根据半导体工艺的需要,本文介绍了利用 SEM 分析工艺问题的方法。在形成成品之前,特别是工艺设计及加工制造阶段的失效分析及可靠性研究,能够在隐患转变为大面积工艺问题及后期性能参数问题之前,就能够提早定位并彻底解决,更为今后产品大规模量产及产品升级换代提供客观准确的科学依据。SEM 是其中的重要技术手段,尤其在线检测分析更是物尽其用。
① APA6000一氯胺分析仪,可以准确的测量水体一氯胺和游离氨氮浓度,这弥补了常见的在线水质分析仪表在氯胺消毒工艺中应用的缺陷。② 利用APA6000一氯胺分析仪,可以同时测定一氯胺和游离氨,通过这两个测定结果,分别控制氯胺消毒工艺中氯和氨的投加量,可以实现理想的加氯加氨控制,将一氯胺产率最大化。这可以克服以往氯胺消毒工艺中依***经验比例投加氯和氨导致的各种问题。更多精彩内容,请您下载后查看。