主要特点超高真空兼容优异的温度和束流稳定性独立式的水冷结构,源与水冷可单独拆卸多样的灯丝设计,可满足不同升温需求大坩埚容积可达155cc产品应用 MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域技术参数 安装法兰DN40CF (O.D.2.75'') DN63CF (O.D. 4.5'')DN100CF (O.D. 6.0'')腔内长度180~500mm可选腔内直径36.5mm, 61mm, 96mm工作温度450~1400℃加热方式钽丝加热温度稳定性±0.1℃温度测量K型热偶或C型热偶烘烤温度250℃源数量1坩埚材料石英, 氧化铝, 热解氮化硼, 可定制其他材料坩埚容积DN40CF:5cc,7cc, 10ccDN63CF:25cc,40cc,60ccDN100CF:155cc冷却方式一体式水冷或独立式水冷壁,与源炉分开拆卸挡板DN40CF含内置挡板,可选气动或手动
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