圆二光谱仪

半导体晶圆拉曼光谱测试系统R1——应力、组分、载流子浓度 面向半导体晶圆检测的拉曼光谱测试系统主要功能：&bull 光穿过介质时被原子和分子散射的光发生频率变化，该现象称为拉曼散射。&bull 拉曼光谱的强度、频移、线宽、特征峰数目以及退偏度与分子的振动能态、转动能态、对称性等紧密相关&bull 广泛地应用于半导体材料的质量监控、失效分析。仪器架构：性能参数： 拉曼激发和收集模块激光波长532 nm激光功率100 mW自动对焦&bull 在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪&bull 对焦精度0.2微米显微镜&bull 用于样品定位和成像&bull 100x，半复消色差物镜&bull 空间分辨率2微米拉曼频移范围80-9000 cm-1样品移动和扫描平台平移台&bull 扫描范围大于300x300mm。&bull 最小分辨率1微米。样品台&bull 8寸吸气台（12寸可定制）&bull 可兼容2、4、6、8寸晶圆片光谱仪和探测器光谱仪&bull 320 mm焦长单色仪，接面阵探测器。&bull 分辨率2.0 cm-1。软件控制软件&bull 可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集Mapping数据分析软件&bull 可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。&bull 可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。&bull 将拟合结果以二维图像方式显示。 晶圆Mapping软件界面数据分析软件界面应力检测—GaN晶圆片利用拉曼光谱568 cm-1位置的特征峰位移动，可以检测GaN晶圆表面应力分布。类似方法还可应用于表征Si/SiC/GaAs等多种半导体。载流子浓度检测——SiC晶圆片组分检测——结晶硅薄膜晶化率测试结晶率指晶态硅与晶界占非晶态、晶态、晶界总和的质量百分比或体积百分比，是评价结晶硅薄膜晶化效果的一项重要指标。晶化率𝛸 𝛸 𝑐 𝑐 可通过拟合拉曼光谱分峰后定量计算。多层复杂晶圆质量检测——AlGaN/GaNHEMT&bull 氮化镓高电子迁移率晶体管则凭借其良好的高频特性在移动电话、卫星电视和雷达中应用广泛。&bull 晶圆片包含Si/AlGaN/GaN多层薄膜结构。&bull 拉曼光谱可给出多层结构的指纹峰，并对其应力、组分、载流子浓度等进行分析。AlGaN/GaN晶圆，直径6英寸面向半导体晶圆检测的拉曼光谱测试系统仪器订购样品委托测试

面向半导体晶圆检测的光谱测试系统 荧光测试荧光光谱的峰值波长、光谱半宽、积分光强、峰强度、荧光寿命与电子/空穴多种形式的辐射复合相关，杂质或缺陷浓度、组分等密切相关膜厚&反射率&翘曲度通过白光干涉技术测量外延片的薄膜厚度（Thickness）、反射率(PR)以及晶片翘曲度荧光光谱系统特点面向半导体晶圆检测的光谱测试系统光路结构示意图自动扫描台：兼容2寸、4寸、8寸晶圆可升级紫外测量模块、翘曲度测量模块侧面收集模组：用于AlGaN样品（发光波段200-380 nm），因为AlGaN轻重空穴带反转使其荧光发光角度为侧面出光，因此需要特殊设计的侧面收光模块。翘曲度测量模块翘曲度测量模块集成在显微镜模组中，利用晶圆表面反射回的375nm激光，利用离焦量补偿实现表面高度的测量，对晶圆片的高度扫描后获得晶圆形貌，从而计算翘曲度的数值。该模块不仅可以测量晶圆的形貌和翘曲度，同时还可以起到激光自动对焦的作用，使得晶圆片大范围移动时，用于激发荧光的激光光斑在晶圆表面始终保持最佳的聚焦状态，从而极大的提供荧光收集的效率和分辨率。物镜5xNA=0.2820xNA=0.40100xNA=0.8离焦量z分辨率 1 μm 0.5 μm 0.06 μm激光光斑尺寸（焦点处）~2 μm~2 μm~1 μm测量时间（刷新频率） 20 ms(50 Hz），可调节最高100 Hz紫外测量模块紫外测量模块的功能主要由集成在显微镜模组中的5x紫外物镜和侧面收集模块实现。可选择213nm或266nm的激光进行激发，聚焦光斑约10微米，可选择通过该物镜收集正面发射的荧光，通过单色仪入口1进行收集和测量。针对AlGaN的发光波段（200-380nm），尤其是Al组分较大（70%）的AlGaN由于轻重空穴带反转，其荧光发光角度为侧面出光，因此设置侧面收集模组，将侧面发出的荧光通过一个单独倾斜60度角的物镜收集后，通过光纤传入单色仪入口2进行收集和测量。可通过翘曲度模块对晶圆片形貌进行测量后，再进行紫外荧光测量时，根据记录的形貌高度，Z轴移动实现晶圆片高度方向的离焦量补偿，使得晶圆片大范围移动时，激光光斑在晶圆表面始终保持最佳的聚焦状态，从而极大的提供荧光收集的效率和分辨率。软件界面晶圆Mapping软件界面数据分析软件界面应用案例6英寸AlGaN晶圆测试随着AlGaN中Al所占比例的增加，可看到发光峰位出现了蓝移，当Al的含量占到70%的时候，峰位已经蓝移至238nm。对AlGaN晶圆进行Al组分比例面扫描，可以看到晶圆中Al的组分分布情况。MicroLED微区PL荧光光谱MappingMicroLED微盘，直径40微米。图（A）：荧光PL Mapping图像，成像区域45×45微米；图（B）：图（A）所示红线，m0-m11点，典型荧光光谱。MicroLED微盘的荧光强度3D成像 2英寸绿光InGaN晶圆荧光光谱测试从InGaN的峰强分布来看，在晶圆上峰强分布非常不均匀，最强发光大约位于P2点附近，而有些位置几乎不发光。发光峰位在500-530nm之间，分布也很不均匀。波长在510nm（P2位置）发光最强。波长越靠近530nm（P1位置），发光越弱。2英寸绿光InGaN晶圆荧光寿命测试从以上荧光寿命成像得到，绿光InGaN荧光寿命在4ns-12ns之间。沿着P1-P3白线，荧光寿命减小。从晶圆上分布看，荧光寿命与荧光强度成像的趋势大致相符，而且峰位有明显关联。即沿着峰位蓝移方向（蓝移至500nm），荧光发光强度增强而且寿命增加，说明辐射复合占据主要比例。而沿着峰位红移的方向（蓝移至530nm），发光强度减弱，同时寿命减小，说明非辐射复合占据主要比例。 面向半导体晶圆检测的光谱测试系统性能参数：荧光激发和收集模块激光波长213/266/375 nm激光功率213nm激光器，峰值功率＞2.5kw@1KHZ，266nm激光器，输出功率2-12mw可调自动对焦&bull 在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪&bull 对焦精度0.2微米 显微镜&bull 用于样品定位和成像&bull 近紫外物镜，100X/20X，用于375nm激光器,波长范围355-700 nm&bull 紫外物镜, 5X,用于213 nm/266nm的紫外激发, 200-700 nm 样品移动和扫描平台平移台&bull 扫描范围大于300x300mm。&bull 最小分辨率1微米。 样品台&bull 8寸吸气台（12寸可定制）&bull 可兼容2、4、6、8寸晶圆片 光谱仪探测器 光谱仪&bull 320 mm焦长单色仪，可接面阵探测器。&bull 光谱分辨率：优于0.2nm@1200g/mm 可升级模块翘曲度测量模块重复测量外延片统计结果的翘曲度偏差±5um紫外测量模块5X紫外物镜，波长范围200-700 nm。应用于213 nm、266nm的紫外激发和侧面收集实现AlGaN紫外荧光的测量膜厚测试模块重复测量外延片Mapping统计结果的膜厚偏差±0.1um荧光寿命测试模块荧光寿命测试精度8 ps，测试范围50 ps-1 ms软件控制软件可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集Mapping数据分析软件&bull 可对光谱峰位、峰高、半高宽等进行拟合。&bull 可计算荧光寿命、薄膜厚度、翘曲度等。&bull 将拟合结果以二维图像方式显示。 面向半导体晶圆检测的光谱测试系统仪器订购样品委托测试

PuriMaster -2000型二元自动收集制备色谱系统 上海科哲生化科技公司是上海知名分析仪器企业，为了满足中药分离纯化的客户需求，以国家重大仪器专项成果为基础，成立了分离纯化事业部，并启用PuriMaster品牌，专注于中药分离纯化。PuriMaster -2000型二元自动收集制备色谱系统是为满足小型研发组的分离纯化需求的制备型HPLC系统，自动化程度高，产品结实耐用、具有极高的性价比，是小型中药研发组创立之初的理想选择。仪器特点1、使用全自动馏分收集器，快捷的阀切换收集；2、软件支持智能馏分收集，具有时间、阈值、峰值、手动等多种收集方式；3、软件支持馏分索引功能，实时显示馏分收集位置与对应的色谱峰位置；4、仪器使用高精度HPLC制备色谱泵，重现性良好；5、仪器使用高压梯度混合，不需要脱气机，梯度基本无滞后；6、仪器使用进口专用高压六通阀，配合制备定量管，使用寿命长；7、采用氘灯-钨灯组合光源，双波长检测器，可检测190nm-850nm范围任意两个波长信号；8、带有光源自检功能，管理光源寿命，提醒及时更换；9、带有单色仪自校正功能，波长准确性高；10、采用进口高性能光电检出器，性能稳定、检测灵敏；11、采用1200线高分辨光栅，在紫外-可见范围具有良好的分光效能；12、采用X-Y矩阵式收集，收集数量远高于多通阀；13、软件具有梯度、色谱图、馏分收集图、设备状态同图显示的功能；14、软件具有多检测器同一坐标系内显示色谱图的功能；15、软件具有在线UV-VIS光谱扫描的功能，可得出组分的紫外光谱图；16、软件支持色谱分峰与定量功能、审计追踪、数据管理、用户管理、个人管理等功能；17、软件中文界面，模块化设计，便于学习和操作，符合中国用户使用习惯； 主要指标泵1、流量范围：0.01 ～ 50.00 mL/min（更大流量可定制）；2、压力范围：0-30MPa；检测器1、波长范围：190 nm-850 nm（双波长同时检测）；2、波长精度：±1nm；重复性0.2nm；3、单色仪：1200线光栅；4、光源：氘灯-钨灯组合光源；5、基线噪音：±0.1mAU，254nm；6、基线漂移：0.2mAU，254nm；馏分收集器1、试管架规格：15*150mm试管，160位；（其它规格定制）； 仪器组成1、高压双泵二元梯度系统；2、混合器；3、双波长UV-VIS检测器；4、高压六通进样阀（含定量环）；5、馏分收集器；6、溶剂槽；7、制备柱（C18, Φ10× 250mm,10μm填料）；8、模块化液相工作站；9、电脑； 可选配件1、ELSD-5000KS制备型蒸发光散射检测器；2、二极管阵列检测器；3、示差检测器；4、其它规格色谱柱； 由于技术不断进步，本公司保留设计更改之权利，更改恕不通知敬请谅解。

仪器简介：主要用于手性光学活性物质的研究。可用于有机立体化学研究、光学活性物质纯度测试、药物定量分析、天然有机化学、生物化学与宏观大分子、金属络合物化学、聚合物化学、蛋白质折叠研究、蛋白质构象研究、物理化学等技术参数：MOS-450/AF-CD-STP-A 圆二色光谱仪1) 光源: 同时装置两个光源150W氙灯及150W汞氙灯。2) 检测功能: 紫外吸收光谱,圆二色光谱,总荧光谱,光散色谱,线二色谱及荧光各相异性谱。3) 波长范围: 165~900 nm4) 波长准确度:± 0.1 nm (165-900nm)5) 光学系统: 双光栅 (1200条/mm)6) 杂散光: ＜2 x 10-4%(200nm)7) 噪声: 荧光检测: 水拉曼峰信噪比﹥2000:1 紫外检测: 5 x 10-5AU rms 圆二色检测:0.01mdeg8) 基线稳定性: ＜0.01mdeg/hr9) 采样频率: 10 u秒./每点 &ndash 1000 秒/每点。快速动力学停流装置1)混合模式: 三-四路混合, 各路独立步进电机控制。2)最小注射体积: 10uL3)每路流量范围: 0.01 &ndash 1.0mL/秒4)混合比: 可连续变化由1:1至1:1005)混合器: 球型高效率混合池。6)注射针体积:10ml7)最小死時間: 0.25毫秒(用微量检测池附件时)8)扩充能力: 冷冻淬灭,超低温停流,温度跳跃变化(Temp. Jump)及自动滴定,原位微电导检测等。9)软件: 单一软件可自动控制停流反应及光谱测量主要特点：1)一机多功能可检测: 紫外吸收光谱,圆二色光谱,总荧光谱,光散色谱, 线二色谱及荧光各相异性谱2)各路独立步进电机控制快速动力学停流装置

OLIS DSM 245CPL Solo plus Circular Dichroism使用这个紧凑的全新分光光度计系统测量处于基态和激发态的手性分子。将其视为 带有 CPL的OLIS DSM 20 CD或 带有圆二色性的 OLIS CPL Solo；两者都是正确的。单光束吸光度、荧光、荧光偏振、圆偏振发光和圆二色性。有两个光谱范围可用，UV 优化或红移。应用领域：光谱扫描&动力学圆二色性光谱扫描&动力学荧光强度光谱扫描&动力学荧光各向异性光谱扫描&动力学圆偏振发光光谱扫描&动力学荧光检测圆二色性标准模型性能：吸光度荧光荧光偏振圆偏振荧光圆二色性支持升级：CLARiTY磷光寿命珀尔帖热控制薄膜支架自动滴定仪OLIS-DM-245.pdf

日本JASCO 圆二色光谱仪 J-1500 圆二色光谱仪已经成为生物分子表征，绝对构型和立体化学分析测定的重要的技术之一。自从1961年推出第一台圆二色光谱仪后，JASCO已经设计和制造众多高性能圆二色光谱仪。经过半个多世纪的技术积累，JASCO很自豪地推出了第八代圆二色光谱仪J-1500。仪器性能● 增强型真空紫外区测量 J-1500的创新光学系统允许测量真空紫外区域中的CD光谱至163nm。低于200nm的真空紫外区域对于生物分子是至关重要的，特别是在计算蛋白质二级结构的过程中。● 卓越的杂散光和快速扫描功能● 良好的线性和CD动态范围●同时多通道测试 先进的四通道锁相放大器可同时采集多达四个数据通道，包括CD，吸光度，线性二色性（LD），荧光，荧 光检测CD（FDCD），荧光检测LD（FDLD）和荧光各向异性。可选附件 帕尔贴温度控制 积分球（漫反射）附件 波长扩展 微量样品池 毛细管附件 自动滴定 荧光圆二色 荧光附件 旋光色散附件 停留附件（快速反应动力学） 线二色 高通量圆二色 磁圆二色附件 液相-圆二色联用附件

高端圆二色光谱仪 J-1700特点 J-1700专为更苛刻的近红外CD应用而设计。除了增强的远紫外线能力，研究人员探测分子在NIR光谱区域的手性活性现在有能力获得波长高达2500 nm的数据。 InGaAs检测器具有900-2500nm的波长范围，而PMT范围从163-950nm。自动检测器互换允许研究人员获得远紫外和近红外测量，而不必手动切换检测器。将光栅单色仪添加到双棱镜单色仪设置提供低杂散光和高光强度，产生在大光谱范围内具有高信噪比的CD信号。 NIR-CD应用从金属配位络合物的构象和手性研究到纳米材料的调谐手性性质不同。另外，磁性圆二色性（MCD）可以与NIR-CD结合使用以探测发色团的电子结构以及诱导化合物中的手性。规格&bull 自动检测器切换： PMT(紫外-可见), InGaAs (近红外), InSb (选配) &bull 自动光源切换： 150W 或450W 氙灯(紫外-可见) ，150W钨灯 (近红外) &bull 单色器系统自动调整：双棱镜+光栅分光可选附件 帕尔贴温度控制 积分球（漫反射）附件 波长扩展 微量样品池 自动滴定 荧光圆二色 荧光附件 旋光色散附件 停留附件（快速反应动力学） 线二色 高通量圆二色 磁圆二色附件 液相圆二色联用流通池附件

J-1500型高性能圆二色光谱仪 日本分光株式会社成立于1958年，是在东京教育大学光学研究所开发研制出红外分光光度计的成果后成立为企业的。半个多世纪以来，一直专注于光学分析仪器的研发、制造、推广及销售。J-1100、J-1500型圆二色光谱仪是系列中的新型号，其先进的技术和卓越的性能，再一次证实了日本分光在世界手性光学光谱领域的领导地位。主要应用: * 光学活性化合物的结构测定 * 蛋白质，多肽，核酸的构象研究 * 反应动力学 * 热变性，化学变性研究 * 化合物绝对构型的研究 * 为生物大分子研究，蛋白质二级结构提供圆二色谱等技术参数： * 光谱范围：163?950nm(標準PMT) 400?1250nm(可选PMT) 800?1600nm(可选InGaAs) * 光谱带宽：0.01?16nm * 分 辨 率：0.025nm * 杂 散 光：小于0.0003%(200 nm) * 测量范围：±8000mdeg * 噪 音：0.004mdeg 185nm 0.007mdeg 200nm 0.007mdeg 500nm * 扫描方式：自动响应，连续，步进 * 扫描速度：1~10000nm/min * 耗 氮 量：使用时一般3~5 L/min操作模式及选配附件： * 圆二色谱 CD * 旋光色散谱 ORD * 线二色谱 LD * 圆偏振发光谱 CPL * 荧光圆二色谱 FDCD * 停流圆二色谱 SFCD * 停流吸收/荧光谱 Stopped Fow Abs/Fluorescence * 液相色谱手性检测 LCCD * 磁圆二色谱 MCD * 近红外圆二色谱 NIRCD * 总荧光谱 TF * 扫描荧光谱 SF * 自动滴定 Auto-Titration * 双光束紫外光谱 Double Beam UV

JASCO日本分光株式会社1961年研制生产出圆二色光谱仪投入科研使用后，经多年发展，圆二色光谱仪（ＣＤ）产品技术和各项性能均稳定可靠，随着产品及技术升级，JASCO推出手性全系列产品如圆二色光谱仪、振动圆二色光谱仪、圆偏振发光测量系统、旋光仪等，其先进的技术和更加卓越的性能满足和实现手性物质各方面复杂研究应用。仪器介绍振动圆二色光谱仪是研究各种手性物质的重要表征手段,其中一个非常重要的应用在于分子构型的判定，FVS-6000用于以手性分子构造解析，测定红外区域振动圆偏光二色性的装置。可以获得糖类等在UV/VIS区域没有吸收化合物的光学活性信息以及分子构型判定。拥有先进的DSP电子技术和自动校准功能，可以轻松获得指纹区VCD信号。VCD是研究各种手性物质的重要表征手段,其中一个非常重要的应用在于分子构型的判定 仪器特点1.配备液氮制冷检测器，有助于消除基线漂移，保持长时间基线稳定性2.可测量范围850-3200cm-1,可扩展范围750-4000cm-13.采用28度入射角干涉仪、聚光效率高的光学系统4.光学系统、样品室、检测器都可以进行吹扫、可不受大气的影响稳定测量5.通过使用只透过VCD光谱测量目标吸收带的窄带滤光片（选项），可以实现微小波峰测试6.高强度陶瓷光源，提供充足能量。7.VFT-4000现有JASCO红外光谱仪FT/IR-4000/6000系列的扩张组件、振动圆偏光二色性测定装置利用FVS-6000测试樟脑和蒎烯的图谱：

JASCO已经生产了超过60年的最高质量的圆二色 光谱仪。J-1000系列具有很多先进的科技，均来 自于广大客户的需求。这三种新的机型能够适应 任何需求，可以随着应用需求或预算的发展而扩 展。手性光谱仪已经成为生物分子表征，绝对构型和立 体化学分析测定的最重要的技术之一。自从1961年推 出第一台光谱仪后，JASCO已经设计和制造了最好的手性光谱仪器。经过半个世纪以后，JASCO很自豪地 推出了J-1000系列圆二色光谱仪J-1000系列的最大的特色&bull 高的光通量&bull 低的杂散光&bull 最先进的电子技术: FGPA的DSP数字信号处理技术&bull 同时多通道采集(SMP): 圆二色,线二色, 荧光, 紫外吸收&bull 宽的动态范围&bull 高效氮气吹扫系统：使用流动模拟器设计的低 容积单色仪，最低2L/min氮气使用量（185nm以上）&bull 内置校正波长用汞灯&bull 标配NIST可追溯灵敏度校准方法&bull 单USB线连接，便于将来电脑的更换&bull 微量样品测量&bull 三种扫描模式：自动、步进、连续独特的光学特性和优点&bull 紧凑型台式设计&bull 空冷150W氙灯&bull 最高的信噪比&bull 准直的样品束，用于无伪信号的固体测试和使用外部附件&bull 精确大范围温度控制附件&bull 自动滴定和停留&bull 用于数据采集和分析的Spectra Manager&trade II 软件&bull 可选的Spectra Manager&trade CFR 软件符合 21 CFR Part 11 需求&bull 灵活的设计可以实现不同测量功能的现场升级&bull 随着应用和预算的发展，能够升级配件控下自动测量192个样品。广泛的多功能性的应用&bull 蛋白质构象研究&bull 蛋白质折叠研究&bull DNA / RNA相互作用&bull 酶动力学&bull 配位化学研究&bull 光学活性物质的纯度测试 &bull 药物定量分析&bull 天然产物化学&bull 材料科学&bull 快速动力学停留圆二色&bull 吸收和荧光研究 ISO 特长：目前世界上只有JASCO CD系统通过了国际公认标准ISO质量程序验证，确保产品符合国际标准和质量规范，其他的厂家无法媲美。 光谱管理器II光谱软件套件 JASCO是唯一开发强大的跨平台64位制造商，用于控制各种光谱仪器的Windows软件包.Spectra Manager&trade II是用于捕获和处理数据的综合实验室伙伴，无需学习多 个软件程序，并允许在同一平台上一起操作和显示来自多台仪器的数据。 优化了多用户环境下光谱管理器II可以操作非常简单,但仍提供复杂的实验所需的灵活性。测量参数易于存储和检索频繁的测量和宏命令模块允许复杂的自动化测量包括分析甚至打印在菜单上预设模板模块。 用户可定制工具栏提供了常用的功能。分析功能为CD数据而设计，包括二级结构分析的集成算法和转换各种光学常数的单位。热分析功能包括利用滴定系统测定Tm、焓和熵和蛋白质-配体整合计算程序。光谱管理器CFR是用于通过FDA授权21CFR11实验室。电脑的接口很简单一个USB端口对应电脑升级以及今后操作系统的更新。规格：机型J-1500J-1100光源150W 氙灯空冷方式或450W 氙灯水冷方式150W氙灯空冷方式分光器双棱镜分光器　车尔尼-特纳(Czerny-Turner)光学系统波长可动范围163～1600nm180～600nm波长测定范围163～950nm（标准）180～600nm扫描方式连续扫描 步进扫描 自动响应扫描连续扫描扫描速度1～10000nm/min 1～5000nm/minCD量程±8000mdeg杂散光0.0003%以下(200nm)RMS噪音0.004mdeg (185nm, 150W) 0.003mdeg (185nm, 450W) 0.007mdeg (200nm) 0.007mdeg (500nm)(光谱带宽1nm, 反应时间 8sec)0.03mdeg (200nm) 0.03mdeg(500nm) (光谱带宽1nm, 反应时间 8sec)尺寸1055（W）×545（D）×390（H）mm（150W） 1135（W）×610（D）×420（H）mm（450W）740（Ｗ）×545（Ｄ）×325（Ｈ）mmCD数据处理 （软件）CD K-K 转换, HT-OD 转换, G 值計算, 样品信息编集, 光学定数计算, 误差条形图表示, r-P 转换

OLIS DSM 172 UV/Vis/NIROlis DSM 172 CD 系统是一款用途极为广泛的分光光度计，可针对圆二色性 (CD)、扫描发射荧光、荧光偏振 (POF)、圆偏振发光 (CPL) 或荧光检测 CD (FDCD) 进行配置。样品室是“偏振工具箱”，它独特地提供了定位偏振器和光弹性模块的自由，不仅用于 CD，而且在支持各向异性的位置。这些二次测量支持使用电光方法研究处于激发态的分子，该方法直接获得 L 型荧光偏振和各向异性，无需 G 因子校正，以及荧光检测圆二色性 (FDCD)。这种独特的多功能 CD 采用棱镜光栅单色器，通量为 185-2600 nm，加上发射通道（您选择 UV/Vis 或 NIR）和偏振工具箱样品室。吸光度和 CD 至 1700 nm。圆偏振发光、荧光和荧光发射 185 至 870 nm（可扩展至 NIR）和激发 185-2600 nm 的偏振。要从 180 度测量（CD 和吸光度）转换为 90 度测量（CPL 和荧光），请打开相应的软件图标并将偏振器和调制器放置在样品 (CD) 之前或样品 (CPL) 之后。应用领域：光谱扫描&动力学圆二色性光谱扫描&动力学荧光强度光谱扫描&动力学荧光各向异性光谱扫描&动力学圆偏振发光光谱扫描&动力学荧光检测圆二色性技术规格：直接获取abs(L)和abs(R)单光束和双光束吸光度和圆二色性标准范围： 185 – 800 nm，可扩展至 NIR无校准、无漂移、基线平坦超过 5 个数量级的线性优质棱镜+光栅 Cary 14/17 单色器支持升级：CLARiTY磷光寿命珀尔帖热控制停止流动漫反射镜面反射薄膜支架自动滴定仪DeSa永磁体OLIS-DSM-172.pdf

国内圆二色光谱测试仪器共享平台详情请拨打24小时电话：400-827-8006

OLIS DSM 1000 CD UV/VisOLIS DSM 1000 CD ：最高光通量、最简单的模块化和快速扫描潜力。这是用于极其困难和/或快速测量的正确 CD。围绕 De Sa 减法双光栅单色仪构建，OLIS DSM 1000 可快速重新配置以进行全细胞的动态吸光度研究（作为CLARiTY 1000）和最高速度（毫秒光谱扫描）以进行停流、闪光光解和其他动力学事件。应用领域：蛋白质二级结构分析蛋白质折叠分析核酸，RNA和DNA研究所有手性分子研究技术规格：直接获取abs(L)和abs(R)单光束和双光束吸光度和圆二色性标准范围170-540 nm，可扩展至NIR无需校准，无漂移，基线平坦超过5 个数量级的线性DeSa 减法双光栅单色器，用于均质测量光束（首选用于异质样品，如膜蛋白和晶体）在椭圆形镜面外壳中产生臭氧的150W 氙弧灯；圆柱形和矩形比色皿支架（夹套或 Peltier）支持升级：吸光度毫秒级光谱扫描明晰圆偏振光荧光磷光寿命珀耳帖电池架停止流动薄膜支架滴定仪德萨永磁DeSa永磁体OLIS-DSM-1000.pdf

全自动微孔板检测圆二色光谱仪用于不对称合成的高通量筛选。仪器直接读取微孔板样品的圆二色光谱信号（CD），使用操作与市面上大多数通过吸收或荧光作为测试信号的孔板检测器/酶标仪相同，非常方便。仪器不需要在测试时向比色池转移样品，不需要在测试结束清洗比色池，使得研发人员在面对大量样品的高通量筛选研究中，极大地减少无效的时间损耗。高通量筛选（HTS）用于不对称合成，需要快速测试对映体过量值（ee值）。传统的高效液相色谱HPLC速度慢、溶剂耗费大、仪器运行时间长。传统的圆二色CD光谱仪一次只能测一个样品。当然，通过自动进样器从微孔板转移样品到比色池可以提高测试通量，不过工作量仍然相当繁重、耗时长。CD Microplate ReaderTM圆二色谱微孔板检测仪/酶标仪为用户带来突破性的帮助，可以极大地提高不对称合成、催化中HTS的速度和效率。这项圆二色CD技术的突破是通过将一般圆二色CD光谱仪的光路配置进行转换完成的。在传统CD（卧式）中，光路的配置使得光束水平穿过装满溶液的比色池。通过将光路垂直配置，CD Microplate ReaderTM圆二色谱微孔板检测仪/酶标仪可以直接测试孔板中的样品溶液。通过XY运动台进而可以移动孔板测试所有孔的样品。不对称合成和催化的高通量筛选测试速度快相比于HPLC方法测试速度快、经济相比于传统CD的一次一个样品测试速度快相比于传统CD附加自动进样器操作简便找到不对称化合物直接读取孔板的ee值每小时可得到数千个ee值包含电脑、仪器控制软件和显示器相比于传统圆二色CD光谱仪附加自动进样器尺寸小：21” x 23” x 29” (54cm x 59cm x 74cm)技术参数：噪音背景：低至0.05 mdeg波长范围：185nm – 850nm带宽：全波长范围1nm孔板规格：96孔板，可选配其他尺寸调制频率：50kHz测试速度：单波长测试速度：96孔测试约2分钟。多波长测试速度：部分谱（如210nm – 350nm），5nm数据间隔：约30秒/孔，96孔测完用时约50分钟。全谱（185nm – 850nm），1nm数据间隔：约11分/孔，96孔测完约18小时

JASCO日本分光株式会社1961年研制生产出圆二色光谱仪投入科研使用后，经多年发展，圆二色光谱仪（ＣＤ）产品技术和各项性能均稳定可靠，随着产品及技术升级，JASCO再次推出J-1000系列产品，技术和性能都有所提高，配合各种附件，能满足和实现手性各方面研究应用。 仪器介绍J-1500在原有基础上具有更大灵活性，可实现波长扩展，可与各种附件配合使用，可以同时测量多达四个模式。为各种复杂研究提供完善的解决方案仪器特点1.适应在远近紫外可见红外领域的薄膜、液体、固体测量2.标配CD、LD、UV测试功能，可根据实验应用需要进行选配扩展功能3.测量范围163-950nm，可扩展1600nm4.双偏振棱镜系统增强真空紫外区域的性能，降低杂散光高通量HPLC-CD使用pH 2.0的磷酸水溶液和乙腈的混合物溶解华法林。配备有LCCD-420池并连接到常规HPLC系统 和圆二色光谱仪J-1500进行CD测试。圆二色光谱仪J-1500溶菌酶蛋白质热变性研究附件选配温控测试附件 波长扩展附件微量测试附件 荧光测试附件自动滴定附件 停流测试附件磁圆二色附件等

振动圆二色光谱仪 型号：VFT-4000概要可以与现有JASCO红外光谱仪搭配使用的VCD附件，组装灵活。便于已经有JASCO红外光谱仪的客户升级为VCD系统

DSM 20 CD UV/VisDSM 20 CD 是市场上最小的 CD光谱仪，针对蛋白质、多肽和核酸的实验室进行了完美优化。与DSM 17 和 DSM 1000 CD一样，DSM 20 CD 使用带有一个永久校准值的双光束数字采集方案，消除了出厂后校准的所有要求。应用领域：蛋白质二级结构分析蛋白质折叠分析核酸，RNA和DNA研究所有手性分子研究技术规格：直接获取abs(L)和abs(R)单光束和双光束吸光度和圆二色性标准范围：170 – 700 nm替代范围：500 – 1700 nm无需校准，无漂移，基线平坦超过 5 个数量级的线性用于均质测量光束的减法双光栅蜂鸟单色器（首选用于异质样品，如膜蛋白和晶体）在椭圆形镜面外壳中产生臭氧的150W 氙弧灯；支持升级：珀耳帖电池架停止流动滴定仪磷光寿命薄膜支架DeSa永磁体DSM-20-CD.pdf

仪器简介：主要用于手性光学活性物质的研究。可用于有机立体化学研究、光学活性物质纯度测试、药物定量分析、天然有机化学、生物化学与宏观大分子、金属络合物化学、聚合物化学、蛋白质折叠研究、蛋白质构象研究、物理化学等技术参数：MOS-500 CD 圆二色光谱仪1) 光源: 同时装置两个光源150W氙灯及150W汞氙灯。2) 检测功能:圆二色光谱, 紫外吸收光谱, 荧光圆二色光谱,线二色谱及荧光各向异性谱。3) 波长范围: 163 - 950 nm (可扩展至1250nm)4) 波长准确度+/- 0.1 nm (163nm - 1250nm)5) 光学系统: 双光栅6) 杂散光: ＜2 x 10-6(200nm)7) 基线稳定性: 0.007mdeg/hr 8) 扫描速度: 可达12000nm/min9) 具固体粉末测量-积分球漫反射测量装置快速动力学停流装置1)混合模式: 三-四路混合, 各路独立步进电机控制。2)最小注射体积: 10uL3)流量范围: 0.01 &ndash 40mL/秒4)混合比: 可连续变化由1:1至1:1005)混合器: 球型高效率混合池。6)最小死時間: 0.2毫秒(用微量检测池附件时)7)扩充能力: 冷冻淬灭,超低温停流,温度跃变(Temp.Jump)及自动滴定,微电导检测等。

技术特点- 双光源设计带来优良的信噪比.是单光源系统的3.6倍以上- 基线漂移小于2x10-5ABU- SyncRoCell样品台消除了样品池本身的误差- 检测器连续使用时间可达30-48小时- DualPEM 技术可升级,可使在测量固体样品时消除固体样品本身的误差。 - 同时采集红外光谱和振动圆二色光谱 - 在全光谱测量范围4000~850cm-1 内不需要更换任何滤光片- 数字信号处理,而无需锁定或者电子滤波- 全部光路自动校准- 近红外区域4000-10000cm-1可选ChiralIR-2X振动圆二色光谱仪的应用1. 手性药物绝 对构型确定2. 蛋白质/肽/碳水化合物/核酸等结构研究3. 不对称反应监测

振动圆二色光谱仪 FVS-6000▼概要FVS-6000是最适合用于以手性分子构造解析为目的，测定红外区域振动圆偏光二色性的装置。可以获得糖类等在UV/VIS区域没有吸收化合物的光学活性信息以及分子绝对配置的决定的信息。◆特征▼长时间基线稳定性(-)-pinene的IR和VCD光谱 ▼热控制独立的红外光源接口、PEM的恒温对应可以获得没有经时变化的基线。▼最适合的光学系采用特性少高効率的28度入射角干涉仪、集光効率高的光学系、排除双折射元件的反射光学系。▼VCD自动校准高精度控制光轴，通过控制伪影和经时变化使装置始终保持最佳状态。▼DSP锁定检测由最适合VCD的演算法的DSP锁定检测功能、实现了信噪比的大幅度改善。 ▼高灵敏度测量通过使用只透过VCD光谱测量目标吸收带的窄带滤光片（选项），可以测得现有方法测不到的微小波峰。▼吹扫功能光学系、样品室、检测器都可以进行吹扫、可不受大气的影响稳定测量。◆VFT-4000 FT/IR-4000/6000系列的扩张组件、振动圆偏光二色性测定装置 VFT-4000。型号FVS-6000测量波数范围3200～850cm-1分辨率0.5～16cm-1噪音水平8×10-6ΔAbs以下(分辨率4cm-1、20分积算)光源高辉度陶瓷光源检测器MCT-V(3200～850cm-1、标准)干渉仪28°入射角迈克尔逊干渉仪光学滤光片3200～2000、2000～850cm-1(6连自动切换、标准)偏光子KRS-5基板线栅

振动圆二色光谱仪 FVS-6000概要 FVS-6000拥有先进的DSP电子技术和自动校准功能，可以轻松获得指纹区VCD信号，4000-750波数的可扩展波数范围，可以测试红外区的VCD信号，可以获得糖类等在UV/VIS区域没有吸收化合物的光学活性信息以及分子绝对构型的信息。特征● 先进的数字信号处理（DSP）以增强灵敏度● 热稳定调制器系统消除基线漂移● 超大杜瓦瓶允许长达15小时的操作，无需补充● 创新的自动对准系统，消除线性各向异性伪像，而不是纠正它们● 高强度陶瓷光源，保证高性能输出和长达十年的使用寿命● 用于自动取样的可选配件可选附件● 固体粉末附件● 帕尔贴控温附件● 自动进样附件

1. 产品概述SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 椭圆偏振法分别测量高达 2,500 nm 或 3,500 nm 的近红外光谱。它提供宽的光谱范围、佳的信噪比和高的可选光谱分辨率。可以测量厚度达 200 μm 的硅膜。FTIR椭圆偏振仪的测量速度与二管阵列配置相比，二管阵列配置也可选择高达1,700 nm。2. 主要功能与优势宽的光谱范围和高的光谱分辨率SENTECH SENresearch 4.0 椭圆偏振光谱仪覆盖从 190 nm（深紫外）到 3,500 nm（NIR）的宽光谱范围。该器件具有高光谱分辨率，可使用 FTIR 椭圆偏振法分析厚度达 200 μm 的厚膜。无运动部件，符合 SSA 原理在数据采集过程中没有移动的光学部件，以获得佳测量结果。步进扫描分析仪 （SSA） 原理是 SENresearch 4.0 光谱椭偏仪的一个功能。通过创新的 2C 设计实现全 Mueller 矩阵通过创新的 2C 设计扩展了 SSA 原理，可以测量完整的 Mueller 矩阵。2C 设计是一种可现场升且经济高效的配件。3. 灵活性和模块化电动金字塔测角仪的角度范围为 20 度至 100 度。光学编码器确保了高精度和角度设置的长期稳定性。光谱椭圆仪臂可以独立移动，以进行散射测量和角度分辨透射测量。该工具根据步进扫描分析仪 （SSA） 原理运行。SSA将强度测量与机械运动分离，从而可以分析粗糙的样品。在数据采集过程中，所有光学部件都处于静止状态。此外，SENTECH SENresearch 4.0 包括用于映射和原位应用的快速测量模式。SENresearch 4.0 的定制椭圆仪可以针对标准和高应用进行配置。例如介电层堆栈、纹理表面以及光学和结构 （3D） 各向异性样品。为各种应用提供了预定义的配方。

J-1000系列旗舰机型通过光源、检测器的自动切换，可以通过1次扫描测量紫外～近红外区域。测量波长范围163-2500nm在紫外可见光区域采用双质谱单色器，近红外区域采用三重单色器的超低迷光学系统。规格:&bull 自动检测器切换 PMT(紫外-可见), InGaAs (近红外), InSb (选配)&bull 自动光源切换150W 或450W 氙灯(紫外-可见)150W钨灯 (近红外) &bull 单色器自动调整附件:&bull 帕尔帖温控支架&bull 自动滴定系统 &bull 停留系统&bull 固体测量组件&bull 磁二色组件&bull 旋光色散&bull 自动进样器

OLIS CPL Solo UV/Vis小巧、经济且全数字化的圆偏振发光该型号以最高灵敏度CPL和荧光偏振的第一原理设计，价格是竞争对手产品的三分之一，尺寸是竞争对手产品的四分之一，但具有出色的灵敏度和稳定性。使用明亮且稳定的滤波LED 光源实现最大激发 ；使用高通量单色器和门控光子计数检测器可实现最大发射灵敏度。具有工厂锁定校准的所有数字性能，即无需锁定放大器，无需 G 因子校正。两种型号，一种用于 UV/Vis，另一种用于NIR。可以增强 UV/Vis 模型以测量磷光寿命，从而测量 CPP。所有配置均可实现极化和非极化激发。应用领域：OLED发展镧系元素表征蛋白质折叠-展开转换光谱扫描&动力学圆二色性光谱扫描&动力学荧光强度光谱扫描&动力学荧光各向异性光谱扫描&动力学圆偏振发光光谱扫描&动力学荧光检测圆二色性标准模型性能：圆偏振光荧光荧光偏振支持升级：极化激励磷光寿命珀耳帖热池支架薄膜支架DeSa永磁体CPL-SOLO.pdf

JASCO日本分光株式会社1961年研制生产出圆二色光谱仪投入科研使用后，经多年发展，圆二色光谱仪（ＣＤ）产品技术和各项性能均稳定可靠，随着产品及技术升级，JASCO推出手性全系列产品如圆二色光谱仪、振动圆二色光谱仪、圆偏振发光测量系统、旋光仪等，其先进的技术和更加卓越的性能满足和实现手性物质各方面复杂研究应用。1、应用范围-镧系锕系复合物的光学性能研究-手性发光材料的光学活性研究-手性发光纳米粒子的光学活性研究-聚集诱导发光领域研究………2、测试原理手性等化合物在单色光激发下，发射出左右圆偏振光强度不同，这样的现象被称为圆偏振发光现象（Circularly Polarized Luminesence: CPL）。常规的ECD测量可得到基态手性分子的信息，通过CPL测量可以获取手性分子在激发态的信息。 CPL-300使用由Steinberg提出的原始180°荧光收集方法，采用标准的无臭氧150W Xe灯或者可更换为Hg / Xe源，仪器双棱镜激发和发射单色器提供极低杂散光，可消除衍射光栅引起的杂散线性偏振效应。CPL-300是迄今结合手性测定技术而推出的一款高灵敏度圆偏振发光测量装置3、技术特点&bull 双光源设计，软件自由切换标配150W无臭氧氙灯，满足紫外可见近红外波长测试需求；内置汞灯设计，可实时根据需要自主进行波长校准检验。&bull 双棱镜分光系统系统激发侧和发射侧都采用双棱镜单色仪，极大限度的抑制杂散光，同时避免了使用光栅过程二阶衍射、伍德异 常及线偏振的影响，确保测试数据的准确性。&bull 180°非偏振光直接激发样品对于溶液、固体或者难溶性样品，180°直接激发，避免样品激发过程中伪影的产生。&bull 快速数据收集和处理CPL信号和荧光信号同时测量，可一键转换△I和Glum数据。 4、樟脑醌的CPL案例介绍樟脑醌的CPL光谱测量，通过测量CD和CPL对樟脑醌在激发态和基态下手性结构分析。

圆二色谱仪-高通量对映体过量测量仪圆二色谱仪-高通量对映体过量测量（ee）仪(EKKO CD)圆二色谱仪-高通量对映体过量测量（ee）仪(EKKO CD)，是手性分析常用的技术，是指左右圆偏振光之间的差异吸收。圆二色谱仪通常用于分配蛋白质的二级结构和确定不对称合成中的对映体纯度。传统的 CD 光谱仪受限于光路结构，使用时需要将样品从合成的孔位板转移到比色皿中进行测量。用户不得不使用机械传递送样，但是速度还是受到很大限制。并且测量之间必须清洁比色皿。这是一个费力和耗时的过程，拉低了这个测试效率。圆二色谱仪高通量快速对映体过量值（ee值）测试仪 （EKKOTM CD MicroPlate Reader ） 运用新的结构光路，实现了直接从孔板读取 CD 信号，大大提升了测试效率。也使得以下问题将不再称为对映体过量值（ee值）测试的困扰：1）将孔板的每个孔中的内容物转移到比色皿中2）在测量进程中不得不清洁比色皿相较于传统圆二色谱系统，甚至常用的性高效液相色谱(HPLC) 和超临界流体色谱 (SFC)，其测量效率提高近100倍！ 圆二色谱仪-高通量对映体过量测量（ee）仪(EKKO CD)产品特点 快速高通量进行不对称合成和催化的筛选单波长测量全孔位板（96个）仅需不到2min全光谱扫描在不到 2 小时内可完成检测效率比 传统液相色谱(HPLC) 和超临界流体色谱 (SFC)方法更快且成本更低，且每小时可读取数千个对映体过量值。操作比传统的带有自动采样附件的 CD 更简单，无需将孔板的每个孔中的内容物转移到比色皿中，也无需在测量进程中清洁比色皿功能更人性化，可以直接从孔板读取对映体过量值（无序转移到比色皿）自带软件和电脑更小体积：20” x 23” x 28” (50cm x 60cm x 70cm)圆二色谱仪-高通量对映体过量测量（ee）仪(EKKO CD)产品应用测量手性小分子以及蛋白质等生物大分子研究试剂、催化剂、溶剂和各种实验条件在微孔板中的组合混合。点击下载应用文章请参考圆二色谱仪-高通量对映体过量测量（ee）仪(EKKO CD)产品参数高通量筛选检测模式圆二色性和吸光度测量模式单波长光谱孔位板96孔板（384可选）读取时间2分钟（96孔，单波长）1小时（96孔，全光谱范围）每孔体积（Min）45 μl（96 孔板格式）CD规格波长范围185-880nm单色仪双光栅波长精度+/- 0.1nm杂散光5ppm（200nm）rms噪声+/- 0.08 mdeg (200nm, 8 s integration time)+/- 0.02 mdeg (500nm, 8 s integration time)CD范围+/- 1000 mdeg带宽2nm吸光度精度0.01AU光源寿命 9000 h typicalN2 purge0.5 l/min温度室温一些测量数据精度圆二色谱仪-高通量对映体过量测量（ee）仪(EKKO CD)测试数据请点击下载更多测试数据关于昊量光电昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外创新性的光电技术与可靠产品！与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及前沿的细分市场比如为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等。我们的技术支持团队可以为国内前沿科研与工业领域提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务，助力中国智造与中国创造! 为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询，我们将竭诚为您服务。

OLIS DSM 17 CD UV/Vis/NIR当蛋白质和肽区域外的 CD 测量是首要任务时，理想的 CD。DSM 17 适用于 260-190 nm 蛋白质测量，但也同样适用于聚合物、金属和其他光学活性 700-1700 nm 样品。添加我们的 1.4 特斯拉永久磁铁、低温磁铁或其他磁铁，以创建理想的 MCD 系统。型号 17 配备了用于 UV/Vis 的 PMT 和用于从 UV/Vis 无缝扫描到 NIR 的 InGaAs 检测器。自动狭缝和检测器调整使其成为处理大量样品类型、需要各种跨度范围以及对 NIR 经常感兴趣的实验室的首选模型。扩展到 700-1700 nm 可以通过可选的扩展范围检测器实现。应用领域：蛋白质二级结构分析蛋白质折叠分析核酸，RNA和DNA研究所有手性分子研究技术规格：直接获取abs(L)和abs(R)单光束和双光束吸光度和圆二色性标准范围： 185 – 800 nm，可扩展至 NIR无校准、无漂移、基线平坦超过 5 个数量级的线性优质棱镜+光栅 Cary 14/17 单色器支持升级：在吸光度、荧光和所有二级模式下进行近红外扫描至 2600 nm使用单位或多位 Peltier 池架进行热研究MCD滴定仪荧光检测CD双光束吸光度和 UV/Vis 停流扫描荧光和固定波长发射停流DeSa永磁体OLIS-DSM-17-CD.pdf

原装进口美国安捷伦二手液相色谱仪1100（四元/二元）（多种配置）30年行业经验，品质保障国外大批量直采，价廉物美全国12家分公司，售前支持实地体验自有经验维修团队，售后无忧仪器特点:Agilent 1100系列组件外形设计独特、具有灵活多变的组合方式；系统性能指标；图形化的工作站友好界面；智能化维护系统和全面完善的法规认证功能，不断创新推出的新组件，安捷伦液相色谱的分析领域。 技术参数 全系列Agilent 1100泵系统 ● 电子流控阀(EFC)控制的毛细液相泵系统，精度高、流速范围广 柱流速范围：1-20ul/min 10-100ul/min（可选件） 0.001-2.5m1/min(EFC关闭状态) ● 高压制备泵系统，单元或双元高压制备泵 流速范围:0.001-100m1/min ● 分析型泵系统 流速范围： 单元泵：0.001-10m1/min 二元泵：0.001-5m1/min 四元泵：0.001-10m1/min品种齐全的Agilent 1100系列进样系统 ● 标准手动进样器（分析型或制备型） ● 标准自动进样器 样品瓶容量：可达100个(2mlx100) 进样量：0.1-100ul(0.1-1800ul)可选件 ● 微盘式自动进样器 样品瓶容量：2x96(孔板)，2x386(孔板)或100x2ml 进样量：0.1-100ul(标准件) 0.1-1500ul可选件 ● 微量标准自动进样器/微盘式自动进样器 进样量：0.01-8ul（标准） 0.01-40ul（可选） ● 恒温标准自动进样器/微盘式自动进样器 温度范围：4-40℃可设定步进1℃ ● 220型微孔板式自动进样器－组合化学样品管理系统 样品瓶容量：各种规格试管 多达12个微孔板（96孔板,384孔板） 进样量：0.1-5ul 0.1-20ulAgilent 1100系列检测器 ● 可变波长扫描紫外检测器（VWD) 波长范围：190-600nm ● 多波长检测器(MWD) 波长范围：190?950nm（双灯源） ● 二极管阵列检测器(DAD) 波长范围：190-950nm（双灯源） ● 荧光检测器(FID) 激发波长：200-700nm 发射波长:280-900nm 光谱存储：全光谱 ● 示差折光检测器(RID) 温控：室温+5℃至55℃ 内置自动吹扫阀和自动溶剂循环阀 ● 电化学检测器(ECD) ● LC/MS四极杆质量检测器(MSD) ● LC/MS离子阱质量检测器(Trap MSD) 柱温箱和脱气机组件 ● 柱温箱 温度范围：室温下10℃至80℃ 可选件：柱切换阀 ● 真空在线脱气机

原装进口安捷伦二手液相1200二元/四元（多种配置）30年行业经验，品质保障国外大批量直采，价廉物美全国12家分公司，售前支持实地体验自有经验维修团队，售后无忧技术参数：agilent1200安捷伦液相色谱仪技术参数 方便地利用四种溶剂进行等梯度或梯度分析，适用于方法快速开发和快速配备流动相，以及冲洗 HPLC 系统 流量范围宽，高流速 10 mL/min ，延迟体积 800-1100 ?L，适用于微径柱、标准柱和半制备应用 通过 Instant Pilot 组件或安捷伦化学工作站或 EZChrom 软件，可以容易地进行编程和控制 包含微量真空脱气机，脱气效率高，实现了操作无障碍和性能，完全不需要通氦气 直接从前面板快速更换维护部件 通过自我诊断、内置日志和预编程的测试方法，快速判断问题 早期维护反馈 （EMF） 长期不间断地监测仪器使用和用户预设的限度，一旦超出限度，将提供反馈信息 在所有安捷伦 1200 系列 HPLC 组件范围内可升级和扩展主要特点 1、安捷伦1200系列四元泵适用于方法开发、研究和各种需要连续而广泛地进行溶剂选择溶剂的应用，在选择溶剂和自动化方面具有灵活性。 2、 安捷伦1200四元系统可以在使用不同溶剂的方法之间进行快速切换，可以使用二元、三元和四元梯度，是市场上的系统。 3、和任何安捷伦1200系列的自动进样器相结合后，安捷伦1200系列四元系统非常适合多方法高通量的工作流程。 4、 比常规HPLC快20倍,并具有相同或更好的数据质量（分辨率、灵敏度、精密度），与HPLC相比高分辨率提高60%。具有相同或更好的数据质量（分辨率、灵敏度、精密度） 5、 延迟体积可配置，适用于各种应用。既可支持窄径柱又可支持标准柱- 适用于RRLC和HPLC 不影响现有HPLC方法的兼容性。标准延迟体积配置（600 - 800 ?L），柱子300 mm适合支持窄径柱上的 LC/MS。低延迟体积配置 （120 ?L） 法规适应性，符合法规要求 有范围广泛的 70多种 RRHT柱具有广泛的适用性 从HPLC到RRLC能进行简便、快速而可靠的方法转移 RRHT和HPLC柱具有相同的化学性质2000 个样品/天。高通量配置, 通过交替柱再生（ACR）实现系统包括2台泵、2根色谱柱和一个用于交替柱切换的2Ps/10Pt阀。 6、基本系统 快速高分离液相系统 二元液相系统 四元液相系统 单元液相系统 纯化系统 HPLC-Chip/MS 系统 纳流液相系统 毛细液相系统 7、1200 系列检测器 二极管阵列检测器SL 荧光柱检测器 多波长检测器 SL 示差折光检测器 可变波长检测器 多波长检测器SL原装进口安捷伦二手液相1200二元/四元（多种配置）30年行业经验，品质保障国外大批量直采，价廉物美全国12家分公司，售前支持实地体验自有经验维修团队，售后无忧技术参数：agilent1200安捷伦液相色谱仪技术参数 方便地利用四种溶剂进行等梯度或梯度分析，适用于方法快速开发和快速配备流动相，以及冲洗 HPLC 系统 流量范围宽，高流速 10 mL/min ，延迟体积 800-1100 ?L，适用于微径柱、标准柱和半制备应用 通过 Instant Pilot 组件或安捷伦化学工作站或 EZChrom 软件，可以容易地进行编程和控制 包含微量真空脱气机，脱气效率高，实现了操作无障碍和性能，完全不需要通氦气 直接从前面板快速更换维护部件 通过自我诊断、内置日志和预编程的测试方法，快速判断问题 早期维护反馈 （EMF） 长期不间断地监测仪器使用和用户预设的限度，一旦超出限度，将提供反馈信息 在所有安捷伦 1200 系列 HPLC 组件范围内可升级和扩展主要特点 1、安捷伦1200系列四元泵适用于方法开发、研究和各种需要连续而广泛地进行溶剂选择溶剂的应用，在选择溶剂和自动化方面具有灵活性。 2、 安捷伦1200四元系统可以在使用不同溶剂的方法之间进行快速切换，可以使用二元、三元和四元梯度，是市场上的系统。 3、和任何安捷伦1200系列的自动进样器相结合后，安捷伦1200系列四元系统非常适合多方法高通量的工作流程。 4、 比常规HPLC快20倍,并具有相同或更好的数据质量（分辨率、灵敏度、精密度），与HPLC相比高分辨率提高60%。具有相同或更好的数据质量（分辨率、灵敏度、精密度） 5、 延迟体积可配置，适用于各种应用。既可支持窄径柱又可支持标准柱- 适用于RRLC和HPLC 不影响现有HPLC方法的兼容性。标准延迟体积配置（600 - 800 ?L），柱子300 mm适合支持窄径柱上的 LC/MS。低延迟体积配置 （120 ?L） 法规适应性，符合法规要求 有范围广泛的 70多种 RRHT柱具有广泛的适用性 从HPLC到RRLC能进行简便、快速而可靠的方法转移 RRHT和HPLC柱具有相同的化学性质2000 个样品/天。高通量配置, 通过交替柱再生（ACR）实现系统包括2台泵、2根色谱柱和一个用于交替柱切换的2Ps/10Pt阀。 6、基本系统 快速高分离液相系统 二元液相系统 四元液相系统 单元液相系统 纯化系统 HPLC-Chip/MS 系统 纳流液相系统 毛细液相系统 7、1200 系列检测器 二极管阵列检测器SL 荧光柱检测器 多波长检测器 SL 示差折光检测器 可变波长检测器 多波长检测器SL

面向半导体晶圆检测的光谱测试系统 荧光测试荧光光谱的峰值波长、光谱半宽、积分光强、峰强度、荧光寿命与电子/空穴多种形式的辐射复合相关，杂质或缺陷浓度、组分等密切相关膜厚&反射率&翘曲度通过白光干涉技术测量外延片的薄膜厚度（Thickness）、反射率(PR)以及晶片翘曲度荧光光谱系统特点面向半导体晶圆检测的光谱测试系统光路结构示意图自动扫描台：兼容2寸、4寸、8寸晶圆可升级紫外测量模块、翘曲度测量模块侧面收集模组：用于AlGaN样品（发光波段200-380 nm），因为AlGaN轻重空穴带反转使其荧光发光角度为侧面出光，因此需要特殊设计的侧面收光模块。翘曲度测量模块翘曲度测量模块集成在显微镜模组中，利用晶圆表面反射回的375nm激光，利用离焦量补偿实现表面高度的测量，对晶圆片的高度扫描后获得晶圆形貌，从而计算翘曲度的数值。该模块不仅可以测量晶圆的形貌和翘曲度，同时还可以起到激光自动对焦的作用，使得晶圆片大范围移动时，用于激发荧光的激光光斑在晶圆表面始终保持最佳的聚焦状态，从而极大的提供荧光收集的效率和分辨率。物镜5xNA=0.2820xNA=0.40100xNA=0.8离焦量z分辨率 1 μm 0.5 μm 0.06 μm激光光斑尺寸（焦点处）~2 μm~2 μm~1 μm测量时间（刷新频率） 20 ms(50 Hz），可调节最高100 Hz紫外测量模块紫外测量模块的功能主要由集成在显微镜模组中的5x紫外物镜和侧面收集模块实现。可选择213nm或266nm的激光进行激发，聚焦光斑约10微米，可选择通过该物镜收集正面发射的荧光，通过单色仪入口1进行收集和测量。针对AlGaN的发光波段（200-380nm），尤其是Al组分较大（70%）的AlGaN由于轻重空穴带反转，其荧光发光角度为侧面出光，因此设置侧面收集模组，将侧面发出的荧光通过一个单独倾斜60度角的物镜收集后，通过光纤传入单色仪入口2进行收集和测量。可通过翘曲度模块对晶圆片形貌进行测量后，再进行紫外荧光测量时，根据记录的形貌高度，Z轴移动实现晶圆片高度方向的离焦量补偿，使得晶圆片大范围移动时，激光光斑在晶圆表面始终保持最佳的聚焦状态，从而极大的提供荧光收集的效率和分辨率。软件界面晶圆Mapping软件界面数据分析软件界面应用案例6英寸AlGaN晶圆测试随着AlGaN中Al所占比例的增加，可看到发光峰位出现了蓝移，当Al的含量占到70%的时候，峰位已经蓝移至238nm。对AlGaN晶圆进行Al组分比例面扫描，可以看到晶圆中Al的组分分布情况。MicroLED微区PL荧光光谱MappingMicroLED微盘，直径40微米。图（A）：荧光PL Mapping图像，成像区域45×45微米；图（B）：图（A）所示红线，m0-m11点，典型荧光光谱。MicroLED微盘的荧光强度3D成像 2英寸绿光InGaN晶圆荧光光谱测试从InGaN的峰强分布来看，在晶圆上峰强分布非常不均匀，最强发光大约位于P2点附近，而有些位置几乎不发光。发光峰位在500-530nm之间，分布也很不均匀。波长在510nm（P2位置）发光最强。波长越靠近530nm（P1位置），发光越弱。2英寸绿光InGaN晶圆荧光寿命测试从以上荧光寿命成像得到，绿光InGaN荧光寿命在4ns-12ns之间。沿着P1-P3白线，荧光寿命减小。从晶圆上分布看，荧光寿命与荧光强度成像的趋势大致相符，而且峰位有明显关联。即沿着峰位蓝移方向（蓝移至500nm），荧光发光强度增强而且寿命增加，说明辐射复合占据主要比例。而沿着峰位红移的方向（蓝移至530nm），发光强度减弱，同时寿命减小，说明非辐射复合占据主要比例。 面向半导体晶圆检测的光谱测试系统性能参数：荧光激发和收集模块激光波长213/266/375 nm激光功率213nm激光器，峰值功率＞2.5kw@1KHZ，266nm激光器，输出功率2-12mw可调自动对焦&bull 在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪&bull 对焦精度0.2微米 显微镜&bull 用于样品定位和成像&bull 近紫外物镜，100X/20X，用于375nm激光器,波长范围355-700 nm&bull 紫外物镜, 5X,用于213 nm/266nm的紫外激发, 200-700 nm 样品移动和扫描平台平移台&bull 扫描范围大于300x300mm。&bull 最小分辨率1微米。 样品台&bull 8寸吸气台（12寸可定制）&bull 可兼容2、4、6、8寸晶圆片 光谱仪探测器 光谱仪&bull 320 mm焦长单色仪，可接面阵探测器。&bull 光谱分辨率：优于0.2nm@1200g/mm 可升级模块翘曲度测量模块重复测量外延片统计结果的翘曲度偏差±5um紫外测量模块5X紫外物镜，波长范围200-700 nm。应用于213 nm、266nm的紫外激发和侧面收集实现AlGaN紫外荧光的测量膜厚测试模块重复测量外延片Mapping统计结果的膜厚偏差±0.1um荧光寿命测试模块荧光寿命测试精度8 ps，测试范围50 ps-1 ms软件控制软件可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集Mapping数据分析软件&bull 可对光谱峰位、峰高、半高宽等进行拟合。&bull 可计算荧光寿命、薄膜厚度、翘曲度等。&bull 将拟合结果以二维图像方式显示。 面向半导体晶圆检测的光谱测试系统仪器订购样品委托测试