产品简介:布鲁克DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达5&angst 。这项测量性能的提高,达到了过去四十年Dektak 体系技术创新的顶峰,更加稳固了其行业中的领先地位。实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。产品参数:Dektak XT测量技术探针式表面轮廓测量技术(接触模式)测量范围二维表面轮廓的测量 可选择三维测量及数据分析样品观测可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1to4mm探针传感器低惯量传感器 (LIS 3)探针作用力LIS 3 传感器中1到 15mg低作用力模式N-Lite+ 低作用力 0.03 到15mg探针选项探针曲率半径 50nm to 25μm高径比针尖(HAR)10 μmx2 μm and 200 μmx20 μm 也可根据需求采用用户定制的针尖样品X/Y载物台手动XY(4英寸):100mm*100 mm,可手动校平马达X/Y(6英寸):150mm*150mm,可手动校平样品 R-θ 载物台手动,360 度连续旋转马达.360 度连续旋转计算机系统64位多核并行处理器, Windows 7.0 系统: 可选配 23 英寸平板显器软件Vision64 操作分析软件 应力测量软件 悬臂偏转测试软件 选配:缝合软件 3D应力分析软件 3D 测量软件隔振系统多种隔振方案可供选择扫描长度范围55mm (2英寸)单次扫描数据采集点最大 120,000 最最大样品厚度50mm (2英寸)最大晶片尺寸200mm(8英寸)台阶高度重复性5%Agrave , 测量1 μm 台阶高度标准偏差垂直方向扫描范围1mm (0.039 英寸)垂直方向分辨率最高分辨率可达 1 Agrave (在 6.55 μm 测量范围内)输入功率100-240 VAC.50-60Hz温度范围可操作温度为20 到 25℃ (68 to 77F)湿度范围≤80%,无凝结系统尺寸和重量455mm Wx 550mm Dx 370mm H(17.9in. Wx 22.6in. D x 14.5in.H)34kg (75lbs.)隔离量:550mmLx585mmWx445mm H(21.6in.Lx23in. Wx 17.5in.H)21.7kg (48lbs.)产品特点:提高操作的可重复性 使用单拱龙门结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时,完善了仪器的智能化电子器件,提高了其工作性能的稳定性,降低温度变化对器件的影响,并且采用最先进的数据处理器。能够更稳定可靠地扫描高度小于10nm的台阶,获得其形貌特征。单拱龙门结构和智能器件的联用大大降低了基底噪音,增强了稳定性。提高测量和数据分析速度 采用独特高速的直接驱动扫描样品台, 缩短了每次扫描的间隔时间,提高了进行大范围 3D 形貌表征或者表面长程应力扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下,可以将数据采集处理的速度提高40% 。另外,DektakXT 采 用 Bruker 具有 64 位数据采集同步分析的Vision64,它可以提高大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。Vision64 还具有最有效直观的用户界面,简化了实验操作设置,可以自动完成多扫描模式,使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。简便易行的实验操作系统 DektakXT 新颖的探针和部件自动对准装置,可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。这一改进使原来费时耗力的实验步骤变得简便易行。为尽可能满足所有应用的需求,布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针,其中包括专为深槽测量定制的高深宽比的探针。完善的数据采集和分析系统 Vision64 提供了操作上最实用简洁的用户界面,具备智能板块,可视化的使用流程,以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求,快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。数据获取后,软件的自动调平,台阶识别分析,以及数据分析模块的各种滤波功能等使得分析简便快捷。使用数据分析模块,不论是通过一个程式来处理单次扫描结果的标准分析,还是尝试使用多种滤波设置和计算,使用者都可以清晰地看到数据处理结果以及其他可用的分析手段。Vision64 随时为用户提供系统状态的信息。比如,如下图所示,软件界面上显示了得到整幅 3D 形貌图像的过程,同时可获得线性扫描的数据,可视化窗口还提供针尖在样品表面实时扫描的情况,以及完成整幅图像所需剩时。这一系列可视化的设置,帮助操作者迅速全面地得到所需的实验室数据。
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