清洁空气

功能描述：1.空气吹扫：采用该清洗方式时，颗粒会被洁净、无油的压缩空气（客户现场外接气源，加装两级气体过滤器）气流从检测样品上吹走。该方法适用于清洗外部区域或压缩空气气流可以接触到的零件内部区域；工具和程序与采用液体执行的喷洗过程相似。2.压力冲洗：通过喷枪对待检产品以一定压力或流速，角度进行清洗，萃取并采集残余颗粒。可以设定喷洗压力（国标）或流速（欧标），用定量或定时及设定流速的方式来操作，具体需要根据不同产品的清洁度操作规范来进行。3.超声波自动清洗：超声波振动清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温，破坏不溶性颗粒污物附着性而使它们分化于溶液中， 最终实现清洁零件表面颗粒污染物作用，清洗效果优于压力清洗，清洗均匀性更好，设备内部集成该项功能，可实现全自动超波清洗，清洗检测自动化程度更高。4.滤膜制样装置：三级串联过滤可同时放置三张滤膜，可有效改善由于滤膜覆盖率高而导致滤膜堵塞。采用独有技术，在制样过程中保证污染物均匀的散布在滤膜上、有效避免传统设备因工艺问题导致的污染物集中堆积在某个区域，导致的颗粒显微分析不准确的问题5.液体过滤系统：设备内装置 2个液体过滤器，清洗液通过加压泵从储液罐出来，经过1.0um 精密滤芯，保证用于零件清洗的液体是洁净的；清洗液经滤膜制样回到储液罐之前，经过0.2um 精密过滤，保证储液罐中的液体是洁净的。6.添加/更换清洗剂及报警功能7.设备内部配置1个不锈钢储液罐，单个容量为 50L；配套的清洗液通过加液口自动向设备内部添加，用户可根据清洗检测需求，酌情选择添加量，清洗液需要更换时，选择对应控制按钮，打开清洗液排液口，设备自动排出用过的清洗液。8.并有内部耗材跟换周期设置功能，按用户具体需求设定周期提醒进行耗材跟换；9.工作状态提示:实时显示当前工作状态、当前流量、清洗液总量、清洗模式等信息，工作状态实时监控，遇到错误时，设备自动停止工作并发出报警提示，显示当前错误信息，提供解决问题帮助方法。9.清洗参数设置:清洗压力、流量参数、流速设定、清洗时间、清洗模式，参照不同清洁度检测标准调整存储清洗参数。

GTI高压空气扩散器28.3/50/100LPM适用于清洁干燥空气及无毒惰性气体流量规格为28.3L/min、50L/min、100L/min（不同流量规格配备不同进气口）可配合尘埃粒子计数器使用GTI高压空气扩散器28.3/50/100LPM 型号28.3LPM50LPM100LPM适用流量28.3L/min50L/min100L/min适用压力0.120MPa~0.860MPa0.120MPa~0.860MPa0.150MPa~0.860MPa使用环境10-35℃/0~85%RH（无结露）材质不锈钢适用气体清洁干燥空气及无毒惰性气体尺寸 出气口连接内径Φ1/2inch连接管进气口不锈钢管件接头外径Φ12.7卡盘Φ25外形本体部分Φ30mm×185mm重量约1.0kgGTI高压空气扩散器28.3/50/100LPM

电镜腔等离子清洁仪（远程等离子清洁仪）美国PIE出品的EM-KLEEN型远程等离子清洁仪，广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统，可同时清洁真空腔室和样品！污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物，或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上，而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率，降低SEM图像对比度和分辨率，造成错误的表面分析结果，沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中，样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。远程等离子清洁的原理远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上，控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体，分解输入气体而产生氧或氢的活性基，活性基会扩散到下游的真空腔室，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。技术特点：快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有专利多级气体过滤技术，SEMI-KLEEN能够满足用户最苛刻的颗粒污染清除要求可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用特有的等离子强度传感器可实时监测等离子状态，用户对等离子状态一目了然基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器，无需手动调节针阀直观的触摸屏操作，可定义60条清洗程序方案拥有智能安全操作模式和专家控制模式；SmartScheduleTM定时装置，通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统低电磁干扰设计，安静的待机模式一. 特有功能1. 优越的等离子技术，可以在小于0.1毫托的气压下点火并且保持稳定的等离子体。最低工作气压比其他同类产品低10到100倍。低气压清洗速度更快，更均匀，对电子枪和分子泵更安全；2. 即时等离子起辉技术。不用像在其他同类产品上那样担心等离子是不是成功起辉；3. 带气压计的自动气体流量控制；4. 实时测量等离子强度，用户可以根据这个实时反馈来优化清洗配方；5. 自动射频匹配实时保证最优化射频耦合，即使用户调节清洗配方；6. 专利保护的双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel，台积电，三星等半导体用户的严格颗粒污染要求；7. 带LCD触摸屏的直观操作界面；8. 微电脑控制器带可修改的智能清洗计划，设好就自动清洗您的系统；9. 支持清洗配方，一键开始，自动射频匹配，自动控制气体流量；10. 微电脑控制器可记录所有信息状态，便于系统维护。二. 技术指标1. 等离子源真空接口：NW/KF40 法兰 提供转接法兰；2. 标配等离子强度传感器；3. 等离子源最低点火起辉气压：0.1毫托；4. 等离子源最高工作气压：1.0 托；5. 漏气率：0.005sccm；6. 射频输出：0~100瓦，连续可调节；7. 具有射频自动匹配功能8. 电源和功率：220V, 50Hz,

设备局部图产品概述设备集成压力喷射清洗、侧壁喷淋自清洗、滤膜制样(颗粒萃取)、清洗剂在线过滤回收、循环精滤于一体；设备工作状态实时显示，参数连续可调；清洗零件结束后即可得到滤膜样本，减少颗粒污染物在清洗剂中滞留时间；规范了清洁度检测控制流程，提升检测效率。清洗零件操作空间相对独立，内置空气层流系统，净化清洗操作环境，有效隔离清洗区和外部环境，为清洗检测搭建一个洁净的操作平台。设备设计与操作方式参照标准： VDA19.1 2015 版，ISO16232 2018 版及客户自定义标准；功能描述：空气层流净化1、设备集成具有空气循环过滤功能的送风装置。在清洗工作区域形成千级或百级洁净空间（普通实验室空气等级为百万级），为零件清洁度检测提供良好的清洗操作环境，减少外部环境对检测结果的影响。四壁喷淋自清洗 设备压力清洗槽上部区域装有多个广角喷头，可以自动对压力清洗槽四壁进行清洗，为实验做好前期准备。压力冲洗通过喷枪对待检产品以一定压力或流速，角度进行清洗，萃取并采集残余颗粒。可以设定喷洗压力（国标）或流速（欧标），用定量或定时及设定流速的方式来操作，具体需要根据不同产品的清洁度操作规范来进行。滤膜制样装置清洗零件后的清洗剂通过在线过滤器，可实现同步自动过滤回收，及时将清洗液中零件表面颗粒污染物收集到检测滤膜表面。无需人工操作过滤清洗液。液体过滤系统 在设备内装置 2个液体过滤器，清洗液通过加压泵从储液罐出来，经过0.2微米精密滤芯，保证用于零件清洗的液体是洁净的；清洗液经滤膜制样回到储液罐之前，经过 1.0um 过滤，保证储液罐中的液体是洁净的。 添加/更换清洗剂及报警功能设备储液罐容量为 30L；配套的清洗液通过加液口自动向设备内部添加，用户可根据清洗检测需求，酌情选择添加量，清洗液需要更换时，选择对应控制按钮，打开清洗液排液口，设备自动排出用过的清洗液。并有内部耗材跟换周期设置功能，按用户具体需求设定周期提醒进行耗材跟换；工作状态提示实时显示当前工作状态、当前流量、清洗液总量、清洗模式等信息，工作状态实时监控，遇到错误时，设备自动停止工作并发出报警提示，显示当前错误信息，提供解决问题帮助方法。清洗参数设置清洗压力、流量参数、流速设定、清洗时间、清洗模式，参照不同清洁度检测标准调整存储清洗参数。精滤清洗剂设备使用清洁度专用清洗液，清洗液是设备中用来提取颗粒污染物的载体，清洗液本身不能有影响检测结果数据的污染物，设备集成自动精密过滤清洗液功能，保证清洗液在清洗零件前是洁净的，自身洁净度可通过终端过滤装置检验。辅助照明工业级防爆LED辅助照明灯，节能环保、安全可靠，防护等级IP67。技术参数：外形尺寸1100*780*2000mm清洗槽尺寸 清洗仓空间600*500*800；主体架台材质设备框架、外观、管路均为304不锈钢清洗检测压力压力：0.1MPa -0.5MPa喷枪喷嘴标配2.5MM清洗流速范围1L/min-5.5L/min ,可调；精度5%自身洁净度污染物重量≤0.3mg主控显示10寸工业级触摸屏功能模式选择压力清洗、四壁自清洗、循环清洗、单次清洗、加液、排液、手动测试、参数设置等不锈钢储液容量30L介质AP760清洗液循环过滤器精度0.2µ m,1µ m（两级过滤）清洗操作防护手套长度长度 360mm，丁腈橡胶清洗室自动升降门行程400mm（断电自锁、防夹手保护装置）空气净化率99.995% HEPA高效净化精度0.3µ m工作电源AC220V,50Hz； 功率：750W总重量约300KG

鞋底清洁机，又名鞋底清洁器。 该设备可置于无尘车间或净化室门口处，无需安装，接水+插电即可使用，节能环保，换水方便简单，无需专人维护，维护简易，使用也很简单。人员站立到鞋底清洁器的毛刷上后，脚底来回与毛刷摩擦2~5下，即可将鞋底的灰尘给去除。然后步入并踩上机器上的强性吸水棉，对刚刚过程中鞋底可能残留的水珠吸干，接着进入办公区域，设备达到鞋底洗净吸干全程一气呵成，并不影响上下班通过效率。专业的鞋底除尘设备才能降低灰尘带来的恶劣影响，鞋底清洁器就是专门清洁鞋底凹槽中的灰尘及污染物，灰尘一多不处理就会影响到洁净室的受控环境，让空气中的灰尘充斥在整个车间，往严重的方面说，会导致缩减生产电子设备的使用寿命。苏州爱德宝全自动鞋底清洁器采用xian进的毛刷结构技术和du特的循环清洗技术相结合，快速清洁鞋底灰尘，使用人员从设备上走过鞋底即可达到有效的清洁，清洁快捷有效，节能环保，一次投入，长期使用，有效的降低了生产成本，适合安装在各种入口处，可靠有效地保证了企业的卫生环境质量。

无尘车间的灰尘一多不处理就会影响到洁净室的受控环境，让空气中的灰尘充斥在整个车间，往严重的方面说，会导致缩减生产电子设备的使用寿命。使用苏州爱德宝清洁鞋底机可以有效控制鞋底脏污带入车间。设备使用简单！无需安装！接水+插电即可使用！爱德宝清洁鞋底机内部自洁水循环系统和自动排污系统，可以减少日常维护！苏州爱德宝水洗通道式清洁鞋底机使用方便，维护简单，安全有效。员工走过该设备就能把鞋底的泥土灰尘、细菌等彻底的清除掉，无需换鞋及使用鞋套。它可广泛应用于电子（微电子），半导体，集成电路，光学显示，通讯，汽车电子，飞机制造，食品，化妆品，精细化工，航天，核电，高端实验室等行业！苏州爱德宝自开始清洁鞋底机的研发销售以来，目前的知名客户有如：三星电子、康得新材料、菲尼克斯半导体、桃李食品、天味食品、蒙牛乳业、中建集团、宝马汽车、蔚来汽车、奔驰汽车、维信电子、华为、京东方、富士康集团、海信集团等。苏州爱德宝用事实说话！客户的持久满意度是我们的努力的目标！

设备局部图产品概述设备集成压力喷射清洗、侧壁喷淋自清洗、超声波清洗、滤膜制样(颗粒萃取)、清洗剂在线过滤回收、循环精滤于一体；设备工作状态实时显示，参数连续可调；清洗零件结束后即可得到滤膜样本，减少颗粒污染物在清洗剂中滞留时间；规范了清洁度检测控制流程，提升检测效率。清洗零件操作空间相对独立，内置空气层流系统，净化清洗操作环境，有效隔离清洗区和外部环境，为清洗检测搭建一个洁净的操作平台。设备设计与操作方式参照标准： VDA19.1 2015 版，ISO16232 2018 版及客户自定义标准；功能描述：空气层流净化1、设备集成具有空气循环过滤功能的送风装置。在清洗工作区域形成千级或百级洁净空间（普通实验室空气等级为百万级），为零件清洁度检测提供良好的清洗操作环境，减少外部环境对检测结果的影响。四壁喷淋自清洗 设备压力清洗槽上部区域装有多个广角喷头，可以自动对压力清洗槽四壁进行清洗，为实验做好前期准备。压力冲洗通过喷枪对待检产品以一定压力或流速，角度进行清洗，萃取并采集残余颗粒。可以设定喷洗压力（国标）或流速（欧标），用定量或定时及设定流速的方式来操作，具体需要根据不同产品的清洁度操作规范来进行。超声波自动清洗超声波振动清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温，破坏不溶性颗粒污物附着性而使它们分化于溶液中， 最终实现清洁零件表面颗粒污染物作用，清洗效果优于压力清洗，清洗均匀性更好，设备内部集成该项功能，可实现全自动超声波清洗，清洗检测自动化程度更高。灌流清洗试验流程灌流清洗主要用于产品内表面的清洗和颗粒萃取，为保证颗粒能得到有效分离，清洗液的流动应该是紊流状态。雷诺系数Re2000为层流状态，Re4000为紊流状态，Re=2000~4000为过渡状态。依据VDA19的建议，灌洗的内腔要达到杂质分离的目的，内腔的液体流动需要处于紊流状态，雷诺系数需要大于4000。滤膜制样装置清洗零件后的清洗剂通过在线过滤器，可实现同步自动过滤回收，及时将清洗液中零件表面颗粒污染物收集到检测滤膜表面。无需人工操作过滤清洗液。液体过滤系统 在设备内装置 2个液体过滤器，清洗液通过加压泵从储液罐出来，经过0.2微米精密滤芯，保证用于零件清洗的液体是洁净的；清洗液经滤膜制样回到储液罐之前，经过 1.0um 过滤，保证储液罐中的液体是洁净的。 添加/更换清洗剂及报警功能设备储液罐容量为 30L；配套的清洗液通过加液口自动向设备内部添加，用户可根据清洗检测需求，酌情选择添加量，清洗液需要更换时，选择对应控制按钮，打开清洗液排液口，设备自动排出用过的清洗液。并有内部耗材跟换周期设置功能，按用户具体需求设定周期提醒进行耗材跟换；工作状态提示实时显示当前工作状态、当前流量、清洗液总量、清洗模式等信息，工作状态实时监控，遇到错误时，设备自动停止工作并发出报警提示，显示当前错误信息，提供解决问题帮助方法。清洗参数设置清洗压力、流量参数、流速设定、清洗时间、清洗模式，参照不同清洁度检测标准调整存储清洗参数。精滤清洗剂设备使用清洁度专用清洗液，清洗液是设备中用来提取颗粒污染物的载体，清洗液本身不能有影响检测结果数据的污染物，设备集成自动精密过滤清洗液功能，保证清洗液在清洗零件前是洁净的，自身洁净度可通过终端过滤装置检验。辅助照明工业级防爆LED辅助照明灯，节能环保、安全可靠，防护等级IP67。技术参数：双舱体颗粒萃取设备SinAPC2000主体架台材质304不锈钢功能模式选择压力清洗、超声波清洗、自动灌流冲洗、喷淋自清洗、循环清洗、单次清洗、加液、排液、手动测试、参数设置等设备整体尺寸1750*780*2000压力清工作压力0.1-0.5Mpa舱体尺寸600*600*800mm(长宽高)控制系统PLC控制，软件带冲洗选项和冲洗容积可编程最大装载能力50 Kg（均匀装载，非点式装载）超声清舱体尺寸600*600*800mm(长宽高)控制系统PLC控制，全自动功能40KHZ 超声清洗功率可调灌流冲洗1L/min-5.5L/min （喷嘴2.5mm的条件下）如大流量冲洗，需单独配置大流量泵及管路不含对接工装储存和过滤滤膜支架用于Φ47 – 50mm滤膜容器大小、数量30L过滤器精度1μm、0.2μm过滤器（绝对过滤）滤膜安装层数标准配置：3层金属篮筐300*200*100mm 孔径3-5mm可选喷枪喷嘴标配2.5MM柱状喷嘴自身洁净度污染物重量≤0.3mg清洗介质推荐AP760清洗操作防护手套规格长度 360mm，丁腈橡胶清洗室门电动升降式工作电源AC220V,50Hz； 功率：750W工作噪音小于 70db总重量约400KG

设备局部图产品概述设备集成压力喷射清洗、侧壁喷淋自清洗、超声波清洗、滤膜制样(颗粒萃取)、清洗剂在线过滤回收、循环精滤于一体；设备工作状态实时显示，参数连续可调；清洗零件结束后即可得到滤膜样本，减少颗粒污染物在清洗剂中滞留时间；规范了清洁度检测控制流程，提升检测效率。清洗零件操作空间相对独立，内置空气层流系统，净化清洗操作环境，有效隔离清洗区和外部环境，为清洗检测搭建一个洁净的操作平台。设备设计与操作方式参照标准： VDA19.1 2015 版，ISO16232 2018 版及客户自定义标准；功能描述：空气层流净化1、设备集成具有空气循环过滤功能的送风装置。在清洗工作区域形成千级或百级洁净空间（普通实验室空气等级为百万级），为零件清洁度检测提供良好的清洗操作环境，减少外部环境对检测结果的影响。四壁喷淋自清洗 设备压力清洗槽上部区域装有多个广角喷头，可以自动对压力清洗槽四壁进行清洗，为实验做好前期准备。压力冲洗通过喷枪对待检产品以一定压力或流速，角度进行清洗，萃取并采集残余颗粒。可以设定喷洗压力（国标）或流速（欧标），用定量或定时及设定流速的方式来操作，具体需要根据不同产品的清洁度操作规范来进行。超声波自动清洗超声波振动清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温，破坏不溶性颗粒污物附着性而使它们分化于溶液中， 最终实现清洁零件表面颗粒污染物作用，清洗效果优于压力清洗，清洗均匀性更好，设备内部集成该项功能，可实现全自动超声波清洗，清洗检测自动化程度更高。灌流清洗试验流程灌流清洗主要用于产品内表面的清洗和颗粒萃取，为保证颗粒能得到有效分离，清洗液的流动应该是紊流状态。雷诺系数Re2000为层流状态，Re4000为紊流状态，Re=2000~4000为过渡状态。依据VDA19的建议，灌洗的内腔要达到杂质分离的目的，内腔的液体流动需要处于紊流状态，雷诺系数需要大于4000。滤膜制样装置清洗零件后的清洗剂通过在线过滤器，可实现同步自动过滤回收，及时将清洗液中零件表面颗粒污染物收集到检测滤膜表面。无需人工操作过滤清洗液。液体过滤系统 在设备内装置 2个液体过滤器，清洗液通过加压泵从储液罐出来，经过0.2微米精密滤芯，保证用于零件清洗的液体是洁净的；清洗液经滤膜制样回到储液罐之前，经过 1.0um 过滤，保证储液罐中的液体是洁净的。 添加/更换清洗剂及报警功能设备储液罐容量为 30L；配套的清洗液通过加液口自动向设备内部添加，用户可根据清洗检测需求，酌情选择添加量，清洗液需要更换时，选择对应控制按钮，打开清洗液排液口，设备自动排出用过的清洗液。并有内部耗材跟换周期设置功能，按用户具体需求设定周期提醒进行耗材跟换；工作状态提示实时显示当前工作状态、当前流量、清洗液总量、清洗模式等信息，工作状态实时监控，遇到错误时，设备自动停止工作并发出报警提示，显示当前错误信息，提供解决问题帮助方法。清洗参数设置清洗压力、流量参数、流速设定、清洗时间、清洗模式，参照不同清洁度检测标准调整存储清洗参数。精滤清洗剂设备使用清洁度专用清洗液，清洗液是设备中用来提取颗粒污染物的载体，清洗液本身不能有影响检测结果数据的污染物，设备集成自动精密过滤清洗液功能，保证清洗液在清洗零件前是洁净的，自身洁净度可通过终端过滤装置检验。辅助照明工业级防爆LED辅助照明灯，节能环保、安全可靠，防护等级IP67。技术参数：双舱体颗粒萃取设备SinAPC2000主体架台材质304不锈钢功能模式选择压力清洗、超声波清洗、自动灌流冲洗、喷淋自清洗、循环清洗、单次清洗、加液、排液、手动测试、参数设置等设备整体尺寸1750*780*2000压力清工作压力0.1-0.5Mpa舱体尺寸600*600*800mm(长宽高)控制系统PLC控制，软件带冲洗选项和冲洗容积可编程最大装载能力50 Kg（均匀装载，非点式装载）超声清舱体尺寸600*600*800mm(长宽高)控制系统PLC控制，全自动功能40KHZ 超声清洗功率可调灌流冲洗1L/min-5.5L/min （喷嘴2.5mm的条件下）如大流量冲洗，需单独配置大流量泵及管路不含对接工装储存和过滤滤膜支架用于Φ47 – 50mm滤膜容器大小、数量30L过滤器精度1μm、0.2μm过滤器（绝对过滤）滤膜安装层数标准配置：3层金属篮筐300*200*100mm 孔径3-5mm可选喷枪喷嘴标配2.5MM柱状喷嘴自身洁净度污染物重量≤0.3mg清洗介质推荐AP760清洗操作防护手套规格长度 360mm，丁腈橡胶清洗室门电动升降式工作电源AC220V,50Hz； 功率：750W工作噪音小于 70db总重量约400KG

电镜附件及外设TEM cube样品杆清洁储存站(TEM&SEM样品及样品杆清洁贮存解决方案)(一)TEM cube高真空TEM样品杆储存、泄漏检查和等离子清洁腔室TEM cube带有8个样品杆适配器(适配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM样品杆，最多 8 个，每侧 4 个)，并配等离子源和真空泵工作站，涡轮分子泵版本的极限真空在 10-7Torr 量级（亦可选干式涡旋泵抽真空），腔室尺寸：9 英寸 X 9 英寸 X 9 英寸；腔室门：带锁定旋钮的铰链玻璃门。主要应用：用于 TEM 样品杆、TEM 样品和大型 EM 组件的高真空存储；原位TEM样品杆和芯片泄漏检查；TEM样品杆、样品和组件的等离子清洁。注：EM-KLEEN远程等离子源采用室内空气、氧气或氢气作为处理气体产生氧或氢自由基，用于SEM&TEM样品清洁；EM-KLEEN等离子源也可被取出并安装在SEM、FIB和XPS系统上，用于真空腔室清洁。(一)TEM样品杆真空储存站TEM样品杆真空泵站可在真空条件下存放最多6个TEM样品杆(适配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM样品杆)，帮助样品和样品杆放气，去除水气凝结，保持样品和样品杆的清洁。也可用于样品杆的检漏。● 每台设备含6个存储单元● 每个存储单元都可以通过电磁阀进行独立的抽放。当取出其中一个样品杆时，其余的单元仍可保持在真空状态下● 多个存储系统可共享一个真空泵，也可与Tergeo-EM系统共用一个真空泵● 可选无油干式涡旋泵或涡轮泵站● 真空泵与储存站分开，必要时易于维护和维修● 真空管路全金属管设计，可最大限度地减少排气，从而减少污染● 略高于室温的稳定的操作温度设计，有利于样品杆更快放气

设备功能说明：1）测试范围：样品表面清洁度检测；2）样品类型：汽车零部件/电池样品等；3）执行标准：VDA19、ISO16232及企业自定义标准；产品概述:设备集成压力喷射清洗、侧壁喷淋自清洗、超声波清洗、滤膜制样(颗粒萃取)、清洗剂在线过滤回收、循环精滤于一体；设备工作状态实时显示，参数连续可调；清洗零件结束后即可得到滤膜样本，减少颗粒污染物在清洗剂中滞留时间；规范了清洁度检测控制流程，提升检测效率。清洗零件操作空间相对独立，内置空气层流系统，净化清洗操作环境，有效隔离清洗区和外部环境，为清洗检测搭建一个洁净的操作平台。设备设计与操作方式参照标准： VDA19.1 2015 版，ISO16232 2018 版及客户自定义标准；功能描述：空气层流净化:设备集成具有空气循环过滤功能的送风装置。在清洗工作区域形成千级或百级洁净空间（普通实验室空气等级为百万级），为零件清洁度检测提供良好的清洗操作环境，减少外部环境对检测结果的影响。四壁喷淋自清洗:设备压力清洗槽上部区域装有多个广角喷头，可以自动对压力清洗槽四壁进行清洗，为实验做好前期准备。压力冲洗:通过喷枪对待检产品以一定压力或流速，角度进行清洗，萃取并采集残余颗粒。可以设定喷洗压力（国标）或流速（欧标），用定量或定时及设定流速的方式来操作，具体需要根据不同产品的清洁度操作规范来进行。超声波自动清洗:超声波振动清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温，破坏不溶性颗粒污物附着性而使它们分化于溶液中， 最终实现清洁零件表面颗粒污染物作用，清洗效果优于压力清洗，清洗均匀性更好，设备内部集成该项功能，可实现全自动超声波清洗，清洗检测自动化程度更高。滤膜制样装置:清洗零件后的清洗剂通过在线过滤器，可实现同步自动过滤回收，及时将清洗液中零件表面颗粒污染物收集到检测滤膜表面。无需人工操作过滤清洗液。液体过滤系统:设备内装置 2个液体过滤器，清洗液通过加压泵从储液罐出来，经过0.2微米精密滤芯，保证用于零件清洗的液体是洁净的；清洗液经滤膜制样回到储液罐之前，经过 1.0um 过滤，保证储液罐中的液体是洁净的。添加/更换清洗剂及报警功能:设备储液罐容量为 30L；配套的清洗液通过加液口自动向设备内部添加，用户可根据清洗检测需求，酌情选择添加量，清洗液需要更换时，选择对应控制按钮，打开清洗液排液口，设备自动排出用过的清洗液。并有内部耗材跟换周期设置功能，按用户具体需求设定周期提醒进行耗材跟换；工作状态提示:实时显示当前工作状态、当前流量、清洗液总量、清洗模式等信息，工作状态实时监控，遇到错误时，设备自动停止工作并发出报警提示，显示当前错误信息，提供解决问题帮助方法。清洗参数设置:清洗压力、流量参数、流速设定、清洗时间、清洗模式，参照不同清洁度检测标准调整存储清洗参数。精滤清洗剂:设备使用清洁度专用清洗液，清洗液是设备中用来提取颗粒污染物的载体，清洗液本身不能有影响检测结果数据的污染物，设备集成自动精密过滤清洗液功能，保证清洗液在清洗零件前是洁净的，自身洁净度可通过终端过滤装置检验。辅助照明:工业级防爆LED辅助照明灯，节能环保、安全可靠，防护等级IP67。

1、设备介绍本设备专用于汽车行业零部件清洁度检测，通过一定压力的液体对零部件表面和内部进行彻底的清洗，并使用精密过滤装置装配滤膜收集清洗液中的颗粒，滤膜烘干后称重并用显微镜测量颗粒大小，通过一系列的数据分析对该零件的清洁度进行判定。本设备具有以下主要特点：本设备适用于各种零部件的清洁度检测；过滤器根据客户要求选用多级过滤或单级过滤；清洗零部件的压力可自由调节，,压力喷枪喷头有多种选择；清洗液储存于10L压力罐中，材质为316不锈钢 2、适用范围需要整体表面喷淋、局部表面及内腔喷射灌流清洗的零件，广泛适用于压力清洗法检测产品清洁度。例如：连杆、气门、活塞、摇臂等零部件及总成清洁度检测。3、产品功能简介通操作人员可利用喷枪，冲洗检测零件，冲洗脱落的颗粒污染物就会悬浮在清洗液中。利用真空过滤装置过滤清洗回收的液体即可将颗粒污染物收集到。设备压力输入方式选用压缩空气或压力泵供压，设备初始端集成气源净化控制组件，可对进气进行深度净化处理，为设备提供安全、洁净的动力。清洗压力值可通过调节动力源压力设置。喷枪喷嘴可更换（锥形、扇形），并集成在线检测滤膜，保证清洗液自身洁净无污染。选配清洗剂精密在线过滤器，清洗溶剂在线精密过滤，为清洗零件提供持续洁净的清洗溶剂。利用真空过滤装置过滤清洗液即可得到清洁度检测滤膜样本。配合后期称重法/颗粒分段计数法分析评定产品清洁度等级。4 、参照标准德国汽车联合工业协会VDA 19、国际标准ISO 16232QCn2900813-91 ：汽车产品质量检验清洁度评定方法GB/T 3821-2005 ：中小功率内燃机清洁度测定方法ISO 16232-2007：Road vehicles —Cleanliness of components of fluid circuitsJB/T 6002-2007 ：涡轮增压器清洁度极限值及测定方法ISO 18413-2002：Hydraulic fluid power — Cleanliness of parts and components— Inspection document and principles related to contaminant collection, analysis and data reportingISO 4406-1999：Hydraulic fluid power — Fluids — Method for coding the level of contamination by solid particlesASTM D2276-00：Standard Test Method for Particulate Contaminant in Aviation Fuel by Line SamplingCES 16599：Cleanliness,Partical Counting (Fuel System)QC/T 573-1999: 汽车清洁度工作导则人、物和环境

1、设备功能特点本设备可集成压力喷射清洗、灌流清洗、超声波清洗及清洗剂在线过滤制膜、循环精滤回收于一体，实现零件清洗与颗粒污染物过滤回收同步进行，可及时将零件表面的颗粒污染物收集到滤膜表面，清洗零件结束后即可得到滤膜样本，减少颗粒污染物在清洗剂中滞留时间；颠覆传统手工人力清洗检测的方式，规范了清洁度检测控制流程，提升检测效率。设备采用专用触屏控制系统配合专业测控软件，使设备工作状态实时显示，清洗压力、流量可调，配合不同的清洗喷嘴，可快速方便的清洗零件内腔通道、盲孔、及整体表面的，广泛应用于各种汽车零部件清洁度检测。满足ISO16232-2007，VDA19，GB/T3821-2005等国际及国内标准，满足大众、通用、福特等各大汽车厂清洁度检测标准。2、设备使用范围本设备集成高压喷淋、冲洗、灌流清洗为一体，广泛适用于各类汽车零部件表面清洁度的检测时颗粒萃取制样。例如：发动机缸体、缸盖、齿轮、曲轴、连杆、凸轮轴、气门、活塞、摇臂、变速器轴销、油泵、水泵、涡轮增压器、油管油路等零部件及总成清洁度检测。3、清洁度分析操作流程取出待过滤检测滤膜（一般都是5μm滤膜，客户有指定就用客户指定的精度滤膜）放置在烘箱内80度烘干30分钟；把烘干后滤膜放在干燥皿里面室温冷却30分钟；冷却至室温滤膜拿出放置在电子天平（0.1mg精度）中称量滤膜重量并记录数值G1；称重好滤膜放置在JYBLU整体式清洁度制样设备滤膜夹持器处；待检测工件放入JYBLU整体式清洁度制样设备清洗室内，输入需压力冲洗的参数，压力范围0-0.6Mpa，储液罐为30L容量；参数设置好开始冲洗工件，此时设备自动过滤制膜和精滤回收，冲洗工件整个循环结束后取出滤膜夹持器处滤膜；取出的滤膜放置在烘箱内80度烘干30分钟；把烘干后滤膜放在干燥皿里面室温冷却30分钟；冷却至室温滤膜拿出放置在电子天平（0.1mg精度）中称量滤膜重量并记录数值G2此时该工件按照称重法检测重量G=G2-G1；滤膜称重好后再放置在显微镜下分析滤膜上面颗粒情况；4、整体式清洗制样设备4.1技术参数设备型号 JYBLU-767 压力清洗室尺寸(mm) 700*600*700 超声波清洗槽（选配） 700*600*200 储液罐容量(L) 25 整机尺寸(mm) 1500*1000*2150 配置 ●标配 全彩触摸屏 德国SIEMENS十寸超大全彩触摸屏 三级循环过滤 1.0um,0.45um,0.2um三级串联循环过滤 三级滤膜 一键式自动装夹，规格Ø 47mm、Ø 50mm,根据客户自定 自动升降门 一键式自动匀速升降 特制高清洗泵 采用特制高压泵 清洗室材质 镜面304不锈钢 可编程控制器 德国SIEMENS数字式可编程控制器 全不锈清洗水枪 全不锈定制，配柱状喷嘴 空气过滤 多级精密过滤 清洗收集管路 管路采用食品级内外抛光SUS304一次成型管 功能 ●标配 ○选配 内壁自动清洗 自动喷淋内壁自动清洗 工件定时清洗模式 可任意设定清洗时间 工件定流量清洗模式 流量：0~8 L/min可任意设定，误差率≤5 % 手动清洗模式 手动清洗与自动清洗随意切换 喷枪压力设置 喷枪压力0-0.6Mpa 可任意设定冲洗压力 液位实时显示 液位在显示屏上实时显示 清洗室照明 IP6级防水LED照明灯 流量校准 可设权限进行流量校准 自动滤膜架 一键式开启与关闭，高度自动化 注液/排液 自动程控，触屏控制 管道自清洗 可程序控制，自动清洗排液 通用参数 执行标准 ISO16232/VDA19/ISO18413等标准 系统空白值 满足ISO16232-3标准，自洁度≤0.3mg/10um 流量范围 1.0L/min-8.0L/min,精度5% 时间设置范围 0-9999 S 适用清洗剂 AP760，D60闪点≧62℃的溶剂 清洗液过滤精度 0.2um 适用检测滤膜 Ø 47mm(选配三级串联滤膜制样) 空气过滤器过滤精度 满足ISO14644-123 Class 5标准，达到0.3 μm. 工作气压 0.4Mpa 过滤滤膜夹工装 可同时放三种不同孔径的滤膜，实现三层串联滤膜制样 真抽滤系统 真空抽吸压力：-（0-0.1）Mpa 电源 220V/50HZ

2019上海国际清洁技术与设备博览会CCE2017完美收官，CCE2018扬帆起航亚洲清洁行业风向标——贵于专 精于勤展会名称：2019年上海国际清洁技术与设备博览会展会日期：2019年4月26日-28日展馆名称：上海新国际博览中心（芳甸路）主办单位：上海博华国际展览有限公司 上海市室内环境净化行业协会上海市石材行业协会地坪分会 亚洲清洁行业风向标创立于 2002 年，与中国清洁行业共同起步，经过逾10年的累积与发展，已经牢固奠定了国内唯一专业清洁博览会及亚洲最具规模清洁行业权威展会的地位，成为业内企业及品 牌翘首期盼的年度盛会，并凭借参展商数量、观众数量、展品档次、相关活动等稳居全球顶级清洁展会之一。“上海国际清洁技术与设备博览会”的展品范围囊括了清洁机械、清洁工具及零配件、清洁化学剂，卫生用品，室内环境净化设备，抗菌消毒设备和固体废弃物处理设备等几大种类，为商用清洁、工业清洁、公共设施、市政环卫、室内环境净化、洗涤、净水、物业提供一站式专业清洁解决方案。博览会在世界各主要发达国家及新兴市场都设有代理机构，与全球各地最具有影响力的清洁行业专业媒体及协会进行合作，并且将宣传范围扩展至酒店、物业、保洁、环卫、工业、医药、食品、包装等行业，以强化中国清洁博览会在不同地区、不同领域内的影响力。作为亚洲清洁行业的"风向标"，通过逾10年的不懈努力，已成为亚洲最具规模、最权威以及中国国内唯一的清洁博览会，在国内乃至国际上均享 有相当高的声誉。大部分的国际知名品牌如 3M 、 AMETEK 、 AR 、 Aztec 、 Columbus 、 Comstar 、 Ecolab 、 Fimap 、 Hako 、 Idrobase 、 Interpump 、 JLG 、 JohnsonDiversey 、 Karcher 、 Kranzle 、 NCL 、 Nilfisk-Alto 、 TENNANT 、 Viper 都中国清洁博览会的常客，无不体现了国际清洁领域内的最高水准，更是国际知名品牌了解和进入中国市场的重要渠道。 从2017年开始，上海国际清洁技术与设备博览会移师上海新国际博览中心，同期举办上海国际酒店及商业空间工程与设计展，共享20万平方米展出面积、2000家专业展商与10万名专业观众，各项数据均有大幅增长。展会展出面积达到38684平方米，海内外参展展商总数为485家，同比增长30.51%，其中国内展商数量为332家，海外参展展商为153家。现场参观总人数为19298人，同比增长22.72%，观众遍布全国各省市与世界各大洲。 主题展区 清洁机械与设备：工商用高压冷（热）水清洗机、超高压清洗机、管道清洗机、工业吸尘器、中央集尘系统、工业除尘器、自动洗地机、高空作业平台、扫地机、单擦机/抛光机、吸水机、吹干机、石材研磨机、商业吸尘器、中央真空吸尘系统等 清洁工具及零配件、卫生用品：清洁工具，多功能推车，布袋分配器/柞水器，手套，布，海绵，拖把，纱布，研磨垫片，刷子，升降梯，扫帚，伸缩杆，吹风器，纸，布及干手机，排风机，卫生纸分配器，给皂机，垃圾箱，喷雾器，臭氧发生器，除味喷雾，肥皂，洁手液，地垫/地毯，容器，无纺布产品，电池，充电器，电机/变速箱，泵及其配件，喷雾系统，鼓风抽取机，刮条等 清洁剂：各类专用清洁剂，消毒剂，抗菌剂，蜡水，晶面粉剂，养护剂，洗手液， 船舶类专用清洗剂，食品机械类专用清洗剂，工程类专用清洗剂等 室内环境净化技术及用品污染防治&室内空气净化&室内抗菌、消毒产品&光触媒材料及产品&室内环境检测 上海国际清洁技术与设备博览会招商联络处汪 洋： 电 话：电 邮：

还在为无尘车间除尘困扰？没有合适的解决方案？快找苏州AIDEBOM还您一个真正的无尘车间！苏州AIDEBOM车间入口鞋底清洁机从脚下做起、从源头上阻止灰尘污物进入，让车间办公区地面污物减少至≤1%。苏州AIDEBOM品牌从事车间入口鞋底清洁机市场多年，在这场没有硝烟的战场里已然站稳脚跟。努力为客户提升生产环境洁净度、产品洁净度、工艺洁净度是我们一贯的宗旨！车间入口鞋底清洁机，该设备置于无尘车间、净化工作室入口处或空气净化风淋室内，车间工作人员只需象往常一样，步入并踏上机器上，人体即感应启动机器运转，洗刷鞋底脏污，如粉尘/泥砂等 ，然后步入机器的吸干区域上配有的强力吸水棉，对刚刚洗净过程中鞋底可能的残留之水渍进行强力吸干。使用苏州AIDEBOM车间入口鞋底清洁机的好处是洁净度高、自动启停、清洁效率高、耗材减少、进出方便、维护简易、减少人工、设备安全、安装方便、经久耐用、杀菌消毒、外观美观、设备自洁、规格多样。不仅可以提升企业在员工和客户心目中的形象，还可提升审厂通过率，已然成为众多工厂企业无尘车间的标配小设备！

美国PIE出品的EM-KLEEN型远程等离子清洁仪，广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统，可同时清洁真空腔室和样品！ 污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物，或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上，而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率，降低SEM图像对比度和分辨率，造成错误的表面分析结果，沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中，样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。 远程等离子清洁的原理远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上，控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体，分解输入气体而产生氧或氢的活性基，活性基会扩散到下游的真空腔室，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。 技术特点：快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合多级气体过滤技术，SEMI-KLEEN能够满足用户最苛刻的颗粒污染清除要求可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用特有的等离子强度传感器可实时监测等离子状态，用户对等离子状态一目了然基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器，无需手动调节针阀直观的触摸屏操作，可定义60条清洗程序方案拥有智能安全操作模式和专家控制模式；SmartScheduleTM定时装置，通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统低电磁干扰设计，安静的待机模式一. 特有功能1. 优越的等离子技术，可以在小于0.1毫托的气压下点火并且保持稳定的等离子体。低工作气压比其他同类产品低10到100倍。低气压清洗速度更快，更均匀，对电子枪和分子泵更安全；2. 即时等离子起辉技术。不用像在其他同类产品上那样担心等离子是不是成功起辉；3. 带气压计的自动气体流量控制；4. 实时测量等离子强度，用户可以根据这个实时反馈来优化清洗配方；5. 自动射频匹配实时保证优化射频耦合，即使用户调节清洗配方；6. 双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel，台积电，三星等半导体用户的严格颗粒污染要求；7. 带LCD触摸屏的直观操作界面；8. 微电脑控制器带可修改的智能清洗计划，设好就自动清洗您的系统；9. 支持清洗配方，一键开始，自动射频匹配，自动控制气体流量；10. 微电脑控制器可记录所有信息状态，便于系统维护。 二. 技术指标1. 等离子源真空接口：NW/KF40 法兰 提供转接法兰；2. 标配等离子强度传感器；3. 等离子源最低点火起辉气压：0.1毫托；4. 等离子源最高工作气压：1.0 托；5. 漏气率：0.005sccm；6. 射频输出：0~100瓦，连续可调节；7. 具有射频自动匹配功能8. 电源和功率：220V, 50Hz,

典型应用： 用于监测船舶废气清洁系统进口水和排出水水质，确保排放符合标准 系统可用于新船建造、旧船改造特点： 水质监测系统都带有水质传感器柜，可以测量进口水和排出水水质，测量数据可用来判断排 放是否符合标准 传感器柜可以监测多环芳烃（PAH）、浊度、温度和pH，同时集成了一个流量开关 数据通过以太网连接传送至中央控制系统 适用于淡水和海水监测简介： 新的硫排放法案催生了废气清洁系统（EGC）。切尔西科技集团提供强大的EGC 水质监测系统，适用于新船建造和旧船改造。 水质监测系统包括传感器机柜，用于监测进口和出口的海水，获取水质对比数据来判断排放是否符合标准。传感器机柜可监测参数包括多环芳烃（PAH）、浊度、温度和pH，同时集成了一个流量开关。数据通过以太网连接传送至中央控制系统。切尔西集团的低成本UviLux 碳氢化合物传感器在系统中重新配置用来满足对PAH 和浊度监测的特殊要求，其中，浊度测量符合ISO 7027:1999 国际标准。 切尔西集团的客户主要是船舶废气清洁系统供应商。这些废气清洁系统提供全球化的硫排放标准，包括北美ECA 的硫排放标准0.1%（2015 年）、全球的0.5%（2020）和Tier III IMO 的NOx 排放标准（2016）。混合废气清洁系统可以随时选择开环和闭环清洗，这意味着在海上可以使用只用于废气清洁的海水，而在港口时系统关闭，再循环洗涤器中的水。另外，集成在废气涡轮下游发动机的SCR 系统，可以去除排放气体中95%的NOx。 切尔西科技集团为废气清洁系统提供水质监测系统，增强了其海洋自动监测领域的能力，也给予了用于商业船只环境监测的FerryBox 系统更多发展的机会。一个典型的水质监测系统包含：机柜电子单元空气净化系统pH 流线UviLux 流线2 个流室UviLux PAH 传感器UviLux 浊度传感器流量开关

船舶废气清洁水质监测系统包括传感器机柜、电子单元、空气净化系统、集成循环泵、减压阀、流量计组成，用于监测进口和出口的海水水质，获取水质监测数据来判断排放水体是否符合标准。传感器机柜可监测参数包括多环芳烃（PAH）、浊度、温度和pH，数据通过以太网连接传送到中央控制系统。UviLux荧光计传感器在系统中配置用来满足对PAH和浊度监测的特殊要求，其中浊度测量符合ISO7027:1999国际标准。仪器特点●连续实时监控进口水质和排出水质；●符合海洋环境保护委员会（MEPC）规定声明；●用于监测多环芳烃（PAH）、浊度、温度和pH；●PAH荧光计自动校正浊度、UV吸光度和温度；●数据通过以太网连接和4-20 mA模拟输出到中央控制系统；●灵活的配置适合旧船改造和新船建造；●适用于淡水和海水监测；应用●用于监测船舶废气清洁系统进口水和排出水水质，确保排放符合标准；●系统可用于新船建造、旧船改造；技术参数●尺寸：1300(H) x 600(W)) x 300(D) mm；●电源通用：85-264VAC，45-65Hz或90-350VAC；●操作最高压力：4.0bar；●操作温度：0 ℃~ 50℃； ●样品流量：3–40L/min；●PAH测量范围：0–4500ug/l；●PAH测量灵敏度：0.04ug/l；●浊度测量范围：0–1000 FNU；●浊度测量灵敏度：0.01FNU（符合ISO7027:1999标准）；●pH测量范围：0–14pH；●pH测量灵敏度：±0.01pH； ●温度测量范围：0–50℃；●温度测量精度：±0.1℃； ●吸光度测量范围：0–3.5cm-1；●吸光度测量灵敏度：0.002cm-1；●系统输出：Modbus TCP/IP（RJ45）和4-20mA模拟输出；●显示/用户界面：投射电容式和1280 x 800分辨率触摸屏；●样品进口/出口法兰：DIN32、PN10（根据要求尺寸可进行更换）；●机柜配置：传感器流线和电子外壳；●IP等级：电子产品外壳IP65；

磁控溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，因其高致密度、优良附着性等优点，在电子薄膜、光学薄膜、光电薄膜、磁性薄膜和超导薄膜等技术领域得到广泛的应用。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。溅射靶材通常有两种：平面靶材和旋转靶材。平面靶材利用率一般只有20%~30%；随着技术的进步，逐渐开始向旋转靶过渡，旋转靶在使用过程中能够围绕在固定的磁控溅射设备上旋转，可360度均匀刻蚀靶面，这样均匀的使用可使镀膜均匀、稳定性高、成品率高，靶材利用率可高达80%以上，在使用过程中不会出现靶材“结瘤”现象。绑定焊接率----靶材溅射质量的关键采用绑定贴合的手段是旋转靶材制造行业最重要的一类旋转靶材制备手段，把靶材分节绑定在金属衬管(通常为不锈钢或者钛材料制备)上，以提高导热性能和强度。目前旋转靶材的绑定基本工艺为：将内表面金属化的靶管套在经过处理的衬管外表面，靶管和金属衬管之间通过金属焊料（通常为金属铟）粘结。在绑定的过程中，需要对金属衬管和靶管进行加热，然后把熔化的金属焊料填充到靶管和金属衬管的缝隙里，随后冷却、焊料固化，将靶管牢牢地固定在衬管上。绑定焊接率（贴合率）的质量直接关系到靶材溅射过程中的导热效果，如果绑定后靶管、背管和铟层贴合效果不够，在溅射过程中会出现导电不良，散热效果不好，导致局部受热不均匀，当温度超过焊料的熔点，金属焊料就会熔化流出滴落在膜面上，或者导致靶材受热不均匀开裂（陶瓷靶），开裂的靶材碎片损伤薄膜表面的质量。因此对旋转靶材进行高质量的绑定贴合，提升焊接率（贴合率）可以有效提升后续磁控溅射镀膜的质量。德国析塔SITA表面清洁度仪---提高旋转靶材绑定焊接率的关键德国析塔SITA清洁度仪可以量化靶管表面清洁度情况，通过德国析塔SITA清洁度仪实时测量靶管表面清洁度情况，确保后续金属化及绑定贴合工序时靶管表面无油污，提高焊接率。RFU：relative fluorescence units (相对荧光单位)，常被用于做表面残留污染物检测，数值越大，则表明测试点的各类有机污染物（拉伸油、切削油、清洗剂、脱模蜡、胶黏剂、助焊剂等）残留量越大。德国析塔SITA表面清洁度仪采用共焦法原理，通过光源发射出最佳波长的UV光检测金属表面的污染物，内置的传感器精准探测污染物引起的荧光强度，该荧光强度的大小取决于基材表面有机物残留情况，从而能精准量化检测金属表面清洁度。旋转靶材在绑定贴合前的清洁度量化管控客户实例某国内靶材制造商，在旋转靶材进行研磨、切割清洗后会对靶管进行清洁度量化管控，确保靶管内表面无肉眼可见油污或清洗剂残留后才允许进行后续的金属化及绑定贴合工序，以确保绑定焊接率（贴合率）。测量过程样品：5个样品测量仪器：德国析塔SITA表面清洁度检测仪CleanoSpector测量模式：RFU值（相对荧光单位，RFU值越高，污染程度越大）测量值：在靶管上随机选取10个测试点，测试结果取平均值；以下为使用德国析塔SITA清洁度仪测试靶管不同位置清洁度的测试结果，由于油污分布不均匀，因此不同位置的清洁度也不一样：测试点（单位：RFU）平均值（单位：RFU）测试样品P1P2P3P4P5P6P7P8P9P10刚烧结完（无油污）0.30.30.20.10.10.10.10.30.70.10.22烧结完（仓库放置几个月）27.725.527.684.157.315.491.69.9145.360.859.48开裂残靶（残次品）68.521.5128.67368.7/////72.06未清洗（研磨、切割后肉眼可见污染区）22.530.683.397.522.415.712.22439.354.341.98清洗后（肉眼不可见污染物）4.466.46.85.39.79.48.36.64.66.58测量数据分析如上图所示，可以得出以下结论：①刚烧结完的靶管工件，RFU值低，说明靶材表面很干净，无油污②靶管烧结完后在仓库放置期间，受到污染, RFU值升高③开裂残靶次品RFU值高，清洁度很差④研磨、切割后的靶管未清洗前RFU值高，说明表面不干净，存在污染⑤清洗后的靶管RFU值低，说明靶管清洗效果较理想德国析塔SITA表面清洁度仪能量化测出靶管清洗前后的清洁度差异。在旋转靶材的绑定工艺前，使用德国析塔SITA表面清洁度仪可以更好帮助企业判断靶管表面清洗情况，以提供足够干净的靶管进行后续绑定工艺，从而保证磁控溅射镀膜的质量。翁开尔是德国析塔SITA中国独家代理，欢迎致电【400-6808-138】咨询更多关于德国析塔SITA表面清洁度检测仪产品信息、技术应用和客户案例等。

描述：数字控件，配有加热器。容量(L)：9.5，内部尺寸长× 宽× 高(cm)：24.1× 29.2× 15.2，外部尺寸长× 宽× 高(cm)：39.4× 40.6× 36.8，电源需求(V)：230/240特点：● 强大的传感器系统适用于有效清洁脏污、油脂和蜡● 适用于安全去除玻璃器皿沾染到的血液、蛋白质和污染物，以及电机、齿轮和部件沾染到的脏污、油脂、蜡和油● 可选择数显加热型或机械型，带或不带加热器● 所有型号提供深层清洁行动，可去除顽固的污染物，即使是在盲孔和内部表面也可清洗● 内置清扫频率确保整个水槽的一致清洁● 按照ISO9001:2000认证的流程制造● 数显型：自动复位至上次用于一致批次清洁的设置，并附带微处理器控制定时器，循环时间可达99分钟及带LED读数的温度调节装置，加热至69℃● 机械型：带有耐用的机械定时器，可调整至60分钟，以及用于连续清洁的HOLD功能，加热至69℃

描述：数字控件，配有加热器。容量(L)：2.8，内部尺寸长× 宽× 高(cm)：24.1× 14× 10.2，外部尺寸长× 宽× 高(cm)：30.5× 34.3× 29.2，电源需求(V)：230/240特点：● 强大的传感器系统适用于有效清洁脏污、油脂和蜡● 适用于安全去除玻璃器皿沾染到的血液、蛋白质和污染物，以及电机、齿轮和部件沾染到的脏污、油脂、蜡和油● 可选择数显加热型或机械型，带或不带加热器● 所有型号提供深层清洁行动，可去除顽固的污染物，即使是在盲孔和内部表面也可清洗● 内置清扫频率确保整个水槽的一致清洁● 按照ISO9001:2000认证的流程制造● 数显型：自动复位至上次用于一致批次清洁的设置，并附带微处理器控制定时器，循环时间可达99分钟及带LED读数的温度调节装置，加热至69℃● 机械型：带有耐用的机械定时器，可调整至60分钟，以及用于连续清洁的HOLD功能，加热至69℃

描述：数字控件，配有加热器。容量(L)：20.8，内部尺寸长× 宽× 高(cm)：29.2× 49.5× 15.2，外部尺寸长× 宽× 高(cm)：45.7× 60.9× 36.8，电源需求(V)：230/240特点：● 强大的传感器系统适用于有效清洁脏污、油脂和蜡● 适用于安全去除玻璃器皿沾染到的血液、蛋白质和污染物，以及电机、齿轮和部件沾染到的脏污、油脂、蜡和油● 可选择数显加热型或机械型，带或不带加热器● 所有型号提供深层清洁行动，可去除顽固的污染物，即使是在盲孔和内部表面也可清洗● 内置清扫频率确保整个水槽的一致清洁● 按照ISO9001:2000认证的流程制造●数显型：自动复位至上次用于一致批次清洁的设置，并附带微处理器控制定时器，循环时间可达99分钟及带LED读数的温度调节装置，加热至69℃● 机械型：带有耐用的机械定时器，可调整至60分钟，以及用于连续清洁的HOLD功能，加热至69℃

描述：数字控件，配有加热器。容量(L)：1.9，内部尺寸长× 宽× 高(cm)：14× 15.2× 10.1，外部尺寸长× 宽× 高(cm)：30.5× 25.4× 29.2，电源需求(V)：230/240特点：● 强大的传感器系统适用于有效清洁脏污、油脂和蜡● 适用于安全去除玻璃器皿沾染到的血液、蛋白质和污染物，以及电机、齿轮和部件沾染到的脏污、油脂、蜡和油● 可选择数显加热型或机械型，带或不带加热器● 所有型号提供深层清洁行动，可去除顽固的污染物，即使是在盲孔和内部表面也可清洗● 内置清扫频率确保整个水槽的一致清洁● 按照ISO9001:2000认证的流程制造● 数显型：自动复位至上次用于一致批次清洁的设置，并附带微处理器控制定时器，循环时间可达99分钟及带LED读数的温度调节装置，加热至69℃● 机械型：带有耐用的机械定时器，可调整至60分钟，以及用于连续清洁的HOLD功能，加热至69℃

描述：数字控件，配有加热器。容量(L)：5.7，内部尺寸长× 宽× 高(cm)：15.2× 29.2× 15.2，外部尺寸长× 宽× 高(cm)：30.5× 40.6× 36.8，电源需求(V)：230/240特点：● 强大的传感器系统适用于有效清洁脏污、油脂和蜡● 适用于安全去除玻璃器皿沾染到的血液、蛋白质和污染物，以及电机、齿轮和部件沾染到的脏污、油脂、蜡和油● 可选择数显加热型或机械型，带或不带加热器● 所有型号提供深层清洁行动，可去除顽固的污染物，即使是在盲孔和内部表面也可清洗● 内置清扫频率确保整个水槽的一致清洁● 按照ISO9001:2000认证的流程制造● 数显型：自动复位至上次用于一致批次清洁的设置，并附带微处理器控制定时器，循环时间可达99分钟及带LED读数的温度调节装置，加热至69℃● 机械型：带有耐用的机械定时器，可调整至60分钟，以及用于连续清洁的HOLD功能，加热至69℃

奥林巴斯SinAPC53M全自动清洁度检测系统是应用在汽车行业清洁度检测、液压润滑行业颗粒度检测的权威产品，具有专业性强，权威性高，测定结果的公认性高等优势。奥林巴斯清洁度检测分析系统符ISO16232 VDA19 ISO4406 ISO4407,GB/T-20082 。系统与奥林巴斯各类型显微镜结合紧密，自动化高，工作流设计模式，操作简便，采集图像快速高效，自动补偿聚焦确保每帧图像清晰，无缝拼接浏览，智能识别统计，按照选择标准生成报告及结果奥林巴斯BX51M自动清洁度检测系统介绍：系统由多种高端自动控制部分构成 Automatic Analysis System奥林巴斯研究级显微镜确保获得颗粒准确的光学图像；支持多种高精度3轴电动台，扫描位置更加精准；智能化的全自动清洁度分析软件自动拍照、自动对焦、自动控制扫描、自动识别分析确保颗粒不被漏判和误判,检测效率高；英国PRIOR高精度电动台： 全自动的检验分析过程：自动扫描整个试样（通常是滤纸）、自动拍照，颗粒自动识别、统计、分析，自动检查清洁度、自动生成专业分析报告：1.自动扫描样品 Auto Scan，Support Multiple Scanning Area 满足各种应用需要；同时可测量零件清洁度、油液清洁度等。提供专业夹具，使样品更平整。2.多种检测标准 Multi Testing Standard 支持多种国标及国际标准：包括ISO4406、ISO4407、ISO16232、NAS1638、VDA19、GB/T 20082、GB/T 14039等；可以输入标准进行清洁度、颗粒度的全自动检测；可以对纤维进行统计；系统定期更新最新标准。3.自动识别反光颗粒、不反光颗粒、纤维Auto Analysis系统自动识别颗粒，可以同时检查出不反光颗粒和反光颗粒（一般为金属颗粒）、纤维。自动对三种颗粒进行检查分类。支持设置各种颗粒的合格区间。支持自定义三种颗粒的区分设置。 4.统计与分析 Analysis and Statistics系统自动识别颗粒、自动分析颗粒类别、自动统计颗粒参数。同时支持修改颗粒。提供多种统计分析工具。5.专业清洁度报告 Professional Cleanliness Report支持模板化报告生成模式，包含统计数据、评级、滤片全貌图、最大颗粒照片等信息；可选择多种报告模式。

西恩士自动清洁度检测仪/清洁度检测设备/汽车零部件分析仪高效、稳定、可追溯一站式清洁度检测系统

EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪（电镜真空腔室等离子清洁仪；远程等离子清洁仪）美国PIE出品的EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪，广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统，可同时清洁真空腔室和样品！污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物，或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上，而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率，降低SEM图像对比度和分辨率，造成错误的表面分析结果，沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中，样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。远程等离子清洁的原理远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上，控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体，分解输入气体而产生氧或氢的活性基，活性基会扩散到下游的真空腔室，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。技术特点：快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有专用多级气体过滤技术，SEMI-KLEEN能够满足用户最苛刻的颗粒污染清除要求可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用拥有等离子强度传感器可实时监测等离子状态，用户对等离子状态一目了然基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器，无需手动调节针阀直观的触摸屏操作，可定义60条清洗程序方案拥有智能安全操作模式和专家控制模式；SmartScheduleTM定时装置，通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统低电磁干扰设计，安静的待机模式

产品简介：目前国内市场上石油醚、溶剂油、清洗剂清洁度等级非常差，我司按照英国普洛帝的质量体系要求，针对中国市场推出清洁剂清洁过滤装置。是我司新一代便携式、高负压、大流量、精度和纳米级过滤负压装置。性能阐述：采用无油润滑隔膜泵，无油雾污染环境；高负压、大流量、吸引速度快，吸引时所需要的负压可由负压调节装置来控制，并由负压表显示压力；铸造箱壳美观、轻巧，携带方便。技术参数：标准度：0.45um；0.22um；0.18um；0.05um清洁等级：NAS1638 00级 0级 1级 2级 3级 4级标准负压值:≥80KPa负压调节范围:20KPa～极限负压值抽气速率:≥20L/min噪 音:≤60dB(A)额定功率:110VA电 源:AC220V±10% 50Hz长×宽×高:21×14×30净 重:4㎏标准配置：主机泵一套、过滤玻璃件一套、专用滤膜一包、气压管一根。售后服务：本产品自购买之日起，非人为责任事故我厂免费保修一年，长年维修。具体详情请电询普洛帝中国服务中心！ 普洛帝、Puluody、普勒、Pull、PLDMC为Puluody公司注册的商标！ 有关技术阐述、参数、服务为普洛帝拥有，普洛帝保留对经销商、用户的知情权！

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奥林巴斯CIX100技术清洁度显微镜让您的技术清洁度检测更简便 组件与零部件的清洁对于生产工艺十分重要。清洁度对于开发、制造、批量生产以及成品质量控制的所有流程，满足对常见微观尺寸污染物和异物颗粒的计数、分析和分类的高标准要求是非常重要的。由于颗粒污染物对于零部件的使用寿命存在直接影响，国际和国家指令对于确定重要机械部件颗粒物污染的方法和存档要求均有表述。此前，使用残留颗粒物的质量来描述残留物特征。当前使用的标准对诸如颗粒物数量、颗粒物尺寸分布以及颗粒物特征等污染属性提出了更详细的信息要求。 奥林巴斯CIX100清洁度检测系统专为满足现代工业及国家和国际标准的清洁度要求而特别设计。