阿米精控音圈电机驱动三自由度晶圆调节平台,通过三轴音圈电机并联运动实现Z轴直线运动和θx/θy轴旋转运动。系统有效发挥了音圈电机高带宽、高精度和高动态的直驱作动优势,并配合NPC031音圈电机专用运动控制器内嵌的运动算法和软件,可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂轨迹运动,并满足晶圆台在不同应用场景的定位、对准、扫描、轨迹跟踪的各类高精度、高动态和高可靠性运动需求。该系统可用于半导体设备、光学制造、激光加工等诸多产业领域。性能参数: Z向行程:3mm Rx/Ry行程:±12.5mrad Z向重复定位精度:14.9nm Rx重复定位精度:12.2μrad Ry重复定位精度:15.1μrad 负载:1kg 整定时间:≤100ms平台特点: 机械设计紧凑:在紧凑空间中实现三自由度 (Z, Rx, Ry) 运动 动态性能优秀:快速定位与对准、高速扫描和轨迹跟踪、宽频域扰动抑制与防抖等 可内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用 中空结构设计,可作为光学式检测或导通测试等运动模组使用应用场景:半导体:晶圆检测与量测、硅片对准与定位、半导体封装、芯片与器件测试等主动光学:超分辨成像、电子显微成像、大视场成像、光学对准与操作等精密制造:激光加工、增材制造、光学加工、MEMS制造与检测等
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