GENTEC捷锐-U21SL系列高纯减压器/减压阀/调压阀
U21SL 系列单级减压器适用于非腐蚀性,腐蚀性,有毒气体。膜片和阀体的密封采用硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。结构特点 Features316L 不锈钢母体膜片式硬密封,泄漏率低可采用面板安装和后座安装压力表标准连接: 1/4" FSR(M)可选:1/4"FSR (F)内部电解抛光高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业使用寿命长通过氦气测试材质 Materials母体:316L阀座:PCTFE*,Vespel® 膜片:316L上盖:316功能特性 Functional Performance流量:Cv=0.14母体泄漏率:2x10-9 atm cc/sec He阀座泄漏率:4x10-8 atm cc/sec He设计验证压力:最大额定压力的 150%设计爆破压力:最大额定压力的 400%工作条件 Operating Conditions最大的入口压力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)出口压力:0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar), 0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar), 0-500 psi (35 bar)温度: -40℃~74℃(-40℉~165℉)流道表面 Surface Finish标准:Ra 20μin可选:Ra 10μin内部容积 Internal Volume4.6 cc