要求做适当调整，以上价格仅供参考。 4， 燃油箱密封性试验台。 （1） 压力控制： 0～100kPa± 1% （2） 压力检测： 0～100kPa± 1% （3） PLC控制显示： 监测气源： 0～100kPa± 2% （4） 高亮度水下测漏箱 (5) 水循环过滤系统可选配。(此系统费用不包含在该项试验费用中，价格按市场同类产品价格做适当调整) 报价 以上试验所需的燃油箱进出口密封装置需要根据具体装配要求双方确定方案，价格待定。 三各试验台所用配件一览 1， 燃油箱盖密封性试验。 ⑴ 大连电机厂生产的三相异步电机，3KW ⑵ 与电机匹配的日本富士变频调速器 ⑶ 国产优质减速器 ⑷ 日本欧姆龙可编程控制器 ⑸ 日本富士伺服电机 ⑹ 国产优质电子天平 ⑺ 国产优质直线导轨 ⑻ 国产优质电器开关 ⑼ 研华工控机，显示器及电脑操作台 2. 燃油箱耐压试验，安全阀开启，进气阀开启压力试验 ⑴ 日本欧姆龙可编程控制器 ⑵ 日本SMC压力控制表 ⑶ 国产优质气动三联件， ⑷ 国产优质压缩机（不包含在整体报价中，根据客户要求选配） ⑸ 温度控制系统 ⑹ 国产优质比例阀 ⑺ 国产优质自吸泵 3．塑料燃油箱角锤冲击试验 ⑴ 国产优质万向轴承 ⑵ 国产优质电磁离合器 4.燃油箱密封性试验 ⑴ 日本欧姆龙可编程控制器 ⑵ 日本SMC压力控制表 ⑶ 国产优质气动三联件 ⑷ 国产优质气动导轨 ⑸ 国产优质电器元件 公司名称：长春市智能仪器设备有限公司 地址：长春市经济开发区昆山路2755号 联系电话：0431-84644218 传真：0431-84642036 联系人：芮小姐 Http://www.znyq.com E-mail：ruishume@yahoo.com.cn

天眼查显示，新美光（苏州）半导体科技有限公司“衬底加热体组件及化学气相沉积设备”专利公布，申请公布日为2024年7月23日，申请公布号为CN118374794A。背景技术以常见的碳化硅部件-等离子刻蚀环为例，目前较为普遍的等离子刻蚀环生长、加工工艺为：将环状石墨衬底以多片层叠方式安装在化学气相沉积炉内，采用石墨电极进行电阻加热将炉内加热至碳化硅材料生长温度，持续向炉内通入前驱体和载气，前驱体在高温下热解反应出碳/硅原子并在石墨衬底上反应沉积得到碳化硅材料，最终通过微纳加工获得满足使用要求的等离子体刻蚀环。整个工艺过程中，因衬底表面为直接发生碳/硅原子反应沉积的位置，最终决定材料的均一性和碳化硅晶体品质，衬底沉积表面流场均匀性及温度均匀性比较关键。但在上述工艺中存在以下客观缺点：1、石墨衬底置于碳化硅生长炉内加热时，因衬底径向外侧在空间上更加接近石墨加热器，故客观的会接收更多的热辐射而导致衬底径向外侧的温度高于内侧；同样的，石墨衬底的外侧因离进气口比较近，前驱体热解出的碳/硅原子基团会持续优先在衬底外侧的表面沉积，最终会影响碳化硅材料在石墨衬底径向上生长的均匀性；石墨衬底的外侧表面因为较内侧有更高的温度和更高浓度的碳/硅原子基团，石墨衬底的外侧碳化硅沉积材料一般厚度较大且表面平整性差，对于碳化硅零部件后续的加工也造成了时间的浪费和成本的提高。2、石墨衬底常用的固定方式为采用石墨顶针在衬底底面进行支撑，该方案因石墨顶针会直接接触到衬底表面，故被石墨顶针接触到的衬底表面区域碳化硅材料生长过程必然会受到影响，相应区域的沉积材料无法加工成产品使用，故在加工过程中一般采取将受影响区域进行切割废弃的措施，增加了加工时间和成本。3、层叠多片式的碳化硅部件材料生长设备，腔体内部的流场无法实现完全的均匀性，主要表现在离进气口近、排气口远的材料生长速率高，反之生长速率低，最终导致同一批次的材料厚度均一性差。发明内容本发明涉及一种衬底加热体组件及化学气相沉积设备，其中提供了一种衬底加热体组件，包括衬底和加热体，衬底包括第一表面、第二表面和中空区，第一表面和第二表面均用于供反应气体沉积，中空区位于第一表面和第二表面之间；加热体位于中空区内，用于产生热量以至少加热第一表面和第二表面。本发明的衬底设计为内部中空的结构，第一表面及第二表面均为衬底靠近中空区部分的外表面，位于中空区的加热体对衬底的第一表面和第二表面沿径向的各个位置的加热效果相对较为平均，不容易产生沉积的产品厚度差异过大的问题，一定程度上提高了衬底上沉积材料的厚度均一性及组织性能均匀性。