压力不敏感型高性能质量流量控制器D500 最尖端的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500 高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI(压力不敏感型)质量流量模块概要最尖端的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500 高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI(压力不敏感型)质量流量模块特征 压力不敏感性高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统 多量程,多气体,多种压力的解决方案新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围 G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)先进G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力 高精度先进的三维调节已改进工艺气体的流量精度 快速响应响应速度<0.8秒已实现精准且稳定的流量控制 动态范围控制范围:0.2% F.S. ~ 100% F.S. 本公司可提供各种质量流量控制器(MFC),如Unit, Aera,Tylan,Brooks,Mks,Horiba的校准,维修,再生,二手品回收,新品销售,涉足半导体、光伏、LED等行业CVD、P工艺气体控制系统改造、设计、维修等业务,自动化应用集成,机器人应用、视觉系统、工业控制软件研发及制造,欢迎来电咨询:Wendy张,,邮箱,,公司网址:。
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