纳米探针

基于 SEM 的纳米探针台 用于直观、原位、低电流电性能测量。 在扫描电镜的真空腔室中,在纳米尺度对样品进行观察和表征分析。Imina Technologies公司的纳米探针台 是一套独特的解决方案，特别适合在纳米尺度对电子器件和先进材料进行微纳操纵和表征。这套方案内含四个业界著。名的易用、多功能压电陶瓷驱动微型机器人miBotTM。miBot微机器人可以在毫米级样品上独立定位，定位精度高达纳米级。该方案是为低电流电性能测量量身定做 的，漏电流低达100fA/V。对纳米结构 进行电性能表征时要经由具有超高信噪 比的屏蔽电缆外接第三方半信号发生/分析器。

基于 SEM 的纳米探针台 用于直观、原位、低电流电性能测量。 在扫描电镜的真空腔室中,在纳米尺度对样品进行观察和表征分析。Imina Technologies公司的纳米探针台 是一套独特的解决方案，特别适合在纳米尺度对电子器件和先进材料进行微纳操纵和表征。这套方案内含四个业界著。名的易用、多功能压电陶瓷驱动微型机器人miBotTM。miBot微机器人可以在毫米级样品上独立定位，定位精度高达纳米级。该方案是为低电流电性能测量量身定做 的，漏电流低达100fA/V。对纳米结构 进行电性能表征时要经由具有超高信噪 比的屏蔽电缆外接第三方半信号发生/分析器。

纳米探测面临的挑战 定位精度 安全（软）着陆接触 具有适当尖端半径的可靠探针头 清洁环境：试验箱、样品、探针头 振动敏感性低 噪声抑制 漂移补偿 电路编辑/延迟：在FIB角度操作 优势电流成像 快速图像采集（每帧约5） 不需要更容易控制的反馈 原位应用，扫描电镜可以用来确定投资回报率 与标准钨探针头配合使用 picoamp分辨率，识别泄漏 污染物清除 恰当的高探测工具 适应您对工作流程的快速理解 相关的光镜和电子显微镜，EBIC/EBAC，电流成像-获得整个图像 快速发现故障（开路、短路、连接泄漏、晶体管故障等）

压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位，它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。 压电三轴纳米探针台应用案例：通过压电纳米位移台的纳米精度定位，两个探针通过与样品接触，完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。同时产品可以适配市面上绝大多数的SEM，例如：日本电子，日立，FEI,TESCAN等。 压电三轴纳米探针台尺寸参数探针台外形尺寸（长*宽*高）107.0*75.6*43.3mm三轴外形尺寸（长*宽*高）48.6*33.2*38.6mm样品台面平面度10 μm探针台总重量225g运动参数三轴X行程±10mm三轴Y行程±10mm三轴Z行程15.7mm运动分辨率0.05nm以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电三轴纳米探针台的介绍，了解更多直接咨询： 原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

中图仪器NS200探针纳米级表面测量台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。NS200探针纳米级表面测量台阶仪通常使用2μm半径的金刚石针尖来测量这些小特征。一个精密的xy载物台联合扫描轴R和转台θ，在测针下移动样品，测针中的垂直位移被转换为与特征尺寸相对应的电信号。然后将这些电信号转换为数字格式，在其中它们可以显示在计算机屏幕上并进行操作以确定有关基材的各种分析信息。可以微调扫描长度和扫描速度，以增加或减少分析时间和分辨率。此外，测力可调以适应硬质或软质材料表面。结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台 （1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。NS200探针纳米级表面测量台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）应用场景介绍部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

泽攸科技 PicoFemto系列扫描电子显微镜纳米探针台实现了三维空间上的准确定位，具有小尺寸大行程、高定位精度、操作简单、能在真空下使用等优点，使用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作及物性测量。PicoFemto 系列扫描电子显微镜 纳米探针台 基于压电陶瓷驱动技术，运动无需润滑，兼容扫描电镜真空环境，并可在多种温度范围内工作；步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴探针台由XYZ三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。纳米探针台-技术指标（单个三轴探针台）运动指标尺寸参数1. X轴移动行程：±10mm；1. 长/宽/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm2. Y轴移动行程：±10mm；2. 重量：225g3. Z轴移动行程：±10mm；4. 运动速度：0-3mm/s；5. 细调分辨率：0.5nm 纳米探针台-产品选型泽攸科技提供适配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多种扫描电子显微镜型号的纳米探针台，支持定制。 安徽泽攸科技有限公司是纳米探针台生产厂家，关于扫描电镜原位样品台价格请咨询(微信同号)原文：安徽泽攸科技有限公司，是一家具有完全自主知识产权的先进装备制造公司。公司集研发、生产和销售业务于一体，向客户提供原位电镜解决方案、扫描电子显微镜等设备，立志成为具有国际先进水平的电子显微镜及附件制造商。 　　公司有精通机械、光学、超高真空、电子技术、微纳加工技术、软件技术的团队，我们为纳米科学的研究提供的设备。公司团队于20世纪90年代投入电镜及相关附件研发中，现有两个系列核心产品： 　　　 （1）PicoFemto系列原位TEM/SEM测量系统； 　　　 （2）ZEM15台式扫描电子显微镜。 　　　 PicoFemto系列原位TEM/SEM测量系统自问世以来，获得了国内外研究者的高度关注，并且已外销至澳洲、美国、欧洲等地。我们协助用户做出大量研究成果，相关成果发表在Nature及其子刊/JACS/AM/Nano. Lett./Joule/Nano. Energy/APL/Angewandte/Inorg. Chem.等高水平刊物上。 目前在国内使用我公司产品的课题组/实验平台多达八十余个，遍布五十余所大学/研究机构，包括中科院过程所、北京大学、清华大学、浙江大学、中科院硅酸盐研究所、厦门大学、电子科大、苏州大学、西安交通大学、武汉理工大学、上海大学、中科院大连化物所等等。国外用户包括澳洲昆士兰科技大学、英国利物浦大学、美国休斯顿大学、美国莱斯大学等。安徽泽攸科技有限公司为您提供PicoFemto扫描电镜原位高温拉伸台的参数、价格、型号、原理等信息，PicoFemto扫描电镜原位高温拉伸台产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为高温拉伸台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

如有需要请通过伯英科技联系我们。多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）型号：NT-206，是集多功能于一身的原子力显微镜，带有复杂的硬件与软件分析系统，可分析形貌与力学性能，分辨率为纳米级别。可添加：纳米压痕、划痕、磨损，附着力、摩擦力测试，纳米光刻等功能。A probe is positioned above journal neck of watch gearEmbedded videosystem in combination with motorized XY micropositioning stage provide convenient tuning of the instrument and its fine targeting onto the features on the sample surface. All that dramatically enhances the instrument' s functionality when researching micro- and nanosize objects.To meet requirements of specific research tasks, AFM NT-206 can include specialized changeable probe holders for microtribometry and adhesiometry or for nanoindentation.NT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software 多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）技术指标：Measurement modes:测量模式： Motion patterns at the measurements: - area (matrix) - line - single point.Contact static AFM 接触静态Lateral force microscopy /with contact static AFM/ 横向力显微镜/用静态接触AFMNon-contact dynamic AFM 非接触式动态AFMIntermittent contact AFM (similar to Tapping Mode) 间隙接触（敲击）Phase contrast imaging /with intermittent contact AFM/ 相衬成像/用间隙接触AFMTwo-pass mode (for static and dynamic AFM) 6. 两回合模式（适合静态与动态AFM）Two-pass mode with varying separation (for static and dynamic AFM) /Original technique!/两回合模式，伴随变化的间距，Multicycle scanning (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描（适合静态与动态AFM）Multilayer scanning with varying load (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描，伴随变化的载荷（适合静态与动态AFM）Electrostatic force microscopy (two-pass technique) *, **静电力显微镜（双回合技术）Current mode *, **电流模式Magnetic force microscopy (two-pass technique) *, **磁力显微镜（双回合技术）Static force spectroscopy (with calculation of quantitative parameters, surface energy and elastic modulus in the measurement point)静态力谱（在测量点，计算定量参数、表面能与弹性模量）Dynamic force spectroscopy动态力谱Dynamic frequency force spectroscopy /Original technique!/动态频率力谱Nanoindentation *纳米压痕Nanoscratching *纳米划痕Linear nanowear *线性纳米磨损Nanolithography (with control of i load, ii depth and iii bias voltage) *纳米光刻（控制力，深度，偏压）Microtribometry * /Original technique!/微观摩擦力计量Microadhesiometry * /Original technique!/微观附着力计量Shear-force microtribometry * /Original technique!/剪切力微观摩擦力计量Temperature-dependent measurements (under all above modes) *基于温度的测量（适用于所以以上模块）Note. * - Specialized accessories or rig required*需要特殊的附件或工具 ** - Specialized probes required **需要特殊的探针Scan field area:扫描面积from 5x5 micron up to 50x40 micronsMaximum range of measured heights:最大高度范围from 2 to 4 micronLateral resolution (plane XY):侧面分辨率1–5 nm (depending on sample hardness)Vertical resolution (direction Z):竖直分辨率0.1–0.5 nm (depending on sample hardness)Scanning matrix:扫描矩阵Up to 1024x1024 pointsScan rate:扫描速度40–250 points per second in X-Y planeNonlinearity correction :非线性校正A software nonlinearity correction providedMinimum scanning step:最小扫描步阶0.3 nmScanning scheme:扫描步骤The sample is moved in X-Y plane (horizontal) and in Z-direction (vertical) under stationary probe.Scanner type:扫描器类型A piezoceramic tube.Cantilevers (probes):悬臂（探针）Commercial AFM cantilevers of 3.4x1.6x0.4 mm. Recommended are probes from Mikromasch or NT-MDT. Checked for operation with probes by BudgetSensor and NanosensorsCantilever deflection detection system:悬臂倾斜探测系统Laser beam scheme with four-quadrant position-sensitive photodetectorSample size:样品尺寸Up to 30x30x8 mm (w–d–h) extending block insert allows measurement of samples with height up to 35 mmHigh voltage amplifier output: 高压放大器输出+190 VADC:16 bitOperation environment:操作环境Open air, 760+40 mm Hg col., T = 22+4°С, relative humidity 70%Range of automated movement of measuring head:测量头自动移动范围10x10 mm in XY plane for micropositioning of probe relative measured sample at step 2.5 micron with optical visual monitoringOverall dimensions:总尺寸Scanning unit: 185x185x290 mm Control electronic unit: 195x470x210 mmField of view of embedded videosystem:植入视频系统的视场1x0.75 mm, visualization window 640x480 pixel, frame rate up to 30 fps.Vibration isolation:防震隔离Additional antivibration table is recommendedHost computer:控制计算机Not less than: Celeron 2.2, RAM 256 MB, HDD 80 GB, VRAM 128 MB, monitor 17" 1024x768x32 bit, Windows XP SP1, 2 USB port. Recommended: Core i5 or equivalent, RAM 2 GB, HDD 320 GB, VRAM 1 GB, monitor 1600x1200x32 bit, Windows XP SP2 or higher, 2 free USB port.Software:软件Special control software SurfaceScan and the AFM image processing package SurfaceView / SurfaceXplorer are included. * Before measurements, the probe can be positioned to necessary place over the sample with help of automated motorized stage. To provide monitoring for the scan area and objects below the probe, the instrument embeds a videosystem allowing to watch the probe motion over the sample surface. Videosystem and the motorized stage for the probe positioning over sample are included in base set by default. A combination of these two options allows rather flexible selection of objects to be measured on the sample surface at direct visual monitoring by the opeartor.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）组成模块： DELIVERY SETNT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software ::: BASIC SETScanning unit (atomic force microscope)Includes a base platform with embedded XY positioning stage and a detachable measuring head with integrated video systemControl electronic unit with the connetcion cables in the set (the case variants)Software package including:The software runs under Win32. Supplied on CD. Updates available at this site in section ARCHIVE SOFTWAREAFM control software SurfaceScan for driving complex and data acqusition and visualization .SurfaceView and SurfaceXplorersoftware package for the measured data processing, visualization and analysis.The software can include plug-ins for processing AFM-data obtained with other microscopes.A set of drivers for connection of control electronic unit with host PC and running videosystem.Note:1 Base set includes also the control software (for Win32) and user manual.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）可选配件 ::: ADDITIONAL ACCESSORIES (optional)A specialized antivibration rackA changeable probe holderChangeable scaners for ranges: 5x5x2 um10x10x3 um20x20x3.5 um40x40x3.5 um50x50x3.5 um90x90x3.5 umSet for scanning the sample emmersed in liquid mediumThermocell: a changeable sample platform for measured sample heating up to 150 °С with stand-allone controllerA changeable holder for conducting probesExtending block insert allowing measurement of thick samples with height up to 35 mmA changeable microtribometer-adhesiometer unitOption: a set of AFM probes(Prod. by Mikromasch)A changeable shear-force microtribometer unitOption: a set of calibration test gratings(Prod. by Mikromasch)A changeable nanoindentor unit多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）软件 SOFTWARENT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: SoftwareControl software for AFM NT-206 SurfaceScan is a 32-bit Windows application. It runs under Windows XPsp2/Vista/7 operating systems.The control software provides all preliminary tunings and settings necessary for the AFM operation: visual control over the laser-beam detection system adjustment, tuning of the cantilever oscillations (in dynamic modes), feed-back system adjusting, sample positioning under the probe and sample approach to the probe before measurements and removal after the measurements. A full-field or any reduced area within the full field of the scanner can be selected for measurements.Operator can watch any combination of acquired AFM/LFM images in data visualization window or switch to look at them in one window. Additionally, profile of currenly acquired line can be monitored as well.Acquired data are saved in files of special format that can be then processed, visualised (in 2-D and 3-D presentation) and analysed with a specialized software package SurfaceView or SurfaceXplorer.

百及纳米ParcanNano 探针电子束光刻机P-SPL21 简介： 公司以全球首家专利的针尖技术为核心竞争力，技术源自于德国伊尔默瑙工业大学，致力于主动式针尖技术在微纳米结构制备和表征方面的研发，及其相关设备的产业化。 公司研制一套基于扫描针尖低能电子场发射的原理、采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。可在大气环境下，高经济效益、快速直写5纳米以下结构和制备纳米级器件。该系统的闭环回路可实现使用同一扫描探针对纳米结构的成像、定位、检测和操纵。 技术特点：。场发射低能电子束。大幅降低电子束背底散射。几乎消除电子束临近效应。光刻5纳米以下单线宽结构。光刻结构间距小于2纳米。接近原子级分辨的套刻精度。线写速度高达 300 μm/s。大气环境下可实现正负光刻。正光刻流程无需显影步骤。无需调制电子束聚光。大范围分步重复工艺。Mix & Match 混合光刻模式。针尖曝光与结构成像实时进行。真空原位观测光刻图案 功能指标

仪器简介： CSPM5500是本原纳米仪器有限公司于2008年8月研制成功的新一代扫描探针显微镜,其功能齐全、性能优越、运行稳定、使用方便，非常适合用户开展纳米研究工作。 技术参数：(1)国际主流的研究级专业仪器，集成原子力显微镜(AFM)，横向力显微镜(LFM)，扫描隧道显微镜(STM) (2)分辨率： 原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定） (3)高精度计量型仪器，采用NanoSensors提供的可溯源于国际计量权威机构Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的标准样品进行校准 (4)一键式快速全程全自动进样，无需手动预调，行程大于30mm，可容纳超大样品 (5)两级可读数样品调节机构，可对样品进行精确的检测区域定位 (6)一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息 (7)先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级 (8)系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0与计算机连接 (9)主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，系统当前状态实时显示 (10)具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息主要特点：(1) 标准配置： 原子力显微镜(AFM)：包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式 横向力显微镜(LFM)：具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能 扫描隧道显微镜(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等 曲线测量分析功能：力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等(2)选配功能： 纳米加工：包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等； 磁力显微镜/静电力显微镜； 环境控制扫描探针显微镜； 液相扫描探针显微镜； 导电原子力显微镜； 扫描探针声学显微镜； 扫描开尔文探针显微镜； 扫描电容显微镜； 压电力显微镜

俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectrometer, AES）为微电子业常见的表面分析技术之一。原理是利用一电子束为激发源，使表面原子之内层能阶的电子游离出，原电子位置则会产生电洞，导致能量不稳定，此时外层电子会填补产生之电洞，进而释放能量传递至外层能阶电子，造成接受能量的电子被激发游离，游离的电子即为Auger电子。因其具有特定的动能，所以能依据动能的不同来判定材料表面的元素种类。PHI的710纳米探针俄歇扫描 提供高性能的俄歇（AES）频谱分析，俄歇成像和溅射深度分析的复合材料包括：纳米材料，催化剂，金属和电子设备。维持基于PHI CMA的核心俄歇仪器性能，和响应了用户所要求以提高二次电子（SE）成像性能和高能量分辨率光谱。PHI的同轴镜分析仪（CMA）提供了同轴分析仪和电子枪的几何实现高灵敏度多角度广泛收集，以便完成三维结构图，在纳米级技术的发展这是最基础的。为了提高SE成像性能，闪烁探测器（Scintillator）已被添加以提高图像质量，另再加上数码按钮的用户界面再一次的提高了易用性。在不用修改CMA和仍维持俄歇在纳米分析的优势下，再添加了高能量分辨率光谱模式，使化学态分析的可能再大大的提高。总括来说，700Xi以优越的俄歇纳米探针从世界ling先的俄歇表面分析仪器，提供了实用和成熟的技术，以满足纳米尺度所需要的广泛实验与研发的用途。同轴电子枪和分析几何和高级的俄歇灵敏度：710的场发射电子源提供了一个高亮度而直径小于6 nm的电子束以产生二次电子成像。710的同轴几何使用了“同轴式分析器（CMA）”，促使高灵敏度俄歇通过广泛角度收集进行分析，即使样品是表面平滑或复杂的形状或高表面粗糙度，都可以确保迅速完成所有分析程序。高稳定性成像平台：隔声外壳与振动隔离器提供更稳定的成像和分析。隔声外壳从真空控制面板降低频率范围从30赫兹到5K赫兹左右的20 dB的声压等级（SPL），稳定的温度大约降低系统造成SEM图像漂移。新的振动隔离器也减少了地面振动对扫描电镜图像和小面积分析的影响。增强的SE图像用户界面：PHI710增强SE成像性能，闪烁器检测器（Scintillator）已被添加在仪器上从而提高图像质量，加上数码按钮的用户界面更再次提高了使用的方便性。新的高分辨率光谱模式：随着PHI的新技术，能量分辨率可调从0.5%到0.05%。多种化学物质的状态可以更容易有效的被观察出来。PHI SmartSoft-AES用户界面：PHI SmartSoft是一个操作仪器上为用户的需要而着想的软件界面。该软件是任务导向型和卷标在顶部的显示指引用户通过引入样品，分析点的定义，并设置了分析。多个位置分析可以定义和zui佳范例的定位提供了一个强大的“自动Z轴调整”的功能。在广泛使用的软件设置，可让新手能够快速，方便地设置了测量，并在未来可以轻易的重复以往或常用的类似测量。

应用于高空间分辨率下同位素和痕量元素分析的SIMSNanoSIMS 50L是一款独特的离子探针，在高横向分辨率下优化了SIMS分析性能。该仪器的开发借鉴了一次离子束和二次离子提取的同轴光学设计以及具有多接收功能的原始扇形磁质量分析仪。NanoSIMS 50L能同时提供关键性能，而使用任何其他已知的仪器或技术只能部分提供这些性能： 高分析空间分辨率（低至50纳米） 高灵敏度（元素成像中的ppm） 高质量分辨率（M/dM） 并行采集七种不同质荷比离子 快速采集（直流模式，不发生脉冲） 能够分析电绝缘样品 经改良，现在可实现千分之十几的同位素比值再现性。 应用领域:微生物学： NanoSIMS 50L为环境中混合微生物群落研究中的单细胞系统发育特征（使用FISH或El-FISH）和代谢功能（使用稳定同位素标记）的结合开辟了新的可能性。 细胞生物学： NanoSIMS 50L具备50纳米分辨率和测定同位素比值功能，可实现对细胞内带有稳定同位素标记的分子的积累和传输的测量。 地质学和空间科学： NanoSIMS 50L可以对行星际尘埃颗粒、陨石和矿物部分的亚微米区域、晶粒或包裹体进行精确的同位素和元素测量。该仪器在多个法拉第杯配置下工作，并具有几微米的光斑尺寸，可以提供同位素比值测量，具有极高精确度以及低至千分之十几的的外部再现性。 材料研究： 凭借高质量分辨率下的高灵敏度（无质量干扰），即使在电绝缘材料中，NanoSIMS 50L也可以在50纳米SIMS横向分辨率下进行痕量元素（掺杂物）成像和定量分析。除稀有气体以外的所有元素（从氢到钚）均可测量。 NanoSIMS 最初由法国巴黎第十一大学的G. Slodzian教授设计。

NanoFrazor Scholar适合科研领域的中小型实验净房与纳米加工的学术研究领域 Thermal Scanning Probe Lithography Toolwith In-situ Imaging and Grayscale Patterning Capabilities适合科研领域的中小型实验净房与纳米加工的学术研究领域原位成像和灰度光刻模块的热探针光刻解决方案NanoFrazor® Scholar特别适合纳米加工研究的学术单位，用于在1D/2D 材料，例如量子点和纳米数组上制作量子器件的纳米结构，其独特的功能使能够应用任何新材料。例如，灰度光子学设备、纳米流道结构或用于细胞生长的仿生基质等进阶应用；通过加热探针对材料进行局部改性，例如化学反应和物理相变。关于我们Stella InternationalStella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来*的综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，这些年来已服务许多的国内知名大学，研究院所与企业前期研发单位。品牌介绍德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM 德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过50几个国家、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的伙伴。

1. 使用CMA通州分析器，同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情况下，都可轻松的进行分析。2. 以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析，AES空间分辨率可达≤8nm3. 在保有所有CMA的优点同时，并加上了获得AVS（美国真空协会）设计奖的高能量分辨率功能，可以AES进行各种纳米级区域的化学态分析4. Windows兼容软件 同轴筒镜分析高灵敏度和高通量分析仪CMA1.同轴筒镜分析仪同轴CMA是PHI公司在其电子光谱仪的中心轴上放置电子枪。CMA能各方面360度收集产生的俄歇电子，因此具有不受样品形貌和倾角影响的优点，下图显示同轴CMA和非同轴谱仪SCA的灵敏度特点。CMA从垂直入射到角度入射均能表现出高灵敏度特点，角度依赖性低，从而采用各种入射角度，分析各种形貌的样品均可得到好的定量结果。 △同轴CMA及非同轴分析器SCA灵敏度的比较 2.比较分析形态复杂的样本下图比较CMA和SCA所采集的铜锡球SEM成像，以及俄歇成分像，SCA中俄歇成分图的阴影效果非常明显，而CMA所获得的SEM像和俄歇成分像可准确地反映真实结果。 △球状样品中CMA和SCA数据的比较SEM空间分辨率≤3nmAES成分像空间分辨率≤8nm 俄歇分析通过SEM观察确定分析位置，再进行采谱，成分分布成像和深度剖析。在SEM观察时需要细小的聚焦电子束斑，同时进行俄歇分析，需要非常稳定的电子束。SEM成像分辨率可达3纳米左右，AES710使用低噪声电源（图1），采用隔音罩以减小震动、声音和温度的影响，AES分析时分辨率可达到8nm（20kV 1nA）图2案例：球墨铸铁断面中晶间杂质的分析。图2所示：二次电子像，Ca（蓝色）Mg（绿色）Ti（红色）俄歇成分像，以及S的俄歇成分分布像，表明了AES纳米级微区的化学分析能力。 AES化学态分析图谱和分布像PHI710 AES成分像，每个像素点对应的图谱可对元素存在的化学态进行解析，进而化学态成像。高能量分辨率下图显示半导体芯片电极Si KLL的高能量分辨率成分分布图。由Si KLL谱进行 小二乘法拟合（LLS）得出三个主要成分：硅、氮氧化硅、金属硅化物，可得到这三种硅的化学态在同一表面的分布像。 △半导体芯片电极分析实例 基于Windows系统的操作软件和数据处理软件SmartSoftTM-AES（操作软件）SmartSoft AES是在Windows系统上运行的PHI710控制软件。软件设置的AES分析操作流程显示在屏幕上，即便是初学者也可以轻松掌握。为提高分析效率，实时测量位置，SEM图、俄歇分布图及谱图等都能同事呈现。Zalar旋转功能使深度剖析灵活实现，烘烤和真空控制自动化。下图是操作屏幕画面。 PHI MultiPakTM（数据分析软件）提供分析软件PHI MultiPak使俄歇分析更完善。支持快速创建报告，并提供了基于WINDOWS系统的易于使用的数据处理功能和数据分析能力。

NanoFrazor Explore具有激光直写和灰度光刻功能的热探针光刻解决方案 Hermal Scanning Probe Lithography Tool With a Hybrid Direct Laser Sublimation and Grayscale Patterning Capability具有激光直写和灰度光刻功能的热探针光刻解决方案NanoFrazor® Explore是最经济实惠热探针光刻工具，用于1D/2D材料，例如量子点、量子器件的纳米结构，其独特的功能使能够应用任何新材料。例如，灰度光子学设备、纳米流道结构或用于细胞生长的仿生基质等进阶应用；通过加热探针对材料进行局部改性，例如化学反应和物理相变。 关于我们Stella InternationalStella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来*的综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，这些年来已服务许多的国内知名大学，研究院所与企业前期研发单位。品牌介绍德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过50几个国家、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的伙伴。

一、仪器介绍MT-PM100电极探针精密抛光仪是一款满足石英及玻璃材质探针以及超微电极抛光需求的精密抛光仪，配备高精密电动直线滑台控制探针（或超微电极）的上下移动，通过可调速微型电机驱动磨盘均匀且稳定地旋转，实现探针（或超微电极）针尖的精密抛光。还配备了电子显微镜和高清显示器，实时监控抛光过程，确保针尖抛光的精确性。另外，配置了高灵敏度阻抗检测单元，可以用来原位监测玻璃封装（尖端绝缘）的金属纳米电极的导电暴漏。二、主要参数抛光范围空心石英管/玻璃管、玻璃封装金属电极、碳纳米电极等磨盘面型λ/4@633 nm磨盘转速0-300 r/min可调 阻抗检测响应时间1 ms制备直径范围实心电极（≥20 nm）；空心管（≥1 um）步进速度0.001~30 um/s可调显微镜HDMI接口，含位置测量软件，可观测10 um的物体三、仪器构成及使用方法电极探针精密抛光仪整体构成如上图所示，主要由以下部分构成：电子显示屏（1）；电源开关（2）；磨盘正反向旋转按钮（3）；磨盘转速显示器（4）；磨盘转速调节器（5）；磨盘停止旋转按钮（6）；触屏显示器（7）；皮带（8）；光源（9）；步进电机（10）；电动直线滑台（11）；探针固定器（12）；抛光磨盘（13）；滤纸（14）；滤纸固定器（15）；电极夹（16）；电子显微镜（17）。电极探针精密抛光仪的触屏显示器页面如上图所示，包括手动模式和阻抗模式两种模式。“手动模式”使用系统配备的测量工具，手动测量探针需抛光的长度，设定步进距离控制探针的抛光，主要用于空心石英管/玻璃管的抛光。“阻抗模式”使用系统检测并响应阻抗的变化以控制超微电极的抛光，主要用于玻璃封装的金属电极、碳纳米电极的抛光。“Z轴回原”使探针/超微电极回到系统设定的初始高度。手动模式的使用方法：打开仪器和灯源开关，通过按钮使磨盘开始正向旋转，将配套的滤纸用去离子水润湿（通过虹吸作用在磨盘上形成一层水膜，并阻拦抛光过程中产生的碎屑），再通过按钮使磨盘停止转动以便于后续观察。将探针尾部插入通有氩气的通气管，固定在探针固定器凹槽内，设置步进距离，通过高精密电动直线滑台控制探针向下移动，直到在显微镜下观察到探针针尖及其在磨盘上的影像。使用显微镜工具页面中的“测量工具”测量并计算步进距离，下移探针至探针尖端与磨盘接触。启动磨盘转动，根据需求调节磨盘转速、探针移动速度以及步进距离，开始抛光。待剩余距离和时间归零，探针停止下移，抛光结束。阻抗模式的使用方法：打开仪器和灯源开关，将待抛光的超微电极和镍丝固定并连接电极夹，设置步进距离，步进电机向下移动，直到在显微镜下可以观察到超微电极尖端及其在磨盘上的影像。当超微电极尖端与其影像的距离接近5 um时，滴加KCl电解质溶液以覆盖超微电极和镍丝尖端。根据需求调节磨盘转速、超微电极移动速度以及步进距离，开始抛光。当仪器检测到超微电极阻抗时，会立即停止抛光并自动回原。

纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000产品简介 TNI LF-2000是目前市面上基于SEM电镜下使用的自动化程度最 高的纳米操作系统，也是一种能够在SEM电镜下提供可重复 定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。 产品特性 完全兼容主流电镜，不影响电镜功能 市面上较佳的运动定位性能：大行程、亚纳米分辨率 位移传感器集成自动化和可编程运动 SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸规格参数应用案例电学特性LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量，以及与纳米结构的原位相互连接。图片展示的是四探针测量纳米线电学性能。力学测量LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈，图片展示的是用球端AFM悬臂探针对单根纳米线的拉伸测试。拾取和放置操作使用末端工具（例如：探针、微纳米夹持器、超声切割针），操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。制作微纳米器件精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。图片展示的是纳米线FET传感器的构造。

纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000产品简介TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统，也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。产品特性 兼容主流电镜，不影响电镜功能 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能 位移传感器集成自动化和可编程运动 SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸规格参数系统概况系统尺寸127x127x33mm3*机械手数量1-4操作手（宏动）驱动原理粘滑驱动运动范围XY轴：10mm Z轴：5mm速度3mm/s最小步长100nm操作手（微动）驱动原理无摩擦柔性铰链运动范围XYZ轴：20μm速度45μm/s开环运动分辨率0.5nm闭环运动分辨率1nm定位漂移率0.35nm/min软件功能**点击-移动鼠标在电脑屏幕上从A移动到B自适应放大倍数定位器移动速度根据SEM放大自动调整操作手位置保存/加载用户自定义的“保存/加载”操作手坐标3D虚拟显示实时三维显示操作手的位置和运动自动校准操作手闭环传感器自动校准运动轴的自动对准所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴*系统尺寸可根据需要减小到50x50x17mm3**可根据选定SEM/FIB的型号而定应用案例电学特性LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量，以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。力学测量LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈，实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕，以及对单根纳米线的拉伸测试。拾取和放置操作使用末端工具（例如：探针、微纳米夹持器、超声切割针），操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。制作微纳米器件精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。纳米电子器件电学测量LifeForce纳米操作机是市面上能够自动探测电子结构（范围从亚微米，亚100nm及亚20nm）。只需要通过计算机点击鼠标，将探针定位到目标位置。极低得定位漂移，保证数据采集得可靠性。 主要软件功能①　位置反馈：提供每个操作手XYZ精确得位置反馈，1纳米运动定位分辨率。②　保存/加载坐标：保存和加载多个操作手得坐标。③　自动校准：限度地提高定位性能，并将操作手运动轴对准扫描电子显微镜图像轴。④　3D虚拟显示：实时3D虚拟空间显示操作手（粉红色方块）和样品（绿色平面）得位置。⑤　点击-移动：通过在屏幕上鼠标点击控制操作手运动。⑥　多操作手联动：连接多个操作手得运动，具有纳米级精度。⑦　图片-视频录制：保存操作过程中的高清图片和视频。

一、仪器介绍MT-CNE200碳纳米电极制备仪是一款满足多种碳基电极制备需求的电极制备仪，制备电极的直径范围在20 nm~20 um，电极类型包括碳纳米电极、碳纳米锥电极，以及衍生的金属纳米电极、碳微米电极、碳膜电极等，用于纳微过程原位检测的微纳探针/电极。制备过程便捷且成本较低，制备的碳纳米电极尖端形貌规则、导电能力稳定，且能够长期保存。正在更新中...

一、仪器介绍MT-CNE100碳纳米电极制备仪是一款满足多种碳基电极制备需求的电极制备仪，制备电极的直径范围在20 nm~20 um，电极类型包括碳纳米电极、碳纳米锥电极，以及衍生的金属纳米电极、碳微米电极、碳膜电极等，用于纳微过程原位检测的微纳探针/电极。制备过程便捷且成本较低，制备的碳纳米电极尖端形貌规则、导电能力稳定，且能够长期保存。二、主要参数制备模式竖式、横式RG比低至1.1电极尺寸直径≥20 nm电极类型碳纳米电极、碳纳米锥电极、衍生的金属纳米电极、碳微米电极、碳膜电极等三、仪器构成及使用方法碳纳米电极制备仪整体构成如上图所示，主要由以下部分构成：氩气保护气（1），保护气管固定机构（2），转子流量计（3），XYZ三维手动位移台（4），球阀（5），火焰枪（6），分压阀（7），液化石油气储气罐（8），石英保护气管（9），石英毛细管（10），探针夹持器（11）。碳纳米电极制备仪的具体使用方法：以500 nm碳纳米电极的制备为例。通过超高温拉制仪，将石英毛细管拉伸成尖端直径约500 nm的石英纳米管，石英纳米管与目标制备电极直径尺寸需保持一致。开启液化石油气并调节压强，打开氩气并调节其流量为100 mL/min。在石英纳米管尾部缠封口膜，将尾部插入通有液化石油气的管内，排空石英纳米管中的空气并使其充满液化石油气，将石英纳米管固定在凹槽内，上移石英纳米管使其尖端深入通有氩气的石英保护管内。面向安全空旷的位置打开丁烷火焰枪，待火焰稳定后移动火焰使其对准石英纳米管的尖端，使用火焰枪中外层加热8 s得到500 nm的碳纳米电极。关闭丁烷火焰枪，待制得的碳纳米电极在石英保护管中自然冷却后移出并取下。

布鲁克（BRUKER）探针不为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针

艾博纳手动探针台是一种精密的电子测量设备， 专为高精度测试需求而设计。包括一个6英寸或8英寸的台体，配备了真空吸附功能，可以360°旋转。显微镜部分包括体式和金相显微镜，支持高稳定的 显微观察，配备了1270万像素的高品质艾博纳手动探针台是一种精密的电子测量设备，专为高精度测试需求而设计。包括一个6英寸或8英寸的台体，配备了真空吸附功能，可以360°旋转。 显微镜部分包括体式和金相显微镜,支持高稳定的 显微观察，配备了1270万像素的高品质尼康CCD。艾博纳手动探针台的构造精巧，具有1微米的探 针座调节精度，配备射频线和多种接头类型，满足不同测试需求。适配多种类型的探针，如美国GGB 探针、韩国进口探针及国产探针，确保广泛的应用范围。探针台还配备了高性能的真空泵和27英寸的2K全高清专业显示器，为用户提供了便捷的操作体 验和高质量的显示效果。

美国 Bioforce公司Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统是一种全新的，适应性广泛的超微和纳米级别的液体输送技术。它可以将内含生物分子和其他材料的液体打印到1‐20微米特征尺寸的表面上的指定位置，也可用于超微纳米流体的输送打印。样本体积覆盖范围广，自阿升至毫微微升(10‐18到10‐15ul)的样本量均可完美打印。这项技术的超缩微性更大程度上降低了对样品量的需求。例如, NanoArrayer 纳米阵列可以创建一个诊断生物芯片，使用几个细胞或不到一滴血即可完成至关重要的生物医学分析。Nano eNabler™ 纳米分子点样仪的广泛适用性和广泛的材料兼容性创造了许多新的令人振奋的机会。下表是几种可打印材料及其应用的代表性案例。美国 Bioforce公司Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统具备捕获鼠成纤维细胞粘附到一种蛋白质细胞外基质蛋白质的能力，左下图：由约翰霍普金斯大学医学院Jan Hoh博士拍摄； 中图：Sindex™ 芯片为Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统提供了理想的打印表面。右图：使用 SPT™ (表面图谱打印工具)是纳米分子微矩阵点样系统的“墨盒”，内有样本存放池。 应用领域Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统的特征非常适合那些利用小的空间，当前分析设计要求减少样本量等新的应用领域。常规应用领域包括：v 构建化学和生物传感器,包括 MEMS/NEMS设备；v 用分子在表面形成图案以研究细胞的生长；v 用≤1μl样本进行敏感分析(LCM,单细胞分析)；v 在有限空间打印矩阵，如在微流通道内部进行打印。 可作为打印材料的介质 典型应用抗体和其它蛋白质生物传感器、生物医学设备、分子筛查、细胞生物学、纳米生物学核酸基因芯片,基因组学,生物传感器病毒生物传感器、诊断、纳米器件粘合剂MEMS, 纳米器件胶体粒子电子、纳米器件、材料研发量子点光学仪器、诊断、材料研发蚀刻剂,溶剂,催化剂MEMS, 电子、精密加工 “能限制 Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统的应用的，只有人的想象力！ —Jan Hoh, Ph.D.约翰霍普金斯大学医学院特性和优势Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统独有特征包括:v 打印较小斑点的能力，斑点大小(1到 20微米)。v 在一个50×50毫米活动区域内打印的能力，分辨率20纳米。v 多路转换打印功能。v 直接打印生物分子至纳米粒子材料的能力。v 兼容的打印表面种类广泛。来自用户反馈的，受欢迎的重要优势，包括：Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统可以在几乎所有表面打印或大或小的复杂图谱，因此使他们可以探索更全面的生物学问题。用户可以进行假设驱动性研究,而不受工具的限制。v Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统的悬臂梁系统采用开放式通道架构,减少了喷墨打印经常遇到的堵塞问题。v Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统将灵活性、功能尺寸、精度、分辨率、打印速度完美结合，其打印能力远非其它打印技术所能比，使用户可以实现一件设备多种应用。v Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统相对于微触点打印技术更为灵活，更优越的多路复用打印模式，意味着用户可以花更少的时间等待新的光掩模和PDMS模具，从而将更多的精力用在实验上。v Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统视频显微扫描技术使设备功能化光学校准变得更加容易，促进更佳的斑点测量。性能对比&差异Nano eNabler™ 纳米分子微矩阵点样系统Micro-contact Printer(微触打印机)Nanopitettes(纳米锥管打印机)AFM Nanolithography原子力显微镜微米刻蚀技术Ink-jet printing喷墨式打印速度+++‐‐+管路不堵塞+++‐+‐可靠性++‐‐++多路复用++‐‐‐+1‐20μm特征+++++‐生物兼容性++++‐+ 技术规格Nano eNabler纳米分子微矩阵点样系统主要规格v 由点和线组成的模式分子，直径1-60微米。v 兼容小分子、生物分子、纳米颗粒和许多反应液。v 同时打印单一化合物或多化合物图案。v 通过FEMTO(射流增强分子转移操作)实现快速沉积(100毫秒/点)。v 宽大高清的工作区(50毫米×50毫米，20纳米分辨率)。v 基于激光的力反馈技术，更大程度减少表面接触力。v 软件界面直观明了。Nano eNabler纳米分子微矩阵点样系统标准规格：v 基于激光的力反馈系统v XY轴镜台运动范围：50x50毫米；v XY轴镜台译码器分辨率：20纳米；v Z轴镜台范围：45毫米；v 湿度控制范围：25-80%相对湿度；v 电动光学显微镜：(100-700倍)，具备通过高清USB相机进行视频采集功能；v 通过高分辨率的 USB 相机捕捉。Nano eNabler纳米分子微矩阵点样系统软件界面集成英特尔酷睿i7处理器，8GB RAM；集成DVD ROM (8x)/CD-RW(24x)；4个USB端口；802.11g无线适配器；Windows 8.1 操作系统；24英寸高清液晶显示器；电源要求，AC240V/50 Hz,2.0A；控制器尺寸：77x65x65cm(长x宽x高)；控制器重量：14kg lbs(31磅)。 Nano eNabler纳米分子微矩阵点样系统标准配置主机、控制器单元、环境控制系统、电动光学系统、带视频采集液晶显示器、操作软件、用户手册、Nano eNabler纳米分子微矩阵点样系统标配一个起始工具包，包括：1）表面图谱打印探针(15个):SPT-S-C10S(5)、SPT-S-C30S(5)、SPT-S-C30R(5)；2）蛋白质斑点缓冲液套装,5支试剂x0.1毫升；3）可重复使用的Gel-Pak 打印探针固定器座垫；4）可重复使用的Gel-Pak样台垫。

迈锐MPS系列磁探针站是目前市场上唯一能够提供任意二维或三维外加磁场方向的探针站，是自旋电子器件表征和自旋电子研究的终极解决方案。MPS系列磁探头站是市场上唯一提供晶圆级矢量磁场探测的探头站，使这些系统非常适合在生产环境中测试自旋电子和磁电子设备。完全可定制的、开源的、基于labview的控制软件，可轻松集成最常见的测试和测量设备。可提供高分辨率微定位器，配有40,80,100和200TPI螺钉，可用于微米级探针定位。收集和/或分析的数据具有广泛的输出格式和可用选项。系统提供三维霍尔探头，通过闭环控制提供无与伦比的稳定性和应用磁场的准确性。MPS-C-300和MPS-C-350磁探头系统是世界上第一个能够在被测设备周围提供三维磁场控制的探头站。MicroXact真正独特的正在申请专利的设计使自旋电子器件，纳米级电子器件以及许多其他需要磁场进行精确测试和测量的材料和器件的晶圆级测试成为可能。自旋电流和自旋转矩振荡器测试，磁模拟和复杂多层结构的各向异性识别只是我们的MPS系统应用的几个例子。磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义。 Wafer size：10mm，可升到200mm 磁场：方向任意三维大6kOe (0.6T) 定向精度+/- 1.0 在10mm直径范围内的均匀性+/- 2% 稳定性优于0.1% 频率范围：DC to ~ 67GHz 分辨率：200mG CHUNK: Isolated, grounded or coaxial. 运动范围:100mm x 100mm 集成MPS系列软件，可在完全可控的三维磁场中快速、简便地捕获图像/视频。

先进的Performech II控制模块和电子设计1.最高性能的高速闭环控制2.业界超过的噪音控制3.集成的带输入/输出信号的多参数控制4.五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合1.充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合2.多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件1.TriboScan(TM) 10提供的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试2.Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质1.多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口2.万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品应用实例

室温自动探针台是卓聚科技专为较低预算客户研发的高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点，该平台配备高精度位移台，可实现X、Y、Z、R等方向自动调整，各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位，对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用，稳定性强，可升级扩展，操作方便是本产品的核心价值，在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。 室温自动探针台产品特征1.标配4个探针臂，可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；2. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦3. 样品座采用电机驱动，可实现快速于目镜下寻找样品，调节范围：80mm*80mm*10mm。 室温自动探针台产品参数型号TZ-H-06外形444*607*646重量40kgX-Y轴行程定位精度±0.01mmZ轴行程定位精度±0.01mmR轴行程定位精度±0.05?测试直径6/8/12寸X-Y轴行程110mmZ轴行程15mmR轴行程360?X-Y轴额定速度100mm/sZ轴额定速度10mm/sR额定速度20?/s探针臂调节行程X-50mm，Y-50mm，Z-30mm探针臂调节精度10um探针臂每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆显微镜倍率4X~9X（使用1X附加物镜时）地脚底部塑胶减震地脚探针频率26GHz—100GHz（可选）以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的室温自动探针台的介绍，了解更多直接咨询： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台

产品描述PSWH30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有30x30x33mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。PSWH30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。产品特性—高速1ms响应，多轴定位—最短的响应时间—亚纳米范围内的高分辨率—高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XYZ版本应用领域—原子力显微镜、扫描探针显微镜—测量、计量—光学探针、光学扫描、光束对准—微流体技术 结构原理 叠堆形式 典型应用PSWH30-005U系列技术参数

产品描述PS2H30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供的多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有30x30x30mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。PS2H30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。产品特性—高速1ms响应，多轴定位—最短的响应时间—亚纳米范围内的高分辨率—高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XYZ版本应用领域—原子力显微镜、扫描探针显微镜—测量、计量—光学探针、光学扫描、光束对准—微流体技术 结构原理 位移特性 典型应用PS2H30-005U系列技术参数

纳米力学和纳米摩擦学测试的一大飞跃Bruker’s Hysitron TI 980 TriboIndenter海思创TI 980 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克zui先进的纳米力学测试设备，同时具有zui高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。TI 980纳米压痕仪是布鲁克著ming的海思创纳米压痕设备的新一代产品。它建立在几十年的技术创新上，提供了纳米力学和纳米摩擦学表征领域全新水平的非凡性能、能力和功能。 让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。 简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。 不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有zui好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。 纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有zui好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。 Hysitron TI Premier实现定量纳米力学研究布鲁克的海思创TI Premier系列被专门设计为在紧凑平台上实现领xian的定量纳米力学表征。基于已被广泛认可的先进技术，海思创TI Premier提供了纳米力学和纳米摩擦学测试的核心工具。除了使用不同配置的海思创TI Premier实现不同领域的研究测试外，TI Premier还提供了大量升级选项，用于满足将来的多种潜在测试需求。Contact Us Download Brochure 海思创TI Premier可满足不同研发需要。常用的配置选项包括： 准静态纳米压痕 多功能设计，针对薄膜和涂层力学性能表征优化 动态纳米压痕 适用于从超软到超硬的各种材料的准静态和动态力学系能表征 高温纳米压痕 研究不同温度下（高达800℃）材料的力学性能和时间依赖形变行为 多尺度压痕 实现从纳米到微米尺度的压痕测试

低温探针台CPS-xxx-CF系列是一款成本低、稳定、可靠和方便的低温半导体测试甚至低温晶圆级别测试器件的低温探针台系统。内置振动隔离，智能热管理和工程热膨胀补偿使低温探针台系统非常适合于宽范围从纳米电子学应用（石墨烯的研究，分子电子学，量子计算等）以空间为基础的电子测试。规格：试样尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可选无冷闭式循环制冷机（S）：包括冷头、压缩机、制冷机和所需的氦气软管。 温度范围：标准10K～400K，4.2K到480k可供选择 温度精度：0.1k或更好 热探针臂和辐射屏蔽 卡盘和探针臂的温度监测辐射屏蔽和cryohead温度监测是可选的。 真空压力 窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。 相机：数码相机从1像素到10像素。图像和视频采集软件以及尺寸测量能力

纳米力学测试仪 iNano灵活易用的力学测试可广泛用于各种材料和应用iNano专为压痕、硬度、划痕测试和多元化纳米级测试等纳米级力学测试设计。iNano能够测试包括软质高聚物到硬质涂层和薄膜等在内的各种材料。模块化系统选项可以完成各种不同应用：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、集成探针成像、高温测试和自定义方法编程等。除了能够推进高校科研之外，iNano还可以为以下材料和行业进行纳米压痕测试和抗蠕变性测量：生产质量控制金属和合金医药器械涂料和油漆半导体高聚物与塑料MEMS/纳米级器件电池和储能材料陶瓷与玻璃主要功能高度模块化设计, 既具有最为宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置标准的InForce 50电磁驱动器集成高速控制器电子设备完成告诉数据采集高达100kHz，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象。仪器使用工业界最短的时间常数20μs，精准捕捉材料瞬间的真实响应集成了噪音隔离功能的高刚度框架，可确保对各种材料进行准确测量数码变焦的高分辨光学显微镜，精确定位样本纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，以及移动应用程序能够提供测试方法的实时更新功能与选项概览KLA 核心技术iNano 采用电磁驱动转换器提供动力，电磁驱动加载模块技术因其众多的优势被广泛的应用在KLA的压痕设备中,轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制,提供纳米级的力学测试功能, 实现高精度观察与定位测试样本,以及样品高度的简易调节。在其标准配置中，iNano采用了InForce 50驱动器，并提供模块化控制器以便用户按需要增加功能。iNano设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。该系统兼容ISO14577国际标准。iNano 采用高阶的InView&trade 测试控制和数据采集软件,包含用于简化测试设置的带屏幕控制的InviewRunTest，可在测试期间或之后进行数据分析的 InView ReviewData，和生成各种综合性测试报告的 InFocus 软件。连续刚度测量（CSM）压入循环期间测量刚度和其他材料特性KLA的连续刚度测量技术能够轻松评估材料在应变速率或蠕变效应影响下的动态力学性能。CSM技术在压入过程中保持探针以纳米级的振幅持续振动，从而获得硬度、模量等力学性能随深度、载荷、时间或频率的变化而变化的特性。该选项提供学术界与工业界最常用的恒应变速率测试方法，用以测量随深度或载荷变化的硬度和模量。CSM还可用于其他高级测量选项，其中包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA&trade 方法以及AccuFilm&trade 消除基底效应的薄测量等。连续刚度测量技术在InQuest控制器和InView软件中集成，可以方便使用并保证数据的可靠性。 使用 CSM 选项测量随压入深度而变化的弹性模量AccuFilm&trade 薄膜方法通过校正衬底对测量的影响对超薄膜进行表征基于连续刚度测量技术(CSM)并结合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm&trade 薄膜测试选件可测量附着于衬底的膜层材料，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA科学家发明的的新一代超薄膜的测试技术，实验设置操作简单，对于软衬底上的硬质膜以及硬衬底上的软质膜，AccuFilm都可以校正衬底在膜测量中所带来的影响。使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影响模量和纯薄膜模量作为归一化压痕深度的函数NanoBlitz 3D 快速力学性能分布快速定量地测量表面力学性能分布测量粗糙表面和/或异质材料通过增加观察次数给出具有统计意义的结果NanoBlitz 3D 采用新一代快速纳米压痕测试技术，实现每个压痕测试时间小于1秒。单次试验最大压痕个数为100000（300X300矩阵），可在用户指定的恒定加载力下，提供材料弹性模量，硬度和接触刚度的三维图谱。快速且大量的测试点极大的提高了统计的准确性，同时可以直接对不同相或不同特性区域进行力学均值、分布和面积占比的统计。NanoBlitz 3D功能为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 3D 选项绘制 WC-CO 复合材料的硬度分布图和统计直方图NanoBlitz4D 力学性能断层扫描基于连续刚度测量(CSM) 技术的力学性能断层扫描NanoBlitz 4D力学谱图利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头为低E/H值和高模量( 3GPa) 材料生成纳米力学性质的4D图。NanoBlitz4D以每个压痕5秒的速度完成多达10,000个压痕（30×30阵列），并为阵列中的每个压痕测量随深度而变化的杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)数值。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 4D 选项针对多层薄膜绘制两个不同压入深度的弹性和塑性分布图ProbeDMA&trade 高聚物测试聚合物测试包中配置了圆底平头探针、粘弹性测试标样和粘弹特性的测试方法，该测试选件基于连续刚度测量技术，可在不同频率条件下对材料进行高效可靠测量，得到储存模量和损耗模量与频率的变化关系。该测量技术对纳米量级的聚合物及聚合物薄膜的力学表征至关重要，优于传统DMA测试设备。使用圆底平头探针测试一系列标准高聚物样品的储能模量划痕和磨损测试方法压头通过样品表面时对其施加恒定或渐增的载荷iNano系统可以对多种材料进行划痕和磨损测试。在涂层和薄膜经过化学机械抛光(CMP) 和引线键合等的多种工艺处理的时候，其强度及其对基材的附着力会备受考验。在加工工艺中，材料是否能抵抗塑性变形并保持完整而不从衬底上起泡非常重要。理想情况下，介电材料具有高硬度和高弹性模量，因为这些参数有助于了解材料在制造工艺中的性能变化。划痕测试的定量分析300°C 样品加热允许将样品放入一个腔室中，以便在测试期间对其均匀加热300°C 的样品加热选项允许将样品放置在一个腔室内进行均匀加热，同时接受测试。iNano 样品加热选项用于表征高温下的机械性能。国际标准化的纳米压痕测试iNano包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。按照 ISO14577 标准在一系列标准样品上所测得的硬度值iNano 的其他升级选项远程视频观看 : 远程视频选项包括已安装的网络摄像头，便于在测试之前和期间查看样品。两个观察角度分布为样品设置视图和原位测试视图，可分别观察样品和纳米压头。DataBurst 模式 : DataBurst 模式在高达 100kHz 的速度下触发超级数据采集，捕获材料瞬间响应，例如锯齿流变和断裂现象；允许在真正的步进荷载下测量高应变率材料的力学性能；仪器使用工业界最短的时间常数，帮助客户精准捕捉材料瞬间的真实响应。InView 开放式软件编写平台 : InView 采用开放式软件编写平台，以帮助客户在测试过程中实现加载，测量和计算的全方位控制。用于设计新颖或复杂的实验。开放式软件编写平台给予客户极大的灵活性：帮助客户轻易采集原始测试数据到和最终分析结果的全面使用；客户可以完全浏览，编辑计算公式，自定义参数，实现个性化试验设计；用户可以自由设计和改变试验参数和试验过程，为探索新的试验测试提供可能。TrueTestI-V 电学测试 : True Test I-V 选项允许用户向样品施加特定电压并测量压头的电流，以表征纳米力学测量过程中电学特性的局部变化。带有模块化机架的主动振动隔离:在 iNano 的内置被动隔振的基础上增加主动隔振，为超薄薄膜上高难度的纳米力学测量提供了强大的稳定性和精确度。主动隔振系统减少了所有六个自由度的振动，无需进行调整。生物软材料测试选项台 : 生物材料测试方法利用核心技术连续刚度测试 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物软材料 包含一个平底压头和测量软材料储存损耗模量的测试方法。压头探针和校准样品 : InForce 50、InForce 1000 和 Gemini 驱动器的可互换压头包括 Berkovich、立体角、维氏，以及平底和球体压头。