光谱探针

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座 同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试 PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型 相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式 模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座 同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座 同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试 PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域 半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

射频0.7um探针座产品介绍谱量光电TPLR系列射频探针座是一款集成进口细牙丝杆以及进口交叉滚珠导轨，这个保证了我们在探针的运行过程中的稳定性以及精度，底部匹配日本进口超强磁性底座，可以通过开关调节磁性的有无，超强磁力，稳定性高，探针移动不偏移，集成射频专用夹具，水平角度0-30°可调，方便了我们调整射频针尖状态，方便我们完成射频测试！射频0.7um探针座产品说明探针位移精度0.7μmXYZ位移行程20mm点测角度0-30°射频（RF）是Radio Frequency的缩写，表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300kHz～300GHz之间。射频就是射频电流，简称RF，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。射频（300K-300G）是高频（大于10K）的较高频段，微波频段（300M-300G）又是射频的较高频段。谱量光电TPLR系列射频探针座集成进口细牙丝杆以及进口交叉滚珠导轨，保证了我们在探针的运行过程中的稳定性以及精度底部匹配日本进口超强磁性底座，可以通过开关调节磁性的有无，超强磁力，稳定性高，探针移动不偏移，集成射频专用夹具，水平角度0-30°可调，方便了我们调整射频针尖状态，方便我们完成射频测试！模块介绍通用型0.7um探针座通用参数探针座位移精度0.7um探针座位移行程XYZ20mm点测角度0-30°移动方式线性移动底座固定方式磁力吸附（可升级真空吸附，固定安装）应用RF测试，兼容常用射频探针产品示意图射频0.7um探针座应用领域RF测试等，可配合40GHZ/50GHZ/67GHZ/110GHZ射频探针使用谱量光电根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达到更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询公司介绍 南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。企业文化： 企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

产品介绍TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测，是光电芯片/器件测试的理想之选。技术优势. 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12英寸以内样品测试 . 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；. 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；. 满足1μm以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜三维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。模块介绍 详细模块介绍及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

便携组合式探针台产品介绍探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。便携型组合式探针台产品优势结构紧凑，功能实用，超高性价比；样品台XYZR四维调节，XYZ整体分辨率3um，360°旋转 粗调可锁紧；满足1um以上电极/PAD实用；兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转及微调升降；漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；精密传动机构，线性移动，无回程差设计；U型探针架，可以放置多个探针座；整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。便携型组合式探针台通用参数 样品台行程 XY均为110mm/150mm样品台Z轴行程10mm样品台位移精度标配3um（可升级）背电极测试功能可以引出背电极真空吸附进口无油真空泵7L/min样品台固定方式 环形真空吸附探针座行程XYZ均为13mm位移精度标配10um,可升级（1um,3um,电动）漏电精度10pA(同轴线缆)，100fA（三同轴线缆）安装方式可调磁力吸附，真空吸附，螺丝固定安装接口形式香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB成像方式电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜放大倍数7-200倍，（最大可升级成1000倍）CCD像素2000W高清显微镜移动XY行程25mm/50mm,分辨率3um 显示器12寸/24寸高清显示器，HDMI高清接口 实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。 南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

产品简介探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10um/5um/3um/1um/0.5um等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛用于半导体行业以及光电行业的测试。产品优势主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，优质的机械性能，高强度，耐磨。采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性。采用进口高分辨率微分头驱动，提高整体位移精度。配置多功能调节夹具，实现180°旋转及60°精密定向倾斜调节。底部超强可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg，保证扎针的稳定性。产品参数探针位移行程三轴均为13mm+180°旋转+60°精密倾斜调节调节精度3um配套线缆同轴线缆（BNC接口，附带香蕉插头及鳄鱼夹）漏电精度10pA/100fA 电流测量范围10pA~10A电压测量范围~1400V整体结构外形尺寸230mm*82mm*102mm线缆长度1.5米探针夹具多功能探针管夹具，配合0.5mm直径探针建议使用场景50um~100um电极测试案列产品实图应用领域适用于R/F测量，I/O点测量，直流DC测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。公司介绍南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。 企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um； 表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸8英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸6英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸4英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸12英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。技术优势.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12寸以内样品测试 .探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；. 满足1um以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。精密型基础测试探针台图片详细模块配置及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

便携组合式探针台产品介绍探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。便携型组合式探针台产品优势结构紧凑，功能实用，超高性价比；样品台XYZR四维调节，XYZ整体分辨率3um，360°旋转 粗调可锁紧；满足1um以上电极/PAD实用；兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转及微调升降；漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；精密传动机构，线性移动，无回程差设计；U型探针架，可以放置多个探针座；整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。便携型组合式探针台通用参数 样品台行程 XY均为110mm/150mm样品台Z轴行程10mm样品台位移精度标配3um（可升级）背电极测试功能可以引出背电极真空吸附进口无油真空泵7L/min样品台固定方式 环形真空吸附探针座行程XYZ均为13mm位移精度标配10um,可升级（1um,3um,电动）漏电精度10pA(同轴线缆)，100fA（三同轴线缆）安装方式可调磁力吸附，真空吸附，螺丝固定安装接口形式香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB成像方式电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜放大倍数7-200倍，（最大可升级成1000倍）CCD像素2000W高清显微镜移动XY行程25mm/50mm,分辨率3um 显示器12寸/24寸高清显示器，HDMI高清接口 实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸8英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆探针座精度 3um显微镜移动25*25mm接口方式三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移 行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流；产品示意图：产品选型：产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fA TLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸12英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆探针座精度 3um显微镜移动25*25mm接口方式三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移 行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流；产品示意图：产品选型：产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fA TLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱 谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品简介探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10um/5um/3um/1um/0.5um等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛用于半导体行业以及光电行业的测试。产品优势主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，优质的机械性能，高强度，耐磨。采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性。采用进口高分辨率微分头驱动，提高整体位移精度。配置多功能调节夹具，实现180°旋转及60°精密定向倾斜调节。底部超强可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg，保证扎针的稳定性。产品参数探针位移行程三轴均为13mm+180°旋转+60°精密倾斜调节调节精度3um配套线缆同轴线缆（BNC接口，附带香蕉插头及鳄鱼夹）漏电精度10pA/100fA 电流测量范围10pA~10A电压测量范围~1400V整体结构外形尺寸200mm*83mm*82mm线缆长度1.5米探针夹具多功能探针管夹具，配合0.5mm直径探针建议使用场景50um~100um电极测试案列产品实图应用领域适用于R/F测量，I/O点测量，直流DC测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。公司介绍南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。 企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组； 探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数 测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型 测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组； 探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数 测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型 测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品简介TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而开发设计的一款高性价比探针台系统，其功能齐全，满足常规IV电学测试需要，广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。产品优势结构紧凑，功能实用，高性价比 最大可用于12英寸以内样品测试 满足1μm以上电极/PAD使用 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） 精密丝杆/燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计 模块化设计，可据应用需要增减相应模块，性价比高。 模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具 电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。

一、仪器介绍MT-PM100电极探针精密抛光仪是一款满足石英及玻璃材质探针以及超微电极抛光需求的精密抛光仪，配备高精密电动直线滑台控制探针（或超微电极）的上下移动，通过可调速微型电机驱动磨盘均匀且稳定地旋转，实现探针（或超微电极）针尖的精密抛光。还配备了电子显微镜和高清显示器，实时监控抛光过程，确保针尖抛光的精确性。另外，配置了高灵敏度阻抗检测单元，可以用来原位监测玻璃封装（尖端绝缘）的金属纳米电极的导电暴漏。二、主要参数抛光范围空心石英管/玻璃管、玻璃封装金属电极、碳纳米电极等磨盘面型λ/4@633 nm磨盘转速0-300 r/min可调 阻抗检测响应时间1 ms制备直径范围实心电极（≥20 nm）；空心管（≥1 um）步进速度0.001~30 um/s可调显微镜HDMI接口，含位置测量软件，可观测10 um的物体三、仪器构成及使用方法电极探针精密抛光仪整体构成如上图所示，主要由以下部分构成：电子显示屏（1）；电源开关（2）；磨盘正反向旋转按钮（3）；磨盘转速显示器（4）；磨盘转速调节器（5）；磨盘停止旋转按钮（6）；触屏显示器（7）；皮带（8）；光源（9）；步进电机（10）；电动直线滑台（11）；探针固定器（12）；抛光磨盘（13）；滤纸（14）；滤纸固定器（15）；电极夹（16）；电子显微镜（17）。电极探针精密抛光仪的触屏显示器页面如上图所示，包括手动模式和阻抗模式两种模式。“手动模式”使用系统配备的测量工具，手动测量探针需抛光的长度，设定步进距离控制探针的抛光，主要用于空心石英管/玻璃管的抛光。“阻抗模式”使用系统检测并响应阻抗的变化以控制超微电极的抛光，主要用于玻璃封装的金属电极、碳纳米电极的抛光。“Z轴回原”使探针/超微电极回到系统设定的初始高度。手动模式的使用方法：打开仪器和灯源开关，通过按钮使磨盘开始正向旋转，将配套的滤纸用去离子水润湿（通过虹吸作用在磨盘上形成一层水膜，并阻拦抛光过程中产生的碎屑），再通过按钮使磨盘停止转动以便于后续观察。将探针尾部插入通有氩气的通气管，固定在探针固定器凹槽内，设置步进距离，通过高精密电动直线滑台控制探针向下移动，直到在显微镜下观察到探针针尖及其在磨盘上的影像。使用显微镜工具页面中的“测量工具”测量并计算步进距离，下移探针至探针尖端与磨盘接触。启动磨盘转动，根据需求调节磨盘转速、探针移动速度以及步进距离，开始抛光。待剩余距离和时间归零，探针停止下移，抛光结束。阻抗模式的使用方法：打开仪器和灯源开关，将待抛光的超微电极和镍丝固定并连接电极夹，设置步进距离，步进电机向下移动，直到在显微镜下可以观察到超微电极尖端及其在磨盘上的影像。当超微电极尖端与其影像的距离接近5 um时，滴加KCl电解质溶液以覆盖超微电极和镍丝尖端。根据需求调节磨盘转速、超微电极移动速度以及步进距离，开始抛光。当仪器检测到超微电极阻抗时，会立即停止抛光并自动回原。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数 测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型 测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。 相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具 电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点：&bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用&bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式通用参数：样品台尺寸4英寸样品台行程110X110mm位移精度3um漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆 探针座精度3um显微镜移动25*25mm接口方式 三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移行程X:100mm Y:100mm分辨率0.003mm直线度0.002mm驱动误差20°测试案列功能应用：&bull 光谱响应度；&bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流； 产品示意图：产品选型： 产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度 漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fATLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

PS4L 手动探针台 SemiProbe的手动探针台是模块化结构设计最明显和最灵活的300mm手动探针台。它采用了SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性和大大地节省了设备资金费用。PS4L系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。. 晶圆探针系统的PS4L系列探针台是基于SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构而设计的。与传统的探针台相比，SemiProbe的PS4L系列探针台中所有的基础模块-基座，平台，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等等都是可以更换的。这样的特点使得PS4L系列探针台以非常有竞争力的价格满足了多种应用需求和预算要求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。独特的模块化设计使得客户可获得测试性能精准地满足了他们的要求。更重要的是，PS4L可随着测试环境和测试条件的改变从而轻易地进行现场升级以满足新的要求。比起传统的探针台，这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成最有效的测试。 SemiProbe M12探针台可有完整的整套附件可选，包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座，探针，激光，光学部件，CCTV系统，隔振台，暗箱等等。 产品特征和优势： 1.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm手动探针台 2.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm半自动探针台3.所有关键部件都是可以更换的，这样使得系统更便于配置满足各种应用需求和预算要求-无论是现在还是未来 4.软件和硬件模块提供了永久性的现场升级功能主要应用/服务市场： 设备特性，MEMS，光电，高频/微波，光伏，失效分析，光伏，材料科学等等 规格参数 尺寸1200mm X 550 mm X 900 mm (47.3” X 21.6” X 35.4”) (W,H, L) – with optics重量250Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame)卡盘平台 X-Y 移动Severalstages to select from to meet performance and budget requirements Travel:305 mm x 305 mm Planarity:+/- 10 μm over travel range Resolution:5 μm IndependentX and Y linear movement卡盘平台Z 移动ZTravel: 10 mm ZContact/Separation Stroke: 4 mm adjustableTheta移动Travel:360 degrees卡盘Vacuumor mechanical clamping, round orsquare, ambient, thermal and custom Handledie, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to300 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materialsavailable Planarity:15 μm压盘Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation – magnetic, vacuum压盘移动PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:Coarse - 25 mm, Fine – 6 mm显微镜装置/移动Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm 光学组件StereoZoom, Zoom Tube, A-Zoom or Compound Microscope其它工具Power:AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum:23 Hg or -0.8 bar

二维平移光谱响应度测试探针台产品说明：TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。产品特点： &bull 半圆形探针架，可放置6个DC探针座&bull 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）&bull 整体位移精度3μm&bull 1微米以上电极/PAD使用 &bull 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等&bull 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节&bull 用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统全系列 搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式 通用参数：样品台尺寸6英寸 样品台行程110X110mm位移精度3um 漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆探针座精度3um显微镜移动25*25mm接口方式三同轴接口背电极可以引出背电极驱动方式精密研磨丝杆位移维度XY整体位移行程X:100mm Y:100mm分辨率 0.003mm直线度0.002mm驱动误差 20°测试案列功能应用：&bull 光谱响应度； &bull 单色光/变功率IV；&bull 不同辐照度IT曲线；&bull 不同偏压下的IT曲线；&bull 光电流Mapping曲线测试；&bull 线性度测试；&bull 响应速率测试；&bull 瞬态光电压；&bull 瞬态光电流；产品示意图：产品选型：产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度TLRHF-044英寸3um3um100fATLRHF-066英寸3um3um100fATLRHF-088英寸3um3um100fATLRHF-1212英寸3um3um100fA实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。技术优势.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12寸以内样品测试 .探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；. 满足1um以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。精密型基础测试探针台图片详细模块配置及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

通用型0.7um探针座产品介绍谱量光电TPLS系列多功能探针座匹配多功能探针夹具，可以180°旋转+精密60°定向倾斜，根据位移精度划分为：10μm、3μm、1μm、0.5μm、0.7um；根据不同的样品需求，选择不同位移精度的探针座。通用型0.7um探针座技术优势漏电精度100fA（吉时利2636B实测）匹配多功能调节夹具可180°旋转+60°定向倾斜主体材质采用航空铝，表面喷砂氧化，良好的机械性能，高强度，耐磨底部超强可调磁性底座，可以通过旋钮调节磁力的有无，磁性吸附10Kg，保证了扎针稳定性适用于在显微镜下定向调节探针，不阻挡视野可插0.5mm直径探针接头可选：同轴线缆可选BNC、鳄鱼夹、香蕉插头，三同轴线缆只能选择三同轴接口适用于R/F量测，I/O点量测、直流DC测试、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等模块介绍通用型0.7um探针座通用参数探针座位移精度0.7um探针座位移行程XYZ13mm漏电精度100fA线缆规格三同轴线缆电压≤1400V适用电极尺寸20-30um电极适用线缆长度1.5m探针夹具管状夹具，集成探针管，可插0.5mm探针直径接口规格三同轴接口整体外形结构尺寸300mmx82mmx120mm产品示意图实验测试案列通用型0.7um探针座应用领域适用于R/F测试量，I/O电测量，直流D/C测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。谱量光电根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达到更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询公司介绍 南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

产品优势主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，优质的机械性能，高强度，耐磨。采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性。采用进口高分辨率微分头驱动，提高整体位移精度。配置多功能调节夹具，实现360°旋转及360°多向定向倾斜调节，适用多种实验环境。探针夹具镀金处理，适用于IV等电学测试。万向节升级不锈钢，增加扎针稳定性，减少磨损。底部配超强可控磁性底座，磁性吸附能力5Kg，保证扎针稳定性。 可选配升级真空吸附，搭配7L/min真空泵；三轴行程均为13mm，调节精度10um。标配同轴（BNC接口）/三同轴（三同轴接口）线缆，漏电精度分别可达10pA/100fA。探针采用螺纹锁紧，可适配直径1mm以下探针，适用性强。底部配超强可控磁性底座，磁性吸附能力10Kg，保证扎针稳定性。（可升级真空吸附）产品介绍探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10um/5um/3um/1um/0.5um等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛用于半导体行业以及光电行业的测试。通用参数探针位移行程XYZ三维分别13mm，360°旋转，任意角度倾斜（可锁紧）整体结构外形尺寸（91-230）mm*65mm*160mm(LWH)探针位移精度5um漏电精度10pA@同轴线缆，100fA@进口三同轴线缆可选接头同轴线缆（BNC、鳄鱼夹、香蕉插头）/进口三同轴线缆（三同轴接口）测量范围电流：10pA/100fA-10A , 电压：≤1400V产品示意图公司简介南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。