纳米之星

基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有纳米级运动分辨率和运动精度，同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。特点：高精度、高动态、跨尺度、大承载、灵活性应用领域：光学系统中透镜的定位医学装置中精密电子管、真空管控制机械工具的多坐标定位平台柔性机器人中使未端执行器快速精确定位

品牌：久滨型号：JB-N9名称：纳米粒度仪 一、产品概述： JB-N9是我公司推出的基于动态光散射原理的纳米粒度仪。它采用高速数字相关器和专业的高性能光电倍增管作为核心器件，具有快速、高分辨率、重复及准确等特点，是纳米颗粒粒度测定产品。　　控制系统原理图如下：光子相关纳米粒度仪基本原理图二、原理： 本仪器采用动态光散射原理和光子相关光谱技术，根据颗粒在液体中的布朗运动的速度测定颗粒大小。小颗粒布朗运动速度快，大颗粒布朗运动速度慢，激光照射这些颗粒，不同大小的颗粒将使散射光发生快慢不同的涨落起伏。光子相关光谱法就根据特定方向的光子涨落起伏分析其颗粒大小。因此本仪器具有原理先进、精度极高的特点，从而保证了测试结果的真实性和有效性；是纳米激颗粒粒度测定的仪器。　　此款纳米粒度仪已经达到国外纳米粒度仪的测试水平！三、主要技术参数：规格型号JB-N9执行标准GB/T 29022-2012/ISO 22412：2008测试范围1-10000nm(与样品有关)浓度范围0.1mg/L-100mg/L准确度误差1%（国家标准样品平均粒径）重复性误差1%（国家标准样品平均粒径）激光λ=532nm，LD泵浦激光器（独有带温控保护）探测器HAMAMATSU光电倍增管（PMT），使用单模保偏光纤散射角90°数字相关器ASIC研制的高速光子相关器样品池10mm*10mm , 4ml（带温控保护）数据处理拟合累积分析法和改进正规化算法，可给出平均粒径及粒度分布曲线软件功能一键式测量，自动优化测量参数，轻松生成测试报表输出项目平均粒径、多分散系数、粒度分布曲线、粒度分布表等温度范围8-45℃（温度精确到0.1℃）测试速度1Min/次（不含样品分散时间）仪器体积390mm×255mm×240mm电源AC100～260V, 50/60Hz, *大功率80W使用环境温度：15～40℃，湿度20～70%。无冷凝

德国PI六轴六足纳米平移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

KLA NanoFlip原位纳米压痕划痕力学测试系统NanoFlip纳米压痕仪可以提供您的材料研究实验室带来无限的便捷。 高性能多功能性是NanoFlip设计的标志，当需要进行成像集成，需要进行频繁的转换和广泛的样本控制时，无论是环境测量还是原位测试，无论有无真空，都能提供同样出色的结果。Fib2Test技术允许用户将样品倾斜90度，以便在双光束SEM内从FIB无缝过渡到压痕测试，而无需移除样品。设计为完全真空兼容，并且具有独特的样品触发功能，NanoFlip非常适用于现场环境，如SEM，FIB和真空室，或者当您的实验带您迁移时，可以在任何情况下工作 可以想象的成像系统，如AFM，光学显微镜和光学Pro测量仪，为您提供几乎无限的成像选项。电磁执行器用于KLA生产的所有系统，包括NanoFlip。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的最大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。NanoFlip的时间常数为20微秒，是唯一同时符合规格的商用纳米压痕仪，最大压痕行程为50μm，噪声0.1nm，数字分辨率为0.004 nm，漂移率为 0.05nm/s。为了确保业内最广泛，最可靠的数据，NanoFlip能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。样品台移动，Z轴为25 mm，X为20 mm，Y轴为20 mm，分辨率为nm，可在大面积上精确定位样品。载荷框架刚度 7 e5N/m独特的尖端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的尖端校准。可用的方法包，包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准可用刮擦选项，最大正常载荷为50 mN，最大刮擦距离为2.5 mm，最大刮擦速度为500μm/ s。可选的NanoBlitz地形和层析成像软件，用于材料的3D和4D映射。

NMI iNano 桌面式纳米压痕原位力学测试系统 Nanomechanics这款iNano纳米压痕仪以相应的价格提供相应的准确性和精确度，使纳米压痕能力适用于从大学到高科技公司的任何实验室的预算。考虑到灵活性，iNano允许进行广泛的测试，包括但不限于频率特定实验，存储和损耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定应变率。电磁执行器用于Nanomechanics生产的所有系统，包括iNano。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的最大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。iNano是时间常数为20微秒的唯一商用纳米压痕仪，可同时满足最大压痕行程50μm，噪声0.1 nm，数字分辨率0.02 nm，漂移率0.05nm / s的规格要求。为确保业内最广泛，最可靠的数据，iNano能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。载荷框架刚度 1,000,000 N / m独特的尖端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的尖端校准。可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准可用刮擦选项，最大正常载荷为50 mN，最大刮擦距离为2.5 mm，最大刮擦速度为500μm/ s。可用的远程视频选件在iNano腔内提供两个不同的视角，除标准显微镜物镜外还配有USB摄像头。使用可选的NanoBlitz拓扑和断层扫描软件对材料进行3D和4D映射

德国PI压电纳米位移台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000产品简介 TNI LF-2000是目前市面上基于SEM电镜下使用的自动化程度最 高的纳米操作系统，也是一种能够在SEM电镜下提供可重复 定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。 产品特性 完全兼容主流电镜，不影响电镜功能 市面上较佳的运动定位性能：大行程、亚纳米分辨率 位移传感器集成自动化和可编程运动 SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸规格参数应用案例电学特性LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量，以及与纳米结构的原位相互连接。图片展示的是四探针测量纳米线电学性能。力学测量LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈，图片展示的是用球端AFM悬臂探针对单根纳米线的拉伸测试。拾取和放置操作使用末端工具（例如：探针、微纳米夹持器、超声切割针），操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。制作微纳米器件精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。图片展示的是纳米线FET传感器的构造。

纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000产品简介TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统，也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。产品特性 兼容主流电镜，不影响电镜功能 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能 位移传感器集成自动化和可编程运动 SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸规格参数系统概况系统尺寸127x127x33mm3*机械手数量1-4操作手（宏动）驱动原理粘滑驱动运动范围XY轴：10mm Z轴：5mm速度3mm/s最小步长100nm操作手（微动）驱动原理无摩擦柔性铰链运动范围XYZ轴：20μm速度45μm/s开环运动分辨率0.5nm闭环运动分辨率1nm定位漂移率0.35nm/min软件功能**点击-移动鼠标在电脑屏幕上从A移动到B自适应放大倍数定位器移动速度根据SEM放大自动调整操作手位置保存/加载用户自定义的“保存/加载”操作手坐标3D虚拟显示实时三维显示操作手的位置和运动自动校准操作手闭环传感器自动校准运动轴的自动对准所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴*系统尺寸可根据需要减小到50x50x17mm3**可根据选定SEM/FIB的型号而定应用案例电学特性LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量，以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。力学测量LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈，实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕，以及对单根纳米线的拉伸测试。拾取和放置操作使用末端工具（例如：探针、微纳米夹持器、超声切割针），操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。制作微纳米器件精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。纳米电子器件电学测量LifeForce纳米操作机是市面上能够自动探测电子结构（范围从亚微米，亚100nm及亚20nm）。只需要通过计算机点击鼠标，将探针定位到目标位置。极低得定位漂移，保证数据采集得可靠性。 主要软件功能①　位置反馈：提供每个操作手XYZ精确得位置反馈，1纳米运动定位分辨率。②　保存/加载坐标：保存和加载多个操作手得坐标。③　自动校准：限度地提高定位性能，并将操作手运动轴对准扫描电子显微镜图像轴。④　3D虚拟显示：实时3D虚拟空间显示操作手（粉红色方块）和样品（绿色平面）得位置。⑤　点击-移动：通过在屏幕上鼠标点击控制操作手运动。⑥　多操作手联动：连接多个操作手得运动，具有纳米级精度。⑦　图片-视频录制：保存操作过程中的高清图片和视频。

iNano纳米压痕仪iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大范围的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属的材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率的测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。产品描述iNano纳米压痕仪采用了用于执行纳米压痕和通用纳米机械测试的InForce 50作动器。InForce 50的50 mN力和50µ m位移范围允许该系统执行广泛的测试。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iNano是一个紧凑的平台，内置有高速InQuest控制器和隔振机架。可以测试各种材料和装置，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物物质和凝胶。 功能InForce 50作动器用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头独特的软件集成压头校准系统，精确的压头校准Inquest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20µ s时间常数XY移动系统带有易于安装的磁性样品架具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、 InView University 在线培训和InView移动应用程序的InView软件包 应用硬度和模量测量(Oliver-Pharr)材料力学性能分布图ISO 14577硬度测试聚合物损耗因子高温纳米压痕测试 行业大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS：微机电系统/纳米尺度通用测试陶瓷和玻璃金属和合金药品涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。聚合物损耗因子iNano纳米压痕仪能够测量 超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。 储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

BOS-NG光相关纳米粒度仪全新BOS-NG是我公司zui新推出的基于动态光散射原理的纳米粒度仪。它采用高速光子相关器和专业的高性能光电倍增管作为核心器件，具有快速、高分辨率、重复及准确等特点，是纳米颗粒粒度测定的shou选产品，新NG进行了全新设计。主要性能特点：先进的测试原理：本仪器采用动态光散射原理和光子相关光谱技术，根据颗粒在液体中的布朗运动的速度测定颗粒大小，小颗粒布朗运动速度快，大颗粒布朗运动速度慢。当激光束照射在运动的颗粒上时，某一角度（本仪器采用90度）的散射光随时间发生动态变化，变化的快慢与颗粒在液体中的布朗运动的速度有关，采用光子相关光谱法对动态散射光谱进行统计及相关运算分析，并根据Stokes-Einstein方程计算其颗粒大小。高灵敏度与信噪比：采用具有低暗计数、高灵敏度的HAMAMATSU专业级高性能光电倍增管（PMT）作为探测器，对光子信号具有极高的灵敏度和信噪比，从而保证了测试结果的高准确度和高分辨率；超强的运算功能：使用PCS技术测定纳米级颗粒大小，必须能够分辨纳秒级信号起伏。本仪器的核心部件采用专用集成电路ASIC研制的高速光子相关器，具有识别6ns的极高分辨能力和极高的信号处理速度，可快速实时的采集光子数并计算相关运算，为测试准确度奠定基础；稳定的光路系统：采用恒温控制的大功率半导体激光和光纤组合搭建而成的光子相关光谱探测系统，使其不仅体积小，而且具有很强的抗干扰能力和稳定性，保证测试结果重复稳定；高精度温控系统：样品池温控系统和激光器温控系统精度高达±0.1℃，使被测样品和激光器光源在整个测试过程中都处于恒温状态，避免温度变化对测试结果的影响，确保测试准确性和重复性；超强功能的分析软件：分析软件中反演算法采用国际标准推荐的累计量法以及目前比较通用的非负最小二乘法（NNLS）和Contin等多种算法，其测试结果与国际权威的同类产品具有很好的一致性；测试精准并稳定：高性能的硬件和国际标准化的反演算法的完美结合，造就了BOS-NG测试结果的精准与重复，其测试准确度和重复性等指标均高于国际标准要求。全新散热系统：新NG进行了双气流设计，热气流直接排出仪器外壳，倍增管、激光器、相关器等重要部件不再受热气流的影响，测量数据更加准确、更稳定，同时大大延长了这些重要部件的使用寿命。自动感应滑门：新NG加装了比色皿门自动开启、闭合功能，当手靠近仪器时滑门会自动打开方便测试人员拿取比色皿，当手远离仪器时滑门会自动闭合。此款纳米粒度仪已经达到国外纳米粒度仪的测试水平！ BOS-NG光相关纳米粒度仪技术参数及详细配置规格型号BOS-NG执行标准GB/T 29022-2012/ISO 22412：2008测试范围1-10000nm(与样品有关)浓度范围0.1mg/L-100mg/L准确度误差1%（国家标准样品平均粒径）重复性误差1%（国家标准样品平均粒径）激光主激光器：λ=532nm，半导体激光器（温控保护）探测器光电倍增管（PMT）散射角90°样品池10mm*10mm , 4ml（带温控保护）温度范围5-90℃（精度±0.1℃）测试速度1Min/次（不含样品分散时间） 光子相关器 物理通道：512，等效通道：10000，基线通道：8 采样及延迟时间：1us~200us动态可调 最小分辨能力：6ns

纳米颗粒制备仪 桌面式喷雾燃烧合成纳米颗粒材料火焰喷雾热解(FSP)是一种多功能经济高效的纳米颗粒生产工艺。它依赖于含金属或过渡金属化合物的液体原料在高达3000度的温度燃烧。产品纳米颗粒在几毫秒内形成在过滤器上以干粉的形式收集。 火焰喷雾热解工艺受益于极短的工艺链使复杂纳米颗粒的生产只需一步。纳米粉末生产FSP通常生产高结晶氧化纳米颗粒。但合成了磷酸盐、纯金属。根据工艺条件。颗粒的典型尺寸范围 5 ~ 50nm。这些初级粒子形成较大的团聚体。 纳米产品的例子包括简单的金属氧化物TiO2Al2O3 ZrO2以及YSZ CGO 钙 矿或尖晶石复杂氧化物。此外：贵金属纳米颗粒可以制造沉积在火焰中的氧化物支持颗粒上于某些组合物。可以制备表面包覆或基质化的纳米颗粒。 FSP纳米颗粒的应用包括:催化剂电池材料陶瓷牙科 生物医学材料体传感器聚合物纳米复合材料陶瓷.... 原材料FSP的源材料是低成本的金属化合物酸盐、硝酸盐或有机金属。这些所谓的前体是混合或溶解在标准有机溶剂。同心甲氧支持火焰、燃前驱溶剂喷雾，并确保稳定燃烧还可以使用可选的护套体。 NPS-20是一种用于纳米颗粒合成的全集成化桌面式火焰喷雾热解装置。应用于研究早期产品开发阶段。NPS-20设计用于快速筛选FSP合成中可用的材料组成 工艺条件的大量参数加速纳米材料的科学发展。主要特点：实验室规格火焰喷雾反应器低脉动注射可精确输送液体前体用于输送工艺前体的质量流量控制器:火焰检测器集成微处理器、电子板。用于过程控制，通信通过rs232玻璃纤维过滤器：干式旋式真空。用于产品粉末的收集压力及温度计以监察过滤器的状态。

EVG系列纳米压印设备之紫外纳米压印：600 一、 简介 EVG公司成立于1980年，公司总部和制造厂位于奥地利，在美国、日本和台湾设有分公司，并在其他各地设有销售代理及售后服务部，产品和服务遍及世界各地。EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商，其丰富的产品系列包括：涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、基片临时键合/分离系统、纳米压印系统。目前已有数千台设备安装在世界各地，被广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件，SOI基片制造，3D封装，纳米压印，化合物半导体器件和功率器件等ling 域。EVG是世界上为数不多的可以商业化纳米压印设备的著ming公司，可为客户提供完整的纳米压印方案，包括热压印、紫外压印、微接触印刷。EVG公司以其专利的极其优异的对准技术和世界ling 先的热压技术为纳米压印的成功实施打下了坚实的基础。EVG620紫外纳米压印用于从印章到衬底的紫外图形转移。EVG620自动纳米压印系统允许衬底和印章的尺寸从很小的芯片到150mm直径的圆片范围。用于纳米技术应用的配置包括印章机械释放、程序控制高或低的接触压力。EVG独有的吸盘设计支持软印章和硬印章压印，可以保证大面积纳米压印的均匀压力，从而保证获得很高的良率。 二、应用范围纳米压印技术主要应用于如下方面：LEDS 制作，LED PSS纳米压印工艺，LED纳米透镜阵列；微流体学；芯片实验室；抗反射层； 纳米压印光栅； 莲花效应；光子带隙；光学及通讯：光晶体，激光器件；生物技术解决方案：医药分析，血液分析，细胞生长。三、主要特点u 适用于紫外纳米压印和微接触印刷；u 紫外光曝光；u 配备专用的紫外纳米压印工具；u 适于软或硬印章压印；u 适用衬底：Si，玻璃，化合物半导体； 四、技术参数亚科电子设备咨询电话：（微信同号）；欢迎您的来电咨询！

产品描述PS3100-300UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。XYZ轴设计为300微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。由于FEA的优化这款平台提供动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为大承载动态应用领域设计。压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特别注意因平台为XY叠加结构，压电平台的固定孔为最下端的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机构的损坏。产品特性—XYZ位移300μmx300μmx80μm（闭环）—多种负载安装孔位—大承载设计—XY双向驱动带来更高动态特性选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—4通道驱动控制应用领域—精密加工领域—测量、计量—光学镜片调整与对准—图像处理与扫描 结构原理 堆叠形式 典型应用PS3L100-300UA系列技术参数

P-752高精度纳米定位平台P-752高精度纳米定位平台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

纳米颗粒制备 我司提供专业的纳米颗粒制备仪，可以满足用户不同需求的应用。100克至几批的纳米颗粒批次每年可以用ParteQ的FSP生产系统。这些单元可以连续运行，允许甚至可以生产24/7纳米粉。此外，通过ParteQ获得的结果。实验室规模的系统可以转移到更大的生产单位。例如，纳米材料用ParteQ NPS-20台式机开发系统或类似的实验室反应堆可以是用我们的公斤数量制造连续的FSP工厂。 ParteQ提供三条不同尺寸的线用于纳米粒子生产：建议将S系列用于几百克M系列是最适用于500 g至50 kg的数量。L系列针对想要的客户连续生产纳米粒子每小时几公斤，目标是超过50公斤每年最多。 ParteQ S系列，M系列和L系列为一站式服务包含用于前体和模块的系统气体输送，纳米颗粒生成和产品集合。各个模块可以为顾客量身定制。 S系列：50克/小时S系列基于实验室规模的Flame喷雾热解反应器也是NPS-20台式系统。而NPS-20旨在产品开发，提供每批次纳米克量的S系列可以制造几百克相同的纳米材料。例如，当连续生产约50克/小时，可以将300克纳米颗粒。在一天之内轻松获得。ParteQ FSP S系列：连续纳米粉。实验室规模的合成。最适合生产纳米颗粒的批量可达?500 g。 S系列是完全封闭的独立式系统。移动钻机基于铝大型检修门的型材。所有FSP必需的组件已集成进入钻机：火焰喷雾热解反应器流量控制器，前驱泵，颗粒集尘袋式过滤器，离心风机以及入口和出口安全过滤器。 M系列：500克/小时，如果千克数量的纳米颗粒是需要，中型M系列是系统选择。生产能力从约100克/小时，可达2千克/小时，取决于产品材料和操作条件。该系统由PLC，甚至允许使用24/7纳米粉生产。 实际上，M系列已经是一个很小的过程固定的脚印的工厂大约4 m x 6 m。房间高度应在至少5 m。 L系列：5,000克/小时L系列是真正的纳米粉产品，可以连续运行的工厂，每周7天24小时。操作范围开始大约每小时1公斤，可能会超过5公斤/小时，取决于产品材料和条件。 L系列的设计类似于较小的M系列，但使用的组件更大的尺寸。例如，搅拌250或500 L建议使用前驱箱涵盖一天的原料供应。喜欢M系列，该系统是全自动的并由PLC控制。与M系列一样，所有L系列工厂为客户量身定做。

科研用polypico UniA6是一种非常灵活的纳米压印机。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置，体积小，容易存放，最大可处理210mm(8英寸)圆形的任何尺寸印章和基材。该系统是手动装卸印章和模板，但所有处理器都是全自动的，专用软件用户可以完全控制压印过程。 纳米压印机特色：&bull 体积小巧，容易存放，桌面型；&bull 轻微复制微米和纳米级结构；&bull 热压印温度高达200℃；&bull 可选的高温模块，适用于250℃；&bull UV纳米压印，365nm曝光； &bull 可选的UV模块，适用于405nm曝光；&bull 真空纳米压印（腔室可抽真空至0.1mbar）；&bull 纳米压印压力高达11bar；&bull 温度分布均匀、读数精准；&bull 笔记本电脑全自动控制，工艺配方编辑简单，完全灵活控制，自动记录数据；&bull 直径最大210mm（圆形）腔室；&bull 腔室高度为20mm；&bull 即插即用&bull 使用简单直观&bull 专为研发而设计&bull 提供安装和操作教程视频

产品描述iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能应用硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iNano的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

Winner802光子相关纳米粒度仪产品简介： 光子相关纳米粒度仪Winner802是国家科技型中小企业技术创新基金项目（立项代码： 10C26213704395）成果产品，也是首批采用动态光散射原理的纳米粒度仪。该仪器采用动态光散射原理和光子相关光谱技术，因颗粒在悬浮液中做布朗运动，使得光强随时间产生脉动，利用微纳数字相关器技术处理脉冲信号，得到颗粒运动的扩散信息，利用Stokes-Einstein方程计算得出颗粒粒径大小及其分布。 光子相关纳米激光粒度仪Winner803是Winner802的升级款，配备双波长激光器，针对某些具有吸光属性和传统单一波长激光器无法检测的样品，可进行有效检测，Winner803纳米激光粒度仪专注于有色颗粒的粒度分布检测，想颜料、染料等。 产品优势: 高灵敏度和信噪比 采用动态光散射原理，利用灵敏度高和信噪比强的HAMAMATSU光电倍增管和自主研发的CR256数字相关器，在不破坏不干扰纳米颗粒体系的情况下，能够实时完成动态散射光的采集和函数运算，有效计算出颗粒粒径大小，保证测试结果的准确性。 抗干扰性强 采用光纤技术搭建的光路系统，使光子相关光谱探测系统不仅体积小，而且具有很强的抗干扰能力，保证了测试结果的稳定性。 可靠的温控系统 采用半导体温控系统，温度波动控制在±0.1 ℃，保证了样品在测试过程中始终处于恒温状态，避免因温度变化而引起的液体粘度和布朗运动速度的变化导致的测试偏差，从而保证了测试结果的可靠性。 双波长激光器，智能切换（Winner803特有性能） 采用双波长（λ=532 nm λ=405 nm）激光器，可智能切换，对某些具有吸光属性，单一波长激光器无法检测的样品，可进行有效检测。 产品技术参数: 产品型号Winner802Winner803执行标准GB/T 19627-2005/ISO13321:1996 GB/T29022-2012/ISO22412:2008测试范围1-10000nm (与样品相关)准确度误差≤1% （国家标准样品D50）重复性误差≤1% （国家标准样品D50）测试浓度0.1mg/mL——100mg/mL（与样品有关）激光器半导体激光器： λ=532nm 功率 P=1-40mW(可调)主光源：半导体激光器：λ=532nm 功率 P=1-40mW(可调) 辅助光源：蓝光激光器 λ=405nm 功率P＞2mW探测器光电倍增管（PMT）散射角90°样品池10×10×40mm （1—4mL）测试温度5—90 ℃温控精度±0.1℃测试速度＜5min产品体积600×380×230mm产品重量12Kg数字相关器产品型号CR256自相关通道256基数通道4物理通道数5000单位延迟时间100ns—10ms 应用领域： 纳米材料、纳米乳液、纳米粉末、纳米硼化物、纳米非金属、涂料、染料、颜料、药品、蛋白质、纳米碳酸钙、感光材料、添加剂、石墨、以及其他纳米颗粒等。

产品描述“简易执行机构”系列是具有结合在弹性铰链机构中的压电元件的致动器。带有螺纹孔，易于固定和拆卸，简易执行机构内部无内置传感器，所以本产品开环操作时具有迟滞和蠕变特性。压电执行器通电后会收缩运动。采用机械放大结构设计，因此行程比单个压电元件长几倍。柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。高推拉力，大行程，紧凑的尺寸，亚纳米分辨率，亚毫秒级快速响应。机械放大式压电促动器是由不锈钢材质的外部椭圆框架将压电陶瓷的主轴变形沿短轴进行放大。这个椭圆形的框架也提供了压电陶瓷对拉力的抵抗。为客户提供了易于集成机械接口。此预应力和放大曲张框架给压电陶瓷施加预紧力保证其比传统的基于杠杆臂和弯曲支点的传统的机械式放大器，在动态应用下有更长的使用寿命和更好的性能。产品特性—轴向收缩运动—行程：1500μm—出力: 1300 N—位移放大式选配功能—可定制安装固定螺纹尺寸—可定制线缆长度—可定制闭环方式—可定制位移典型应用:• 光子学/集成光学 • 纳米级微调操作纳米定位 • 光纤拉伸 • 高速切换• 微扫描 • 激光腔调谐 • 测流技术 • 生物技术迟滞和蠕变特性：在开环操作中，具有滞后和蠕变现象 位移放大结构形式：行程比单个压电陶瓷大几倍

科研用CNI v3.0是一种非常灵活的纳米压印机。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置，体积小，容易存放，最大可处理210mm(8英寸)圆形的任何尺寸印章和基材。该系统是手动装卸印章和模板，但所有处理器都是全自动的，专用软件用户可以完全控制压印过程。 纳米压印机特色：&bull 体积小巧，容易存放，桌面型； &bull 轻微复制微米和纳米级结构；&bull 热压印温度高达200℃；&bull 可选的高温模块，适用于250℃；&bull UV纳米压印，365nm曝光； &bull 可选的UV模块，适用于405nm曝光；&bull 真空纳米压印（腔室可抽真空至0.1mbar）；&bull 纳米压印压力高达11bar；&bull 温度分布均匀、读数精准； &bull 笔记本电脑全自动控制，工艺配方编辑简单，完全灵活控制，自动记录数据；&bull 直径最大210mm（圆形）腔室；&bull 腔室高度为20mm；&bull 即插即用&bull 使用简单直观&bull 专为研发而设计&bull 提供安装和操作教程视频

这是一款先进的纳米压痕仪，用户可以在操作界面上灵活、方便地进行纳米级力学测试。Nano Indenter G200X采用高速控制器电子设备、升级后的用户界面和先进的InView&trade 软件能实现各种可选的高级应用模块功能：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、基于探针的集成成像、高温测试和自定义测试协议。能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。产品描述Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、我们最大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能● 电磁驱动作动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制● 高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合能实现高精度观察与定位测试样本。● 便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。● 高度模块化设计使设备远不止能进行压痕测试，设备还提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。● 直观的用户操作界面便于快速地进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。● 实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。● 全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。● 备受赞誉的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大地提高了定量数据的可靠性。● InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间响应常数最快为20μs。主要应用● 快速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)● 快速材料表面力学特性分布测量● ISO 14577 标准化硬度测试● 薄膜及涂层测试● 界面附着力测量● 断裂韧性测量● 粘弹性测量，包括储能模量和损耗模量及损耗因子● 扫描探针显微成像（3D 成像）● 定量划痕和摩擦磨损测试● 高温纳米压痕测试● IV电学测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）材料的力学性能表征在薄膜的工艺控制和制造过程中表征力学性能发挥着至关重要的作用，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。对这些特性进行快速评估可以为生产线提供可靠的品质控制及保障。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。G200X系统在X和Y轴方向上各提供100毫米的样品台移动范围，在Z轴方向上提供25毫米的移动范围，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度、宽度、长度的样本。可选的NanoBlitz表面形貌和断层扫描软件能快速生成任何测量力学性能的彩色图。ISO 14577硬度测试Nano Indenter G200X包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。界面附着力测量薄膜剥离通常是由沉积可以储存弹性能量的高压缩层引起的。界面附着力测量对于帮助用户了解薄膜失效模式而言至关重要。Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性断裂韧性指在平面应变条件下应力强度因子发生突然性失效的临界值。低断裂韧性值意味着样品预先存在缺陷。使用刚度成像法可轻松通过纳米压痕仪获得断裂韧性。（刚度成像测量需要连续刚度测量和NanoVision选件。）粘弹性能聚合物是结构异常复杂的材料，其力学性能易受化学特性、加工工艺和热力学过程的影响。具体而言，力学性能由母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等因素决定，而他们通常是相互关联的。应在相关环境中对聚合物样本进行力学测试，为聚合物设计参数决策提供有用的数据信息。纳米压痕测试所需样本尺寸小，制作简单，更容易进行这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X系统在压头与材料充分接触的同时可激发压头的高频振动来测量聚合物样品的复模量和粘弹性。扫描探针显微成像（3D成像）Nano Indenter G200X系统有两种扫描探针显微成像方式，可用于表征压痕的裂纹长度，和测量设计应用中的断裂韧性。断裂韧性指含有裂缝的缺陷材料防止断裂扩展的能力。Nano Indenter G200X的压电样品台具有高定位精度的NanoVision选件，可提供高达1nm步进的编码器分辨率，最大扫描尺寸为100µ m x 100µ m。Survey Scanning软件选件将X/Y运动系统与InView软件相结合，可提供500µ m x 500µ m的最大扫描尺寸。NanoVision样品台和Survey Scanning选件均需要对样品的精确区域进行纳米压痕测试和断裂韧性计算。定量划痕和摩擦磨损测试涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 高校、实验室和研究所● 半导体芯片行业● PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)● MEMS：微机电系统/纳米级通用测试● 陶瓷与玻璃● 金属与合金● 制药● 膜层材料与油漆● 复合材料● 电池与储能● 汽车与航空航天● 更多应用：请联系我们探讨您的需求应用举例硬质涂层通常，厚度5µ m的硬质涂层用于表面保护、提高耐磨性、摩擦/润滑、提高耐温性和生物相容性。Nano Indenter G200X系统可以精确地执行ISO标准化的纳米压痕测试，并在不受衬底影响的情况下测量涂层的弹性模量和硬度。Nano Indenter G200X还可测量划痕硬度和耐磨性。在涂层表面粗糙度较大的情况下，NanoBlitz 3D选件可对材料特性进行快速的定量评估。半导体晶圆半导体制造商往往致力于生产具有高度机械完整性的薄膜。我们的纳米压痕仪可以测量几乎最薄薄膜的弹性模量和硬度，而不会出现来自底层衬底的影响。探明实际材料变化与工艺参数之间的相关性，对于半导体应用至关重要。半导体封装电子元件的性能和寿命可能取决于其封装的完整性。我们的纳米压痕仪能让半导体封装厂商评估聚合物底部填充物的力学属性、焊料应变率灵敏度和金属部件的强度。陶瓷与玻璃陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。G200X工具可以快速表征小尺寸材料的弹性模量和硬度。划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的抗划伤性。聚合物与塑料聚合物与塑料由于其随时间产生形变的特性，而被用于许多应用之中。无论聚合物是用作减振器、挤压材料还是医疗植入物，通常都通过动态力学分析(DMA)对其进行分析。在许多情况下，塑料部件的几何图形不适合采用传统的DMA仪器进行测试。无论样品的几何图形如何，KLA纳米压痕仪都能够局部定位塑料部件上的目标区域，并检测与频率相关的储存模量、损耗模量和损耗因子。Nano Indenter G200X也可用于测量粘弹性蠕变和应力弛豫特性。金属与合金金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。G200X可以对小尺寸材料进行快速表征。它还能让用户表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。电池与储能电池材料的力学属性与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。Nano Indenter G200X系统非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。Nano Indenter G200X提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。研发KLA Instruments纳米压痕仪，不仅能满足要求严苛的研发应用所需的精度和准确度，还是应用灵活的科学仪器。无论是测量新型材料的力学性能、检测金属的形变机制，还是分析随温度变化的应变速率敏感因子，Nano Indenter G200X拥有应用多样的纳米压痕测量能力，以实现先进的研究和加速开发进程。制药、食品和个人护理药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。G200X系统可提供定量信息，以对定性客户反馈进行补充。汽车与航空航天KLA Instruments的纳米压痕仪可以根据温度对材料进行高级表征，这对于汽车和航空航天应用而言是一项关键功能。强度、刚度和随时间变化的力学性能都可使用Nano Indenter G200X 纳米压痕技术进行测量。纳米级通用测试G200X系统能够测量纳米级力学形变和其它纳米力学特性。对纳米压痕、压缩、张力、蠕变、应力松弛和疲劳的测量展现了该系统功能多样的特点。此外还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。选配件InForce 1000作动器InForce 1000作动器采用高达1000mN的压痕载荷进行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选件兼容。InForce 50作动器InForce 50作动器采用高达50mN的压痕载荷执行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保一个自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制载荷和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 50座动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA&trade 、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变速率和频率引起的影响。CSM技术可在压痕过程中振荡压头测量随深度、荷载、时间或频率而变化的力学特性。该选项附带一个恒定应变速率实验，该实验测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测量选项，包括用于储存模量和损耗模量测量的 ProbeDMA&trade 方法和与基底无关的薄膜的杨氏模量测量方法 AccuFilm&trade 。CSM集成于InQuest控制器和InView软件中，易于使用，且能保证数据质量。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头绘制高模量（ 3GPa）材料的纳米力学性能3D分布图。NanoBlitz 以每个压痕 1 秒的速度最多可执行 100,000 个压痕（300x300 阵列），并在指定载荷下对阵列中的每个压痕测量杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S) 值。大量的测试数据能够提高统计的准确性。直方图显示多相材料的性能分布。NanoBlitz 3D方法包具有可视化和数据处理能力。300°C 样品加热300°C 样品加热选项允许将样品放入腔室均匀加热，同时使用 InForce 1000 或 InForce 50 作动器进行测试。该选项包括高精度温度控制、惰性气体保护以减少氧化，以及冷却循环以去除多余的热量。ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均可与样品加热选件兼容。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D 利用 InForce 50 或 InForce 1000作 动器和 Berkovich 压头为低 E/H 值和高-E (3GPa) 材料生成纳米力学特性 4D 图。NanoBlitz 4D以每个压痕 5-10 秒的速度最多可执行 10,000 个压痕（100×100 阵列）测试，并提供杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S)，作为阵列中每个压痕深度的函数。NanoBlitz 4D 采用恒应变速率方法。该功能包具备可视化和数据处理功能。AccuFilm 薄膜方法组合AccuFilm 薄膜方法组合是一种基于 Hay-Crawford 模型的 InView 测试方法，采用连续刚度测量 (CSM) 对与基片无关的材料特性进行测量。AccuFilm对软基底上硬质薄膜测量进行基底材质影响的校正，也对硬基底上的软性薄膜进行同类的校正。ProbeDMA 聚合物方法组合聚合物方法组合提供了对聚合物随频率变化的复模量进行测量的能力。该方法组合中包括平压头、粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的测试方法。传统动态力学分析(DMA)测试仪器无法很好地表征的纳米级聚合物和聚合物薄膜，而这种技术对其进行表征又十分关键。生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。NanoVisionNanoVision选件配备了用于高分辨3D成像方法和能精确定位的闭环纳米定位样品台。NanoVision让用户能够以纳米级精度对压痕测试位置进行定位，从而实现对复杂材料的各个相进行独立表征。NanoVision用户还可以通过检查残余压痕形貌，获取到凸起高度、变形体积和断裂韧性等材料特性的量化分析。Survey ScanningSurvey Scanning选件利用Nano Indenter G200X系统的精确、可重复的X/Y运动来提供500μm x 500μm的最大扫描尺寸。10nm线性编码器的成像效果比G200更好。NanoVision样品台和Survey Scanning选件可配合使用，为纳米压痕测试精确定位，这对于确定样品断裂韧性尤其有用。InView软件版本所有Nano Indenter G200X系统均采用了标准的InView软件，可以让用户可以访问预编程测试方法，其中包括符合ISO 14577标准的方法。InView方法开发选件能让研究人员使用简单的协议编写自己的InView测试方法。InView软件包中内置InView ReviewData和InFocus应用程序，可用于轻松查看数据和创建演示文稿。InView拥有模拟模式，用户可以离线编写测试方法、处理和分析数据。相关产品

美国KLA InSEM HT原位高温纳米力学测试系统，纳米压痕仪

产品信息Micro Materials 产品纳米力学综合性能测试系统NanoTest Xtreme可以实现真空环境下的纳米力学测试！ 为了更加准确、可靠地预测材料的性质，研究学者们对测试条件模拟真实环境程度的要求越来越高。Micro Materials 公司的NanoTest Vantage 产品可以提供最全面的纳米力学测试功能。现在Micro Materials 公司的最新产品NanoTest Xtreme 可以实现真空环境下-40℃至1000℃这一温度范围内的纳米级力学测试， 并且没有氧化和结霜的影响。自1988年以来，我们一直处于纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击测试仪器 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器更适合以下极端环境条件的研究：1、 航空发动机部件的高温 2、 用于高速加工的工具涂层 3、 电站蒸汽管的高温4、核反应堆覆层中的辐射效应 5、低温对油气管道焊缝修复的影响 NanoTest Xtreme 特点：a、500 mN加载头在真空下最高测试温度：1000°Cb、30 N加载头在真空下的最高测试温度：800°C c、真空下的最低测试温度：-40°C d、极限真空度：10-7 mbar e、与真空下所有标准纳米测试技术兼容（纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损、纳米冲击、纳米微动） f、可选配第二个加载头，最大负载从500mN增加到30 N g、填充功能可在非空气环境中进行测试 h、高分辨率光学显微镜 i、可选配在整个温度范围内均可使用的SPM 成像/纳米定位平台 NanoTest Xtreme 优点：1、 将高温能力扩展到1000°C，超出NanoTest Vantage提供的850°C 2、 将低温能力提高至-40°C，且无样品结霜 3、超低的热漂移归因于与NanoTestVantage相同的仪器设计原理 4、 完整的纳米力学测试(例如压痕、划痕、磨损、摩擦、冲击) 5、能够填充气体以匹配材料操作环境参数指标1、加载框架 高度抛光的铝，用于快速脱气 加载应用：电磁 标准压头最大负载 500 mN 最大负载，可选高负载头 30 N 位移传感器 ：电容式 负载分辩率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重新定位精度 0.4 µ m 样品处理 ：手动控制，网格压痕，特定位置选择，多个同时安装的样本 热漂移 0.005 nm/s 符合标准 ：符合ISO 14577和ASTM 2546标准 2、高温平台 最高温度 1000 º C 压头尖端加热 ：是 可测试样本区 16 mm x 16 mm 温度控制 ：反馈和恒定功率 温度精度 0.1 º C 3、低温平台 最低温度 -40 º C 4、SPM纳米定位平台 扫描范围 100 µ m x 100 µ m X Y定位精度 2 nm 5、真空 工作模式 ：真空或气体吹扫 真空度 ：极限10-7 (标准10-6 )mbar 6、选件 纳米划痕，纳米磨损，纳米冲击，动态硬度 应用NanoTest&trade Xtreme可以广泛应用于：航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等。

纳米颗粒制备仪 大型实验室喷雾燃烧合成纳米颗粒材料火焰喷雾热解(FSP)是一种多功能经济高效的纳米颗粒生产工艺。它依赖于含金属或过渡金属化合物的液体原料在高达3000度的温度燃烧。产品纳米颗粒在几毫秒内形成在过滤器上以干粉的形式收集。 火焰喷雾热解工艺受益于极短的工艺链使复杂纳米颗粒的生产只需一步。纳米粉末生产FSP通常生产高结晶氧化纳米颗粒。但合成了磷酸盐、纯金属。根据工艺条件。颗粒的典型尺寸范围 5 ~ 50nm。这些初级粒子形成较大的团聚体。 纳米产品的例子包括简单的金属氧化物TiO2Al2O3 ZrO2以及YSZ CGO 钙 矿或尖晶石复杂氧化物。此外：贵金属纳米颗粒可以制造沉积在火焰中的氧化物支持颗粒上于某些组合物。可以制备表面包覆或基质化的纳米颗粒。 FSP纳米颗粒的应用包括:催化剂电池材料陶瓷牙科 生物医学材料体传感器聚合物纳米复合材料陶瓷.... 原材料FSP的源材料是低成本的金属化合物酸盐、硝酸盐或有机金属。这些所谓的前体是混合或溶解在标准有机溶剂。同心甲氧支持火焰、燃前驱溶剂喷雾，并确保稳定燃烧还可以使用可选的护套体。 NPS-M是一种用于纳米颗粒合成的全集成化桌面式火焰喷雾热解装置。应用于研究早期产品开发阶段。NPS-M设计用于快速筛选FSP合成中可用的材料组成 工艺条件的大量参数加速纳米材料的科学发展。主要特点：实验室规格火焰喷雾反应器低脉动注射可精确输送液体前体用于输送工艺前体的质量流量控制器:火焰检测器集成微处理器、电子板。用于过程控制，通信通过rs232玻璃纤维过滤器：干式旋式真空。用于产品粉末的收集压力及温度计以监察过滤器的状态。

产品描述iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头可选的InForce 50驱动器提供最 大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架高刚度龙门架，集成隔振功能带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量定量刮擦和磨损测试样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体行业PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆复合材料电池和储能汽车和航空航天应用硬度和模量测量（Oliver Pharr）机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iMicro的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iMicro纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iMicro纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。定量划痕和磨损测试iMicro可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。 涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。 重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。 理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出精确及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。 iMicro拥有一整套测试扩展的选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D / 4D性质分布，以及Gemini 2D力荷载传感器，可以提供摩擦和其他双轴测量。

市场上精确度最高的纳米划痕测试仪NST3 纳米划痕测试仪专门用于表征典型厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂层的耐划伤性能和结合力。NST3 可用于分析有机和无机涂层以及软硬涂层。纳米划痕测量头采用独特的设计，包括两个传感器，用于测量与先进的压电致动器相关的压入载荷和压入位移测量。这些独特的功能提供了快速的响应时间（低至毫秒），出色的精确性以及针对各种划痕测量的高度灵活性。 完全同步的全景成像模式，随时随地进行分析该独特功能可自动将完美对焦的整个划痕的全景图像与所有传感器的划痕数据同步。因此，您可以随时根据全景成像观察结果和信号记录执行临界载荷分析。安东帕是同步全景技术（美国专利 8261600 和欧洲专利 EP 2065695）的唯一持有人。 快速反馈较小力NST3 采用双悬臂梁来施加载荷，并配备压电陶瓷驱动器，能够对施加的载荷快速做出响应。这一设计理念还修正了在划痕过程中发生的任何情况（例如出现裂纹和失效、缺陷或样品不平整）而导致的测量结果偏差。 没有折扣：准确施加所需的力闭环主动力反馈系统可提供更精确的纳米划痕测试。NST3 包含一个实际力传感器，可测量直接反馈给法向力驱动器的载荷。这样可确保划痕测试的重复性，即使研究非平面、粗糙或曲面样品等更加复杂的表面时，也是如此。 适用于弹性恢复研究的真实划痕深度测量NST3 纳米划痕测试仪包括一个实际位移传感器，用来监控划痕测试针尖的垂直运动。借助此传感器，您可以利用前扫描和后扫描模式的独特技术获得划痕真实的深度，从而评估材料的弹性、塑性和粘弹性。这种技术需要执行前扫描，记录执行划痕测试前样品的表面特性（形状、波度和粗糙度）。在测量划痕期间（划痕深度）和测量之后（残留深度），NST3 将使用该表面特性修正划痕测试的深度。 划痕后可进行多次后扫描模式评估弹性性能划痕后，您可以在软件中用时间增量定义无限次后扫描测量残余深度。这种全新的分析方法将让您进一步了解表面变形性能与时间的依赖关系。技术规格最大载荷 [mN]1000载荷分辨率 [μN]0.01载荷背底噪声 [rms] [μN]0.1加载速度 [N/min]最多 100 种最大摩擦力 [mN]1000摩擦力分辨率 [μN]1最大位移 [μm]600深度分辨率 [nm]0.1深度背底噪声 [rms] [nm]1.5数据采集频率 [kHz]192划痕速度 [mm/min]0.1 到 600

金属纳米颗粒制备 金纳米材料具有众多易于调控的特性，比如局域表面等离子共振、表面增强拉曼、光致发光、易于表面修饰和生物相容性好。这使得金纳米材料广泛应用于我们生活的多个方面。合成金纳米颗粒常用的制备方法有很多，其中，直接FSP火焰喷雾燃烧法生长法应用广泛。金属纳米颗粒制备采用火焰喷雾热解工艺，受益于极短的工艺链使复杂纳米颗粒的生产只需一步。纳米粉末生产FSP通常生产高结晶氧化纳米颗粒。但合成了磷酸盐、纯金属。根据工艺条件。颗粒的典型尺寸范围 5 ~ 50nm。这些初级粒子形成较大的团聚体。 纳米产品的例子包括简单的金属氧化物TiO2Al2O3 ZrO2以及YSZ CGO 钙 矿或尖晶石复杂氧化物。此外：贵金属纳米颗粒可以制造沉积在火焰中的氧化物支持颗粒上于某些组合物。可以制备表面包覆或基质化的纳米颗粒。 FSP纳米颗粒的应用包括:催化剂电池材料陶瓷牙科 生物医学材料体传感器聚合物纳米复合材料陶瓷.... 原材料FSP的源材料是低成本的金属化合物酸盐、硝酸盐或有机金属。这些所谓的前体是混合或溶解在标准有机溶剂。同心甲氧支持火焰、燃前驱溶剂喷雾，并确保稳定燃烧还可以使用可选的护套体。 NPS-20是一种用于纳米颗粒合成的全集成化桌面式火焰喷雾热解装置。应用于研究早期产品开发阶段。NPS-20设计用于快速筛选FSP合成中可用的材料组成 工艺条件的大量参数加速纳米材料的科学发展。纳米颗粒制备仪主要特点：1产品纯度高，粒径小，分布均匀，比表面积大，高表面活性，松装密度低，气相法制备，克服了市场上湿化学法制备的颗粒硬团聚、难分散、纯度低等缺点；2表面存在大量的不饱和残键及不同键合状态的羟基，因表面欠氧而偏离了稳定的硅氧结构，所以具有高反应活性，粉体松装密度比较小，容易分散使用；3纳米颗粒晶相稳定、硬度高、尺寸稳定性好，可应用于各种塑料、橡胶、陶瓷产品的补强增韧，特别是提高陶瓷的致密性、光洁度、冷热疲劳性、断裂韧性、抗蠕变性能和高分子材料产品的耐磨性能尤为。由于颗粒也是性能优异的远红外发射材料，作为远红外发射和保温材料被应用于化纤产品和高压钠灯中。4公司可以进行针对性的表面处理包裹，使得纳米粉体可以稳定地分散在溶剂体系中，形成透明状或半透明状溶胶，应用在涂料、玻璃表面、电子封装等

桌面纳米压印机，易于复制微米和纳米级结构。纳米压印（热和紫外线）直径高达210mm圆形模板，带紫外线150 * 150mm方片模板，采用热处理工艺热压印操作简单直观用途广泛即插即用专为研发而设计 CNI v3.0 PV是用于纳米压印和热压印的小型桌面工具，可完成微米和纳米结构从模板复制到基质。CNI v3.0 PV纳米压印机可以执行热压印以及紫外压印，CNI纳米压印机是纳米复制的完美起点，同时也支持成熟和高级的开发工作，纳米压印机操作简单，坚固耐用，便于非标准流程和新实验。 易于安装 即插即用（不到20分钟的时间内就可运行工作）优势 凭借其热压印和紫外压印的功能，如果需要，在真空中，CNI v3.0 PV纳米压印机在其产品中是独一无二的，并支持许多不同的技术和工艺。使用方便 无需查看使用手册，每个人都能使用；紧凑尺寸 26*30*14cm(120mm腔室的尺寸)； 42*44*14cm(210mm腔室的尺寸)；安装 CNI结构紧凑，无需固定安装；高质量压印 能够将小于40nm的结构复制到大于100μm的结构；多功能 可使用任何尺寸的印章和模板，直径最大210mm(8英寸)圆形的模板；技术支持 提供个性化支持，专注于您的加工需求； 特征：桌面大小的纳米压印工具 热压印温度高达250℃ 紫外纳米压印，365nm曝光(or 405nm–自定义选项)压印压力从0.3到11bar 在真空压印1mbar 印章和基材尺寸：直径可达210mm 印章和基材没有固定的样式坚固且易于使用手动装卸印章和模板自动程控软件操作界面简单可记录所有步骤和流程 CNI V3.0支持许多不同的技术：热纳米压印UV纳米压印热压印微米结构压印聚合物粘合 举例：纳米结构压印微结构压印硅片上纳米间距的光栅压印在软性的基材上压印（如III-V材料，InP）印章生产高纵横比结构的热压印聚合物热压印热聚合物粘合 要求：现场安装的技术要求压缩干燥空气或氮气压力6-11bar，外径6mm连接器，流量至少应该1/2标准L/min；在10mm外径连接器中，真空度优于0.1mbar（如果有真空选项）；功率：110-240V (50-60HZ， 大于200W)；环境应安装在干净、无尘和无颗粒的环境，以达到最佳效果；工作温度范围10-35℃；工作湿度范围30-70%；其他增压器：如果你的实验室不能提供高于6 bar的压缩空气压力，NILT可以提供一个增压器，可以将3-5 bar加到6-10 bar；真空泵选项：NILT建议使用Edwards nXDS6i干式涡旋真空泵。任何其他相似或更好规格的泵也可正常工作； 规格：压力：0.3-11bar温度：高达200℃，精度+/-1℃，可选高温模块，适用于250℃紫外线曝光:在120mm腔室中，波长为365mm或405 nm的紫外线LED灯，光功率为12 W，在210 mm腔室中为~100mW/cm2或~165mW/cm2的光功率为57W真空：可将腔室抽真空至低于1mbar的压力腔室尺寸：- 直径120毫米，高度20毫米(最大可扩展到45毫米) - 直径为210毫米，高度最大为20毫米(无法扩展)自动复制过程：手动装载印章和基材 通过CNI软件控制，整个复制过程完全自动化软件：全程控制和灵活性 除了装载和卸载之外的所有东西都由软件处理CNI定制： 可根据您的需求定制在线视频说明：在线安装视频和操作提示可选项： 增压器可将实验室压缩空气供应从3-5bar提升至6-10bar，由NLT人员进行培训和/或安装

产品简介MML公司的纳米力学性能测试系统NanoTest&trade Vantage可以提供新型材料和特种材料开发和优化的大量信息。是世界上最灵活、功能最强大的纳米力学测试系统。它可以为用户提供高精度的纳米压痕测试，同时提供相关的全面综合测试：如纳米划痕和磨损测试、纳米冲击和疲劳测试、以及在高温、液体环境中的测试。这些纳米水平上的测试可以为我们提供材料表面局部的定量信息，数据可靠、测试省时。这些因数使得NanoTest&trade Vantage在世界范围内成为大学、工业实验室和标准机构中很多表征和优化项目的最关键设备。自1988年以来，我们一直走在纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击试验机 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器产品优势：► 无与伦比的技术多样性 无纳米压痕，纳米划痕，纳米冲击，纳米微震动磨损，纳米磨损 ► 高精度的多种载荷纳米（至500mN）和微米（至30N） ► 引领市场的环境兼容能力 引高温（至850°C）、低温（至-20°C）、液体和湿度环境 ► 真正测量多 真 样性动态、静态、电气和多种成像模式技术指标1、加载框架 花岗岩复合材料设计专门用于计量应用 2、加载应用 电磁 标准头最大载荷 500 mN 位移传感器 线性电容 负载分辨率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重复定位精度 0.4 µ m 可测试区域 50 mm x 100 mm 样品处理 手动控制并点击显微镜图像 热漂移 0.005 nm/s 接触力 1 µ N 显微镜– 4个物镜 x5, x10, x20 和 x40 屏幕放大率 x410, x825, x1650, x3300 隔振 负K，机械被动 压头交换时间 1 min 符合标准 完全符合ISO 14577和ASTM 2546 3、划痕模块 最大摩擦力 250 mN 摩擦载荷分辨率 10 µ m 最大划痕距离 10 mm 划痕速度 100 nm/s 至 0.1 mm/s 4、冲击模块 加速距离 高达20 µ m 接触应变率 高达104 s-1 微动磨损模块 轨道长度 ≤20 µ m 频率 ≤20 Hz 最大磨损次数 10 5、SPM纳米定位平台 XY扫描范围 100 µ m x 100 µ m Z扫描范围 20 μm 定位精度 ≤2 nm 闭环线性 99.97% 6、AFM XY扫描范围 110 µ m x 110 µ m Z范围 22 µ m 7、高温选项 温度 850 °C 主动，独立的样品和压头加热 是 压头材料 金刚石，氮化硼，蓝宝石 8、高负载头 最大载荷 30 N 摩擦载荷分辨率 300 μN 应用范围航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等

仪器简介：公司拥有齐全的纳米系列压印胶材料，热压型纳米压印胶、热塑型纳米压印胶、紫外光固化型纳米压印胶、紫外光固化纳米压印和光刻两用胶、举离型传递层材料、刻蚀型传递层材料、各种与纳米压印技术相关的化学药品，如模板防粘剂、基片增粘剂等。适用于Obducat，Suss，HP，EVG等多种型号的纳米压印设备。技术参数： IPNR-T1000 Thermal plastic nanoimprint resist 热塑型纳米压印胶 IPNR-T2000 Thermal curable nanoimprint resist 热固化型纳米压印胶 IPNR-PC1000 Photo-curable nanoimprint resist (Free radical initiation) 光固化型纳米压印胶（自由基引发） IPNR-PC2000 Photo-curable nanoimprint resist (cation intiation) 光固化型纳米压印胶（阳离子引发） IPNR-UL1000 Under-layer polymer for lift off process 举离型传递层材料 IPNR-UL2000 Under-layer polymer etching mask process 刻蚀型传递层材料 IPNR-UPM Quick mold fabrication material 快速模板制作材料 IPNR-AP Chlorosilane based adhesion promoter 氯硅烷增粘剂 同时还能能够根据不同的模板提供相应的防粘试剂。