光电探针

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座 同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测，是光电芯片/器件测试的理想之选。技术优势. 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12英寸以内样品测试 . 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；. 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；. 满足1μm以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜三维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。模块介绍 详细模块介绍及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

PS4L 手动探针台 SemiProbe的手动探针台是模块化结构设计最明显和最灵活的300mm手动探针台。它采用了SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性和大大地节省了设备资金费用。PS4L系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。. 晶圆探针系统的PS4L系列探针台是基于SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构而设计的。与传统的探针台相比，SemiProbe的PS4L系列探针台中所有的基础模块-基座，平台，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等等都是可以更换的。这样的特点使得PS4L系列探针台以非常有竞争力的价格满足了多种应用需求和预算要求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。独特的模块化设计使得客户可获得测试性能精准地满足了他们的要求。更重要的是，PS4L可随着测试环境和测试条件的改变从而轻易地进行现场升级以满足新的要求。比起传统的探针台，这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成最有效的测试。 SemiProbe M12探针台可有完整的整套附件可选，包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座，探针，激光，光学部件，CCTV系统，隔振台，暗箱等等。 产品特征和优势： 1.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm手动探针台 2.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm半自动探针台3.所有关键部件都是可以更换的，这样使得系统更便于配置满足各种应用需求和预算要求-无论是现在还是未来 4.软件和硬件模块提供了永久性的现场升级功能主要应用/服务市场： 设备特性，MEMS，光电，高频/微波，光伏，失效分析，光伏，材料科学等等 规格参数 尺寸1200mm X 550 mm X 900 mm (47.3” X 21.6” X 35.4”) (W,H, L) – with optics重量250Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame)卡盘平台 X-Y 移动Severalstages to select from to meet performance and budget requirements Travel:305 mm x 305 mm Planarity:+/- 10 μm over travel range Resolution:5 μm IndependentX and Y linear movement卡盘平台Z 移动ZTravel: 10 mm ZContact/Separation Stroke: 4 mm adjustableTheta移动Travel:360 degrees卡盘Vacuumor mechanical clamping, round orsquare, ambient, thermal and custom Handledie, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to300 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materialsavailable Planarity:15 μm压盘Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation – magnetic, vacuum压盘移动PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:Coarse - 25 mm, Fine – 6 mm显微镜装置/移动Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm 光学组件StereoZoom, Zoom Tube, A-Zoom or Compound Microscope其它工具Power:AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum:23 Hg or -0.8 bar

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试 PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型 相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式 模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座 同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座 同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

四探针 四点探针 四探针测试仪 四探针太阳能硅片电阻率测试仪光伏测试专用美国ResMap四点探针CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及专利自动决定范围量测与传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67m&Omega -cm及Implant高电阻2K&Omega /□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且可以Recipe设定更换CDE　ResMap&ndash CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。 主要特点： 测量范围广,精度高,稳定性好,功能齐全强大,软件好用,维修成本低,服务好,配件齐全...美国进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪/太阳能光伏扩散薄层电阻测试仪（Four point probe(4PP)）设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap规格:1. Pin material: Tungsten Carbide.2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜，半导体材料)设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量，半导体，光伏特点：1）针尖压力一致2）适用于各种基底材料3）友好的用户界面4）快速测量5）数据可存储 应用：1）方块电阻2）薄片电阻3）掺杂浓度4）金属层厚度5）P/N类型6）I/V测试

产品简介LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密控温探针台，系统兼顾位移调节精度及控温精度，实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化，广泛应用于光电半导体等相关领域。产品优势模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试最大可用于12英寸以内样品测试探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试 PID控温，可加热至300℃，精度±0.1℃，均匀性±5℃ 满足1μm以上电极/PAD使用漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座显微镜可二维精密调节，且可选配多种行程及驱动方式模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱应用领域 半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，已达到更好的测试效果及性价比，具体信息可联系详询。

PS4L 半自动探针台SemiProbe是美国一家领先的专业探针台研发与制造公司，拥有多项专利技术，提供完整的所有探针测试的产品与解决方案。其产品包括全自动，半自动，手动探针台，MEMS测试探针台，双面测试，超低温，高真空探针台等等。SemiProbe 设计制造创新性模组化探测检测系统，客户遍及世界各地，其中包括大专院校、政府科研实验室、各类半导体制造公司、涉及微机械、纳米技术、光电技术、光伏技术等领域，为科研以及制造提供经济高效、实用、扩展性强的探测系统。同时SemiProbe还为用户提供强有力的技术支持，可针对用户的具体应用需求，定制相对应的产品和技术方案。 我们有可以解决您所面临问题的一套最好的方案，PS4L 全自动探针台是基于SemiProbe可适应性机构专利研发的一套系统，与传统检测系统不同，PS4L 全自动探针台所有的基础组件：基座、平台、夹具、显微镜装置、显微镜移动、光学部件、操纵装置等，都是可以更换的。这些特征使得PS4L 全自动探针台可适应不同应用需求，并且成为节省经费的最佳选择。这种独特的设计能够准确满足客户的要求，更重要的是，PS4L系统能够进行现场升级，以适应环境测试条件的改变。PS4L系统的设计理念，与传统检测设备相比，能够让客户节约更多时间，更多成本。 凭借60年的实践经验，美国品牌SemiProbe可以迅速为您提供各种定制化方案，以解决不同的难题。我们的宗旨就是让客户使用最少的资金获得最新的技术、更及时的响应市场需求。 SemiProbe产品的独特优点有：1.SemiProbe独家专利技术的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级，且升级可在客户现场进行，机台不需返厂。其中PS4L系列产品，可以在PS4L基础平台上，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者由6' ' 升级为8' ' ，8' ' 升级为12' ' ，增加密闭测试仓，增加高低温等等。这些独特的优点，目前在业界独此一家。2.SemiProbe的产品，全部都在美国本土设计制造，质量有保证。3.SemiProbe的另外一个优点是直流探针座和RF探针座通用，用户只要一种探针座，换上直流或RF探针，即可做不同的测试，既方便又节省成本。目前业界其他公司的产品，多数直流探针座和RF探针座是不一样的，并且价格昂贵，无法通用。其超高精度的亚微米级探针座，保证了高端精密测试的需求。产品优势：1.可满足最大18英寸的晶圆基底的测试要求，并能兼容处理12/8/6/4英寸硅片及碎片。2.主要应用领域：器件性能、MEMS、光电子学、纳米研究、光伏电池、失效分析及材料等相关领域。3.可做直流和微波测试。4.系统可在客户现场升级。5.可增加高低温及屏蔽系统6.手动探针测试方式，扎针对准方式灵活。7.可方便搭载loadpull, 激光测振及电学信号测试等不同的外围设备。8.可搭载各种规格探卡。9.主要部件可依据实际要求定制。PS4L 半自动探针台 SemiProbe的PS4L 半自动探针台是模块化结构设计最明显和最灵活的半自动探针台。它采用了SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性和大大地为客户节省了资金费用。PS4L 半自动探针系统可满足客户对精准的规格参数的要求。 产品特征和优势：1.150mm半自动系统可升级到200mm2.可选尺寸：100 mm (SA-4) 150 mm (SA-6) 200 mm (SA-8) 300 mm (SA-12) 3.所有关键部件都是可以更换的，这样确保了系统可再配置符合现在和以后的各种应用和预算要求。4.软件和硬件模块提供了永久性的现场升级 主要应用：设备特性，MEMS，光电，光伏，HF /微波，失效分析，研究，材料科学等领域 技术参数 尺寸:750 mm X 650 mm X 750 mm (29.5” x 25.4” x 29.5”) (W,H,L) – with optics重量:95 Kg (210 lbs.)夹盘平台X-Y移动:Travel: 155 mm x 155 mm Speed: 50 mm/sec (max) Resolution: 0.5 μm Repeatability: +/- 1.0 μm A ccur acy: +/- 2 μm Planarity: +/- 10 μm over travel r ang eNema 17 stepper motor Optical linear encoder夹盘平台Z移动:Z Travel: 10 mm Resolution: 1.0 μm Repeatability: +/-2.5 μmTheta移动:T r a v el: +/-10 degrees (User specified) Resolution: 0.29 arc-secs, (0.0018 deg r ees)夹盘：V acuum or mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and cus t om Handle die, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to 200 mm Nickel plated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materials available Planarity: 8 μm压盘：Aluminum with stainless steel top 360 degree manipulator placement Manipulator fixation – magnetic, vacuum压盘移动：Platen Lif t : Choice of fixed or adjus t ableA djus t able: Coarse – 25 mm, Fine – 6 mm 显微镜安装/移动：Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm光学：Stereo Zoom, Zoom T ube, A-Zoom or Compound Microscope 其它工具：Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A V acuum: 23 Hg or -0.8 bar备注：规格参数的数值取决于探针系统的配置和配件要求

产品介绍TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。技术优势.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12寸以内样品测试 .探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；. 满足1um以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。精密型基础测试探针台图片详细模块配置及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

产品简介TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而开发设计的一款高性价比探针台系统，其功能齐全，满足常规IV电学测试需要，广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。产品优势结构紧凑，功能实用，高性价比 最大可用于12英寸以内样品测试 满足1μm以上电极/PAD使用 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） 精密丝杆/燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计 模块化设计，可据应用需要增减相应模块，性价比高。 模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具 电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。

射频0.7um探针座产品介绍谱量光电TPLR系列射频探针座是一款集成进口细牙丝杆以及进口交叉滚珠导轨，这个保证了我们在探针的运行过程中的稳定性以及精度，底部匹配日本进口超强磁性底座，可以通过开关调节磁性的有无，超强磁力，稳定性高，探针移动不偏移，集成射频专用夹具，水平角度0-30°可调，方便了我们调整射频针尖状态，方便我们完成射频测试！射频0.7um探针座产品说明探针位移精度0.7μmXYZ位移行程20mm点测角度0-30°射频（RF）是Radio Frequency的缩写，表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300kHz～300GHz之间。射频就是射频电流，简称RF，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。射频（300K-300G）是高频（大于10K）的较高频段，微波频段（300M-300G）又是射频的较高频段。谱量光电TPLR系列射频探针座集成进口细牙丝杆以及进口交叉滚珠导轨，保证了我们在探针的运行过程中的稳定性以及精度底部匹配日本进口超强磁性底座，可以通过开关调节磁性的有无，超强磁力，稳定性高，探针移动不偏移，集成射频专用夹具，水平角度0-30°可调，方便了我们调整射频针尖状态，方便我们完成射频测试！模块介绍通用型0.7um探针座通用参数探针座位移精度0.7um探针座位移行程XYZ20mm点测角度0-30°移动方式线性移动底座固定方式磁力吸附（可升级真空吸附，固定安装）应用RF测试，兼容常用射频探针产品示意图射频0.7um探针座应用领域RF测试等，可配合40GHZ/50GHZ/67GHZ/110GHZ射频探针使用谱量光电根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达到更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询公司介绍 南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。企业文化： 企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

便携组合式探针台产品介绍探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。便携型组合式探针台产品优势结构紧凑，功能实用，超高性价比；样品台XYZR四维调节，XYZ整体分辨率3um，360°旋转 粗调可锁紧；满足1um以上电极/PAD实用；兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转及微调升降；漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；精密传动机构，线性移动，无回程差设计；U型探针架，可以放置多个探针座；整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。便携型组合式探针台通用参数 样品台行程 XY均为110mm/150mm样品台Z轴行程10mm样品台位移精度标配3um（可升级）背电极测试功能可以引出背电极真空吸附进口无油真空泵7L/min样品台固定方式 环形真空吸附探针座行程XYZ均为13mm位移精度标配10um,可升级（1um,3um,电动）漏电精度10pA(同轴线缆)，100fA（三同轴线缆）安装方式可调磁力吸附，真空吸附，螺丝固定安装接口形式香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB成像方式电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜放大倍数7-200倍，（最大可升级成1000倍）CCD像素2000W高清显微镜移动XY行程25mm/50mm,分辨率3um 显示器12寸/24寸高清显示器，HDMI高清接口 实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。 南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

产品简介探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10um/5um/3um/1um/0.5um等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛用于半导体行业以及光电行业的测试。产品优势主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，优质的机械性能，高强度，耐磨。采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性。采用进口高分辨率微分头驱动，提高整体位移精度。配置多功能调节夹具，实现180°旋转及60°精密定向倾斜调节。底部超强可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg，保证扎针的稳定性。产品参数探针位移行程三轴均为13mm+180°旋转+60°精密倾斜调节调节精度3um配套线缆同轴线缆（BNC接口，附带香蕉插头及鳄鱼夹）漏电精度10pA/100fA 电流测量范围10pA~10A电压测量范围~1400V整体结构外形尺寸230mm*82mm*102mm线缆长度1.5米探针夹具多功能探针管夹具，配合0.5mm直径探针建议使用场景50um~100um电极测试案列产品实图应用领域适用于R/F测量，I/O点测量，直流DC测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。公司介绍南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。 企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

这款四点探针系统是一款易于使用的工具，用于快速测量材料的薄层电阻，电阻率和电导率。 通过使用我们自己的源测量单元，我们能够创建一个低成本的系统，使测量范围更广泛。 探头采用弹簧加载接触，而不是尖锐的针头，防止损坏精密样品，如厚度在纳米左右的聚合物薄膜。 四点探针系统为您的研究提供以下益处：? 广泛的薄膜电阻测量范围，从10mΩ/□到10MΩ/□? 弹簧加载的探针保护易损的样品免受损坏? 体积小巧，可用于空间有限的繁忙实验室? 易操作的PC软件，用于薄膜电阻，电阻率和电导率的测量? 使用自动校正因子计算加快材料表征? 使用保存设置可轻松重复测量 特征：广泛的测量范围 - 四点探头能够提供10 nA-100 mA的电流，并且可以测量低至100μV-10 V的电压。广泛的薄层电阻测量范围，从10mΩ/□到10MΩ/□，可表征多种材料。 非破坏性测试 - 设计时考虑到了精密样品的测量，四点探头采用镀金弹簧接触圆头， 60克的恒定接触力，防止探针刺破脆弱的薄膜，同时仍能提供良好的电接触。 节省空间的设计 - 通过垂直堆叠组件，我们能够将四点探头的占地面积降至最低（总台面面积12 cm x 30 cm），甚至可以在缺乏货架空间的实验室中使用。 易于使用 - 只需插入系统，安装软件，即可开始使用！ 直观的界面和清洁的设计，简化了薄膜电阻的测量。 快速材料表征 - PC软件可执行薄膜电阻，电阻率和电导率所有必要的测量和计算，从而使材料表征变得毫不费力。 不要忘记保存您的实验数据 - 用于测量的设置会与数据一起保存，从而轻松查看实验的详细信息。 此外，这些设置文件可以通过相同的软件加载，加快重复测量和材料表征。 用更少的时间重复测量，您的研究成果可以显着增加应用示例：材料特性 - 电阻率是材料的固有特性，也是重要的电学特性。 它可以通过测量已知厚度的薄膜薄层的电阻来确定，这使得四点探针测量成为材料电特性的关键技术。 薄膜太阳能电池和发光二极管 - 薄膜器件（如钙钛矿太阳能电池或有机发光二极管）需要薄的导电电极，横向输送电荷以进行提取。 因此，需要低表面电阻材料来减少这个阶段的潜在损失。 当试图放大这些设备时，这变得更加重要，因为电荷在它们可被提取之前，不得不沿着电极方向行进。测量规格电压范围100μV至10 V当前范围10 nA到100 mA薄层电阻范围10mΩ/□至10MΩ/□测量精度 ±4%测量精度±0.5%

便携组合式探针台产品介绍探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。便携型组合式探针台产品优势结构紧凑，功能实用，超高性价比；样品台XYZR四维调节，XYZ整体分辨率3um，360°旋转 粗调可锁紧；满足1um以上电极/PAD实用；兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转及微调升降；漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；精密传动机构，线性移动，无回程差设计；U型探针架，可以放置多个探针座；整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。便携型组合式探针台通用参数 样品台行程 XY均为110mm/150mm样品台Z轴行程10mm样品台位移精度标配3um（可升级）背电极测试功能可以引出背电极真空吸附进口无油真空泵7L/min样品台固定方式 环形真空吸附探针座行程XYZ均为13mm位移精度标配10um,可升级（1um,3um,电动）漏电精度10pA(同轴线缆)，100fA（三同轴线缆）安装方式可调磁力吸附，真空吸附，螺丝固定安装接口形式香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB成像方式电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜放大倍数7-200倍，（最大可升级成1000倍）CCD像素2000W高清显微镜移动XY行程25mm/50mm,分辨率3um 显示器12寸/24寸高清显示器，HDMI高清接口 实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【简介】： 电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000采用大规模集成电路FPGA技术，全数字控制，实现高精度时间间隔测试，整机具有高稳定度、高准确度的优点，功能完善，操作方便，抗干扰能力强。仪器采用时间放大式模拟内插原理、组件式结构,能同时测量一个起始脉冲和32个停止脉冲信号之间的时间间隔,测时范围为50ns-9999ms,时间分辨率为2ns。电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【技术指标】：参数 指标测时范围50ns～820ms外参考 1路，频率20MHz,电平3.3-12V ，可外加-330V高压脉冲信号源 被测路数 通道数 4/8/16/32路被测电平TTL 起止信号 上升或者下降沿测时误差±5ns（1ms） ≤1ms±3 ±0.05tr ±PT 1ms（tr输入信号上升时间，T测量时间间隔，P晶振精度（晶振20MHz，精度1×10-7） 置位方式单次、多次、程控显示方式 液晶触摸屏供电需求220V±20V50Hz或者充电电平（内置）工作温度 5-50℃掉电保护保存掉电前的数据；配充电电源，满足野外实验使用 测量次数： 1、10、50电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【应用领域】 ： 电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000应用于爆轰与粒子判别等科学试验中爆速、弹速、冲击波速度、自由面速度、飞片速度等爆轰参数测量，是爆轰物理、冲击波物理、常规武器研究、天文实验、激光测距、定位定时、航天遥测遥控等科研领域。

产品介绍TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。技术优势.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；. 最大可用于12寸以内样品测试 .探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；. 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试；. 满足1um以上电极/PAD使用 . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） . 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 . 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；. 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。精密型基础测试探针台图片详细模块配置及参数说明选型表相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电磁屏蔽箱应用领域半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

TLRB系列标准型基础测试探针台产品简介TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而开发设计的一款高性价比探针台系统，其功能齐全，满足常规IV电学测试需要，广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。TLRB系列标准型基础测试探针台产品优势结构紧凑，功能实用，高性价比 最大可用于12英寸以内样品测试 满足1μm以上电极/PAD使用 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） 精密丝杆/燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计 模块化设计，可据应用需要增减相应模块，性价比高。TLRB系列标准型基础测试探针台模块介绍图 TLRB系列标准型基础测试探针台通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱 应用领域半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验等。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um； 表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸8英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸6英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸4英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸12英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

LA-150 DC 实验室探针台LA-150 DC是SemiProbe一款价格适中、体积小的150mm（6英寸）探针台，适用于研发中心和各大高校，具有高稳定性和灵活性，满足你实验室测量的需求。它配置完整，安装经由客户完成，操作可在一小时内完成。 SemiProbe的实验室探针台专门设计于满足研究人员的测试需求 --- 操作简单轻松、体积小型便于携带、价格适中具有竞争力以及它的模块化设计。与之相比，一般情况下，这样功能的探针台是非常昂贵的，但这款实验室探针台能以非常有竞争力的价格实现提供了多种产品特点和选择 ---多种平台、卡盘、光学组件和操纵器。并且可在之后增加各种附件从而增强系统功能性。 产品特点和优势： ? 体积小--- 适用于桌面，小型工作台，手套式操作箱或者暗箱 ? 系统配置完整 ? 组件可更换---可当做单独应用系统或者多个应用系统使用 ? 模块化设计--- 可增加多个配件实现更多的性能 ? 直流电、高频/微波和Kelvin版本 配置包括： ? 硬铝基座，带有橡胶隔振脚? 粗糙和精细的晶圆平台调整，附有可更换的平台选择--- 包装部件或者热部件? 精细的平台移动，使用精准的测微计控制--- X (25 mm), Y (25 mm) & Z (20 mm)? 粗糙（360度）和精细（10度）theta调整? 150mm(6英寸)卡盘，附有隔离适配器和真空控制系统? 材质为铝，镀不锈钢，附有可移动的前锲子? 精准的测微计 台板Z上升（13mm）? 两个DC MA-8005 操纵器，附有磁性基座，面板和同轴探针臂（标准）? 显微镜杆，附有同轴和线性显微镜X，Y移动50 mm x 75 mm? 6.7:1变焦(130x 放大倍率) 三目立体变焦显微镜，工作距离为100mm 规格参数 尺寸420 mm X 540 mm X 535mm(16.5” X 21.3” X 21.1”) (W,H,L) – with Optics重量32 kg (70 lbs.)基座Solid Aluminum rigidbase on rubber vibration isolation feet卡盘平台X-Y 移动Adjustable magneticslide for coarse adjustment ( 150 mm) Fine micrometeradjustment – 25 mm (X, Y) Entire stage easilyremoved via magnetic base卡盘平台Z 移动Z travel: 20 mm(0.78”) with micrometer driven contact/separationTheta 移动Travel: 360 degrees(coarse) and 10 degrees (fine) with theta locking knob卡盘Vacuum or mechanicalclamping, round or square, HF, ambient, thermal and custom Handle die, wafflepacks, sawn wafers on frame, broken wafers and wafers up to 150 mm Nickel plated steelwith concentric vacuum rings (standard), other materials available台板Aluminum withstainless steel top and removable front wedge for easy wafer handling Manipulator fixation– magnetic (standard), vacuum (with optional vacuum manifolds)台板移动Micrometer drivenplaten Z adjustment显微镜安装Rigid aluminum post(standard) or boom available显微镜移动Manual coaxial andlinear fine microscope movement - 50 mm (X) and 75 mm (Y) (2”x3”)光学组件Trinocular stereozoom microscope (standard), compound or zoom tube (optional)其它工具Power: AC 110/220V AC50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8bar可选配件CCTV Systems (camera,monitor and adapter) and stand (shown in picture page 1) Manipulators, ProbeArms, Probes, Cables – Coaxial, Triaxial, Kelvin, HF, Optical Probe Card andPackage Part Holders Vibration IsolationTables, Dark Box Stages – wafer,packaged part, thermal 备注：规格参数的数值具体取决于探针系统的配置和配件要求

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱 谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品简介TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而开发设计的一款高性价比探针台系统，其功能齐全，满足常规IV电学测试需要，广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。产品优势结构紧凑，功能实用，高性价比 最大可用于12英寸以内样品测试 满足1μm以上电极/PAD使用 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） 精密丝杆/燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计 模块化设计，可据应用需要增减相应模块，性价比高。模块介绍通用参数常规选型相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组； 探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数 测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型 测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组； 探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数 测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型 测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品介绍高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。技术优势控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。通用参数 测试环境极低温测试、高温无氧化测试。常规选型 测试环节晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。 相关配件多种精度，多种夹具类型探针座同轴线缆，三同轴线缆各种类型探针真空泵电学测试夹具 电磁屏蔽箱谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

产品简介探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10um/5um/3um/1um/0.5um等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛用于半导体行业以及光电行业的测试。产品优势主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，优质的机械性能，高强度，耐磨。采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性。采用进口高分辨率微分头驱动，提高整体位移精度。配置多功能调节夹具，实现180°旋转及60°精密定向倾斜调节。底部超强可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg，保证扎针的稳定性。产品参数探针位移行程三轴均为13mm+180°旋转+60°精密倾斜调节调节精度3um配套线缆同轴线缆（BNC接口，附带香蕉插头及鳄鱼夹）漏电精度10pA/100fA 电流测量范围10pA~10A电压测量范围~1400V整体结构外形尺寸200mm*83mm*82mm线缆长度1.5米探针夹具多功能探针管夹具，配合0.5mm直径探针建议使用场景50um~100um电极测试案列产品实图应用领域适用于R/F测量，I/O点测量，直流DC测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。公司介绍南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。 企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到