产品特性: ◆无可移动部件 ◆支持多种通讯协议 ◆容易安装及维护 ◆高精度、高稳定性、非常低的零漂 ◆可测多种气体 ◆一体液晶显示和按键操作 ◆内置温度和压力传感器 ◆同时显示气体瞬时流量和累积流量技术参数: ——分析仪器——干刻(RIE/DRIE) 流量规格:0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM0~1、2、5、10、20、30、50SLPM ——生物技术——气相色谱分析 ——激光焊机 ——过程自动化 准确度:±0.5%F.S. ——真空镀膜——燃料电池 重复精度:±0.2%F.S. 产品尺寸: 流量测量范围:2%~100%F.S. 使用温度:-20~65℃ 使用湿度: 0~98%(⽆ 凝露) Max耐压:3MPa 响应时间: 1s 供电电压:15~40VDC 功率: 5W 通讯方式:RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA 气路部件材质:SUS304、SUS316L 密封件材质:氟橡胶 气路接头:快拧、快插、卡套、VCR外接显示器尺寸: 电气连接:DB9 产品造型:气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM),MFC是带有控制气体质量流量的装置,而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置,无锡爱拓利电子科技有限公司作为气体质量流量控制器厂家,生产和出口流量控制器,热式流量计,气体流量计,质量流量计,质量气体流量计,氧气流量计,气体涡轮流量计,罗茨流量计,旋进旋涡流量计等产品,欢迎新老客户来电咨询!
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