Kanomax超小型粒子计数器3950在半导体产业制造环境中的应用应用范围作为传感器嵌入到设备装置中洁净室的清洁度管理高清洁度区域的管理 重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据双通道: 0.1μm 0.3μm额定流量:2.83umin通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可0.1 um测量4.3英寸彩色液晶标配RS-485,Ethernet,USB小型化!重量大幅度轻量化以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。Kanomax超小型粒子计数器3950在半导体产业制造环境中的应用品 名尘埃粒子计数器型 号3950粒子测量测试方法光散射法粒径通道2粒径(0.1、0.3μm)额定流量0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)测量时间6秒~99分59秒(1次测量时间)间隔时间6秒~99分59秒(测量周期)采样次数1~999次 或 连续测试地点设定99个地点测量方式重复、单次、连续、计算、ISO , GB*(共6种模式) 测量数据显示时间1~10秒测量数据显示累计值∑ 差分值△及柱形图最大可测浓度10,000,000个/m3计数效率50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子)100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子)(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)伪 计 数1个/35min粒径分辨率15%以下(相对0.3μm的PSL粒子)(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)气 源内置泵显示器4.3英寸彩色液晶 触摸屏通迅功能本 体USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接)Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)数据存储媒 体内存数量、格式最大10,000个、CSV格式显示语言英文、日语电 源AC100~240V使用环境本 体15~35℃、0~85%RH (无结露)外形尺寸W150 X H163 X D228 mm重 量3.4kgKanomax超小型粒子计数器3950在半导体产业制造环境中的应用
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