全自动知识产品没有热损伤,效率更高,颗粒度更细,更适合高分辨电镜镀金仪应用领域1、高分辨扫描电镜样品制备(实际放大倍数≥100K)2、电极制备-可制备各种金属电极、ITO电极高真空磁控离子溅射仪(镀金仪)配置与技术参数名称&型号高真空磁控离子溅射仪GVC-2000T真空系统涡轮分子泵(进口 ):德国莱宝90i (单磁悬浮分子泵,抽速为90L/s)旋片式真空泵:浙江飞越VRD-4 (抽速为 1 .1L/s)真空测量全量程复合真空规(进口):1.0E5Pa-1E-4Pa系统极限真空≤5E-3Pa溅射电源磁控溅射电源,最大功率150W可用靶材所有金属靶材,ITO靶材溅射电压300-600V,根据选择靶材、控制参数不同而变化溅射电流0-200mA连续可调,步长5mA溅射时间0-9999s, 连续可调步长1s操作界面7英寸TFT彩色液晶触摸屏,分辨率800×480操作方式一键操作抽气节拍<15分钟控制方式只需设定溅射电流和时间即可,全自动控制具备预溅射挡板(预溅射时间可设定),全自动控制保护功能软硬件互锁、防止误操作,具备电流、真空保护等样品台直径φ125mm,可自转,可自动手动控制,转速4-40rpm可调真空室高硅硼玻璃,规格尺寸约φ200×130mm电源供电220V 50Hz 最大功率800W尺寸&重量重量 424(长) ×345(深) ×420mm(高)、 25 kg (净重)冷却方式内部风冷选配样品台选择、膜厚控制、温度监测等镀膜样品示例: 靶材-银 靶材-钨 靶材-铬 靶材-镍 靶材-钒 靶材-锡 靶材-铜 靶材-钽 靶材-贴 靶材-钛 靶材-铅 靶材-钼 靶材-铝 靶材-铂 靶材-金 靶材-锆 靶材-铒 靶材-ITO
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