电子源

成果名称 场发射电子显微镜的电子源研制 单位名称 北京大学 联系人 马靖 联系邮箱 mj@labpku.com 成果成熟度 &radic 研发阶段 □原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产 成果简介： 该项目拟搭建一套ZrO/W Schottky场发射电子源基本研制平台，主要开展以下两个方面的研究内容：1）通过增加电子束磁偏转控制、可编程皮安电流表和法拉第杯等部件，搭建一套电子束性能评测系统，用于电子束的角电流密度、亮度、稳定度、束流密度分布等重要电子光学参数的测评。完善场发射电子源研制平台，优化研制工艺，获得可用于实际测试的ZrO/W Schottky场发射电子源。2）将自主研制的场发射电子源安装到商用Amray1910场发射扫描电镜上，和FEI公司提供的ZrO/W Schottky电子源进行实际成像比较，为实用定型提供依据。 该项目完成了电子束磁偏转系统的搭建；在高真空下，完成了法拉第杯和高精度皮安电流表电子束束流检测系统；用EYG单晶荧光屏替换普通荧光粉屏解决高真空放气问题等；完成超高真空发射体炼面和电子束斑成像系统中发射体性能评测系统的研制；利用评测系统进行电子束的角电流密度、亮度、稳定度及发射体功函数等重要电子光学参数测试，进而优化场发射电子源研制工艺。由于本项目完善了&ldquo 发射体性能评测系统&rdquo ，申请人利用该评测系统对自己研制的场发射电子源和FEI公司的商用电子源进行了对照测试，测试结果证明：自己研制的场发射电子源在亮度上达到了FEI公司的商用电子源的水平。后续准备加工FEI公司的场发射环扫（ESEM）的场发射源组件，待ESEM更换电子源时，直接更换进行实际使用测试。

近日，日本物质材料研究机构的研究人员开发出一种新型电子源，有望使电子显微镜的识别和测定能力得到飞跃式提高。 　　据介绍，开发出这种新型电子源的是日本物质材料机构的两名华人科学家，一次元材料组组长唐捷和研究员张涵(音译)。为了大幅度提高电子显微镜的性能，他们重点进行了新型电子源的开发，同时在电子放射方法方面也进行了创新。 　　目前，电子显微镜普遍使用金属元素钨作为电子源，而化合物六硼化镧(LaB6)作为电子源虽然在性能上超过钨，但其硬度超过钨一倍以上，如果没有合适的加工方法很难实现应用。此次研究人员使用了一种叫化学气相堆积法的方法，首先制成了单结晶的六硼化镧纳米线，然后使用电界蒸发的方式除去了纳米线表面的不纯物质，从而成功开发出了新型电子源。与以往通过高温加热热源，使之放射出热电子的方式相比，新型电子源采用的是以极高的亮度放射出超细电子束的电界放射方式。 　　在电子显微镜技术领域，日本过去一直领先世界，透过式电子显微镜和扫描式电子显微镜也一直是日本重要的技术出口产品，但目前在该领域日本已经被美国和德国超越。研究人员称，前段时间日本已经开发出新型高性能镜头，如果配上此次开发成功的六硼化镧单结晶纳米线电界放射型电子源，将有望使日本重新夺回透过式电子显微镜世界领先地位。

电子显微镜通过发射电子与样品相互作用成像，用来“照射”样品的可靠电子源是电镜最重要的部分之一。电子显微镜对电子束的要求非常高。目前只有两种电子源满足要求：热电子发射源和场发射电子源。目前商用的，热电子发射源用的是钨灯丝（较少见）或六硼化镧（ ）晶体（较常见）；场发射电子源用的是很细的针状钨丝（具体分为肖特基发射源和冷场发射源）。场发射电子源场发射电子源通常叫做 FEG，其工作原理和热电子源有着本质区别。基本原理是：电场强度 E 在尖端急剧增加，这是因为如果把电压 V 加到半径为 r 的（球形）尖端，则在场发射中我们称细针为“针尖”，钨丝是最容易加工成细针尖的材料之一，可以加工出半径小于 0.1μm 的针尖，场发射与钨针尖的晶体取向相关，310是最好的取向。场发射枪（FEG）相对简单，通过拔出电压将电子从针尖中拉出来，然后通过加速电压对电子加速。第一次启动时要缓慢增加拔出电压，使热机械振动不至于损坏针尖。这就是使用 FEG 要执行的唯一实际操作，并总是由计算机实际控制。热电子发射源我们称热发射钨电子源为“灯丝”，因为钨可以被拉成细丝，类似白炽灯中用的灯丝。六硼化镧通常沿110取向生长来增强发射能力。事实上，把任何一种材料加热到足够高的温度，电子都会获得足够的能量以克服阻止它们离开的表面势垒（称为功函数 Φ）。大小约为几个电子伏。热电子发射机制可以用 Richardson 定律表示：其中，J 为发射源电流密度，T 为工作温度（K），k 是玻尔兹曼常量 ，A 是 Richardson 常数，A ，具体数值取决于电子源的材料。把电子源加热到温度 T，使电子获得大于 Φ 的能量并从此那个电子源中逃逸出来，从而形成电子电子束。然而大多数材料注入几 eV 的热能时就会熔化或蒸发。唯一可能的热电子源材料要么是高熔点（钨熔点 3660K），要么 Φ 异常小（ 功函数 2.4）。晶体是现代 TEM 中所用的唯一热电子源，通常被绑在金属（例如铼）丝上通过电阻加热形成热发射。 晶体对热冲击很敏感，所以加热、冷却电子源时要小心。当必须手动开关电子源时，要缓慢增加/减小热电流，在每个设定值后停顿 10~20s。随着科学技术发展，目前部分操作已可以通过计算机控制，但是对于大多数 TEM 仍广泛使用的热电子枪，仍需要操作者进行部分手动控制。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。

成果名称电子束加热蒸发源单位名称中科院物理研究所联系人郇庆联系邮箱qhuan_uci@yahoo.com成果成熟度□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √ 可以量产合作方式□技术转让 □技术入股 □合作开发 √ 其他成果简介： 电子束加热蒸发源是采用电子束加热的方式对材料进行热蒸发，电子束加热方式具有污染小、加热集中、效率高的特点，适用于熔点高的材料的蒸发沉积。我们的电子束加热蒸发源采用超高真空兼容设计（CF35法兰），具有水冷、水冷温度检测、手动挡板、线性进样、高压接口、束流检测等功能。该蒸发源可以对棒状导电材料直接进行加热蒸发，也可采用多种材料的坩埚，对粉末、半导体以及绝缘体材料进行热蒸发。全部设计为自主开发完成，具有加热效率高、极限温度高的特点，可以完成熔点最高的金属钨的蒸发。该技术目前已在国内外多家高校和科研机构尝试性推广（中科院物理所、清华大学、北京大学、复旦大学、中国科技大学、华中科技大学、中科院武汉物数所、IBM实验室、匹兹堡大学等），收到一致好评。其主要技术指标为： 安装法兰: CF35 超高真空兼容性: 是 可烘烤至 200℃ 腔内直径: 34mm 腔内长度: 170mm~400mm可定制 源数量: 1 冷却方式: 水冷 束流检测范围: 0.1nA~10uA 灯丝电流: 0-2.5A 高压: 0-2500V 最高功率: 250W 蒸发温度: 高于 3000℃ 蒸发方式和尺寸： 源棒材 尺寸 (直径 1~4mm. 长度 20~100mm ) 金属坩埚 (钨、钼、钽可选；0.1cc、0.15cc、0.25cc、0.35cc、0.45cc).应用前景： 主要用于分子束外延系统以及其他超高真空设备中的高温金属材料、半导体材料等的热蒸发沉积。应用范围广，每年国内市场需求在百套以上。知识产权及项目获奖情况： 发明专利：201310052836.1

前记：近五年来，在国家政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，电镜、电镜功能附件装置与设备、电镜制样等方面不断有新的产业化技术涌现。其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜关键部件的攻克。在中国电镜技术产业化呈现百花齐放、国家对电镜设备产业化问题高度重视背景下，仪器信息网也别策划电镜技术系列征稿活动，共同探讨中国电镜产业技术、市场的机遇与挑战。相关投稿将整理至对应专题展示，并在仪器信息网相关渠道推广，欢迎大家投稿，电镜技术、市场相关内容均可（投稿邮箱：yanglz@instrument.com.cn，关于征稿内容要求也可邮件咨询或电话联系：15311451191，同微信）。本期主题为“电镜核心部件技术”，对应专题如下（点击图片进入专题），相关约稿将陆续上线，欢迎关注。大束科技（北京）有限责任公司是中国首家成功研发电镜热场发射电子源的企业，从无到有，再到小批量生产，打破了单晶钨氧化锆热场发射电子源长期依靠进口的现状。大束科技创始人郝占海面对设计芯片行业被上游研制仪器的行业“卡脖子”的现状，亲身参与到电镜行业的研制之中，并聚集了一群志同道合的人员，致力于制造出更优秀更实惠的国产电镜核心部件。近日，仪器信息网举办“创新100”活动契机下，独家对大束科技（北京）有限责任公司创始人郝占海进行了文字访谈。以下，郝占海分享了国产电镜部件企业如何在已经成熟的电镜市场实现“突围”的故事。国产电子源离子源技术的发展与突围之路受访人：大束科技（北京）有限责任公司创始人 郝占海企业发展仪器信息网：大束科技创立的初衷和定位？企业发展历程？大束科技（北京）有限责任公司（以下称“大束科技”）是一家专注于电子光学研发及制造的公司，目前业务定位为电子显微镜核心部件研发生产、全系列电镜配件及耗材供应及技术服务。2015年，研发电子显微镜核心配件，研制热场肖特基电子源与液态镓离子源；2018年，大束科技（北京）有限责任公司正式成立；2019年，电子源研制成功，正式面向中国市场；2020-2021年，离子源正式研究成功，为核心客户产品量身定做、试测并成立上海分公司；2022年扩大生产实验室，进行量产，满足市场需求。大束科技技术团队均在国际主流电镜行业拥有长达十几年的工作经验。到目前，大束科技已经成功研发、生产和销售了热场发射的电子源、液态镓离子源等多种部件，由大束科技自主研发并生产的热场发射电子源和液态镓离子源经过多家客户装机测试，性能及寿命与进口相当，可以在各种机型上兼容国外进口产品，完全实现国产替代。大束科技目前有研发人员、兼职人员超20人，研发人员占比85%，研发投入约1000万。并已经和很多知名院校和各大研究院达成合作。仪器信息网：大束科技主推产品情况？主要应用领域？ 大束科技是中国首家研发成功热场发射电子源的企业，实现了从无到有，从有到小批量生产，并在多个型号电子显微镜上安装使用，使用效果良好，可以完全取代进口产品，打破了单晶钨氧化锆热场发射电子源长期依靠进口的现状，解决了卡脖子问题。大束科技电子源、离子源产品示例公司主推的产品及型号包括带有“热场肖特基电子源”、“液态镓离子源”的电子显微镜，可应用于半导体、材料科学、生命科学领域。仪器信息网：与同类型产品品牌相比，大束科技的主要竞争优势？ 大束科技主要竞争优势体现在以下几个方面：一是定位优势：公司以研发生产电子显微镜的核心配件为主，大束科技有望成为电镜配件供应商和服务商。二是技术壁垒优势：国际主流电镜品牌进入中国市场已经近40年，大束科技作为自主研发生产电子源、离子源的公司，产品已达到研发应用阶段并可量产。自主研发的电子源及离子源产品在技术上与国际主流产品相当。大束科技实时掌握对接电子显微镜行业的配件技术更新，对已有产品不断的迭代升级。不同品牌及型号的配件系列产品也会实时跟进。三是性价比高：使用性能与国外进口产品相当，价格大幅低于进口产品。配件价格约为进口产品的六折，配件服务费约为进口产品的七折。四是反应速度快：凭借本地化的生产库存和服务，即使遇到电镜严重的故障，也无需返厂维修，在大束科技北京总部的洁净室就可以完成配件配装与维修服务，服务响应速度快。五是可进行定制化生产：根据客户不同品牌、不同型号电子显微镜，每一个配件可根据客户要求进行定制化研发、设计与生产。六是技术团队优势：大束科技团队技术人员具有长达18年在国际主流电镜行业服务的工作经验，拥有在国外厂家进行电镜维修服务的经历，大束科技的技术团队也有机会与国际主流电镜行业进行商务合作和其技术服务工程师进行技术交流，可以保证大束科技技术团队与国际前端技术实时接轨。仪器信息网：贵公司下一步在市场和产品方面有何具体计划?大束科技在市场拓展方面的计划将分阶段实施：市场方面第一步，产品首先进入科研院校应用，树立大束科技口碑。第二步，以被美国打压制裁的公司作为切入点，通过试用定制的方式进入企业客户（半导体厂、芯片厂等）的供应商名单，逐步进入市场。第三步，抓住国家的行业政策红利，进行配件的国产化替代，与国外电镜厂家进行OEM合作逐步拓展市场。第四步，把现有核心技术（电子源离子源）拓展外延领域应用，技术不断的叠加，研发新产品，不断地扩大市场规模。第五步，通过对被迭代的电子显微镜的技术进行创新改良，广泛为对电子显微镜有急需的用户提供技术服务，从而磨练打造技术完备的售后服务工程师的队伍。第六步，在北京、上海、广州等一线城市高校、科研单位、半导体及芯片企业集中的重点园区设立电镜共享实验室，为客户提供可随时实验的电镜实验室，发现前沿技术，巩固已有的客户、锁定未来客户，进而跻身国际市场。产品方面大束科技产品定位为自主研发电子显微镜的核心部件，未来会不断地有相关系列的新产品研发问世。截止到目前为止，大束科技成功研发的产品系列已经有12个。对话创始人大束科技创始人 郝占海仪器信息网：您当初为何选择进入这个赛道？创业背后有哪些故事分享？进入到电镜行业之前，我在“自动化控制行业”与“微电子芯片设计研发行业”均有所涉猎，跨越的几个行业为我研制电子显微镜的配件打下良好基础，在这几个领域进行研究的时候，我作为电子显微镜的一线使用用户，在使用的过程中发现了我国电子显微镜的两难“窘境”，即“用不起电镜”、“用不好电镜”，设计芯片行业被上游研制仪器的行业所约束。于是我就希望可以自己参与到电镜行业的研制之中，制造出更优秀更实惠的中国电子显微镜，在之后与FEI、蔡司的技术人员打过交道之后，聚集了一群志同道合的人员并开始进行自主研发，于是有了现在的大束科技（北京）有限责任公司。仪器信息网：您如何评价公司目前的发展现状？对公司未来发展有怎样的愿景？ 随着各个国家之间的科学技术不断并进发展，宏观领域的研究已经具备了一定规模，在这样的情况下各国对于微观领域的研究就显得相当重要。在研究微观领域所用到的仪器方面，中国已经落后多年，美国、德国、日本在这方面的研究已经初见成效，中国只有在发射源上做出技术性的突破，我们才能有希望用上自主研发的电子显微镜，加快微观领域的研究。我们大束科技最想要实现的事，是希望我们中国可以早日用上属于自己的电子显微镜。仪器信息网：您认为大束科技当前面临的最大困难或挑战是什么？希望借助“创新100”获得怎样的资源或帮助?由于中国在这个行业的研发起步较晚，目前中国市场超过九成以上的空间被进口产品占据，因此在这方面的宣传较为困难，知晓大束科技拥有自主研发电镜核心配件的用户数量并不多，希望可以借助 “创新100”活动让更多电镜使用者知道大束科技。同时为了快速扩产，更好地促进国家仪器行业的进步，需要更多的发展资金，也希望可以借助 “创新100”活动成为得到国家支持的一大助力。仪器信息网：您如何看待国产科学仪器的发展前景，未来还有哪些机会值得关注？国内缺乏自主研发重大科学仪器的核心技术。从国家颁布的十四五研发计划与三十五项卡脖子技术之中可以看出，目前国家鼓励中国制造，在科研机构和生产厂家之中，已经形成了采购国产化的趋势，在经费划拨审批时优先鼓励采用国产设备，国产替代进口已成为政策的主要导向。

大束科技自主研发生产的电镜配件电子源离子源已投入市场使用FEG场发射灯丝，用于FEI（赛默飞）的QuantaFEG，Quattro，Nova NanoSEM等型号的扫描电子显微镜，FEG场发射灯丝是热场发射灯丝，出厂时已做好预对中，且运输和保存过程中使用专用包装保护，增加了灯丝的稳定性，缩短了更换灯丝时间。配件清单：1.场发射灯丝 、电子源、离子源2. 钨灯丝3. 光阑 200um、300um、400um、500um、1250um4. 真空规 5. 机械泵密封圈6. 机械泵油 7. 密封圈目前已有国内知名高校、研究所、科研单位在使用大束科技的配件，并且使用效果良好。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

2023年3月30日，昆山开发区管委会副主任秦珊珊、科技局局长顾利华、钢研纳克江苏检测技术研究院有限公司董事长杨植岗、副总经理袁良经一行来访清华大学微纳光电子学实验室，就新型自由电子发射源技术项目举行签约仪式。钢研纳克江苏检测技术研究院有限公司项目负责人介绍了一种用于电子显微镜中的先进光致电子发射源的技术指标及产业化前景。实验室刘仿教授介绍了光致电子发射源技术、自由电子辐射等研究现状，张巍教授介绍了开展更广泛合作的模式。未来双方将共同开展先进光致电子发射源研究工作，该电子源可以用于高时间分辨率的电镜观测，并大大减小电子能散、提升成像分辨率。该技术未来有望大大推进超快电镜的产业成熟度，用于材料原位观测、化学反应过程监控等。

七星电子2月24日晚发布年报，公司2010年实现净利润8109.4万元，同比增长63.47%，拟每10股转增3股并派现1元(含税)。 　　2010年公司实现营业收入为8.1亿元，同比增长37.94% 每股收益1.3元，涨27.45%。 　　七星电子称，因公司保持军工电子元器件类产品收入稳定增长，同时着力拓展光伏设备市场，使经营业绩在2010年度实现了快速增长。 　　附录：北京七星华创电子股份有限公司2010年年度报告摘要 　　证券代码：002371证券简称：七星电子公告编号：2011-009 　　1 重要提示 　　1.1 本公司董事会、监事会及其董事、监事、高级管理人员保证本报告所载资料不存在任何虚假记载、 误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的 　　本年度报告摘要摘自年度报告全文，报告全文同时刊载于巨潮资讯网(www.cninfo.com.cn)。投资者 欲了解详细内容，应当仔细阅读年度报告全文。 　　1.2 公司年度财务报告已经中瑞岳华会计师事务所有限公司审计并被出具了标准无保留意见的审计报 告。 　　1.3 公司负责人王彦伶、主管会计工作负责人张莉娟及会计机构负责人(会计主管人员)李延辉声明： 保证年度报告中财务报告的真实、完整。 　　2 公司基本情况简介 　　2.1 基本情况简介 股票简称 七星电子 股票代码 002371 上市交易所 深圳证券交易所 注册地址 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 注册地址的邮政编码 100015 办公地址 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 办公地址的邮政编码 100015 公司国际互联网网址 www.sevenstar.com.cn 电子信箱 zbzq@sevenstar.com.cn 　　2.2 联系人和联系方式 董事会秘书 证券事务代表 姓名 徐加力 储舰 联系地址 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 电话 010-64369908 010-64369908 传真 010-64369908 010-64369908 电子信箱 xjl@sevenstar.com.cn chujian@sevenstar.com.cn 　　3 会计数据和业务数据摘要 　　3.1 主要会计数据 　　单位：元 2010年 2009年 本年比上年增减（％） 2008年 营业总收入（元） 810,250,646.02 587,377,409.99 37.94% 579,510,172.91 利润总额（元） 117,549,739.24 72,610,766.93 61.89% 58,885,450.71 归属于上市公司股东的净利润（元） 81,093,994.66 49,606,563.76 63.47% 39,168,370.17 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润（元） 78,359,822.50 44,798,959.81 74.91% 35,885,221.18 经营活动产生的现金流量净额（元） 260,586,696.79 77,332,193.42 236.97% 40,850,730.11 2010年末 2009年末 本年末比上年末增减（％） 2008年末 总资产（元） 2,062,272,227.38 995,222,094.58 107.22% 706,718,038.05 归属于上市公司股东的所有者权益（元） 892,304,176.81 290,101,667.75 207.58% 240,390,350.26 股本（股） 65,000,000.00 48,440,000.00 34.19% 48,440,000.00 　　3.2 主要财务指标 　　单位：元 2010年 2009年 本年比上年增减（％） 2008年 基本每股收益（元/股） 1.30 1.02 27.45% 0.81 稀释每股收益（元/股） 1.30 1.02 27.45% 0.81 扣除非经常性损益后的基本每股收益（元/股） 1.260.92 36.96% 0.84 加权平均净资产收益率（%） 10.61% 18.70% -8.09% 17.72% 扣除非经常性损益后的加权平均净资产收益率（%） 10.25% 16.89% -6.64% 16.24% 每股经营活动产生的现金流量净额（元/股） 4.01 1.60 150.63% 0.84 2010年末 2009年末 本年末比上年末增减（％） 2008年末 归属于上市公司股东的每股净资产（元/股） 13.73 5.99 129.22% 4.96 　　6 董事会报告 　　6.1 管理层讨论与分析 　　一、报告期内公司总体经营情况 公司主要从事基础电子产品的研发、生产、销售和技术服务业务。主要产品为大规模集成电路制造设备、混合集成电路和高 精密电子元件。集成电路设备主要应用于集成电路、太阳能电池(光伏)和 TFT-LCD 以及分立器件等行业 混合集成电路和电子元件类产品主要应用于包括航空航天在内的军工行业。 　　2010 年是"十一五"的最后一年，宏观经济在经历了 2009 年的动荡形势后，2010 年市场逐步回暖，中国经济开始有所回升。 与此同时，在国家振兴装备业、发展新能源产业等系列鼓励政策的推动下，公司相关业务领域进入新一轮增长周期，特别是 光伏产业在 2010 年出现了高速增长，为公司主营业务及产品提供了更为广阔的市场空间。 公司抓住这一发展契机，在保持军工电子元器件类产品收入稳定增长同时，着力拓展光伏设备市场，使公司的经营业绩在 2010年度实现了快速增长。 　　公司 2010 年度实现营业总收入 81,025.06 万元，比上年同期增长 37.94% 其中主营业务完成 79316.76 万元，比上年同期增长36.58%，实现利润总额 11,754.97 万元，比上年同期增长 61.89% 实现归属于上市公司股东的净利润 8,109.40 万元，比上年 同期增长 63.47%。 　　二、对公司未来发展的展望 　　(一)所处行业的发展趋势及公司面临的市场竞争格局 　　1、行业发展趋势 公司主营业务可归为集成电路装备和军工电子元器件两大行业。 　　(1)集成电路装备业属于国家重点支持的战略性行业，前景广阔。中国已经成为全球最大的集成电路应用市场，集成电路芯 片制造业加速向中国转移，集成电路设备市场规模逐步扩大。同时集成电路工艺技术和设备在包括光伏、TFT-LCD、LED 等 新兴行业的应用，使得集成电路设备的应用领域和市场规模进一步扩大。 　　以光伏产业为例，从其核心生产工艺技术原理上讲，是半导体集成电路技术的延伸。因此，也同样具备半导体集成电路产业 的技术特征，即制造设备成为工艺技术的载体，同时，设备投资成为产业初始投资的主要组成部分。 　　近10 年来，世界光伏产业保持着年均 40%以上的增长速度，光伏产业已经成为发展最快、潜力最大的新能源产业。权威机构 预测，作为替代化石能源的新兴行业，未来光伏行业将有 40 年的高速发展期。 　　我国已经形成了一个高水平的规模化、专业化、国际化的光伏产业群。2010 年中国光伏电池总量再创新高，超过 4.2GW。光 伏产业的高速发展使设备投资需求巨大，目前，中国已经成为全球最大的光伏电池生产国，也是全球最大的光伏设备市场。 　　2010 年 10 月，国务院下发《关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定》，明确提出将从财税金融等方面出台一揽子政策加 快培育和发展包括高端装备制造、新能源、新材料、新能源汽车在内的七大战略性新兴产业。到 2015 年，战略性新兴产业增 加值占国内生产总值的比重要力争达到 8%左右。 　　(2)国防投入稳步增加，军工行业持续景气。随着国家经济总量的增加和大国地位的提升，国防投入将保持增长势头。军队 现代化和信息化建设进程的不断加快，这些都为公司高精密混合集成电路和电子元件类军工产品发展提供了更大市场。 　　2、公司面临的市场竞争格局 半导体集成电路设备行业是典型的技术密集型行业，产品的工艺和制造技术难度高，技术研发周期较长、投入大，属于垄断 竞争性行业，少数设备制造商占有较高比例的市场份额。 　　在集成电路设备领域，美国、日本等国家的设备厂商仍然占据 12 寸以上高端设备市场的主导地位。8 英寸以下尤其是在太阳 能电池设备领域，我国设备厂商逐步成为市场的主角，特别是 2009 年世界金融危机导致全球半导体设备市场惨淡之际，我国 设备行业抓住机遇，及时应对，在国家政策支持下，稳步发展，发挥晶硅设备产品性价比优势，占据了国内市场的主要份额。 　　公司所处军工电子元器件行业由于存在严格的产品研发、生产认证制度，也存在较高的进入壁垒。 　　(二)未来公司发展机遇和发展战略 　　1、发展机遇 　　(1)国家从政策方面大力鼓励发展高端装备制造业和新能源产业发展，公司也是受益于国家的鼓励政策，承担了 12 寸扩散 炉、清洗机等国家重大专项，从技术研发方面为公司后续发展奠定了坚实基础。 　　(2)集成电路设备在太阳能电池等新兴行业的应用，进一步拓宽了公司产品的市场空间。公司目前已是国内最大的晶硅太阳 能电池设备制造商之一，技术水平居于国内领先地位，并且在战略上已将光伏设备作为公司未来重要的发展方向。公司将紧 抓光伏产业高速增长的机遇，有效利用区位优势和自身先进技术，大力发展光伏设备制造业，拓展公司业务，满足公司未来 进一步发展的需要。 　　(3)军队现代化和信息化建设进程的不断加快，使公司高精密混合集成电路和电子元件类军工产品市场不断扩大。 　　(4)公司本年度首次公开发行股票并上市为公司未来发展提供了资本上的保障。 　　2、发展战略 公司主要从事基础电子产品的研发、生产、销售和技术服务业务，主要产品为大规模集成电路制造设备和高精密电子元器件。 　　公司的战略定位是以集成电路制造工艺技术为核心，不断培育集成电路装备的竞争能力，向集成电路、太阳能电池、TFT-LCD 　　和新型电子元器件等领域作产品拓展，尤其是太阳能电池制造(即光伏)等新兴行业将作为公司重点产品领域。 　　三、公司 2011 年度经营计划及经营目标 　　(一)经营目标 　　公司 2011 年度力争实现销售收入 9.5 亿元，净利润 1.21 亿元，归属于上市公司股东的净利润 1 亿元(特别提示：上述指标为 公司 2011 年度经营计划的内部管理控制指标，不代表公司盈利预测，能否实现取决于市场状况变化、经营团队的努力程度等 多种因素，存在很大的不确定性，请投资者特别注) 　　(二)具体经营计划： 　　1、积极推进 300mm 90/65nm 立式氧化炉/质量流量控制器、65nm 超精细清洗设备研制项目的研发工作，同时以市场为导向， 加大太阳能电池设备研发力度，扩大市场规模。 　　2、加强营销队伍建设，针对太阳能电池等新兴领域加大营销力度，进一步完善售后服务体系，不断提高客户的满意度和公司 产品的美誉度。 　　3、强化内部管理，控制成本支出。通过推行全面预算、供应链优化管理，控制成本支出。基于设备生产空间紧张的现状，通 过现场管理和物流控制，优化设备产品生产车间的布局及使用效率，达到间接降低成本的目的。 　　4、进一步落实人才培育扩充计划，结合公司新项目、新产品研发，引进、培养人才，以适应公司不断发展的业务需要。 　　四、风险因素及对策 　　(一)研发支出较大带来的风险 公司所处的集成电路制造设备行业，是一个技术、资本密集型行业，且技术发展较快，新产品和新技术的研发投入较大。 公司近几年来除了自筹资金投入研发之外，也积极争取国家有关部门的专项拨款，基本能够匹配公司业务发展的需要。 　　(二)人力资源方面的风险 随着公司研发项目的展开和业务规模的扩大，人才问题日益突出。本年度公司利用美、欧等发达国家经济不景气的时机，从 　　国际知名厂商和研究机构引进高端人才，充当公司技术及研发带头人，并加强内部培训工作，部分缓解了人才不足的压力。 公司将进一步加大人才招聘培养力度，以适应不断发展的业务需要。 　　6.2 主营业务分行业、产品情况表 　　单位：万元 主营业务分行业情况 分行业或分产品 营业收入 营业成本 毛利率（%） 营业收入比上年增减（%） 营业成本比上年增减（%） 毛利率比上年增减（%） 电子产品79,316.76 54,058.39 31.84% 36.58% 39.84% -1.59% 主营业务分产品情况 集成电路制造设备 49,899.78 34,683.15 30.49% 62.37% 64.81% -1.03% 混合集成电路 10,173.55 7,947.92 21.88% -2.74% -2.85% 0.09% 电子元件 19,243.44 11,427.32 40.62% 13.98% 21.15% -3.51% 合 计 79,316.76 54,058.39 31.84% 36.58% 39.84% -1.59% 　　6.3 主营业务分地区情况 　　单位：万元 地区 营业收入 营业收入比上年增减（%） 东北及华北 24,583.27 19.36% 中部及东南部 27,112.21 27.29% 西北及西南 19,299.38 56.88% 其他地区 8,321.90 114.65% 合 计 79,316.76 36.58%

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 2019年1月16日，日立高新技术公司(以下简称“日立高新”)官方宣布，于1月15日，以收购全部已发行股份的形式完成对美国电子源制造商Applied Physics Technologies，Inc(以下简称“APTech”)的收购。 /p p 　　APTech总部位于美国俄勒冈州，主要开发、制造和销售用于电子显微镜和其他仪器的电子源。完成对APTech的收购后，作为一家专为先进产业生产高科技产品的贸易公司，日立高新将利用其全球营销网络及营销优势，扩大APTech产品的销售。同时，日立高新也将在APTech技术基础上进一步开展系列电子源技术研发项目。 /p p 　　APTech成立于1995年，由林菲尔德研究所(当前林菲尔德学院的研究机构)负责电子束产品研发的团队成员创立。自创立以来，APTech已成为世界上为数不多的拥有电子源制造技术的公司之一，并实现持续增长。APTech制造的电子源被作为核心技术应用在许多不同的产品中，并为广泛领域的制造行业提供了支持。比如，APTech的电子源用于医疗和科学仪器的X射线管，以及金属加工应用等。 /p p 　　完成对APTech的收购后，日立高科将努力扩大APTech产品的销售，从而推动两家公司的业务增长。这将通过利用日立高新在各业务领域的营销活动、其作为贸易公司擅长的全球销售网络，以及利用其目前正在增强的销售工程师的咨询能力来实现。此外，日立高新和APTech将基于日立高新作为制造商优势之一的产品开发能力，以及APTech的电子源制造技术，开展联合开发活动。 /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201901/uepic/f244af85-ec91-4a0a-83fc-e0562ac9b0fb.jpg" title=" 01.jpg" alt=" 01.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " APTech部分产品 /span /p p 　　APTech在保持其全球知名公司名称和品牌的同时，将继续为客户提供基于其先进技术能力和专业知识制造的产品。 /p p 　　通过APTech成为日立高新集团的新成员，日立高新将实现贸易公司与制造商职能之间的协同效应，并为客户提供从研发到制造，销售和服务活动的完整价值链。进而，日立高科技将提供满足客户需求的高附加值解决方案。 /p p 　　 span style=" background-color: rgb(112, 48, 160) color: rgb(255, 255, 255) " strong 关于APTech /strong /span /p p style=" text-align: left " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201901/uepic/2375256c-1d74-43cd-909a-224684e99c3a.jpg" title=" 1.jpg" alt=" 1.jpg" style=" width: 201px height: 50px " width=" 201" vspace=" 0" height=" 50" border=" 0" / /p p 　　 strong 公司名称 /strong ：Applied Physics Technologies, Inc. /p p 　　 strong 公司地址 /strong : 1600 NE Miller St. McMinnville, Oregon /p p 　　 strong 公司代表 /strong ：William Mackie /p p 　　 strong 官网业务描述 /strong ： strong 全球阴极生产者。专注于热离子和场发射阴极。 APTech是CeBix& reg 阴极(六硼化铈)，LaB6阴极(六硼化镧)，HfC阴极(碳化铪)，CFE和ESE源的专业生产商和供应商。生产的阴极已被用于许多不同的应用：显微镜，微量分析，增材制造，以及在其产品和工作中使用电子源的其他行业。 /strong /p p 　　 strong 创立 /strong ：1995年 /p p 　　 strong span style=" background-color: rgb(112, 48, 160) color: rgb(255, 255, 255) " 关于日立高新 /span /strong /p p style=" text-align: left " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201901/uepic/42f03dbe-f0f2-4fed-a9d3-98c27c78b462.jpg" title=" 2.jpg" alt=" 2.jpg" style=" width: 174px height: 60px " width=" 174" vspace=" 0" height=" 60" border=" 0" / /p p 　　日立高新技术公司是日立集团旗下的一家仪器设备子公司。全球雇员超过10000人，在世界上26个国家及地区共有百余处经营网点。企业发展目标是& quot 成为独步全球的高新技术和解决方案提供商& quot ，产品与服务涵盖领域广泛,包括半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料。其中，生命科学领域产品包括:电子显微镜、原子力显微镜和分析仪器(色谱、光谱、热分析)等。 /p

5月26日，哈工大-普源精电电子技术联合创新实验室揭牌仪式在校举行。揭牌仪式前，校长助理徐殿国在行政楼616会议室会见了普源精电公司(以下简称RIGOL公司)副总裁邢飞一行6人，感谢公司为我校学生创新培养所做出的贡献。 　　揭牌仪式由电工电子实验教学中心主任吴建强主持。徐殿国、邢飞分别讲话并为联合实验室揭牌。RIGOL公司授予吴建强教授&ldquo RIGOL高等教育专家&rdquo 称号。在哈工大-普源精电公司&ldquo 教育创新论坛&rdquo 上，双方详细探讨了联合实验室建设的思路和RIGOL公司可提供的资源支持，并达成共识：以联合实验室的建设为契机，共同打造精品联合实验室，积极推进联合实验室的影响力 共同探索实验课程创新，致力于长期合作与共同发展 努力建设一个具有示范意义和长期共赢的联合实验室。 　　据了解， RIGOL公司是业界领先的从事测量仪器研发、生产和销售的高新技术企业，是中国电子仪器行业协会、中国仪器仪表协会会员。公司拥有国际水准的先进技术，拥有数量众多的发明专利和计算机操作系统软件著作权，自主知识产权填补了国家空白，多项产品广泛适用于生产制造、企业研发、化学分析、科研教学等诸多领域。 　　本科生院、电气学院相关负责人，电工电子实验教学中心部分师生参加揭牌仪式。

自2010年1月20日起至2010年11月29日，中国科学院微电子研究所共发布十三批仪器设备采购项目招标公告，价值过亿。[详细] 　　2011年1月19日，中国政府采购网再次公布了中国科学院微电子研究所十一批和十三批的部分仪器采购结果，这两批仪器价值6777万元。具体内容如下： 　　采购人名称：中国科学院微电子研究所 　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司 　　招标编号：OITC-G10032233 　　采购项目名称：中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第十一批) 　　第5包 等离子氮化系统、等离子化学增强气相淀积、硅化物热退火系统、接触与互连溅射台、快速热退火系统、钨化学气相沉积系统 　　成交金额：983万美元 　　成交供应商名称：Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. 　　评标委员会成员名单：熊少祥、段玉生、郝爱芳、李振声、朱慧珑 　　招标编号：OITC-G10032277 　　采购项目名称：中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第十三批) 　　第2包 化学液集中供应系统 6套 　　成交金额：人民币290万元 　　成交供应商名称：翔泰机电国际贸易(上海)有限公司 　　第3包 介质化学气相淀积系统改造，供应商最终报价超预算，废标。 　　评标委员会成员名单：王波、郝爱芳、李振声、胡达平、杨涛(第2包用户代表) 　　本项目联系人：窦志超 　　联系电话：010-68725599-8447 　　感谢各供应商对本项目的积极参与，未获中标的供应商请于即日起5个工作日内到我公司办理保证金退回事宜。 　　东方国际招标有限责任公司 　　2011年1月19日

1月16日，普源精电发布公告，公布了《关于对普源精电科技股份有限公司使用自有资金收购北京耐数电子有限公司部分股权并签订表决权委托协议相关事项的问询函》。上交所下发对普源精电的问询函，要求说明协商作价的具体依据及合理性，相关调整方案的可行性和合理性等问题。问询函显示，2024 年 1 月 9 日，普源精电发布《关于以现金方式收购北京耐数电子有限公司股权并签订表决权委托协议的公告》，根据相关规定，上交所要求公司及相关中介机构核实并补充披露以下事项。一、关于交易方案。（1）公告显示，公司拟以人民币 1.2 亿元收购北京耐数电子有限公司（以下简称标的公司）32.2581%的股权，标的公司股东吴琼之将标的公司 18.8831%的表决权委托公司行使，上市公司派驻董事、财务总监，实现对标的公司控制。（2）同日，公司披露《普源精电科技股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金预案》，拟发行股份购买标的公司 67.7419%剩余股权。请公司：（1）结合企业会计准则、表决权委托具体条款、过渡期安排等，说明上市公司通过本次交易实现对标的公司合并报表的时点、会计处理及依据，收购剩余股权事项会否影响本次交易企业合并的会计处理；（2）补充披露如公司未能发行股份收购标的公司剩余股权，双方的表决权委托安排是否会变更或终止、交易双方是否需承担相应法律责任、会否调整转让对价等交易安排，后续是否通过其他方式收购标的公司剩余股权，本次交易是否存在未披露的利益安排。二、关于估值作价。公告显示，本次交易各方采取协商定价，标的公司整体估值为 37,200 万元，标的股权的转让对价为 12,000 万元，如后续评估报告所载评估价值与转让对价之间的差额比例超过转让对价的±5%，各方另行友好协商转让对价调整方法。请公司补充披露：（1）交易各方对标的公司协商作价的具体依据及合理性，是否充分保护上市公司及中小股东利益；（2）如触发转让对价调整情形，交易各方调整作价的原则、具体方案，会否调整支付安排、业绩承诺等其他交易事项，相关调整方案的可行性和合理性，作价调整会否影响本次交易及收购剩余股权的确定性。三、关于整合管控。公告显示，上市公司主要从事电子测量仪器的研发生产。标的公司专注于数字阵列系统的研发和应用，重点面向遥感探测、量子信息、射电天文、微波通信等领域。请公司补充披露：（1）标的公司在主要客户和供应商、核心技术、业绩稳定等影响持续经营的重大方面，是否对交易对方、管理层或者核心技术团队存在重大依赖，如有，请说明情况并充分提示风险；（2）本次交易完成后，上市公司在业务、技术、财务、人员、机构等方面对标的公司的整合管控安排，保证对标的公司有效控制的具体举措。四、关于业务协同。公告显示，上市公司和标的公司在市场、产品和技术等方面具有业务协同的基础。请公司：结合标的公司核心竞争优势，以及本次交易对公司获取关键资源、加速产品迭代和技术创新、市场拓展和成本控制的影响等，补充披露上市公司和标的公司业务协同的具体体现，以及对上市公司主营业务发展的影响。

普源精电(688337.SH)发布公告，为了进一步提升整体产业发展布局，满足未来战略规划，同时通过加强公司在工业现场测量仪器方面的人才招募及技术研发，增强市场竞争力以实现业绩的持续增长，公司全资子公司上海普源拟投资建设“上海研发中心工业现场测量仪器产业园项目”，目标是于长三角地区建立工业现场测量仪器产业园区，为上海普源及公司的可持续发展奠定良好的基础。该项目实施地点位于中国(上海)自由贸易试验区临港综合区04PD-0107单元C10-01地块内，地块东至C10-02地块，南至雪涛路，西至博艺路，北至雪洋路，占地面积8189.50平方米，规划总建筑面积约16379平方米，计划总投资不超过2.44亿元。普源精电于2022年5月30日召开了第一届董事会第二十次会议(临时会议)，审议通过了《关于全资子公司拟投资建设上海研发中心工业现场测量仪器产业园项目的议案》，同意上海普源以自有资金开展前述项目建设。根据《公司章程》等有关规定，该议案无需提交公司股东大会审议。本次投资不构成关联交易，亦不构成《上市公司重大资产重组管理办法》等规定的重大资产重组。电子测量仪器是国家基础性和战略性新兴产业，国家十分重视仪器仪表产业发展，近年来，国务院、发改委及工信部等相关部委陆续出台了多项具体产业政策，提出鼓励支持高端科学仪器设备产业、关键芯片、电子测量仪器行业的发展为行业发展营造了良好的政策环境，对行业发展起到了积极的推动作用。普源精电表示，公司十分重视产品和技术的研究与开发，自成立以来对产品和技术进行了长期持续不断的研发投入，经过 20 多年的发展，已经在数字示波器、射频类仪器、波形发生器、电源及电子负载和万用表及数据采集器等电子测量仪器方向推出了一系列市场成功的产品，并积累了大量的核心技术。此外，公司成立以来十分重视人才培养和团队的建设。公司研发团队始终专注于通用电子测量仪器领域的技术研发和应用，积累了丰富的理论基础和项目研发经验。尤其在仪器研发方面，经过多年的培养，公司已经储备了一批核心研发人员，将组建现场测试测量仪器创新团队，公司现有的人才储备为本项目顺利进行提供人才保障。普源精电表示，本次项目投资符合行业发展趋势及公司未来战略发展规划，有利于完善公司在工业现场测量仪器方面的布局。现场测量仪器主要应用于工业自动化、生产制造、现场维修、工程建设等领域，上海是地处长三角的中心地带，以上海为中心辐射的整个长三角地区内制造业和半导体上下游产业链企业高度聚集，经济投资活跃，客户创新能力强，对测量设备的需求强劲。本项目建设后将实现以上海为支点，覆盖长三角地区和华东、华南地区，与客户形成紧密互动，缩短公司对客户需求的响应时间，提升产品的市场竞争力，符合公司的发展战略。本次投资不会对公司的财务和生产经营产生不利影响，对公司的业务布局和经营业绩具有积极作用，符合公司及全体股东的利益。

p style=" text-indent: 2em " 近日，华润微电子有限公司（以下简称“华润微电子”）在投资者互动平台上表示，公司目前正在规划12英寸晶圆生产线项目。 /p p style=" text-indent: 2em " 资料显示，华润微电子是华润集团旗下负责微电子业务投资、发展和经营管理的高科技企业，曾先后整合华科电子、中国华晶、上华科技等中国半导体先驱，是国内少数覆盖完整产业链业务的半导体企业，拥有芯片设计、晶圆制造、封装测试等全产业链一体化运营能力，产品聚焦于功率半导体、智能传感器与智能控制领域。自2004年起，华润微电子连续被工信部评为中国电子信息百强企业。 /p p style=" text-indent: 2em " 今年2月27日，华润微电子正式登陆科创板，成为科创板首家引入“绿鞋机制”的企业，国家大基金参与其本次发行的战略配售，成为华润微电子第二大股东，备受看好。 /p p style=" text-indent: 2em " 在半导体晶圆制造生产线方面，目前，华润微电子在无锡拥有3条6英寸生产线和1条8英寸生产线，其中，8英寸晶圆生产线年产能约为73万片，6英寸晶圆生产线年产能约为247万片。主要为客户提供1.0-0.11μm的工艺制程的特色晶圆制造技术服务，包括硅基和SOI基BCD、混合信号、高压CMOS、射频CMOS、Bipolar、BiCMOS、嵌入式非易失性内存、IGBT、MEMS、硅基GaN、SiC等标准工艺及一系列客制化工艺平台。 /p p style=" text-indent: 2em " 在重庆拥有1条8英寸半导体晶圆制造生产线，年产能约为60万片，目前主要服务于公司自有产品的制造，该产线拥有沟槽型和平面型MOS、沟槽型和平面型SBD、屏蔽栅MOS、超结MOS、IGBT、GaN功率器件等生产制造技术，产品以功率半导体与模拟IC为产业基础，面向消费电子、工业控制、汽车电子等终端市场。 /p p style=" text-indent: 2em " 根据此前的上会稿显示，华润微电子此次科创板上市募集资金将主要用于8英寸高端传感器和功率半导体建设项目、前瞻性技术和产品升级研发项目、产业并购及整合项目、以及补充营运资金。 /p p style=" text-indent: 2em " 除了6英寸和8英寸制造生产线外，近年来，华润微电子也在开始着手投资建设12英寸晶圆厂。 /p p style=" text-indent: 2em " 2018年11月，华润微电子与重庆西永微电园公司签署协议，华润微电子将在重庆西永微电园投资约100亿元建设12英寸功率半导体晶圆生产线，主要生产MOSFET、IGBT、电源管理芯片等功率半导体产品。据了解，华润微电子12英寸功率半导体晶圆生产线已经被列入重庆市2020年重大项目名单中。 /p p style=" text-indent: 2em " 此外，华润微电子还在无锡和深圳拥有半导体封装测试生产线，年封装能力约为62亿颗。公司封装测试生产线具有完备的半导体封装生产工艺及模拟、数字、混合信号等多类半导体测试生产工艺。同时，公司在无锡拥有一条掩模生产线，年产能约为2.4万块。 /p

无锡(滨湖)国家传感信息中心建设取得新进展。11月19日，中国科学院电子学研究所，携手无锡市滨湖区人民政府，共建传感器网络信息技术无锡研发中心签约仪式隆重举行。副市长谈学明，市政府秘书长、太湖城党工委书记吴峰枫，滨湖区领导袁飞、陈锡明、吴建昌，太湖城领导戴锁洪、孙海东等出席签约仪式。 　　作为我国较早从事传感信息技术研究和开发的国家级科研机构，中科院电子所在微传感技术与系统领域，具有雄厚的研发实力和丰富的实践经验。根据协议，新组建的研发中心将利用电子所现有技术，建立基于太湖流域水环境监测的传感网络示范应用平台，进而带动核心传感器件的研发及传感器网络信息技术的推广应用，进一步加快无锡政、产、学、研合作步伐，从而又好又快地促进科技成果转化，为无锡企业、商业和教育等领域带来新的转型契机，同时必将为传感业发展和传感网、物联网建设产生极为深远的战略影响，成为无锡传感信息产业根植华东地区、辐射全国和海外的新坐标。 　　副市长谈学明希望以此次签约为契机，进一步深化无锡与中科院电子所等权威科研机构的合作，通过多种形式促进科技成果转化，加强人才培养，在产业变革的进程中实现科研院所和产业的共同发展，共同推动无锡"感知中国"中心的建设。 　　中科院电子所所长吴一戎表示，研发中心的组建，将进一步紧密中科院与无锡(滨湖)国家传感信息中心的联系。中科院电子所将充分发挥其在新型传感器及传感器系统研制领域的技术优势，致力于传感网信息技术领域的高技术开发及应用，推进成果的产业化进程，加速传感网信息技术产业链的形成。 　　签约当天，中科院电子所传感器网络信息技术无锡研发中心、传感技术国家重点实验室无锡工程中心、无锡中科传感器网络信息技术中心等3个中心同时在无锡(滨湖)国家传感信息中心揭牌。滨湖区与中科院还就"太湖流域水环境监测"传感网信息技术应用示范工程签订了合作协议书。

20世纪30年代，德国物理学家E.Ruska率先发明第一台电镜后不久，日本许多技术人员和学者也开始研究电镜，并将之作为一个产业布局发展。直到当前，捷克、荷兰、日本三个国家在全球电镜出口份额中占比超过七成。日本电镜产业的发展无疑是成功的，成功的背后，除了日本电子、日立等知名电镜品牌的贡献，也离不开电镜产业中核心部件企业的助力。大和电子是一家具有55年发展历史、专注电镜电子源、光阑等核心部件的企业，在日本电镜市场具有较高的知名度。近来，笔者视频连线了大和电子销售部部长神尾太一，神尾太一加入大和电子近20年，先后承担了微细制造技术、海内外销售等工作，以下文字主要结合视频采访内容整理，希望大家对大和电子有进一步的认识，对正在迅速复苏的中国电镜产业发展有一些启发。55年专注电镜核心部件与微细加工技术日本战后20多年里，日本的电子显微镜产业缓慢向前发展，与此同时，全球范围内，电子显微镜技术尚有诸多未知领域待科学家们去征服。20世纪60年代，公司第一任社长佐藤幸男就职于一家钨丝制品的生产厂家，并担任技术要职。此时，知名电镜生产制造商日本电子株式会社(JEOL Ltd., )正在寻求技术合作，于是找到第一任社长，提出电镜用灯丝的需求。随后，第一任社长就从原来的厂家独立出来，在1967年创立大和电子工业株式会社町田研究所，以专注生产制造电镜用灯丝。大和电子第一任社长 佐藤幸男大和电子第二任社长 佐藤洋大和电子现任第三任社长 渡邊正範大和电子成立时的公司招牌（创立时公司名为大和电子工业株式会社，后改名为大和电子科技株式会社）成立初始，公司只有几平米的一个房间，依靠几个人开始开展研发，克服重重困难，从最初以电镜灯丝生产起家，灯丝产品在当时广受好评，到制作灯丝相关制具、灯丝周边配件和零件，再到在灯丝基础上研发的光阑、闪烁体等，不断扩大公司产品范围，直到现在。大和电子总部一角1994年，公司更名为大和技术系统株式会社（Daiwa Techno Systems Co., Ltd.）。如今，除灯丝加工技术外，分析设备零部件、半导体零部件、真空成膜等技术涵盖了电子显微镜零部件整个行业。同时，也逐步开始涉猎海外市场。公司成立50多年来一直全力致力于电子显微镜零部件的制造研发。夜以继日，反复钻研，以独有的技术诀窍，磨砺加工技术，跻身专业行列。半个多世纪以来，先进的技术为电子显微镜行业的发展提供了有力支撑。目前，大和电子主要经营多种搭载于电子显微镜及半导体检测设备等真空相关装置上的零部件，擅长钼（Mo）、钽（Ta）、钨（W）等特殊金属的加工以及微细加工。主要产品包括灯丝/发射极、光阑/小孔、精密加工零部件/陶瓷产品、电子显微镜样品台、电子显微镜特殊零部件等。大和电子主要产品示例作为小众核心零部件生产企业，长年积累的技术工艺已成为大和电子的核心竞争力。基于钼、钽、钨等特殊金属的加工以及微细加工的长期经验与众多成果，大和电子除了经营的五大类零部件产品，也积累了丰富的核心技术工艺。在微细加工零部件生产领域积累的主要技术工艺成果包括灯丝制作技术、微细放电加工与去毛刺技术、清洗处理技术、镀锇技术、精密清洗技术真空热处理、陶瓷加工与耐真空焊接、光蚀刻加工等。可加工材质广泛包括：钼、钽、钨、铼、钛、不锈钢类、铜、铜合金、铝类、金、铂、陶瓷类等。大和电子主要技术工艺从服务电镜整机企业出发，走向终端用户，挑战“按需生产”大和电子的电镜灯丝等产品即是电镜零部件，也是电镜消耗品，这样的产品属性，让大和电子的业务与电镜整机市场有着很强的关联性。一般而言，电镜市场需求越大，则后期随之对电镜零部件或消耗品的需求也会越大。一般情况下，对于标准化的电镜零部件或消耗品，大和电子主要与电镜生产企业合作，而不是直接出售给终端电镜用户，电镜用户如果有电镜零部件或消耗品的需求，便会找到电镜生产企业进行采购。神尾太一表示，这也许是日本比较独特的商业习惯，在日本，电镜用户一般不会直接去零部件生产企业购买产品。而在欧洲或美国，电镜用户直接与零部件生产商进行沟通并采购的现象却是比较普遍的。这也许保持了电镜产业链的一个生态平衡，另外就是对所生产的产品的品质的一个保障，日本非常看重这一点。比如，电镜用户从电镜生产商去购买零部件或耗材，电镜生产商往往可以给零部件提供更全面的品质保证。因为零件是特殊产品，电镜用户直接从零件生产企业采购，不一定能满足其电镜的需求，使之正常运转或发挥其性能。另外，从正规渠道采购有品质保障的零部件，也是产业链中友商之间合作的一个重要因素。不过，这种模式也有一定弊端。大和电子与欧洲、美国等公司也有一定合作，相互对比之后，神尾太一也认为，日本的商业模式确实也相对偏谨慎。一方面，虽然零部件等产品销售给电镜厂商，但实际使用的是终端电镜用户。“用户的使用效果怎样？有没有在使用过程中出现问题？能不能满足需求？”等问题都需要走进用户去了解，大和电子在这方面也越来越重视。另一方面，主要销售给电镜厂商，也不利于对核心部件企业品牌的宣传推广。据介绍，电镜生产品牌一般会直接从大和电子这样的企业采购相关零部件，自主生产的较少。当前，在日本市场，大和电子几乎与所有电镜厂家都有密切合作，且在日本国内电镜零部件领域具有较高的知名度。关于全球市场，大和电子也在逐渐与欧美一些电镜品牌开展合作，包括对中国市场的积极关注等，开始不断拓展海外市场。神尾太一表示，由于零部件产品的特殊性，为满足与电镜整机产品更好的契合，在这些标准的零部件产品上市背后，大和电子与各个电镜品牌商之间的沟通交流是很频繁的。除了与直接购买的电镜厂商的销售部门沟通，更多情况下，双方频繁的沟通从产品提交需求阶段就开始了。从需求对接过程中双方技术人员、工程师的沟通，到研发阶段样品的制造，再到产品产品图纸的定量、产品的加工等，双方的沟通探讨贯穿于产品制造的每个环节，双方共同面对技术挑战，共同开发创新，一致的目标便是让零部件与电镜更好的满足用户的需求。随着科技工作者科研工作的不断发展与深入，当标准化产品不能满足科研需求时，定制化、非标科学仪器与零部件成为市场的另一股需求。在日本市场，除了与电镜生产企业的合作，大和电子与高校院所等研究机构也有着广泛的合作，大和电子也非常重视。非标产品/非标合作案例：材质 Ta，外形φ1.6mm、内径φ0.8mm、间隔W=0.1mm、板厚ｔ=0.3mm， SEM照片非标产品/非标合作案例：材质 Mo，孔径φ0.010mm，小孔正面和小孔内壁SEM照片与这些研究机构的合作涉及的主要是一些非标零部件产品，不像可以从电镜生产商可以直接购买的规格产品，非标零部件往往需要按照客户图纸来设计，或按客户的特殊要求来定做。神尾太一表示，虽然这些客户提出的订单或咨询都是一些比较难加工的零件，从零件材质到尺寸等，要面临许多困难。但大和电子十分重视，通过不断解决难题、挑战，除了帮助客户解决难题、取得一定研究成果、或助力其商业化的成功，另一方面，大和电子在加工技术方面也得到不断提高。而且，从长远来看，这对产业技术的发展也会起到积极助推作用，大和电子也会始终将非标零部件产品的合作看做非常有价值和意义的业务。“持续精进”的微细/特殊材料/真空环境加工技术关于电镜产业的发展，神尾太一认为，电镜产业与半导体工业发展息息相关，大约50多年前，半导体刚开始处于成长道路上时，电镜当时也是刚刚起步，许多技术或对产品的要求还很少。如今随着半导体工业的发展，电镜整体的性能以及电镜零部件的性能都有了很大提升，对应对电镜本身各种零件的要求及加工技术也随之提高。当前，大和电子收到越来越多更高要求产品需求或咨询就是很好的应证。在日本市场，从事零部件加工的企业不在少数，但专注于电镜零部件的企业并不多，聚焦电镜零部件便成为大和电子的强项。与传统零部件不同的是，电镜零部件的加工制造，除了要求精湛的精密加工技术，还需要在真空环境加工工艺方面有长年的经验积累。因为这两方面的技术对于电镜零部件各方面性能、使用寿命等息息相关。电镜作为一类很复杂的精密仪器，其核心部件常被大家津津乐道。神尾太一谈到，在电镜中，电子枪发射电子束、电子束穿过之处无疑是电镜的心脏部位，然后光阑将电子束聚焦，最后投射到闪烁体上，此三个部件都是非常重要的，而大和电子的主要生产销售产品就涵盖了这三类。产品定位决定了大和电子的核心技术所在，归纳起来主要包括三个方面。首先是微细加工技术，微观表征的电镜决定了其零部件的微小尺寸，在此方面，大和电子积累了丰富的微米级微细加工技术能力。点焊技术，可实现从线径φ0.05的极细丝到线径φ0.5左右的极粗丝的精密焊接，右图为点状式灯丝微细放电加工与去毛刺技术：最小可加工φ0.002mm的极小孔其次是特殊金属等材料的加工能力，由于电镜内磁透镜磁性工作环境要求使用钽、钼、钨等非磁性金属零部件，大和电子多年来积累了丰富的高精度加工技术与经验。并可根据顾客提出的性能要求，对不锈钢、铝合金、铜合金以及其他特种金属进行切割、放电加工，研磨加工等全套对应，也可供应陶瓷产品及陶瓷金属焊接产品。特殊材料精细加工示例（下图：钼（Mo）材质，特殊载网案例）再次是真空环境零件加工技术。由于这些部件就是在真空环境中工作，属于真空零件，所以除了生产出来，对其清洁度也有更高的要求。大和电子采取对应技术包括超声波清洗、烘烤除气、泄漏检测、真空包装等。光阑清洗技术示例企业文化：利于“挑战”、“创意”上下功夫有利于挑战的企业氛围神尾太一加入大和电子已经20多年，包括近10年技术工作与近10年销售工作背景。当问及对公司哪些企业文化比较欣赏或印象深刻，神尾太一思索片刻道：比较有利于挑战的工作氛围。多年来，许多客户提出关于特殊零件的加工或定制，一般都非常有难度。很多情况是其他厂家无法加工完成，然后希望大和电子能够提供帮助。许多需求从提出那一刻便知道难度很大，或即便做起来也不一定能做到。大和电子一般不会很快去答复客户，或直接便放弃，二是会优先考虑怎样能够做出来、怎样能满足或提高客户需要的性能。如此一个迎接挑战的精神，是大和电子一个传统的企业文化。神尾太一接着分享了一个经历。曾经，有一个电镜厂商向大和电子提出一个定制样品，该产品也是首次尝试，结果做的很不成功。但电镜厂商已经与客户形成订单，交货期迫在眉睫，大家一时没了退路。另外，该零件的前期粗加工是大和电子另一个合作伙伴来做的。此情况下，大和电子无奈下与此合作伙伴沟通了当时情况的严重性，对方也是非常理解。于是大家先把利益放在一边，共同合作努力把产品做出来。通过举行三方会议讨论，电镜商将零件周边的零件规格样式进行了微调改动以保证周边配套性能的保证、粗加工合作伙伴及大和电子全力配合重新做样品，最终在三家联合攻坚下共同做出了产品。当初来看，那次合作从经济效益来讲并不划算，但产品最终验证是成功的，而且这款产品也延续了三方稳定的合作，大家也实现了最终的共赢。在“创意”方面下功夫谈到电镜零部件相对微观精密加工与常规宏观精密加工技术相比的不同之处，神尾太一认为，“电镜零部件的加工技术并没有非常特别之处，也并不是说使用到什么特殊的设备，或听所未闻的工艺技术。主要还是在加工的制具、工具、道具、模具等的创意上下功夫。比方说一些加工的具体环节，我们可能会先做一个制具，然后再加工时，比如研磨时，有可能用制具去夹着需要加工的零件，结果最后加工研磨时就把制具一起也研磨出来了。或者比方说很小的零件，连夹都夹不住的这种零件，我们可能就会想办法做一种制具，让他能够夹住零件。”后记：访谈过程中，有句话让笔者印象深刻， “电子显微学向更加微观的方向发展的趋势下，我们作为一个电镜核心部件加工厂家，如果因为做不出来就不做了，那我们的技术就可能到此为止了”。55年来，“挑战”、“创意”的传承，帮助大和电子见证并参与了电子显微学技术的快速发展。同时，神尾太一对中国市场也流露出浓厚的兴趣，对于中国电镜产业当前的快速发展，表示中国市场是一个有魅力的市场，大和电子希望在中国市场有更多的合作，希望为中国电镜产业的发展做一些贡献。受访人简介：日本大和电子科技株式会社 销售部部长 神尾太一神尾太一，2004 年大学毕业后就职于日本大和电子科技株式会社。在制造技术部从事微孔加工工作。为海内外客户试做和定做电子显微镜光阑。在此过程中，专研掌握了有关微细加工技术，真空和电子束的专业知识。 2012 年调任到销售部门，负责对海内外客户进行电镜零部件等真空方面的技术销售，主要客户为电子显微镜制造商和半导体制造设备的制造商，大学和研究机构。积累了工作业绩。 现在，作为销售部门的负责人，努力与所有客户建立信任关系。

超短超强激光脉冲可以在等离子体中激发梯度超过100 GV/m的加速电场，这比传统金属射频腔可以提供的加速电场高了1000倍以上，有望大幅缩小加速器规模，使桌面型粒子源/辐射源成为现实。目前，激光等离子体加速所采用的主流注入机制（如自注入，离化注入，碰撞光注入等）无法兼顾被加速束团电荷量、能散和发射度等参数，很难让它们同时得到优化。近日，李大章、曾明特聘青年研究员带领的加速器中心新加速原理研究团队提出一种新型注入机制，利用两束同轴激光干涉形成的多壳层空泡结构的演化，俘获背景等离子体中的电子。模拟结果显示，在此种注入机制下，有望利用200 TW量级激光器，产生中心能量750 MeV，能散0.4%，电荷量150 pC，归一化发射度0.2 mm mrad的高品质电子束。此结果已在近期发表在《Matter and Radiation at Extreme》杂志上。当一束波前曲率迅速变化的紧聚焦激光脉冲与一束波前平坦的大光斑激光脉冲同轴同向传播时，两束光会发生干涉，并在等离子体中形成洋葱状的周期性多壳层空泡结构（如图a所示）。随着两束光继续向前传播，空泡将在横向发生膨胀，电子回流时间变长，从而引起空泡结构的纵向拉伸，最终导致尾场相速度降低。此时等离子体背景电子将有机会被尾场俘获并加速。在此种注入机制下，较长的注入长度保证了较大的电荷量，空泡纵向膨胀诱导的注入减弱了束流的相混合，空泡尾部壳层的散焦力降低了电子被俘获时的横向动量。因此，此注入机制可兼具高电荷量，低能散和小发射度的优点（如图b，图c所示）。

2021年10月12日，北京众星联恒科技有限公司在怡心湖畔，美丽的电子科大科技园举行了签约暨入园仪式，标志着众星联恒研发中心正式落户成都。四川天府之国，人杰地灵，众星成立不久就设立了成都办事处以辐射西南地区的销售业务与技术服务支持。此次公司研发中心入驻电子科大科技园，旨在更好地满足客户的需求，打造西南区域最全面的X射线分析、测试、实验中心。入园仪式上，众星联恒CEO李才华先生上台致辞，并与电子科大科技园（天府园）董事长王萍女士签订了入园协议。众星联恒CEO李才华先生签约仪式北京众星联恒成立于2013年，经过8年多的发展，已经成长为一家集产品研发、科技成果转化、科研仪器销售、实验解决方案提供、技术咨询与服务于一体的科技型企业。随着研发中心的落地，标志着众星大力投入创新研发，发展自有知识产权，形成公司未来核心竞争力的转折点与里程碑。这不仅是众星自身发展的选择，也是顺应时代主题、响应国家号召的决策。从办公楼里小小的自研实验室到怡心湖畔科技园里宽敞明亮的研发大楼，我们感谢见证众星每个成长阶段的各位领导，朋友及各位同事。我们必不负众望，脚踏实地，砥砺前行。诚挚邀请各位专家学者、新老客户莅临我司研发中心指导工作，期待与您的进一步的交流与合作。让我们携手共进！荣耀征途，共襄未来。

近日，苏州博众仪器科技有限公司（简称博众仪器）宣布了一项重大关键技术突破，成功研发出热场发射电子源。该产品可以用于电子显微设备和电子束光刻设备等领域，标志着中国在热场发射电子源方面实现了国产化替代，为高端电子显微技术自主化进程提供了强大助力。同时，其作为电子束的共性基础元件，也将对发展电子束相关设备，如发展电子束光刻机等设备奠定坚实基础。目前，该产品已取得相关发明专利。该产品针尖曲率半径可精准控制在400～900nm之间，角电流密度达200～500uA/Sr，在200kV高压下，其亮度可达6.5x10^8～1.5x10^9A/(c㎡ Sr)，在1700～1850K的温度环境下稳定工作，不仅性能媲美国际顶尖产品，更在性价比上展现出巨大优势。目前，该产品已作为成熟产品对外销售并可提供定制化服务。当前，电子显微镜市场尤其在高端扫描电子显微镜、透射电子显微镜等领域一直被美国的赛默飞、日本的日本电子和日立等企业所垄断，国内企业面临技术封锁和市场挤压的双重挑战。而电子源作为电子显微镜的核心部件，其技术门槛高、研制难度大，一直是国产电子显微镜发展的瓶颈之一。在各类电子源中，热场发射电子源是应用最广的一类电子源，其亮度比钨灯丝高约1000倍，比LaB6灯丝高约100倍，而且具有更小的能量分散和更小的光斑直径，因此非常合适用于电子显微设备和电子束光刻设备等。但当前只有赛默飞、日本电子、日立、DENKA和YPS等国外公司有成熟的产品，国内企业始终面临着采购周期长、成本高、不能自主可控的困境。博众仪器自成立以来，始终秉持着自主可控的经营理念，专注基于电子束的高端装备的研发、生产和销售，主营透射电子显微镜及其核心部件，如：肖特基电子源、超高稳定电源（包括高压电源和恒流电源）、高精度控温水冷机等产品，并提供电子枪、高压电源、磁透镜等整体解决方案。而热场发射电子源作为透射电镜的核心部件，自公司成立之初便开始研制。团队历时3年多的不懈努力，终于突破关键技术难点，研制出性能稳定、性价比更高的热场发射电子源。接下来，博众仪器也会陆续推出，应用于高端仪器设备领域的超高稳定电源等核心产品，持续为高端仪器设备行业的发展贡献力量。

p 　　11月25日至26日，由国家首批“千人计划”入选者苏党生研究员主讲的电子显微学讲座在中科院大连化物所生物楼学术报告厅顺利举行。所内相关研究组的职工和研究生130余人参加了培训。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201512/noimg/8371a55a-d564-4d48-98d0-0275d6ec63c1.jpg" title=" 图1.jpg" / /p p br/ /p p br/ /p p 　　此次培训中，苏党生系统地介绍了催化材料的特征和表征、透射电子显微镜的基本构造、电子衍射基础、电子显微成像原理、高分辨电子显微像、电子与物质的相互作用、分析电子显微学、电子显微学的最新进展、电子显微学在催化研究中的应用等内容。培训得到了所内职工和研究生的积极参与。 /p p 　　苏党生在 a href=" http://www.instrument.com.cn/zc/1139.html" target=" _blank" title=" " style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 透射电子显微学 /span /a 和电子能量损失谱、异质催化反应机理、以及纳米碳结构和高性能催化等方面取得了丰硕的学术成果，是该领域国际知名的华人科学家。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201512/noimg/a46d0cb0-f794-4c99-a852-22211fa1761b.jpg" title=" 图2.jpg" / /p

中国科学院微电子研究所2011年仪器设备采购项目(第五批)第1包成交结果公告 　　招标编号：OITC-G11032058 　　采购人名称：中国科学院微电子研究所 　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司 　　采购项目名称：中国科学院微电子研究所2011年仪器设备采购项目(第五批) 　　定标日期：2011年7月1日 　　招标公告日期：2011年3月23日 　　公告信息如下： 　　第1包 金属栅溅射台 1套 　　成交供应商名称：INFOVION 株式会社 　　成交金额：116.6万美元 　　评标委员会成员名单：朱衍勇、段玉生、张德添、戴琳、殷华湘 　　本项目联系人：窦志超 　　联系电话：010-68725599-8447 　　感谢各供应商对本项目的积极参与，未获中标的供应商请于即日起5个工作日内到我公司办理保证金退回事宜。 　　东方国际招标有限责任公司 　　2011年7月1日 　　中国科学院微电子研究所2011年仪器设备采购项目(第六批)第1包成交结果公告 　　招标编号：OITC-G11032080 　　采购人名称：中国科学院微电子研究所 　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司 　　采购项目名称：中国科学院微电子研究所2011年仪器设备采购项目(第六批) 　　定标日期：2011年7月1日 　　招标公告日期：2011年4月12日 　　公告信息如下： 　　第1包 尾气处理系统 4套 　　成交供应商名称：埃地沃兹贸易(上海)有限公司 　　成交金额：30.7万美元 　　评标委员会成员名单：朱衍勇、李振声、郝艾芳、张连清、宋希明 　　本项目联系人：窦志超 　　联系电话：010-68725599-8447 　　感谢各供应商对本项目的积极参与，未获中标的供应商请于即日起5个工作日内到我公司办理保证金退回事宜。 　　东方国际招标有限责任公司 　　2011年7月1日

为优化政府采购营商环境，提升采购绩效，《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定要求各预算单位按采购项目公开采购意向，内容应包括采购项目名称、采购需求概况、预算金额、预计采购时间等。近两年来，各大高校、科研院所等纷纷在相关平台公布本单位政府采购意向。中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）是国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位，是中国科学院大学微电子学院（国家示范性微电子学院）的依托单位，是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。微电子所目前拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室（微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室），5个行业服务类研发中心（EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心、光刻总体部），7个行业应用类研发中心（通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心、电磁信息智能应用研究中心），4个核心产品类研发中心（硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心、光电研发中心）。 微电子所与北京大学、清华大学、复旦大学等高校和武汉新芯、上海华力、华润微电子、北方微电子等企业结为战略合作伙伴，在北京、江苏、湖北、四川、广东、湖南等省市开展科技成果转移转化，在我国微电子领域拥有广泛的影响，为支撑我国微电子产业核心竞争力发挥了不可替代的重要作用。 成果的产出和人才的培养都离不开仪器的支持，微电子所每年都会投入一定的经费采购科学仪器，以建立具有国际先进水平的实验研究和测试平台。为方便仪器信息网用户及时了解仪器采购信息，本文特对微电子所2022年仪器设备类政府采购意向进行了整理汇总。共收集到21个采购项目，预算金额相加约1.5亿元，采购品目涉及示波器、探针台、ALD、键合机、清洗机、退火炉等多种仪器类型。中国科学院微电子所2022年政府采购意向汇总表序号采购项目名称采购品目预算金额(万元)预计采购日期项目详情15.7寸移动作业终端A021199-其他电子和通信测量仪器2003月详情链接2示波器A032199-其他电工、电子专用生产设备1343月详情链接3多通道高精度阻抗谱分析子系统A02100305-电子光学及离子光学仪器285.244月详情链接4直流-6GHz 多频段微弱电信号高性能分析测试平台A02100305-电子光学及离子光学仪器389.84月详情链接512英寸晶圆贴膜揭膜减薄一体机A032199-其他电工、电子专用生产设备12005月详情链接612英寸芯片至晶圆微米级混合键合一体机A032199-其他电工、电子专用生产设备49305月详情链接7PA-连续波/脉冲功率测试系统A02100305-电子光学及离子光学仪器4405月详情链接8精密电感耦合等离子刻蚀系统A032199-其他电工、电子专用生产设备3505月详情链接912吋晶圆底填机A032199-其他电工、电子专用生产设备1306月详情链接1012吋晶圆助焊剂清洗机A032199-其他电工、电子专用生产设备6006月详情链接1112英寸超薄晶圆划片机A032199-其他电工、电子专用生产设备1706月详情链接1212英寸晶圆化学机械抛光机A032199-其他电工、电子专用生产设备17006月详情链接1312英寸晶圆键合退火炉A032199-其他电工、电子专用生产设备2006月详情链接1412英寸晶圆清洗机A032199-其他电工、电子专用生产设备3006月详情链接15大功率快脉冲测试仪A032199-其他电工、电子专用生产设备215.236月详情链接16高精度靶点识别与成型设备A032199-其他电工、电子专用生产设备1406月详情链接17三维堆叠键合机A032199-其他电工、电子专用生产设备7006月详情链接18大功率高温探针台A032199-其他电工、电子专用生产设备250.37月详情链接19清洗设备研发A032199-其他电工、电子专用生产设备1257月详情链接20多场原位电子全息三维高分辨成像系统A02100305-电子光学及离子光学仪器163512月详情链接21多腔室新型高k金属栅ALD生长系统A032199-其他电工、电子专用生产设备85012月详情链接值得而注意的是，微电子所除了采购仪器设备外，还采购了总额超四千万的流片服务。在集成电路设计领域，“流片”指的是“试生产”，就是说设计完电路以后，先生产几片几十片，供测试用。如果测试通过，就照着这个样子开始大规模生产了。流片服务采购意向汇总序号采购项目名称采购品目预算金额(万元)预计采购日期项目详情1砷化镓流片和SOI流片加工C0908-其他专业技术服务8103月详情链接2流片加工C0908-其他专业技术服务1302月详情链接3新型存储器流片加工服务C0908-其他专业技术服务3003月详情链接4测试调试C0908-其他专业技术服务1205月详情链接5芯片流片C0908-其他专业技术服务1205月详情链接6小芯片加工制造C0908-其他专业技术服务1506月详情链接7芯片分析C0908-其他专业技术服务1506月详情链接8MPW投片费C0908-其他专业技术服务1707月详情链接9流片C0908-其他专业技术服务1957月详情链接10流片、制版C0908-其他专业技术服务1907月详情链接11流片、制版C0908-其他专业技术服务2557月详情链接12流片、制版C0908-其他专业技术服务50944743详情链接13封装加工服务C0908-其他专业技术服务25012月详情链接14流片费C0908-其他专业技术服务10012月详情链接15流片加工服务C0908-其他专业技术服务70012月详情链接

近日，中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目(电子显微镜类)成交，总金额近5000万元，以下为详情：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第5包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-1(招标文件编号：OITC-G210260981-1)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：捷欧路(北京)科贸有限公司　　供应商地址：北京市海淀区中关村南三街6号中科资源大厦南楼二层　　中标(成交)金额：545.0676000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 捷欧路（北京）科贸有限公司 第5包 透射电子显微镜 日本电子株式会社 JEM-F200、EM-20145(ZFE20)及S-Tool组成 1套 US$840,000.00 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　蒋秀高(组长)、滕琍敏、高连荣、孙家悦、闫树刚、王东明、李宁(包5用户代表)　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：按招标文件要求执行　　本项目代理费总金额：5.0084000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第8包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-1(招标文件编号：OITC-G210260981-1)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：捷欧路(北京)科贸有限公司　　供应商地址：北京市海淀区中关村南三街6号中科资源大厦南楼二层　　中标(成交)金额：798.9800000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 捷欧路（北京）科贸有限公司 高分辨透射电子显微镜 日本电子株式会社 JEM-F200 1 人民币7989800元 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　蒋秀高、滕琍敏、高连荣、孙家悦、闫树刚、王东明、张晓红　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：[2002]1980号文件　　本项目代理费总金额：8.2920000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第11包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-1(招标文件编号：OITC-G210260981-1)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：卡尔蔡司(上海)管理有限公司　　供应商地址：中国(上海)自由贸易试验区美约路60号　　中标(成交)金额：234.8000000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 卡尔蔡司（上海）管理有限公司 场发射扫描电子显微镜 卡尔蔡司 Sigma 300 1 人民币2348000元 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　李文军、王亚平、曹亚萍、郭奋、赵志强、王英滨、麻云凤　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：[2002]1980号文件　　本项目代理费总金额：2.9828000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第27包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-2(招标文件编号：OITC-G210260981-2)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：湖南津华仪器有限公司　　供应商地址：长沙市雨花区湘府中路117号金典商务中心1、2、3、4栋2001室　　中标(成交)金额：288.0000000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 湖南津华仪器有限公司 120KV透射电子显微镜 日本高新技术有限公司 HT7800 1套 ￥2,880,000.00 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　崔国辉 温新婴 陈世东 高子萍 薛鹏 焦丽宁 王久荣(用户代表)　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：1980号文　　本项目代理费总金额：0.0000000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第36包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-2(招标文件编号：OITC-G210260981-2)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：厦门航空开发股份有限公司　　供应商地址：福建省厦门市湖里区高崎南五路222号航空商务广场3号楼10层　　中标(成交)金额：268.0000000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 厦门航空开发股份有限公司 扫描电子显微镜 捷克赛默飞世尔科技（原FEI） Apreo 2S HiVac 1套 ¥2,680,000.00 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　朱希洪 李玉霞 王璐 张健 邢晓慧 于同泉 周丽花(用户代表)　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：1980号文　　本项目代理费总金额：0.0000000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第38包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-2(招标文件编号：OITC-G210260981-2)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：山西巢原科贸有限公司　　供应商地址：太原市万柏林区千峰南路69号1幢1102室　　中标(成交)金额：299.0000000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 山西巢原科贸有限公司 介观尺度高温原位显微结构表征系统 赛默飞世尔科技有限公司 Quattro S 1 ¥2,990,000.00 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　朱希洪 李玉霞王璐 张健 邢晓慧 于同泉 白进(用户代表)　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：1980号文　　本项目代理费总金额：0.0000000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第40包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-2(招标文件编号：OITC-G210260981-2)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：捷欧路(北京)科贸有限公司　　供应商地址：北京市海淀区中关村南三街6号中科资源大厦南楼二层　　中标(成交)金额：1999.5000000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 捷欧路（北京）科贸有限公司 原子级分辨率球差校正透射电镜 日本电子株式会社 JEM-ARM300F2 1 ¥19,995,000.00 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　朱希洪 李玉霞 王璐 张健 邢晓慧 于同泉 张庆华(用户代表)　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：1980号文　　本项目代理费总金额：0.0000000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目第43包(电子显微镜类)中标公告　　一、项目编号：OITC-G210260981-2(招标文件编号：OITC-G210260981-2)　　二、项目名称：中国科学院2021年仪器设备部门集中采购项目　　三、中标(成交)信息　　供应商名称：卡尔蔡司(上海)管理有限公司　　供应商地址：陕西省西安市未央区渭滨路西核公司高层小区　　中标(成交)金额：500.3019000(万元)　　四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 卡尔蔡司（上海）管理有限公司 聚焦离子束扫描电子显微镜 Carl Zeiss/德国 Crossbeam 350 1 US$771,000.00 　　五、评审专家(单一来源采购人员)名单：　　崔国辉、温新婴、陈世东、高子萍、薛鹏、焦丽宁、王志光(用户代表)　　六、代理服务收费标准及金额：　　本项目代理费收费标准：1980号文　　本项目代理费总金额：0.0000000 万元(人民币)　　七、公告期限　　自本公告发布之日起1个工作日。

自2010年1月20日起至2010年11月29日，中国科学院微电子研究所共发布十四批仪器设备采购项目招标公告，其中已发布中标及成交结果公告的信息统计如下： 包号 仪器设备名称 中标供应商名称 中标金额 第二批 第1包 等离子体喷涂实验系统 廊桥实业（香港）有限公司 $52.876万元 第三批 第1包 高分辨率场发射扫描电镜 天美（中国）科学仪器有限公司 $107.07万元 第六批 第1包 等离子体增强化学气相沉积系统 伯东企业（上海）有限公司 $19.7万元 第七批 第2包 涂胶显影机 沈阳芯源微电子设备有限公司 ￥295万元 第4包 步进光刻机 上海微高精密机械工程有限公司 ￥398万元 第5包 光学轮廓仪 维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司 $11.2万元 第6包 电子束蒸发台 爱韩华（无锡）电子有限公司 ￥165万元 第8包 全自动清洗机 弘塑科技股份有限公司 $63万元 第9包 等离子去胶机 Mattson Technology Inc $37.5万元 第八批 第1包 信号分析仪 安捷伦科技新加坡销售（私人）有限公司 $12.15万 第九批 第1包 超低能离子注入机 维利安精密仪器维修（上海）有限公司 199万$ 第2包 金属栅刻蚀机、氧化硅/氮化硅刻蚀机 Lam Research International Sarl 380万$ 第3包 化学机械研磨机 汉民科技股份有限公司 168万$ 第4包 单片清洗机、单片湿法腐蚀设备 Lam Research International Sarl 165万$ 第5包 单片清洗机 盛美半导体设备（上海）有限公司 44万$ 第十批 第1包 化学清洗线、蚀刻线、显影线、去膜线 铨億机械股份有限公司 $50.5万元 第2包 半自动曝光机 上海欧托科国际贸易有限公司 $42.52万元 第3包 机械钻孔机 金富宝亚太有限公司 $13.80万元 第5包 真空压膜机 联策科技（股份）有限公司 $40.251万元 第6包 封装基板等离子清洗机 盈泰国际（集团）有限公司 $13万元 第7包 精密压机 博可机械（上海）有限公司 $14.58万元 第8包 化铜线、镀铜线 安美特（中国）化学有限公司上海青浦分公司 ￥280万元 第十一批 第1包 半自动清洗机 北京七星华创电子股份有限公司 ￥160万元 第2包 扩散炉系统 北京七星华创电子股份有限公司 ￥405万元 第3包 多晶硅低压化学气相淀积系统 镭社有限公司 $45.05万元 第4包 膜厚仪 Spectramax International Limited $31.80万元 第6包 多晶硅刻蚀机 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 ￥1139.4942万元 第十二批 第1包 矢量信号发生器 微波技术有限公司 $133080元 第2包 高性能示波器 微波技术有限公司 $177000元 第3包 芯片自动测试捆绑套件 中科泛华测控技术有限公司 $17万元 第十三批 第1包 导电扫描探针显微镜系统 德国布鲁克AXS有限公司 $18.92万元 第十四批 第1包 基于ARM Core的原型验证开发平台 深圳市亿道电子技术有限公司 $30万元 第2包 宽带数字示波器 美国力科公司 $98249.7元 第3包 193nm激光器 Coherent Inc. $15.3万元 　　采购人名称：中国科学院微电子研究所 　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司 　　项目联系人：窦志超 　　联系电话：010-68725599-8447

1月8日晚间，普源精电科技股份有限公司（以下简称“公司”或“普源精电”）发布拟以现金方式收购北京耐数电子有限公司部分股权并签订表决权委托协议的公告。据了解，北京耐数电子有限公司位于北京市海淀区中关村，是一家国家级高新技术企业。 公司专注于智能阵列系统的研发与应用，为遥感探测、微波通信、射电天文、量子信息等领域提供专业的设备及解决方案。 耐数拥有一支实力雄厚的研发团队，其中博士、硕士研究生占比超过60%。耐数专注于智能数字阵列 (Smart Digital Array，SDA)的研究，智能阵列是一种将微波数字阵列、高性能异构计算和宽带存储相结合的综合系统。通过FPGA、CPU、GPU等处理芯片的综合算力，及高宽带低延时的拓扑总线，以实现阵列微波信号的实时采集、播放、复杂信号处理和识别检测。公告信息显示，普源精电拟以现金方式收购北京耐数电子有限公司（以下简称“耐数电子”或“标的公司”）32.2581% 的股权（以下简称“本次交易”），收购对价合计为人民币1.20亿元。同时，公司拟与标的公司股东吴琼之签署《表决权委托协议》，吴琼之于本次交易完成后将所持标的公司全部股权（持股比例为18.8831%，对应标的公司认缴出资额188.8306万元）对应的表决权独家且不可撤销地委托公司行使，委托期限自本次交易的交割日起直至吴琼之不再持有任何标的公司股权之日为止。普源精电表示，本次收购有利于充分利用业务协同效应，实现从硬件向整体解决方案的转型升级；拓宽产品布局，增强公司产品在细分应用领域的品牌效应；深化上下游延伸和技术合作，提升研发水平和自主创新能力。此外，普源精电还宣布拟通过发行股份方式购买北京耐数电子有限公司（以下简称“耐数电子”）67.7419%的股权并募集配套资金。以上交易完成后，耐数电子将成为普源精电的控股子公司，由于管理方式的差异，不排除交易完成后双方难以实现高效整合目标的情况。

招标编号：OITC-G12032066 　　采购人名称：中国科学院微电子研究所 　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司 　　采购项目名称：中国科学院微电子研究所2012年仪器设备采购项目(第一批) 　　定标日期：2012年4月20日 　　招标公告日期：2012年3月23日 　　公告信息如下： 包号 设备名称 数量 中标供应商 中标价格 1 PECVD非晶硅淀积设备 1 爱立特微电子有限公司 31万美元 2 XeF2气相腐蚀设备 1 镭社有限公司 23万美元 3 非线性矢量网络分析仪 1 上海颐合贸易有限公司 39.6万美元 4 高低温半自动探针台 1 香港伊欧陆贸易有限公司 22.5万美元 5 反应离子刻蚀去胶机 1 Trymax Semiconductor Equipment BV 24.5万欧元 6 SiC激光划片机 1 德龙贸易香港有限公司 24万美元 　　评标委员会成员名单：朱衍勇、李振声、段玉生、郝艾芳、明安杰(第1、2包)、武锦(第3、4包)、郑英奎(第5包)、陈晓娟(第6包) 　　本项目联系人：窦志超 　　联系电话：010-68725599-8447 　　感谢各供应商对本项目的积极参与，未获中标的供应商请于即日起5个工作日内到我公司办理保证金退回事宜。 　　东方国际招标有限责任公司 　　2012年4月20日

6月21日，深交所正式受理了广州致远电子股份有限公司（简称：致远电子）创业板上市申请。致远电子是一家基于嵌入式系统设计自动化（EsDA，Embeded system Design Automation）技术，面向新能源汽车、光伏储能、智能制造、医疗设备等领域客户提供从数据采集、通讯、计算到云服务的工业智能物联产品的企业。目前公司已形成智能 AIoT 产品线、新能源及汽车通讯产品线、测试测量分析仪器产品线三大产品线，为客户的产品、系统提供数据采集、数据通讯、电源管理、边缘计算等能力，或作为研发、测试、产线设备提供记录、分析、诊断服务，从而以客户为中心形成完整的产品矩阵覆盖。公司部分新能源及汽车通讯产品、测试测量分析仪器产品已打破国外垄断，逐步实现对国外厂商的进口替代。经营业绩稳健增长2020-2022年（简称：报告期），致远电子实现营业收入分别为3.06亿元、4.15亿元、4.85亿元；对应的净利润分别为7653.07万元、12586.98万元、15758.05万元，营收净利润均实现逐年增长的态势。致远电子表示，报告期内，随着新能源汽车、光伏储能等产业的持续升级，公司的CAN总线接口产品等新能源及汽车通讯产品以及功率分析仪/功率计、示波器等测试测量分析仪器产品技术持续迭代，产品高端化趋势显著，公司新能源及汽车通讯产品线、测试测量分析仪器产品线的销售均价持续上升，推动公司主营业务收入在报告期内稳定增长。分产品来看，报告期内，公司智能 AIoT 产品线的销售收入分别为 16,985.56 万元、23,820.39 万元和 21,156.28 万元，占主营业务收入的比例分别为 56.71%、58.76%和 44.37%。公司的智能 AIoT 产品线主要包括隔离类产品、通信类产品、电源类产品及核心板、工控机、智能控制器等产品，为客户的产品或系统提供数据采集、数据通讯、电源管理、边缘计算等能力，广泛应用于新能源汽车、光伏储能、智能制造、医疗设备等行业客户。而公司的新能源及汽车通讯产品线聚焦新能源及汽车等场景下的研发与测试需求，主要可分为 CAN 总线接口产品、CAN 总线数据记录仪、CAN 总线分析仪和以太网接口产品，其中又以 CAN 总线接口产品为主导。报告期内，公司新能源及汽车通讯产品销售收入分别为 8,138.85 万元、10,664.06 万元和 16,216.52万元，分别占主营业务收入的 27.18%、26.30%和 34.01%。另外，致远电子测试测量分析仪器产品线主要包括功率分析仪/功率计、示波器、示波记录仪、可编程电源等产品类型。报告期内，公司测试测量分析仪器产品线的销售收入分别为 4,824.91 万元、6,057.09 万元、10,306.15 万元，占主营业务收入的比例分别为 16.11%、14.94%、21.62%。募资8亿元投建工业智能物联产品等项目招股书显示，致远电子此次IPO拟募资8亿元，投建于新一代工业智能物联产品研发项目、EsDA平台升级研发项目、制造中心升级项目，以及补充流动资金。近年来，工业智能物联领域的各项应用正加速落地，新能源汽车、光伏储能、智能制造、医疗设备乃至半导体、智能装备、智慧矿山等多个领域均实现了快速的应用扩张。市场的持续扩容也吸引着越来越多的优秀厂商进入工业智能物联领域。在工业智能物联领域，致远电子已实现了由元器件至终端产品、感知层至应用层的完整覆盖，公司的智能 AIoT、新能源及汽车通讯、测试测量分析仪器三大产品线包括了模块、板卡、控制器、接口卡、仪器等各类产品形态，能够满足客户数据采集、通讯、计算到云服务等各类工业智能物联需求，已在多个行业应用领域建立了一定的市场优势，赢得了包括比亚迪、宁德时代、阳光电源、天地科技、鱼跃医疗等在内的一大批行业头部客户的认可。致远电子表示，随着工业智能物联应用领域的持续扩大、应用场景的持续开拓，公司有必要紧跟行业趋势，一方面，在新能源汽车、光伏储能、智能制造等已经建立了优势地位的领域持续挖掘市场、强化对各细分领域的覆盖；另一方面，持续开拓公司的技术与产品在其他新兴领域的应用，如半导体、智能装备、智慧矿山、智慧交通、节能环保等。从而不断提升公司的业务广度与深度，提高公司的综合竞争力。关于公司发展战略，致远电子称，公司基于自研 AWorksLP 物联网实时操作系统、AWStudio 嵌入式应用可视化开发平台、AXPI 资源管理平台、AWTK GUI 引擎及 ZWS 物联网云平台等组成的完整 EsDA 生态，目前已形成智能 AIoT、新能源及汽车通讯、测试测量分析仪器等产品线并在新能源汽车、光伏储能、智能制造、医疗设备等领域树立了一定的竞争优势。未来，公司将持续以嵌入式系统设计自动化技术为基础，不断升级、扩充公司产品线，成为工业智能物联领域的领军企业。

电子束量检测是半导体量检测领域的主要技术类型之一，在半导体制程不断微缩，光学检测对先进工艺图像识别的灵敏度逐渐减弱的情况下，发挥着越来越重要的作用。电子束量检测设备对于检测的精度、可适用性、稳定性、吞吐量等要求很高，其研发和设计非常具有技术挑战性。作为布局该领域最早的国内企业之一，东方晶源已先后成功推出电子束缺陷检测设备EBI，关键尺寸量测设备CD-SEM（12英寸和6&8英寸），电子束缺陷复检设备DR-SEM，占据电子束量测检测三大主要细分领域，产品多样化和产品成熟度走在前列。同时，经过持续的迭代研发，三大产品线全力升级、性能指标进一步提升，引领国内电子束量测检测产业高速发展。EBI：历时三代焕新，检测速度提升3-5倍EBI（电子束缺陷检测设备）是集成电路制造中不可或缺的良率监控设备。其基本原理是结合扫描电镜成像技术、高精度运动控制技术、高速图像数据处理和自动检测分类算法等,在集成电路制造关键环节对晶圆及集成电路的物理缺陷和电性缺陷进行检测，避免缺陷累积到后续工艺中。东方晶源早在2019年就成功研发并推出的SEpA-i505是国内首台电子束缺陷检测设备，可提供完整的纳米级缺陷检测和分析解决方案，在2021年便进入28nm产线全自动量产。经过数年研发迭代，新一代机型SEpA-i525在检测能力和应用场景方面得到进一步拓展。在检测速率方面，新款EBI产品可兼容步进式和连续式扫描，连续扫描模式适用于存储Fab，结合自研探测器的性能优化，较上一代机型能带来3倍-5倍的速度提升；新开发的电子光学系统可支持negative mode检测方式和40nA以上的检测束流；同时引入多种wafer荷电控制方案，降低荷电效应对图像的影响。在应用场景方面，东方晶源的EBI设备也从逻辑Fab领域延伸至存储Fab，可以为客户解决更多的制程缺陷问题。此外，东方晶源EBI设备基于DNA缺陷检测引擎，采用图前台与运算后台低耦合，支持同步online/offline inspection。集成多种先进缺陷检测算法（D2D、C2C等），可以满足用户不同应用需求，有效提高Capture Rate，降低Nuisance Rate。采用的自动缺陷分类（ADC）引擎，其Model-Based ADC模块基于深度学习、自动特征选取、融合置信度的聚类算法，可以有效提升自动缺陷分类的Purity和Accuracy；Rule-Based ADC模块则保留了人工经验的灵活性，在小样本的场景下可以快速创建。CD-SEM：面向6/8/12英寸产线全面布局CD-SEM（关键尺寸量测设备）主要是通过对于关键尺寸的采样测量，实现对IC制造过程中，光刻工艺后所形成图形尺寸进行监控，以确保良率。东方晶源的CD-SEM分为12英寸和6&8英寸兼容两个产品系列，均已进入用户产线，可支持Line/Space、Hole/Elliptic、LER/LWR等多种量测场景，满足多种成像需求。12英寸CD-SEM新一代机型SEpA-c430经过2年的迭代，在量测性能和速度上实现全面提升，目前也在多个客户现场完成验证。该产品的量测重复精度达到0.25nm，满足28nm产线需求；通过提升电子束扫描和信号检测，产能提高30%；新推出的晶圆表面电荷补偿功能，可以提高光刻胶量测的能力。新机型还增加了自动校准功能，可确保较高的量测一致性，为产品的大规模量产做好了准备。除12英寸产品外，东方晶源6&8英寸CD-SEM产品相较国际大厂新设备的交期长、价格高具有更高的性价优势。面向第三代半导体市场推出的SEpA-c310s，不仅实现了6&8 英寸兼容，同时还可兼容不同材质的晶圆（例如GaN/SiC/GaAs），兼容不同厚度的晶圆（例如350um，1100um）。该产品已在多个头部客户实现了量产验证。值得一提的是，2022年底东方晶源ODAS LAMP产品已正式发布。ODAS LAMP全称为Offline Data Analysis System, Large Scale Automatic Measurement Purpose产品，中文名称为大规模CD量测离线数据处理系统。ODAS LAMP作为CD-SEM量测设备的配套工具，目的在于方便CD-SEM用户利用设计版图离线创建和修改CD-SEM recipe，并且提供对CD-SEM量测结果的review功能，也可以在CD-SEM图像上进行离线再量测，提升机台利用率。DR-SEM：瞄准新需求，开拓新领域DR-SEM（电子束缺陷复检设备）是东方晶源最新涉足的细分领域。根据SEMI数据，2024年12英寸产线DR-SEM需求量约为50台。未来3-4年，12英寸产线DR-SEM设备总需求量约为150台，具有广阔的市场空间。2023年东方晶源推出首款SEpA-r600，目前已经出机到几个头部客户进行产线验证。在设备开发过程中，得益于公司前期的技术积累，开发进程得以显著缩短。图像质量已达到客户需求，CR95%，接近成熟机台水平。在辅助光学系统复检OM的研发方案选择中，东方晶源独立开发出一套全新光学窗口成像系统。借助于这套系统，目前已完成对unpatterned wafer的光学复检功能的开发，实现了auto bare wafer review的功能，满足客户对70nm左右defect的复检需求。也就是说，东方晶源的DR-SEM设备不仅能够进行pattern wafer auto review ，也能够进行unpattern wafer review功能，并附带缺陷元素分析。另外，DR-SEM的高电压电子枪能够满足客户对浅层缺陷的分析，同时对较深的孔底部也能够有明显的信号。根据针对客户需求深度拆解，这款DR-SEM设备还引入了全彩OM，能实现色差调整，以满足不同film内部color defect的检测，为客户提供更多的表征手段。未来，东方晶源新一代DR-SEM设备将结合下一代自研EOS，搭配深紫外DUV辅助光学检测系统，预期可满足更先进制程全流程的defect复检需求。从2021年6月EBI设备通过产线验证进入全自动量产以来，东方晶源加快研发步伐，先后又成功推出12英寸CD-SEM、6&8英寸兼容CD-SEM、DR-SEM多款产品，并持续通过迭代升级提升设备性能和效率，解决了国产半导体发展中的关键难题，领跑国内相关领域发展。未来，东方晶源将围绕集成电路良率管理继续深耕，为产业带来更多的硬件和软件产品，推动行业发展和进步。

全国中小企业股转系统最新公告显示，大庆缘通电子科技股份有限公司拟挂牌新三板上市。　　缘通电子成立于2006年1月4日。公告显示，缘通电子2014年度、2015年1-12月营业收入分别为3671.95万元、8659.51万元，净利润分别为227.45万元、445.67万元。　　资料显示， 大庆缘通电子科技股份有限公司是从事销售应用于能源、石化等领域的阀门、仪器仪表、自动化设备 系统集成类产品的设计、销售和相关技术服务的公司。主要产品：1、仪器仪表类产品 2、阀门类产品 3、系统集成类产品。

大束科技从2015年开始销售商品化的热场肖特基电子源，在不断研发、完善各种电镜核心部件以及提升生产能力下，目前位于北京生产基地的自动化生产线已经全部投入生产，该生产线完全由大束科技自主完成设计和组装调试。设备全年可以生产各种电子源、离子源产品5000套，并且规模还在扩大中。由于规模化量产采用了自动化生产设备，产品的一致性更加完美。根据产品使用的场合不同，在生产上也会采用不同的工艺，目前大束科技的热场发射电子源已经在扫描电镜SEM、透射电镜TEM、电子束光刻EBL、半导体量检测的关键尺寸量测设备CD-SEM 、电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）、电子束缺陷检测EBI上安装使用。 大束科技的场发射电子源、离子源规模化量产后，不仅满足了国内存量电镜的使用，也为国内整机厂家提供性价比更高的部件，对整个电镜产业链都是一个振奋人心的消息。同时这些产品已经销往海外，得到国外客户的认可。 大束科技成立之初，定位只做电子显微镜的核心部件，不做整机。这也是创始人一直提倡并付诸实践的，以供应链思维推进中国电镜发展。1. 做好发射源从发射源产品热致发射的钨灯丝、六硼化镧灯丝到热场肖特基电子源、冷场电子源全系列电子源产品。FIB聚焦离子束的液态镓离子源的多种规格，可以完全兼容市场上的进口产品。随着规模化量产的实现，标志着我国在带电粒子发射源上实现了独立自主。大束科技不仅提供电子源和离子源，也提供电子枪和离子枪。同时提供电子枪和离子枪的部件，比如物镜、透镜、偏转器等。2. 做好更多核心部件 大束科技从源起步，不断增加电镜部件，比如大束科技提供的：(1) 各种光阑，有单孔、多孔、应用到电子束或离子束的不同材料的不同孔径的。(2) 各种电镜使用的控制电源模块(3) 探测器3. 以电镜服务为中心开展产品研发大束科技提供产品同时提供电镜技术服务，已经建立了覆盖全国的技术服务团队，为客户提供电镜维修及部件安装。提供电镜搬迁服务。其产品研发也围绕客户需求不断增加。比如大束科技的冷水机具有更好的性价比。总的来说，大束科技的这一成就，不仅为国内电镜整机厂家提供了更多的部件选择，促进了电镜供应链的完善，也为全球电镜行业的发展贡献了中国力量。随着电镜核心部件的规模化量产，大束科技正引领中国电镜行业迈向更加广阔的舞台。