本研究概述了定量和表征纳米元素氧化物纳米颗粒(氧单颗粒ICP-MS测定化学-机械整平中使用的元素氧化物纳米颗粒悬浮物的特性ICP - Mass Spectrometry应用文章化铝和氧化铈),这些常用于纳米电子学和半导体制造行业中化学-机械 (CMP)半导体表面的平整。CMP是一个结合了化学和机械外力平滑平面的过程,此步骤为光刻作准备。
1.丹参酮IIA本实验尝试使用SPOLAR、MG、MGII、UG120等四款C18色谱柱,按照药典方法对客户提供的丹参药材粉末及丹参酮IIA对照品进行分析。其中,SPOLAR色谱柱能得到最好分离效果,如图1、2所示,样品中丹参酮IIA峰与其峰前杂质能得到良好分离,分离度为2.15,理论塔板数为13870;对照品丹参酮IIA峰理论塔板数也达到13228,均超过药典要求的2000,完全符合药典要求。2.丹酚酸B按照药典方法对客户提供的丹参药材粉末和丹酚酸B对照品进行分析,由于该流动相条件中含1%甲酸,酸性较强,因此我们使用了采用耐强酸色谱柱CAPCELL PAK C18 ACR,如图3、4所示,样品中丹酚酸B峰与其峰前后杂质均得到良好分离,分离度分别为2.84与2.06,理论塔板数为6519;因为丹酚酸B对照品出现裂峰,怀疑可能已经变质,所以未给出该结果,但其保留时间能与样品分析结果相对应,可定位丹酚酸B峰位置。样品中丹酚酸B峰理论塔板数超过药典要求的2000,该色谱柱能够符合药典要求。