光学探针

详细信息：仪器简介：来自奥林巴斯的3D测量激光显微镜LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜（LSM）以及探针扫描显微镜（SPM）功能一体机，可以满足不同样品的观测需求。LEXT OLS4500可以轻松实现毫米到纳米的观察和测量，放大倍率由几十倍到高达百万倍。找到观测目标后，可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换而不用担心目标消失。可以使用探针显微镜快速而正确的完成观察。 特征及优势： 结合光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜为一体，拥有各自的特长，三种模式可自由转换，无需重新放置样品。探针显微镜拥有多种观察模式（基本模式：接触模式、动态模式、相位模式；选项模式：电流模式、表面电位模式、磁力模式）可以观察、测量样品表面的形状，还可以进行物性分析。涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜，并在电动物镜转换器上装配了SPM单元，可以无缝切换倍率和观察方法，而且能进行纳米级观测。采用装在电动物镜转换器上的物镜型SPM侧头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端，所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。被精确调整过的电动物镜转换器、SPM侧头、微悬臂支架，只需把已调好的微悬臂位置的支架插入SPM侧头中，即可完成微悬臂的更换，提高了观察和测量的效率。具有向导功能，操作简单，可迅速获得测量结果。应用实例：1、高分子薄膜 2.铝合金阳极氧化膜 3、DVD表面 4、维式硬度计压痕 5、TiO2单结晶电路板 6、IC元件圆孔彩色印刷 a1、光学显微镜 a2、SPM a3、SPM形态分析乳酸菌 b1、LSM b2、SPM b3、SPM截面形状分析墨粉粒子 c1、LSM c2、SPM c3、SPM截面形状分析

Nanonics多探针平台在纳米材料表征和加工应用中的独特性石墨烯的发现开启了新一代材料的进化史.这引领了低维度纳米材料和混合材料的多样发展.这些材料的发现也导致了对研究平台的反思,新的平台必须适应这些下一代基础材料的纳米表征和加工,以及相应的应用和新器件开发. 对于这种平台的一个基本的要求就是具有能将纳米成像和纳米操作以及其他探测台整合的能力.在Nanonics Imaging Ltd公司进行这一开拓之前,这种联用通常需要在线的扫描电镜（SEM）来有效的指导纳米操作探针进行纳米材料的研究。FEI Inc公司提供的SEM集成纳米操作台正是实例。但是，即使有SEM的指导的纳米操作台也会对这种纳米材料造成物理损伤或者引入有害的电荷。用户真正需要的是能够在原子级别来反映样品结构和性能的平台，这涵盖了高灵敏度的电学，热学，光学甚至化学的纳米表征。这正是Nanonics Imaging Ltd. MultiProbeMultiView 4000 (MV 4000)平台的独特之处。 这个多探针平台可以充分的集成所有扫描探针显微镜的功能，包括结构和性能的纳米成像。 同时保证纳米探针的超精细分辨率，又不会引入电子束伤害。并可以有效地使用常规的纳米探针用于纳米操作应用。因此，Nanonics多探针平台将多探针AFM探针同时用于结构和性能应用测试，并将先进的纳米操作台开放的联用起来。这项技术将扫描探针显微镜和探针塔的所有优势结合了起来。 为了提供这样的系统，Nanonics不仅在仪器设计方面取得了突破，而且还开拓了NanoToolKitTM专利探针的设计用于超精细的结构和性能成像。这些探针实现了一个探针能够真正的碰触另外一个探针。 这甚至可以允许一个AFM探针对另外一个AFM探针或者纳米操作探针进行成像。纳米操作探针和AFM探针的区别是不具有反馈和成像功能。 为了开启这一新领域，Nanonics在建立之后的20年中一直致力于研究现有单探针或多探针AFM设备中灵敏的AFM反馈机制。这种方法采用了音叉反馈。这种反馈机制非常的灵敏，甚至允许用户用于研究单个光子的作用力。 除了使用这种特有的成像模式，Nanonics平台也可以使用常规的AFM激光反馈模式和AFM硅悬臂达到出色的AFM扫描效果。这种悬臂探针需要反射的激光用于反馈调节。另外，这些探针无法相互之间接触因此无法进行多探针应用，这是他的固有限度。并且由于这种反馈机制明显很低的力灵敏度，纳米材料和元器件的研究并不想采用。 一个主要的局限是这种基于激光束的反馈会在材料上引入电荷，在基本表征测试中引入背景噪音。这些电荷会掩盖这些材料与众不同的物理现象。因此，能够在没有干扰的情况下测试电学，热学和光学特性是对于理解材料基本物理和器件功能必不可少的要求。除却多探针的优势以外，不束缚于外部激光反馈干扰的测试这些功能特性与传统的AFM技术相比具有更大的优势。 无光学干扰的优势对于多探针AFM集成的功能测试也尤其重要，如此探针才能真正物理意义上的接触彼此。这才能实现在两个探针纳米量级的距离变化情况下进行传导机制的测试。 因此，Nanonics多探针集成SPM平台实现了多种独特的测试功能。这是首个被引入国家科学基金会支持的报告的系统。Nanonics平台还在多个方面继续创新。首先，在这些研究中真空环境搭配加热/制冷的环境控制具有重要意义。Nanonics平台可将环境控制与扫描探针显微镜领域的成像功能结合。在我们的研究中需要将温度升至最高350摄氏度，这通过Nanonics平台是可以实现的。这一需求还需要搭配改进后的常规纳米操作台用于样品的精确操纵，这也可以通过Nanonics的系统来实现。而且，这些系统的设计都保证了完全开放自由的光学轴。这使标准的研究级光学显微镜可以与系统完美集成，用于从高真空系统的上方和下方观察样品。这种光学的灵活性在以往从未被实现。为了实现这一目的，SPM系统的结构和探针的设计都必须保证没有任何光学吸收，这对于器件研究尤为重要。传统AFM系统中都无法实现这样沿着光轴上下观察的设计。Nanonics系统提供的全视野不仅对于上述提到的未来升级非常必要，而且利用研究级高放大倍数的光学显微镜用户可以快速的将探针之间的距离缩短到微米量级。当然，所有的功能都同时保证AFM扫描的极限噪音在0.2nm级别伸直更低。新一代材料研究的中心还在于在线光谱表征。这些材料都具有很多重要的光谱特性，是非常必要的表征手段。除此之外，光致发光和振动光谱的研究也很必要。Nanonics是在1990年度就将振动光谱和扫描探针显微镜联用起来的公司。为了这一联用，Nanonics研发了第一台探针和样品都可以扫描的系统。样品扫描对于振动光谱是必要的，而Nanonics这种联用系统的首篇文章在1999年就发表了。这种联用功能现在可以复制到多探针系统上，实现了基于上述所有扫描探针，探针台，和真空功能的化学表征，用于研究材料在电运载过程中的化学性质改变。自从开发了第一套集成扫描探针和振动光谱联用系统，Nanonics多年来也一直努力创新于近场扫描成像领域，将独特的等离子探针引入振动光谱测试，实现纳米级别的振动光谱联用，如TERs（针尖增强拉曼测试）。 Nanonics在近场光学成像领域的专业性早已获得世界范围内的认可，使用多探针系统的成果也很广泛的用于顶级文章的发表。这些功能考虑到了纳米光学成像的多样性。针对这些新材料，还有一个重要应用就是使用纳米光源在没有背景干扰的情况下激发纳米光电效应。这对于研究这些低维度材料及其合成材料在金属接触的局部效应下的能量级非常必要。最后，多探针表征和纳米加工的特有结合也可以通过这个平台实现。在最近发表的一篇文章中，具有Nanonics NanoToolKitTM专利设计的纳米加工探针用于在纳米级别氧化一个纳米结构，并记录由于氧化引起的化学势变化。市面上其他能提供气体纳米加工的系统都结合了SEM和聚焦离子束技术，如FEI Inc和Hitachi High-Technology Corporation公司提供的双束产品。这种设备的价格都超过了一百万美金，并且不能提供实时在线测试以及其他Nanonics平台提供的很多优势。比如上面Patsha用户发表的文章中强调的扫描探针显象模式中的在线化学势成像是这种双束系统所不能提供的。总而言之，专利获奖的Nanonics探针平台可以允许科研人员有效的完成多种独特的测试表征功能。

POP系列适用于泡液流与雾状流气液两相流测量用单光学探针同时测量气泡空隙率、速率&尺寸液滴浓度、速率&尺寸运用独家创新科技确保在稠密环境、液体中可无外部光学条件进行精密测量专业配套工具辅助测量工作原理POP 系统的操作依靠测量激光束在探头尖的反射。传感器是利用与周围相的折射率间敏感差异，并且检测在给定的位置的相位变化。速度测量是基于沿传感头的液 - 气界面的传播（上升信号的时间）。POP 的工作原理是通过接触测量，并且不需要在探针外部的任何的光传播，因此能够在非常稠密的环境中工作。技术规格? 浓度范围: 0 ≤ ɑ ≤ 100%（空隙率）? 速度范围: 0.1 ≤ U ≤ 25 m/s (可升级)? 通常待测目标尺寸:? 气泡 500 μm? 液滴 15 μm? 通常精度:? 浓度：± 5?%? 速率、尺寸：± 15?% ? 数据处理:? 泡状流：实时? 喷洒：后处理? 与电脑的连接:? USB, PCIe , ExpressCard颗粒浓度、粒径分补、颗粒速度、气泡特征、电导探针、远心相机、示踪剂停留时间、示踪剂浓度分布、示踪颗粒监测颗粒浓度、粒径分补、颗粒速度、气泡特征、电导探针、远心相机、示踪剂停留时间、示踪剂浓度分布、示踪颗粒监测颗粒浓度、粒径分补、颗粒速度、气泡特征、电导探针、远心相机、示踪剂停留时间、示踪剂浓度分布、示踪颗粒监测

NANOMAP D光学探针双模式轮廓仪/三维形貌仪美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造，是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪集白光干涉非接触测量法和大面积SPM扫描探针接触式高精度扫描成像于一个测量平台。是目前功能最全面，技术最先进的表面三维轮廓测量显微镜。既有高精密度和准确度的局部（Local）SPM扫描，又具备大尺度和高测量速度；既可用来获得样品表面垂直分辨率高达0.05nm的三维形态和形貌，又可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。样件无须专门处理，在高速扫描状态下测量轮廓范围可以从1nm 到10mm。由于采用独特的缝合技术，无论怎样的表面形态、粗糙程度以及样品尺寸，一组m× n图像可以被缝合放大任何倍率，在高分辨率下创造一个大的视场，并获得所有的被测参数。该仪器的应用领域覆盖了薄膜/涂层、光学，工业轧钢和铝、纸、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介质和半导体等几乎所有的材料领域。随着微细加工技术的不断进步,微电路、微光学元件、微机械以及其它各种微结构不断出现，对微结构表面形貌测量系统的需求越发迫切, NanoMap-D所具备的双模式组合，结合了白光干涉非接触测量及SPM扫描探针高精度扫描成像于一体，克服了光学测量及扫描探针接触式的局限性，并具有操作方便等优点成功地保证了其在半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域的领先地位。NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪经过广泛严格的检测，确保其作为测量仪器的标准性和权威性，并保证设备的各种功能完好，各个部件发挥出色。用NIST标准可以方便快捷地校验系统的精度，所校准用的标样为获得美国国家标准局( NIST) 的计量单位的认可。NanoMap-D配备的软件提供了二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。用于阶越高度测量的地区差异绘图。NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪主要功能及应用:多种测量功能精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）、体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。薄/厚膜材料薄/厚膜沉积后测量其表面粗糙度和台阶高度,表面结构形貌, 例如太阳能电池产品的银导电胶线蚀刻沟槽深度, 光刻胶/软膜亚微米针尖半径选件和埃级别高度灵敏度结合，可测量沟槽深度形貌。材料表面粗糙度、波纹度和台阶高度特性分析软件可轻易计算40多种的表面参数，包括表面粗糙度和波纹度。计算涵盖二维或三维扫描模式。表面光滑度和曲率可从测量结果中计算曲率或区域曲率薄膜二维应力测量薄膜应力，能帮助优化工艺，防止破裂和黏附问题表面结构和尺寸分析无论是二维面积中的坡度和光滑度，波纹度和粗糙度，还是三维体积中的峰值数分布和承载比，本仪器都提供相应的多功能的计算分析方法。缺陷分析和评价先进的功能性检测表面特征，表面特征可由用户自定义。一旦检测到甚至细微特征，能在扫描的中心被定位和居中，从而优化缺陷评价和分析。其他仪器选择请点击亿诚恒达官方网站：

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

一、产品概述：探针台是一种用于微小电子元件和材料的测试设备，广泛应用于半导体、材料科学和微电子领域。它提供一个稳定的平台，用于精确定位和连接探针，以实现对样品的电气测试和分析。二、设备用途/原理：设备用途探针台主要用于测试集成电路、薄膜材料和微结构等的电气性能。常见应用包括半导体器件的参数测试、材料的电阻率测量和故障分析等。通过高精度的定位和可调节的探针，研究人员能够获取样品的详细电气特性。工作原理探针台的工作原理是通过机械系统将探针精确地定位到样品的特定接触点。设备通常配备高分辨率的光学系统，用于观察样品并调整探针的位置。当探针接触样品时，可以通过外部测试设备（如源测量单元）施加电流或电压，并测量相应的电压或电流反应。通过这种方式，研究人员可以获取样品的电气参数，分析其性能和特性。三、主要技术指标：1. 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节2. 样品尺寸：碎片~12英寸3. 自动化：手动、半自动、全自动4. 测试环境：高低温、磁场、真空5. 探针台类型：分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片测量、定制化等。

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数：结合了精确的探测台、完全集成的控制软件和微调的电动定位系统高度可配置的晶圆探针台系列可处理 2“ ~ 8” 晶圆，并提供全面的卡盘系统和探针机构选择。高精度电气和光学测量（DC/RF/脉冲）。可选的接触机构选项包括：探针卡座 （PCH）、楔形探针卡和 MPI F1 单探针模块。灵活选择精密光收集和耦合光学元件，以满足您的特定测试要求。MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。VEGA 顶部探针 （TP） 系列主要特点端温度测试能力（-40° 至 +200°C）。高性能装载机系统可轻松处理各种设备类型，如薄/翘曲晶圆、普通晶圆、衬底、封装或其他设备。多种光学/检测器选择，可满足您测试 LIV、近场和远场光学特性的确切需求。可选的接触机构选项包括：探针卡座 （PCH）、楔形探针卡和 MPI F1 单探针模块，可实现高精度测量。MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。

1. 产品概述：探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保产品质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台通常由载物台（样品台）、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等部分组成，其核心部件包括x-y工作台，该工作台的结构对探针台的性能和使用体验有重要影响。2.设备用途/原理：晶圆检测：在半导体制造过程中，探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。芯片研发和故障分析：探针台可用于芯片研发过程中的原型验证和性能评估，帮助工程师及时发现和解决潜在问题，优化芯片设计。同时，它也可用于芯片的故障分析，定位问题区域。封装检测：在封装工艺之前，探针台用于对芯片进行CP测试（Chip Probing Test），确保封装前的芯片性能符合标准。其他应用：探针台还广泛应用于光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等领域。3.设备特点 1 高精度定位：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。 2 多功能性：探针台支持多种测试需求，包括电压、电流、电阻、频率、温度等参数的测量，以及小电流量测、电容量测、高压量测、R/F量测、I/O点量测等。 3 高效测试：探针台支持多点测试，能够同时测试芯片上的多个测试点，提高测试效率。此外，一些先进的探针台还具备自动化功能，能够自动完成测试序列，进一步减少人工干预。4.设备参数可移动压板，高度调节 40 mm，接触/分离行程 200 μm，重复精度± 1 μm具有可调摩擦力和阶段锁定的卡盘阶段，独特的Z轴卡盘调整和90毫米的拉出磁性定位器具有 1 μm 特征分辨率和 3 个带精密滚珠轴承的线性轴包括匹配的电缆和基材射频卡盘 ±3 μm 表面平面度独特的 200 μm 压板接触/分离行程，精度≤± 1 μm，可实现可重复接触

公司主要经营产品：霍尔效应测试仪、探针台系列、显微镜系列：三维视频显微镜、超长工作距离视频显微镜、测量显微镜、红外/近红外显微镜、传统光学显微镜(体式、生物、偏光、荧光、金相、相衬、比对等常用教学及教研类显微镜)、光学产品组件、工业科研无损检测设备及光学自动一体化系统集成项目。测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜 。观察窗口可下凹，使物镜离样品更近，方便观察。 加热台材质纯银块，导热更好，不易氧化专业检测设备生产研发经验，实力见证品牌国内家专业研发探针台设备厂家，有强大技术研发实力已与国内2000多所高校和研究院合作，为您提供*价值的技术解决方案*信赖的检测设备服务商涉及光学、电学、电子、材料、生物、医学等各检测领域拥有国内专业的技术研发团队在探针台电学量测方面拥有近十年的经验小型真空探针台KT-Z4019MRL4T小型真空探针台KT-Z4019MRL4T参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 最大值 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

随着新兴太赫兹应用的大量扩展，如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，安全和监视，医疗和保健设备以及短程汽车雷达，对精确，可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重这些THzMPI TS150-THZ 工程探针台系统是一种专用的，经济高效的手动探头系统，专为基板和亚太赫兹150 mm晶圆的精密分析而设计。该系统非常稳定，具有大型探头压板和低调设计。这些基本元件中的每一个都需要支持各种RF和mmW应用，例如高达110 GHz的宽带，高达1.1THz的带状解决方案，负载牵引和RF噪声。单机多应用设计无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器全新设计的扩展器、调谐器集成，可实现非常大的动态测量极大的机械稳定性和重复性，实现方便和安全的操作人体工程学设计方便单手操作的，快速移动气浮式样品台设计坚固且空间充足的工作台，可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading)，实现接触、分离和加载的高性能弹性选配与升级可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器专用光学元件，用于缩短电缆和波导的长度，实现非常大的测量方向性各种夹头选件，印刷电路板和各种附件，如DC / RF /毫米波定位器 直流、射频和THZ微定位器的探针板设计 MPI探针悬停控制TM配有悬停高度（50、100或150μm）， 便于探针与Pad的对准。 世界上数一数二极精确的接触/超大行程控制， 精度为1um,便于测量的重复性和精确性无缝集成任何扩频器，以在200毫米晶片上获得 非常佳测量方向性陶瓷辅助夹头 用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数：由于结合了精确的探测台、完全集成的控制软件和微调的电动定位系统，实现了出色的对准精度。对具有非常小焊盘尺寸和低至微米级间距的 Micro LED 具有高精度探测能力。 - 精密的针力控制 - 精确的热控制 - 适用于不同测试环境的抗振解决方案 - 探头接触补偿集成探针卡或微定位器，用于可靠的 Micro LED 背板测量。 - 能够轻松 测试具有复杂焊盘布局的光学设备 - 灵活的探头序列管理MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。灵活性：由于支持多种测试配方，用户可以根据正在执行的产品和测试灵活选择或修改工作流程或编辑参数。 生产管理：通过直观易用的软件界面管理实验室/生产数据。集成的实时系统监控和报告功能可实现顺畅且完全无人值守的测试过程。 无缝集成：借助 MPI 广泛的仪器库，MPI 测试系统可以轻松与主流第三方测量仪器对接，满足您独特的测试需求。

我们的大范围扫描开尔文探针为用户提供了样品尺寸从5-300mm的完整2D和3D功函数平面图。功函数解析度小于3meV。硬件扫描转换台分辨率低于317.5 nm,扫描开尔文探针提供可靠的、可重复的测量。高性能法拉第和光学外壳保护我们所有的扫描系统以避免快速变化的环境条件,电磁干扰等,以至于为我们的光电效应和表面光电压附加模块提供一个完美的平台。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点 探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数： 出色的测试精度：短 DUT 和 ISP 分离，实现佳光收集，骰子偏移补偿 通过热卡盘支持实现准确稳定的温度控制。 可编程拾取和放置力在5g~200g之间。 全屏蔽暗盒设计消除了不必要的照明干扰。 具有高引脚数探测能力（4 ~ 256 通道）的多站点测试，可实现高吞吐量。 电学/光学特性的综合统计和分析工具：色度 （xyz）、强度、辐照度。

超高真空低温四探针扫描探针显微镜美国RHK Technology 成立于1981 年。作为SPM 工业中的领军仪器制造商，RHK-Technology 始终保持着鲜明的特色：创新性、可靠性、产品设计的开放性与的客户支持。凭借着其优异的系统设计、精良的制造工艺、再加上与著名科学家的紧密合作，二十多年来RHK Technology 源源不断地向全科学家们输送着先进的、高精度的科学分析仪器。变温QuadraProbe UHV 4-探针SPM系统是RHK公司生产的多探针UHV SPM系统中的一种，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以大地满足客户全面的研究应用需要。基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（SPM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。技术参数：- 样品温度：10K（LHe）； 80K（LN2）- 扫描范围：1.5μm（300K）；500nm （10K）- X，Y，Z粗进针：±1.5mm/step motion- 样品定位精度：±1.5mm- STM分辨率：四个探针均可实现HOPG的原子分辨- SEM分辨率：小于20nm- 针材料：钨或者铂、金等金属修饰的钨针。 主要特点：- 四个探针都能实现原子分辨；- 真正的样品和针低温操作（10K），得到佳的高分辨谱图；- 探针与样品立地传输与准备；- 所有探针具有先进的控制操作；- 用户可编程控制的开放性控制环境；- 制冷采用Bath Cryostat构造，大地减少了液氦的消耗；- 可升到非接触式AFM；- 样品台处配有可选择的超导磁体；- 通过光纤实现样品的光学激发。

室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。 PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的选择。特点&bull 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。&bull 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。&bull 移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。滑台采用磁力吸附固定。&bull 可安装6个探针臂。&bull 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。&bull CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm。型号分类：型号PSM-2PSM-4PSM-6PSM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂固定方式：磁铁吸附XYZ微调移动行程：XYZ-13mm微调可分辨精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mm显微镜分辨率：3μm（可选1μm）光源类型：兼配同轴和环形光源可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统。 特点 ● 最高的功函/表面电势分辨率：1-3meV（2mm探针） ● 与压电系统相比采用音圈驱动具有很高的驱动噪声抑制 ● 过零信号检测系统极大的提高了分辨率，信噪比性能无与伦比 ● 测试和扫描时探针尖与样品的高度调节功能可得到稳定的、可靠的和重复的结果 ● 探针参数全部采用数字控制系统参数 ● 2mm and 50μm探针 ● 功函分辨率1-3meV（2mm探针），5-10meV（50μm探针，光学防震台） ● 手动高度控制（25.4mm KP 平移） ● 跟踪系统自动控制样品和探针距离 ● 过零信号检测系统抑制寄生电容 软件性能 ● 数字控制所有开尔文探针参数 ● 简单的信号优化设置过程 ● 快速测量模式用于跟踪实时功函变化(1000points/min at ~20meV分辨率) 选件 ● 样品加热器 Sample Heater ● 可升级至扫描系统 ● 可升级至RHC系统 ● 表面光电压模块SPV020 and SPS030 ● 镀金探针

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

锥形光纤探针昊量光电新推出的锥形光纤探针Lambda Fibers是一种光纤探针，锥形光纤探针一端从其全宽逐渐减小到直径小于1um，长度为几毫米。锥形光纤探针新颖设计为光遗传学和光纤光度学实验提供了一种独特的方法，锥形光纤探针允许均匀的大体积照明和空间可寻址的光传输，具有极薄和锋利的光纤。锥形光纤探针Lambda Fibers独特的光学特性是光纤沿其非锥度部分引导的光模沿锥度在不同位置外耦合。这意味着通过激发光纤的所有光学模式(即通过使用与光纤具有相同或更高数值孔径的光源注入光)，光将从锥形扩散发射。更有趣的是，通过非常规的光传输策略(一种方法是通过改变角度将准直光束注入光纤的近端)仅激发一部分模式，可以将光发射限制在锥度的一小部分:当使用锥形光纤探针Lambda Fibers进行光收集时，导光的模态含量与锥度的活动部分或子部分之间的关系保持不变。为了在不同光纤之间获得更高的重复性，并在扫描范围内实现均匀的发射长度，建议使用Lambda-Plus Fibers：Lambda-Plus Fibers是锥度轮廓上有严格公差的锥形纤维。锥形光纤探针Lambda Fibers为光遗传学和光纤光度测定实验提供了一种新的方法。由于光传输/收集是从锥形表面进行的，因此Lambda Fibers通常插入要控制的区域。有效发射/收集光的锥度部分由有效长度定义。\由于锥形光纤探针Lambda Fiber的光活性表面比标准光纤更大——一个锥体的表面的高度等于有效长度与光纤核心面积的关系——因此需要更大的总输入光功率来获得相同的照明功率密度。由锥形的有源表面发出的平均照明功率密度可以计算为由锥形光纤发出的总光功率除以锥形光纤的有源面积。总光功率可以通过将锥形光纤放在前面并非常靠近光功率传感器来测量，就像通常使用扁平光纤一样。以平方毫米为单位的有效面积可以计算为锥度的有效长度(以毫米为单位)与纤维类型相关系数A的乘积:Fiber type.22/105.39/200.66/200Coefficient A [mm]0.0860.1890.243联系昊量光电获得LightSpread软件来估计Lambda光纤发出的光在脑组织中的分布情况。参考文献：[1] F. Pisanello, et al., “Dynamic illumination of spatially restricted or large brain volumes via a single tapered optical fiber”, Nature Neuroscience (2017)[2] F. Pisano, et al., “Depth-resolved fiber photometry with a single tapered optical fiber implant”, Nature Methods (2019)锥形光纤探针应用：光遗传学Lambda Fibers套管可用于靶向大量组织。锥形光学特性允许将光传输到感兴趣的整个区域或部分区域，这取决于光如何发射到光纤中。光纤光度测定Lambda Fibers锥形光纤探针套管可以通过整个锥形表面收集光。当使用选择性光传递来激发功能性荧光时，可以实现单纤维的多位点光纤光度测定。锥形光纤探针更多应用参考文献，请联系昊量光电！2022den Bakker H, Van Dijck M, et al., “Sharp-wave ripple associated activity in the medial prefrontal cortex supports spatial rule switching“, BioRxivGreenstreet F, Martinez Vergara H, et al., “Action prediction error: a value-free dopaminergic teaching signal that drives stable learning“, BioRxivCruz BF, Guiomar G, et al., “Action suppression reveals opponent parallel control via striatal circuits“, Nature2021Dacre J, Colligan M, et al., “A cerebellar-thalamocortical pathway drives behavioral context-dependent movement initiation“, NeuronRobert B, Kimchi EY, et al., “A functional topography within the cholinergic basal forebrain for processing sensory cues associated with reward and punishment “, eLifeAlvarado JS, Goffinet J, et al., “Neural dynamics underliying birdsong practice and performance“, NatureLee J & Sabatini B, “Striatal indirect pathway mediates exploration via collicular competition“, NatureDrake RAR, Steel KAJ, “Loss of cortical control over the descending pain modulatory system determines the development of the neuropathic pain state in rats” , eLifeHamilos AE, Spedicato G., et al., “Slowly evolving dopaminergic activity modulates the moment-to-moment probability of reward-related self-timed movements“, eLife2020Cruz BF, Soarez S, et al., “Striatal circuits support broadly opponent aspects of action suppression and production” , BioRxivIto H, Sales A, et al., Probabilistic, spinally-gated control of bladder pressure and autonomous micturition by Barrington’s nucleus CRH neurons , eLifeLee J, Wang W, et al., “Anatomically segregated basal ganglia pathways allow parallel behavioral modulation“, Nature NeuroscienceVincis R, Chen K, et al., “Dynamic Representation of Taste-Related Decisions in the Gustatory Insular Cortex of Mice“, Current Biology2019Hayat H, Regev N, et al., “Locus-coeruleus norepinephrine activity gates sensory-evoked awakenings from sleep“, Science AdvancesFernandez-Lamo I, Gomez-Dominguez D, et al., “Proximodistal Organization of the CA2 Hippocampal Area“, Cell RepGuo J, Sauerbrei B, et al., “Disrupting cortico-cerebellar communication impairs dexterity“, eLifeJackman SL, Chen CH, et al., “In Vivo Targeted Expression of Optogenetic Proteins Using Silk/AAV Films“, J. Vis. Exp.2018Fernandez DC, Fogerson PM, et al., “Light Affects Mood and Learning through Distinct Retina-Brain Pathways“, Cell关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

Avantgarde紧凑型室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下超小芯片晶圆和器件的非破坏性测试。SPSM系列紧凑型室温手动探针台是一款经济实惠、入门级的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。紧凑的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。特点&bull 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品&bull 样品座下方位移座可实现样品座三维精细位移调节使得样品测试和换样更加便捷。&bull 最多可安装6个探针臂&bull 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内&bull CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm型号分类：型号样品座尺寸SPSM-22英寸SPSM-44英寸参数和指标：样品座卡盘尺寸：2/4英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道位移行程：X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm读数精度：10μm探针臂固定方式：磁铁吸附XYZ微调移动行程：XYZ-13mm读数精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：50-1000倍显微镜工作距离：90-100mm显微镜分辨率：最小可识别3μm可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

室温自动探针台是卓聚科技专为较低预算客户研发的高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点，该平台配备高精度位移台，可实现X、Y、Z、R等方向自动调整，各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位，对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用，稳定性强，可升级扩展，操作方便是本产品的核心价值，在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。 室温自动探针台产品特征1.标配4个探针臂，可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；2. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦3. 样品座采用电机驱动，可实现快速于目镜下寻找样品，调节范围：80mm*80mm*10mm。 室温自动探针台产品参数型号TZ-H-06外形444*607*646重量40kgX-Y轴行程定位精度±0.01mmZ轴行程定位精度±0.01mmR轴行程定位精度±0.05?测试直径6/8/12寸X-Y轴行程110mmZ轴行程15mmR轴行程360?X-Y轴额定速度100mm/sZ轴额定速度10mm/sR额定速度20?/s探针臂调节行程X-50mm，Y-50mm，Z-30mm探针臂调节精度10um探针臂每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆显微镜倍率4X~9X（使用1X附加物镜时）地脚底部塑胶减震地脚探针频率26GHz—100GHz（可选）以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的室温自动探针台的介绍，了解更多直接咨询： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台

简介：适合测试探针需要接触到样品正面的情况，测试探针可前后伸缩和自由转动，因此使用起来灵活方便。根据探针和样品的接触状况，可选择不同材质和触点形状的探针。配套：A2505（光学平台方腔支架）、A2801（铍铜探针）、A 2802（高温合金探针）、A2803（钨钢探针）。制冷方式：无温度范围（℃）：-196到600℃显示精度（℃）：0.1控温精度：0.1℃样品区域：30*35mm最大加热速率：50℃/min最大冷却速率：-40℃/min正面观察窗口大小：φ41mm探针类型：固定探针探针材质：钨钢或铍铜探针数量：四个外观尺寸：90*120*40mm腔体净重：1kg备注：选配光纤接口

室温电磁铁探针台不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。 PSEM系列室温电磁体探针台是一款专门针对室温可变磁场电测环境开发的探针台，提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样 更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到4英寸样品的任意位置（探针臂可安装6个，水平磁场电磁铁探针台可安装4个）&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 电磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，可吸附固定1mm*1mm样品&bull CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm型号分类：型号 PSEM-2H(水平磁场) PSEM-2V(垂直磁场)PSEM-4V(垂直磁场)样品座尺寸2英寸2英寸4英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸:±50mm（水平磁场探针台无滑台）移动精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：垂直磁场电磁铁探针台可安装6个；水平磁场探针台可安装4个电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素电磁铁组件（垂直磁场）磁铁型号：EM-60V磁场大小：±0.6T磁铁间距：30mm极柱：直径60mm，标配一副50mm纯铁极头循环水冷却电磁铁组件（水平磁场）磁铁型号：EM-30H磁场大小：±0.3T磁铁间距：60mm极柱：标配一副60mm纯铁极头循环水冷却可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。 PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。特点&bull 真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。&bull 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足4英寸范围内全部位置的扎针测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。&bull 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。&bull 可选微波探针臂，频率可达到110GHz。型号分类：型号样品座尺寸PSV-22英寸PSV-44英寸参数和指标： 样品座样品座类型及材质：无氧铜接地样品座尺寸：2/4英寸可选配置：接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座探针臂组件类型：直流探针臂数量：4个接头和线缆：三同轴接头漏电流：100fA@1V真空环境信号频率：直流~50MHz 交流匹配阻抗：50 Ω探针针尖直径：100μm铍铜探针位移行程：X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10°读数精度：10μm光学系统显微镜放大倍数：10~180 倍分辨率：3μm视野范围：可到 22mm显微镜工作距离：90~100mm显微镜支架升级行程：65mm真空腔体材料：铝合金腔体容积：4/6L外形尺寸：800*800*600腔体入口尺寸：Ø 124mm可视窗口尺寸：50mm真空度：5E-4 torr真空抽口：KF25法兰真空腔体窗片：红外绝热材质防辐射屏窗片：石英材质充气阀接口：Ø 8 快拆接头预留接口：2个探针臂接口，2个电学接口减振支架（选件）尺寸（mm）：800×800×870；桌脚：有固定脚和滚轮可调换

PicoFemto国产探针台,物理实验室专用探针台,可定制探针台系统，整套系统包配置如下：探针台主体- 可测试晶圆尺寸：4英寸- 样品台行程：100mm*100mm- 移动分辨率：~0.1mm- 样品台旋转范围：360度- 超低漏电底栅接口，标准Triax输出- 可选400度高温样品台显微镜- 舜宇三目连续变倍体视镜，LED环形照明- 光学变倍总倍率45倍，物镜0.7~4.5倍连续变倍- 可选配高清摄像头，总放大倍率约700倍针座- 磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm- 移动分辨率2um- 标配4个，最多可装6个探针线缆- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆探针- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，最小1um尺寸和自重- 尺寸：450mmW*450mmD*500mmH- 自重：约30Kg以上就是关于手动探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电：

简介：采用高温加热元件，可以在1000℃下长期稳定使用；采用高温陶瓷固定探针臂，保证高温下探针稳定可靠；可增加一路温度信号，用于和其它测试软件结合；配套：A2505（光学平台方腔支架）、A 2802（高温合金探针）、A2803（钨钢探针）；制冷方式：无温度范围（℃）：RT到1000℃显示精度（℃）：0.1℃控温精度：0.1℃样品区域：φ22mm最大加热速率：50℃/min最大冷却速率：-40℃/min正面观察窗口大小：φ41mm探针类型：固定探针探针材质：钨钢或铍铜探针数量：四个外观尺寸：120*140*52mm腔体净重：1kg备注：选配光纤接口

室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。 PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到8英寸样品的任意位置&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动&bull 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，可吸附固定1mm*1mm样品型号分类：型号PSPM-2PSPM-4PSPM-6PSPM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右两边各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素永磁铁组件磁场大小：0.5T磁铁间距：30mm磁铁极面尺寸：50mm可加选件 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

Avantgarde 室温永磁铁探针台为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。另外，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。PSPM系列室温永磁体探针台是一款专门针对室温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。特点&bull 样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试 和换样更加便捷。&bull 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到最大8英寸样品的任意位置&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线&bull 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电&bull 永磁铁采用电动控制，可以实现前进后退翻转运动&bull 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上&bull 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm样品型号分类：型号PSPM-2PSPM-4PSPM-6PSPM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂X-Y-Z移动行程：X-13mm，Y-13mm，Z-13mm旋转度：360度自由旋转移动精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右两边各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mmCCD相机分辨率：3800万像素永磁铁组件磁场大小：0.5T磁铁间距：30mm磁铁极面尺寸：50mm可加选件 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

CT-6高低温探针台 最大可用于12英寸以内样品测试采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜 CINDBEST CT-6 | 6"~12" 高低温探针台测试系统 特点/应用 ◆ 最大可用于12英寸以内样品测试◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量◆ 可升降调节适合加装探针卡◆ 可搭配多种类型显微镜◆ 结构模块化设计，可无缝升级◆ 探针台可根据客户要求定制。 高低温探针台 ◆ 台体规格： 型号：CT-6/CT-8/CT-12 样品台尺寸：6英寸/8英寸/12英寸 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 X-Y移动行程：6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 X-Y移动精度：10微米/1微米 样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座 平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 温度范围：负80°到正400° 温控精度：0.01°/0.1°/1° 重量：约120千克/150千克 ◆ 光学系统： 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 放大倍率：16X-200X/20X-4000X 移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm 光源：外置LED环形光源/同轴光源 CCD：200万像素/500万像素/1200万像素 ◆ 定位器： X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 吸附方式：磁力吸附/真空吸附 线缆：同轴线/三轴线 漏电精度：10pA/100fA/10fA 固定探针：弹簧固定/管状固定 接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 针尖材质：钨钢/铍铜 ◆ 可选附件 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具。