Pelcotec SEM线宽标样 CDMS 标准特征尺寸放大标样
Pelcotec&trade CDMS 校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样,可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。这些标样采用最新的半导体和微机电系统(MEMS)制造技术制成,可以覆盖广泛的测量范围。Pelcotec&trade CDMS 校准标样有两种特征尺寸范围,分别是 Pelcotec&trade CDMS-1T 和 Pelcotec&trade CDMS-0.1T ,都提供可追溯和认证标样,共有4个种:Pelcotec&trade CDMS-1T : 可追溯,特征尺寸范围为2.0毫米到1微米,放大倍数范围为10倍到20,000倍,非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。产品编号描述单位682-1Pelcotec&trade CDMS-1T ,2mm - 1µ m,可追溯,没有样品台个Pelcotec&trade CDMS-1C : 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到1微米,放大倍数范围为10倍到20,000倍,非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。产品编号描述单位686-1Pelcotec&trade CDMS-1C ,2mm - 1µ m,经过认证,没有样品台个 Pelcotec&trade CDMS-0.1T : 可追溯,特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米,放大倍数范围高达10倍到200,000倍,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。产品编号描述单位683-01Pelcotec&trade CDMS-0.1T ,2mm - 100nm,可追溯,没有样品台个 Pelcotec&trade CDMS-0.1C : 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米,放大倍数范围高达10倍到200,000倍,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。产品编号描述单位687-01Pelcotec&trade CDMS-0.1T ,2mm - 100nm,经认证,没有样品台个 Pelcotec&trade CDMS 标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µ m、5µ m、2µ m和1µ m(适用于 Pelcotec&trade CDMS-1T ISO 和 Pelcotec&trade CDMS-1C )。而Pelcotec&trade CDMS-0.1T 和 0.1C 的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µ m、5µ m、2µ m、1µ m、500nm、250nm和100nm。 Pelcotec&trade CDMS 标样采用超平整的硅衬底制成,采用精密的50nm铬沉积技术制造特征尺寸小于5µ m的部分,而采用50nm金/20nm铬的组合制造2µ m到100nm的特征尺寸。铬和金/铬在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式对比度,比刻蚀硅标样更易于确定特征。由于硅衬底、铬和铬/金特征都具有导电性,因此该校准标样不存在充电问题。由于其坚固的结构,CDMS标样可使用等离子体清洗器进行清洁。较小的特征尺寸被嵌套在一起,以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm,厚度为525µ m ±10µ m,在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec&trade CDMS 校准标样都有一个独特的识别编号。Pelcotec&trade CDMS 校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用,Pelcotec&trade CDMS 安装在12mm的AFM圆片上,而对于LM应用,则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。可选的样品座。Pelcotec&trade CDMS-1Pelcotec&trade CDMS-0.1基底:硅&check &check 基底尺寸:2.5×2.5mm&check &check 基底厚度:525±10μm&check &check 唯一序列识别号&check &check 2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块&check &check 垂直于 X 轴的刻度线,间距为 10μm、5μm、2μm 和 1μm&check &check 仅高分辨率版本 - 垂直于 X 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出—&check 特征材料:50nm Cr (2mm - 5µ m)&check &check 特征材料:20nm Cr/50nm Au(2μm 和 1μm)&check &check 特征材料:20nm Cr/50nm Au(500、250 和 100nm)—&check 可在晶圆级追溯到 NISTT 版本T 版本CDMS 标样直接获得NIST 标准认证C版本C版本不含样品台&check &check 可安装在 SEM样品台上&check &check 精度优于0.3%&check &check