高纯气体

【磐诺-高纯气体在线气相色谱仪】仪器采用吹扫阀技术、零死体积零泄漏技术、二维中心切割技术、高纯气体类分析专用色谱柱技术和脉冲氦离子化检测器（PDD）技术相结合进行高纯氦、高纯氢、高纯氮、高纯氩、高纯甲烷、高纯二氧化碳、高纯氧等在线检测。样品采集到定量环并置换干净后，切换进样阀，在载气的带动下样品进入色谱柱中分离并将主组分切割放空后依次进入PDD检测器检测得到。【仪器特点】（1）采用高纯气专用色谱柱技术，测量多种无机和有机杂质组分，符合国标要求；（2）仪器具有开机自检功能、断气保护功能、断电自动重启功能、自动标定功能和报警功能，保证系统安全和稳定性；（3）采用带吹扫保护的膜阀和零泄漏管道接头设计，系统漏率＜1*10-8m3.pa.s-1；（4）PDD检测器具有专利技术和宽量程数字化输出，其中CH4检测限≤5ppb；（5）核心部件均使用国际知名品牌，可靠性高，使用寿命长。【应用领域】空分装置在线监测【技术参数】检测能力H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2、Kr、Xe等量程CH4（1ppb-1000ppm）检测器脉冲氦离子化检测器（PDD)检出限5ppb（CH4）重复性RSD≤3%分析周期10min功率电源＜300W，220V AC/50Hz工作环境温度：（-10~50）℃，湿度：（10%~90%）RH气源要求载气：高纯氦（≥99.999%）?输出4-20mA、RS232/RS485、以太网尺寸19"标准机箱，5UA、测定成分测定组分检测气体H2Ar/O2N2CH4COCO2He是是是是是是H2否是是是是是O2是Ar是是是是Ar是否是是是是N2是是否是是是CO2是是是是是否Kr是是是是是是Xe是是是是是是B、测定范围测定成分测定范围H210ppb—100ppmAr/O210ppb—100ppmN215ppb—100ppmCH45ppb—100ppmCO25ppb—100ppmCO210ppb—100ppmKr10ppb—100ppmXe20ppb—100ppm

ta7000 高纯气体分析仪生产过程中的关键链接Trace Analytical &trade ta7000, 由AEMTEK Process Instruments生产, 专门设计的采样系统、高灵敏度检测器和分析电子器件。有两个型号---ta7000R和ta7000F，检测器不同，每个型号分析不同组分。? ta7000R 检测H2, CORGD (还原气体检测器) 检测限：低于500ppt? ta7000F 检测CO2, 甲烷和非甲烷烃FID (火焰离子化检测器) 检测限：低于500ppt随着半导体技术的发展，晶圆生产过程越来越复杂要求越来越高。为保护产品质量和产能，需要达到标准的高纯度气体。ta7000分析高纯气体中杂质含量，满足半导体工业的最新要求。

GC2002（N/PDHID）氦离子化气相色谱仪，配有VICI**度氦离子化检测器（PDHID）和*配套的脉冲高压电源、氦气净化器。仪器设置有带有载气吹扫保护的四阀多柱分析系统。对*超纯气体具有前组分切除、中心组分切割、后组分排空的通用性分析功能。针对不同被测气体，配置适用的多柱系统，就可实现对*超纯特种气体中有关PPb级痕量杂质的检测。仪器特点： 成套*的PDHID氦离子化检测器、脉冲高压源、氦气净化器、保证了高检测灵敏度及稳定性； 带有被测样品的前组分切除、中心组分切割、后组分吹扫排空的多柱分析系统，对*分析样的适应性强； 带有载气吹扫保护功能并可恒温控制的十通、六通、四通阀。 预柱与分析柱单独分开温控，便于调试、便于获得分离分析条件。 具有进样系统预冲洗系统，使进样*度高、稳定性快、使取样气体用量少、防止了环境空气O2、N2的干扰。 具有电脑反控和10/100M以太网通信接口及内置工作站，可实现远程监管。

华翼科技H5150脉冲放电氦离子化（PDHID）在线气相色谱仪，配备了高灵敏度PDHID检测器（脉冲放电氦离子化检测器），对高纯气体中痕量杂质的检测限可达到ppb级，是高纯氦、高纯氩、高纯氮、高纯氢等大宗气体及各类电子级气体分析的优选。适用标准：GBT28726—2012《气体分析-氦离子化气相色谱法》高纯气标准GB/T 8979-2008《高纯氮》 GB/T 14599-2008《高纯氧》GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》 GB/T 4842-2006《氩》GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》 GB/T 17873-1999《纯氖》GB/T 5829-1995《氪气》 GB/T 5828-1995《氙气》HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》电子气标准GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》 GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》 GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》 GB/T 14600-2009《电子工业用气体 氧化氩氮》GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》GB/T 21287-2007《电子工业用气体 三氟化氮》主要特点：1. 操作自动化程度高，用户只需按动一次启动键，即可完成样品分析；2. 采用了高灵敏度氦离子化检测器，该检测器对各痕量组分的检测灵敏度如下表所示；杂质种类H2O2N2CH4COCO2检测限（ppb）510105255 3. 选用经特殊处理的色谱柱，消除了色谱柱对O2、CO等痕量组分的非正常吸附现象；4. 所采用的进样阀及切换阀均为进口带吹扫功能的产品，在保证仪器耐用性的同时，消除了空气渗漏对样品分析结果的影响；5. 所有的接头及管线均经过抛光处理，且接头处经高精度加工处理，一是为防止气体泄漏，二是将系统死体积降至最低，三是减小某些痕量组分的吸附。另外，色谱柱两端的密封方式为VCR密封，其他接头均采用镀金卡套密封，泄漏量比普通卡套形式低一个数量级；6. 采用背压阀控制的升压进样方式，能够消除进样波动并获得相对较高的分析灵敏度；7. 所有管线，包括色谱柱管，均采用VICI产品，保证管壁光洁度；8. 仪器配备有专用的载气减压器、进口载气纯化器及采样器，保证分析结果的准确性；9. 可配备我公司独有的氧氩分离组件，用于分析氩气之外样品气中氧及氩含量，尤其在分析高纯氧中杂质含量时，无需采用脱氧装置，能够大大减少维护工作量。技术指标:主要参数参数范围测量范围0~1000ppm检出限10ppb CH4重复性≤2%输出MODBUS电源AC220V/50Hz工作环境5~35°C，20~90% RH气体接口1/8”不锈钢卡套重量20~30kg外形尺寸(深×宽×高)510 mm×440 mm×310 mm 应用实例:1、高纯二氧化碳中杂质分析（各组分浓度均近10 ppm）2、高纯氮气中杂质分析（各组分浓度均近5 ppm） 3、高纯氧气中杂质分析（各组分浓度均近10 ppm） 4、高纯氩气中杂质分析（各组分浓度均近10 ppm）

仪器简介： GC-9560型气相色谱仪是上海华爱色谱分析技术有限公司新推出的一款新型数字化全控气相色谱仪。仪器采用大屏幕LCD液晶显示器，显示直观、操作方便。同时仪器自带数字接口，通过一根通讯线在计算机上实现实时数据信号采集、数据处理以及仪器各单元控制命令的双向通讯。是国内一款真正实现计算机反控技术的气相色谱仪。其美观且紧凑的外观设计，配备现代化的计算机控制技术，使GC-9560成为名副其实的新款高性能气相色谱仪技术参数：系统可实现的检测限： 1.1 超纯氢分析 以超纯氢（99.9999%）做载气时，对H2中的五种气体的检测限如下（ppM) 进样量／组份 　 Ｏ２ 　 Ｎ２ CO ＣＯ ＣＯ２ 3ml 2 2 0.1 0.1 0.1主要特点： 此方案采用双进样，可以一台仪器实现高纯氢与原料氢的分析。检测器采用高灵敏热导池，的检测限；管路采用进口材料，硬密封，做到系统中无死体积无吸附及扩散以热导的灵敏度与性；气路的控制采用独特的后置式控制，避免表头中的空气渗透进分析样品中；系统的整体噪音&le 5uv ，基线漂移：100uv/30min.在进样量为1ml ，N2杂质含量为1ppm时峰?amp gt 15uv，在进样量为3ml ，N2杂质含量为1ppm时峰高50uv（当含量为5ppm时，峰高达到220uv以上），系统的检测限如下表所列；在样品分离上实现分离；此系统阀进样系统尾部装有转子流量计与针形阀用以控制进样流速，以进样量的重复性。

GC2002型气相色谱仪本仪器配有VICI原装进口高灵敏度氦离子化检测器(PDHID )、带保护气阀、氦气 纯化器及进口的大口径毛细色谱柱。仪器设计有带载气吹扫保护的多阀多柱分析系统。 对各种超纯、高纯气体具有前组分切除、中心组分切割、后组分排空等实用性分析功能。 可实现对各种超纯、高纯特种气体中ppm、ppb级痕量杂质的检测。纯、高纯、超纯气体中痕量杂质各组份最小检测浓度杂质组分H2O2N2COCH4CO2NeArKrXe检测限(ppb)105555555510高纯氢气中部分杂质的分析谱图高纯氩气中部分杂质的分析谱图高纯氮气中部分杂质的分析谱图空气中痕量氪和氙的分析谱图

GC-9560-HG高纯气体分析系统适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，仪器配备原装进口高灵敏的氦离子化（PDHID）检测器；采用华爱色谱拥有技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术，进样阀采用原装进口的带吹扫保护气路的六通或十通阀，连同原装进口的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体解决方案。 众所周知，高纯气体的分析是一个复杂的过程，也是色谱分析的难点之一；不仅需要高灵敏的检测器，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节。上海华爱色谱分析技术有限公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点，并给出了所有难点的解决措施，使GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪成为国内专业的高纯气体分析系统，很好的完成了气体中微量杂质，特别是ppb级的杂质的分析。适用的国家标准：1、高纯气标准GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》 GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》 GB/T 4842-2006《氩》GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》 GB/T 17873-1999《纯氖》GB/T 5829-2006《氪气》 GB/T 5828-2006《氙气》HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》2、电子气标准GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》 GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》 GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》 GB/T 14600-2009《电子工业用气体 氧化氩氮》GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨》 GB/T 14602-93《电子工业用气体 氯化氢》GB/T 14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》 GB/T 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 GB/T 21287-2007《电子工业用气体 三氟化氮》GB/T18867-2002《电子工业用气体 六氟化硫》 系统配置：（1）GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪（2）氦离子化检测器（PDHID）（3）中心切割系统（4）多柱箱系统（5）氦气纯化器（6）标准气体（7）色谱柱（8）高纯氦（纯度99.999％）（9）氧吸附与还原系统（10）载气专用减压阀（11）无死体积专用取样阀（12）GC-9560V4.0版反控色谱工作站 一、中心切割技术，实现气体全分析：GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹技术，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，一次进样即可完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测。 吹扫型十通阀GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪所配备的均为原装进口VICI生产的带保护气路的吹扫型十通阀，阀平面始终处于载气的氛围中，避免进样和切换时空气渗透到样品之中，大大提高检测灵敏度和性。VICI AG International是专业的进样阀供应商，其生产的进样阀制作精良，外观精美，所有材料均进行了防吸附处理，且整个阀体的死体积已减小，再配合吹扫气路的保护，从而排除空气渗透对样品中痕量杂质检测的影响 经特殊加工的色谱柱技术（1） 色谱柱管材采用316L不锈钢材料，且管材内壁均经过钝化处理，防止吸附和一氧化碳拖尾等问题的产生（2） 色谱柱担体均经过特殊处理，避免氧吸附等问题的产生（3） 预切柱采用华爱色谱获得国家的微型填充柱技术，样品的分离，兼顾分离、稳定与快速二、多柱箱分离系统气体样品的形式多种多样，同时杂质种类繁多，需要多根不同的色谱柱联用来完成气体样品中的所有杂质的分离。由于不同色谱柱的工作温度不尽相同，在同一个柱箱中很难找到同时适合不同色谱柱工作的工作温度。GC-9560-HG采用多柱箱设计，有效解决了不同色谱柱需要不同工作温度的难题。在仪器的日常维护中，由于5A分子筛等不同担体的色谱柱的活化温度各不相同，如果在同一柱箱中进行老化需要将不耐受高温的色谱柱拆下来，然后分别进行活化。GC-9560-HG的多柱箱设计可以有效解决上述问题，不同的色谱柱可以在不同柱箱中分别活化，避免了日常仪器维护工作中需要拆装色谱柱的问题。三、HP-2氦气纯化器：GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪采用高纯氦气为载气，氦气的纯度直接影响到整个仪器对杂质的检测灵敏度。试验证明，高纯气体分析所用载气的纯度至少比气体样品的本底纯度高一个数量级。HP-2型氦气纯化器是VICI公司生产的一款专载气纯化器，其纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散，防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸附。HP的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两个温度控制范围。可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等残留浓度：&le 10ppb四、进样压力校正系统传统的色谱仪采用在进样阀出口处控制流量的办法来控制定量管内的进样体积，试验证明这种方法有着大的分析误差以分析高纯氢气为例：标准气是配置在氦气中的六种杂质，而样品气是在氢气中的六种杂质；由于氦气和氢气的分子量不同，从而造成了在相同流量下的进样量是不一致的情况GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪配备压力校正系统，克服因底气不同造成的进样量不一致的问题，确保数据的性。五、无死体积取样阀GC-9560-HG配备了无死体积的专用取样阀，采用带吹扫保护的取样方式，有效的避免了空气残留的问题，将取样过程对分析的影响降至低的水平。六、载气专用减压阀普通减压阀由于死体积的存在，直接影响到经减压阀输出后的载气纯度，造成载气中的本底杂质浓度很高，从而影响到整个系统的检测限。GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪配备具有两级稳压功能的全不锈钢载气减压阀，大大提高了压力稳定性，确保基线的稳定，同时也降低了阀体内的死体积，进一步提高检测灵敏度。七、电子气取样系统电子气体的分析有其特殊性，如硅烷遇O2极易自燃、有些电子气体为有毒有害气体，采用传统的取样方式无法完成电子气的分析GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪可以选配专业的电子气取样系统，该系统采用吹扫、真空等方式确保系统中无O2存在，管路全部采用316L不锈钢材料制成的外径1/8"管道，内壁经抛光和钝化处理，防止吸附。接口采用镀金卡套式接口，严格确保系统气密性，排除了潜在危险。电磁阀和微型真空泵的应用使整个系统的操作更加方便，通过色谱工作站可完成吹扫，取样，进样等一系列操作。

GC112A高纯气体分析专用气相色谱仪 GC112A安装了高灵敏度的热导检测器,GC112A具有池体积小,信号稳定,不受外界干扰,分析灵敏度高等等特点；也可以按照用户要求改装毛细柱或者是改装成单气路结构；欢迎广大用户选购。 以下配置仅做参考，根据实际分析气体时的需要有所增减，请与我们联系！ 检测最低浓度１ppm，TCD检测器和FID检测器载气独立供给互不影响。 序号 产品名称 规格型号 相关配置 备注 1 气相色谱仪主机 GC112A 大屏幕LCD蓝色背光显示，双气路结构，5阶程升自动后开门 2 高灵敏度热导检测器 TCD 灵敏度：&ge 8000mV&bull ml／mg（正十六烷/异辛烷）。 可安装毛细柱或改成单气路结构 3 毛细柱进样器 分流/不分流 4 氢火焰检测器 FID 检测限：&le 8× 10-12g／s（正十六烷/异辛烷）自动点火,稳定时间10min 5 甲烷转化炉 6 载气纯化器 纯化载气到＞99.9999% 7 热导信号放大板 信号10倍放大 8 六通进样阀 可选择进口阀 9 色谱分析柱 根据需要配置 ＊10 电脑，打印机 ＊11 载气 自备 ＊12 空气发生器 ＊13 氢气发生器 适用标准: GB/T 8980-1996《高纯氮》 GB/T 14599-93 《高纯氧》 GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》 GB/T 4842-2006《高纯氩》 GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》 GB/T 17873-1999《纯氖》 GB/T 5829-1995《氪气》 GB/T 5828-1995《氙气》 HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB/T 10621-2006《食品添加剂液体二氧化碳》 GB/T 16942-1997《电子工业用气体 氢》 GB/T 16943-1997《电子工业用气体 氦》 GB/T 16944-1997《电子工业用气体 氮》 GB/T 16945-1997《电子工业用气体 氩》 GB/T 14604-93《电子工业用气体 氧》 GB/T 14600-93《电子工业用气体 氧化氩氮》 GB/T 14601-93《电子工业用气体 高纯氨》 GB/T 14602-93《电子工业用气体 氯化氢》 GB/T 14603-93《电子工业用气体 三氟化硼》 GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》 GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》 GB/T 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》 GB/T 15909-1995《电子工业用气体 硅烷》 国标中规定的各种气体的纯度指标： 气体种类 项目 指标 优等品 一等品 合格品 高纯氮 氮气纯度0-2（V/V） &ge 99.9996 99.9993 99.999 氧含量,10-6（V/V） &le 1.0 2.0 3.0 氢含量,10-6（V/V） &le 0.5 1.0 1.0 CO、CO2、CH4总含量,10-6（V/V）&le 1.0 2.0 3.0 高纯氩 氩纯度, 10-2（V/V） &ge 99.9996 99.9993 99.999 氮含量,10-6（V/V） &le 2 4 5 氢含量,10-6（V/V） &le 0.5 1 1 总碳含量（以甲烷计）10-6（V/V） &le 0.5 1 2 高纯氦 氦气纯度, 10-2（V/V） &ge 99.9996 99.9993 99.999 氢含量,10-6（V/V） &le 0.1 0.5 1 氧（氩）含量10-6（V/V） &le 0.5 1 1氮含量,10-6（V/V） &le 1 1 2 一氧化碳含量,10-6（V/V） &le 0.1 0.2 0.5 二氧化碳含量,10-6（V/V） &le 0.2 0.2 0.5 甲烷含量,10-6（V/V） &le 0.1 0.2 0.5 高纯氢 氢纯度, 10-2（V/V） &ge 99.999 氧（氩）含量10-6（V/V） &le 1 氮含量,10-6（V/V） &le 5 一氧化碳含量,10-6（V/V） &le 1 二氧化碳含量,10-6（V/V） &le 1 甲烷含量,10-6（V/V） &le 1 超纯氢 氢纯度, 10-2（V/V） &ge 99.9999 氧（氩）含量10-6（V/V） &le 0.2 氮含量,10-6（V/V） &le 0.4 一氧化碳含量,10-6（V/V） &le 0.1 二氧化碳含量,10-6（V/V） &le 0.1 甲烷含量,10-6（V/V） &le 0.2 高纯氧 氧纯度, 10-2（V/V） &ge 99.999 99.998 99.995 氩含量,10-6（V/V） &le 2 5 10 氮含量,10-6（V/V） &le 5 10 20 二氧化碳含量,10-6（V/V） &le 0.5 1 1 总碳含量（以甲烷计）10-6（V/V） &le 0.5 1 2 产品行销全国，上海市，江苏省，浙江省，广东省，北京市，天津市，山东省，广西省，河北省，湖南省，陕西省，河南省，吉林省，江西省，黑龙江省，福建省，山西省，四川省，安徽省，新疆，甘肃省，青海省，贵州省，辽宁省，重庆市，内蒙古，西藏，海南省，武汉，青岛，常州，合肥，广州，沈阳，太原，郑州，杭州，苏州，昆明，南京，深圳，厦门，长沙，济南，烟台，大同，南宁，大连，哈尔滨，西安，兰州，银川，西宁，成都，重庆，长春等地。

上海欧格斯特气体技术中心提供超纯环境、流量控制、压力控制、真空获得等解决方案。Pura这款小巧的变送器拥有坚固而独立的传感器，专门用来测量高纯气体中的微量水分含量。如有疑问请在此联系我们。

朋环测控 静态稀释仪(可做高纯气体稀释) SD6000/7000静态稀释仪用于实验室标准气体、样品气的稀释,稀释过程中不会将标气排入大气环境中,环保安全、节省气体标准(或样品) 也可用于样品的加标、加压 除稀释气外的所有流路均采用了高惰性化不锈钢管路和接头,且具有加热功能,避免残留和吸附。该产品最多可将5种不同含量的标准气体混合稀释成要求的标准气体,同时支持稀释活性较大的气体(如硫化物等)。系统优势稀释范围宽带温度补偿的24位高精度压力传感器内部流路体积小于200uL,易清洗全流路惰性材料(硅烷化不锈钢,PEEK)全流路伴热,减少吸附损失自动检漏自定义建立稀释方法，可溯源控制界面,使用直观方便内置标签打印,方便工作记录占用工作台面积小32cmx32cm,10寸触摸屏

项目：超纯、高纯空分气体分析整体解决方案产品名称：Agilent-8890PDD氦离子化气相色谱仪分析系统仪器分析目标：空分气体中杂质检测高纯气体样品：(＞99.999%)He、H2、CO2、Ar、N2 等检测项目：杂质组份分析H2 ，O2/Ar ，N2 ，CH4 ，CO ，CO2 ，还可测C2+ 杂质样品 H2O2+ArN2CH4COCO2C2H6H2 (99.999%)NA 0.2 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm/N2 (99.999%) 0.1 ppm 0.2 ppmNA 0.1 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm/Ar (99.999%) 0.1 ppmNA 0.2 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm/He (99.999%) 0.1 ppm 0.2 ppm 0.2ppm 0.1 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm/CO2（99.999%） 0.1 ppm 0.1 ppm 0.2ppm 0.1 ppm 0.1 ppmNA 0.1 ppmCH4（99.999%） 0.1 ppm 0.1 ppm 0.2ppmNA 0.1 ppm 0.1 ppm 0.1 ppmLDL最低检测限10ppb10ppb10 ppb10ppb25 ppb10ppb10ppb检测器: 配置双脉冲氦离子检测器Agilent8890 PDHID系统依据的相关标准: GB/T 28726-2012《气体分析 氦离子化气相色谱法》JJG700-2016《气相色谱仪计量检定规程》GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》GB/T 4842-2006《氩》GB/T 4844.3-2005《高纯氦》GB/T 3634.2-2011 《纯氢、高纯氢、超纯氢》GBT 6052-2011 工业液体二氧化碳Agilent 8890PDD氦离子化气相色谱仪：柱温箱温度范围：室温以上40℃-450℃温度设定：温度1℃；程序设定升温速率0.1℃升温速度：0.1℃/min~120℃/min温度稳定性；当环境温度变化1℃时，优于0.01℃程序升温：20阶21平台最大运行时间：999.99分钟降温速率：从450℃降至50℃不多于6分钟(22℃室温下)数据处理系统：全中文工作站参数输入：仪器控制参数，数据采集及计算处理参数的设定；报告：内置多种报告格式，可自动生成系统适应性报告、峰纯度报告、光谱检索报告等；用户也可编辑个性化的报告模板；在线帮助及教程：每个对话框，均有在线帮助，提示用户设定适合的参数；内置30余套培训教程以供用户自主学习工作站操作；在线诊断：内置多项对各组件的自动测试程序，用户可根据仪器使用情况，随时检查仪器性能；内置多种色谱常见问题及其解决方案；早期维护预警：提供消耗元件累计使用情况，以便及时进行系统预防性维护；电子日志：实时记录仪器使用操作情况，随时查阅仪器状态。色谱分离系统配置：仪器检测限：仪器主要应用于气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表：气体种类需分析空气的杂质种类HeH2O2+ArN2CH4COCO2仪器的最小检测限（PPb）5555105空分样气--取样与吹扫系统 在线分析: 用户自己配套工程在线取样气管道仪器的工作环境要求Agilent-8890/PDD气相色谱仪应放在宽敞、干燥、空气流通的室内。最好是在人们感到舒适的环境下使用（适当的恒温、恒湿条件）。这样，仪器才能发挥最佳的性能，仪器的使用寿命也最长。室内温度：5～35℃ ； 相对湿度：0～85%若将仪器暴露在腐蚀性物质（不管是气体、液体还是固体)中，就会危及Agilent -8890/PDD气相色谱仪材料和零部件，所以应避免。气源室：气源室周围不能有火源、电火花、电线、热源，易燃易爆和腐蚀性物质存在。以免发生意外。气源室的温度最好在10～35℃，防止气体压力变化过大引起爆炸和其他事故。高压钢瓶应竖立放置，应牢牢固定在不能移动的建筑物或靠架上。不能放在柱箱热气排放的通道上。供气管线采用经严格清洗的不锈钢导管

GB/T 14601-2009电子工业用气体 高纯氨分析气相色谱仪氦放电离子化检测器气相色谱仪 配置： 普瑞GC-9280型氦离子化气相色谱仪 目标化合物： 氨中氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、二氧化碳和烃（C1-C3) 检测限：0.01*10-6（体积分数）仪器简介GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以GC-9280气相色谱仪为载体，配备VALCO公司生产的氦离子化（PDHID）检测器；采用普瑞公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术，其中的所有进样和切换阀均为VALCO公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀；上述部分与VALCO公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体及解决方案。GB/T 14601-2009《电子工业用气体 高纯氨》 标准GB/T 14601-2009《电子工业用气体 高纯氨》产品的特点:◆ 气体行业专业色谱技术成套解决方案◆ 采用VICI公司Valco带吹扫型十通与六通切换阀控制气路◆ 应用气体分离专用色谱柱分离预切再分离技术◆ 采用可分离与嵌入式单体控温柱炉◆ 工艺流程采用多路精密零死体专用阀控制多维色谱分离柱流量◆ 分析流程全部采用Valco公司316不锈钢管路与专用镀金接头◆ 核心灵敏部件采用Valco公司PDHID脉冲氦离子检测器◆ 成套专业化的数字与全中文反控气相色谱仪技术优势：中心切割与反吹系统：GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹系统，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测：VALCO吹扫型十通阀：GC-9280PDD氦离子化气相色谱仪所配备的均为原装进口VALCO生产的经特殊加工的色谱柱技术HP-2氦气纯化器：可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn最大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等残留浓度：≤10ppb

产品概述LP1激光光声光谱气体分析仪，集成了高精度高选择性可调谐可控光谱的半导体激光器光源，和宽动态量程的悬臂梁增强型光声光谱技术。零背景噪声技术提供了连续几个月不需重复校准的高稳定性，这一特性使得LP1是需要ppb、ppt痕量级浓度测量要求工况的理想选择。高灵敏度和多种激光器光源选择仪器工作在非谐振模式，采用不同的调制模式可以同时测量来自两种激光器光源的信号，由此产生的光声光谱信号当量直接量化了在光声光谱采气样室内不同被测气体的浓度。激光器的调制波长和低压测量的利用，使得分析不同混合气体具有极好的选择性，基于此背景噪声信号最小化技术，使测量结果微漂移以及长的标定周期。对于选择每种适合的激光器光源，目前LP1能够装配宽范围的NIR近红外半导体激光器，并连续增加可选择的激光器。例如量子级联激光器(QCL)，或近红外光学参量振荡器(IROPO)，持续增加气体测量量程，并增强仪器的优异功能。特性根据工况要求可配置多种激光器光源同时分析多组分气体ppb级测量高选择性低采样量&宽动态范围长标定周期免维护内置2点采样标定界面友好温度和压力波动补偿多功能分析任务操作界面图片化测量结果图文并茂无耗材&无可移动零件应用气体杂质温室气体空气质量职业安全过程控制自动化生产制冷剂泄露呼气分析安防安检天然气和合成气土壤分析技术具有悬臂梁增强型光学麦克风的半导体激光器光声光谱采气样室恒定温度50℃拥有专利权的超灵敏光学麦克风，基于MEMS悬臂梁传感器，19”3U工业机箱内置5.7”彩色显示屏的工控计算机可设置被分析气体的报警检测限内置存储器2GB，超过1年的最短采样间隔连续测量数据存储通过U盘或者PC连接USB口、Ethernet网口、串口进行数据传输仪器背部有四路进气口，其中两路客户可定制过滤装置和净化装置。自动补偿温度和压力波动带来的误差环境操作条件:工作温度:0°C~+45°C工作湿度:通用参数尺寸：48.4cmWx13.9cmHx44cmD(19,1inWx5,5inHx17.3inD)重量:约13kg总采样量30ml气体连接：6/4mm管电气连接：输入电压:100~240Vac,50~60Hz输入功率:100W接口通讯接口:Ethernet,USB,RS232,RS485测量特性响应时间：典型5S，可定制；检测限：典型ppb级，根据气体可定制动态量程：典型5个量级(1:100,000)重复性：

氦气和氮气纯化器 载气的纯度对高灵敏检测器和杂质限量检测器非常重要，甚至会损坏毛细柱。Valco HP2（氦纯化器）能纯化氦气和其它惰性气体，如氩，氖气，氪气，和氙气，还有低于ppm级的活性气体杂质。NP2同HP2相似，专门纯化氮气，使气体杂质含量在ppm级以下。 Valco气体纯化器的纯化衬底是一个防蒸发的吸气合金材质。坚固合金是焊接装配件，所以纯化器在工业可安全使用，不必担心。吸气剂受热后，颗粒表面的氧化膜脱掉，氦气就大量的吸附在颗粒的表面上。HP2和NP2有一个自控装置，它能防止热量散失，使吸气剂保持在合适的温度。 小型气体纯化器Valco小型氦气和小型氮气纯化器安装在气相色谱流路上，进样口的上游附近。HPM/NPM能清除任何由流路控制器，软管密封件，压力控制器，原样，或者因为其它系统成分不纯或泄漏所引入的杂质。标准氦气和氮气纯化器 包含外接电源名称氦纯化器氮纯化器定货号定货号110VACHP2NP2230VACMNK283129MNK283434吸气装置替换件氦气MNK283165氮气MNK283166技术提示： 氦纯化器■CE认证标志■纯化的气体 氦，氖，氩，氪，氙,氡■最大操作压力 1000psi■能去除的杂质 出口杂质低于10ppb(H2O,H2,O2,N2, CO,NO,NH3,CO2的进样杂质为前提其它杂技包括CF4，CCL4，SiH4和低分子碳化物■不能去除的杂质 氦，氖，氩，氪，氙 氮纯化器■CE认证标志■纯化的气体 只有氮气■能去除的杂质 出口杂质低于10ppb (H2O, H2, O2,NO, CO, CO2, NH3,),10ppm的总的进样杂质为前提其它杂技包括CF4，CCL4，SiH4和低分子碳化物■不能去除的杂质 氦，氖，氩，氪，氙,甲烷 ,氡和氮

ASDPureTM 是一款加热吸收型的气体纯化器，可实现5N秒变9N，让纯化性能有着质的飞跃。当您的仪器配有独有的双段式加热吸收技术（单段式可选）的纯化系统，可以有效地提高性能以及使用寿命。 【应用范围】1、载气纯化2、用于在线分析仪校准的零气发生器纯化TCD分析仪的参比气纯化3、 质谱用氦气纯化4、使所有检测器性能趋于完美: EPD, PED, HID, DID, FID, PDID, TCD, ECD,等 【产品特点】1、双段式纯化过程提高了纯化性能，使用寿命两倍于市场上其他纯化器2、双段纯化设计保证了无H2释放3、可以纯化Ar, He, Ne, Xe and Kr (N2纯化可选）4、300 mL/min高流速纯化能力 (1L/min可选）【技术参数】

高纯气体应用领域极广，无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂，都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为载气，保护气和配制混合气的气体来源。 Ellutia高纯气/特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法，检测限可达ppb级（50ppb），既可用于检测常见的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量杂质，还可分析特种气体如HCL，SiH4，BCL3，N2O,CF4等。根据不同应用要求，实现客户化定制。 产品特点实现多种气体高灵敏度检测 氦气吹扫，避免与空气接触所引起的外界污染 精密防泄露装置，避免潜在污染 配备高纯气吸气剂，去除微量杂质 尺寸规格小，不占据实验室空间

纯化性能的飞跃ASDPure是一款加热吸收型的气体纯化器。当您的仪器配有独有的双段式加热吸收技术（单段式可选）的纯化系统，可以有效地提高性能以及使用寿命。双段式纯化过程提高了纯化性能，使用寿命两倍于市场上其他纯化器，双段纯化设计保证了无H2释放ASDPureTM 可以纯化Ar, He, Ne, Xe and Kr (N2纯化可选）300 mL/min高流速纯化能力 (1L/min可选）载气纯化用于在线分析仪校准的零气发生器纯化TCD分析仪的参比气纯化质谱用氦气纯化使所有检测器性能趋于更好: EPD, PED, HID, DID, FID, PDID, TCD, ECD等ASDPure 配置有双段式纯化过程(单段式同样可选)，双段式设计 开启了一个更为优异的纯化过程和更好的纯化性能。* 在纯化器出口 压 力 大 于 50 psig 时，得到 出口纯度 **氢气杂质5ppb*** 使用5N纯度以 上的进气

产品展示：仪器配置：　　FPD + 气体进样系统 + SF6切换反吹系统 + 色谱柱系统、网络化电控系统、内置工作站*参数：1、检测器指标 火焰光度检测器(FPD)灵敏度(检测限)&le 5.0× 10-11g/s(正十六烷)基线噪音&le 0.1mv基线漂移&le 0.5mv/0.5h 2、温度控制 温度范围：室温以上8℃-400℃ 温控精度：± 0.5% 程序阶数：8阶 程升速率：0-39℃/min(调节增量0.1℃/min) 程序升温重复性：&le 1％标气实测谱图标气：SO2F2(硫酰氟):28ppm S2OF2(亚硫酰氟):40ppm S2OF10(十氟一氧化二硫):33ppm余：SF6(六氟化硫）仪器特点：1.全微机控制系统，电脑反控一台电脑可控制N（N≦253）台色谱仪，具有六路温度控制系统；四路时间程序系统。2.色谱仪采用10/100M以太网通讯接口，可以实现对仪器的远程控制和远程数据传输处理及监管。可连接到单位主管及上级主管，便于主管实行监管。3.数字信号输出（内置色谱工作站）,信号网线直接输出。4.大容量柱箱带自动后开门，可进行8阶程序升温；近室温控制功能（室温以上8℃）。5.具有故障自我诊断功能，可显示故障部位及性质；具有超温保护功能，*一路温度超过设定温度，均会自动停止加热。

简介：超高纯气体纯化技术是有色金属研究总院“十三五”重点产业化方向。在“十二五”期间军工项目科研成果基础上研发的气体纯化材料，具有处理量大、去除杂质种类多、吸附深度大、使用寿命长等优点，并以此为核心技术开发出多个型号的惰性气体、氢气和氮气等超高纯气体纯化装置。同时，有研总院自身具备不断创新的研发能力，成套的纯化材料生产、纯化器组装技术，以及完善的纯化器性能测试条件，可根据用户需求设计完整解决方案、定制非标产品，并提供各项性能检测服务，目前产品已应用于中国科学院理化所、中国核工业集团、西南化工研究设计院、北京师范大学、北京航空航天大学、北京科技大学、国家有色金属材料检测中心，哈尔滨师范大学等单位获得应用。UP10M工业用超高纯气体纯化器采用活性金属为化学吸附剂，当原料气通过活性金属纯化床时，气体中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等杂质气体与活性金属发生化学吸附反应，根据原料气纯度不同，一次纯化后出口气体纯度即达到 7N-8N，可实现无人值守全自动运行，并具有实时监测、故障报警和反馈等功能。为保证产品质量，纯化器系统管路连接全部采用 Swagelok 全自动轨道焊机焊接，漏率低于 10－9 Pa；关键部件焊接、组装、生产均在千级超净环境中进射流冲蚀试验机便于在各种条件下测定的磨损率。磨损率可 以用来确定在给定操作条件的最佳材料。它也可以被用来预测使用寿命和寿命周期成本。UP系列气体纯化器委托上海正帆科技公司对 GRINM-UP1L 氩气纯化器性能检测结果 气体类型H2O2/ArN2CH4COCO2H2O单位原料气0.0740.010.2480.010.010.01未测试ppm纯化后0.010.010.010.010.010.010.033ppm 部分用于现场照片：山西中升钢厂光谱仪配套UP10M使用现场，分析用气体纯度达到光谱仪检测所需的最高级的绿色。 北京科技大学CVD设备用的多台UP1L氩气纯化器 西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氩气纯化器 搭载氢气纯化的电解水制氢/在线纯化系统，用于人造钻石生产高纯氢场合 UP10M工业用超高纯气体纯化器产品参数：l 原料气纯度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2l 产品气纯度：≥99.99999%l 产品气杂质含量：H2O ≤5ppbO2 ≤10ppbN2 ≤10ppb（原料气非 N2 ）H2 ≤10ppb（原料气非 H2 ）CO ≤10ppbCO2 ≤10ppbCH4 ≤10ppbNMHC ≤10ppbl 最大工作流量：≤10Nm3 /h，可定制2-30Nm3 /hl 阀门：EP 级气动隔膜阀l 内置颗粒过滤器：2 微米l 显示屏：组态控制软件，触摸屏工业计算机控制l 最大工作压力：2.0MPa，氩气可定制20兆帕高压l 出入口气体压差：0.2MPal 进出气接口：1/4″VCRl 纯化柱及管路：EP级316不锈钢l 管路连接：Swagelok 自动轨道焊接l 电源电压及功率：220V-380V，10-20kwl 产品外形尺寸：500×700×1600mm 气体纯化器是集成电路、LED、太阳能板、光纤、燃料电池等制造工艺中必不可少的重要装备，并可有效提高离子溅射、薄膜生长、焊接、配气等多项技术的工艺性能。UP10M 工业用超高纯气体纯化器系列主要用于提供工业生产、分析测试中的超高纯度工艺气、保护气等，也是气体配制行业必不可少的关键设备之一。气体种类产品用途应用领域He稀释气纯化半导体制造业中光刻、干刻、化学气相沉积工艺中混合气Ar等离子体气体、载气纯化半导体制造业中干刻蚀、离子注入等 工艺中等离子体气体，直读光谱仪载气N2稀释气、检漏气纯化半导体制造业中稀释氧化工艺、气体浓度调节、检漏气体H2还原气、反应气纯化IC、LED 等制造业中外延工艺和扩散工艺气体

超高纯气体纯化技术是有色金属研究总院“十三五”重点产业化方向。在“十二五”期间军工项目科研成果基础上研发的气体纯化材料，具有处理量大、去除杂质种类多、吸附深度大、使用寿命长等优点，并以此为核心技术开发出多个型号的惰性气体、氢气和氮气等超高纯气体纯化装置。同时，有研总院自身具备不断创新的研发能力，成套的纯化材料生产、纯化器组装技术，以及完善的纯化器性能测试条件，可根据用户需求设计完整解决方案、定制非标产品，并提供各项性能检测服务，目前产品已应用于中国科学院理化所、中国核工业集团、西南化工研究设计院、北京师范大学、北京航空航天大学、北京科技大学、国家有色金属材料检测中心，哈尔滨师范大学等单位获得应用。UP1L 超高纯气体纯化器采用活性金属为化学吸附剂，当原料气通过活性金属纯化床时，气体中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等杂质气体与活性金属发生化学吸附反应，根据原料气纯度不同，一次纯化后出口气体纯度即达到 7N-8N，可实现无人值守全自动运行，并具有实时监测、故障报警和反馈等功能。为保证产品质量，纯化器系统管路连接全部采用 Swagelok 全自动轨道焊机焊接，漏率低于 10－9 Pa；关键部件焊接、组装、生产均在千级超净环境中进射流冲蚀试验机便于在各种条件下测定的磨损率。磨损率可 以用来确定在给定操作条件的最佳材料。它也可以被用来预测使用寿命和寿命周期成本。UP系列气体纯化器委托上海正帆科技公司对 GRINM-UP1L 氩气纯化器性能检测结果 气体类型H2O2/ArN2CH4COCO2H2O单位原料气0.0740.010.2480.010.010.01未测试ppm纯化后0.010.010.010.010.010.010.033ppm部分用于现场照片： 山西中升钢厂光谱仪配套UP10M使用现场，分析用气体纯度达到光谱仪检测所需的最高级的绿色。北京科技大学CVD设备用的多台UP1L氩气纯化器西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氩气纯化器搭载氢气纯化的电解水制氢/在线纯化系统，用于人造钻石生产高纯氢场合UP1L 超高纯气体纯化器产品参数：l 原料气纯度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2l 产品气纯度：≥99.99999%l 产品气杂质含量：H2O ≤5ppbO2 ≤10ppbN2 ≤10ppb（原料气非 N2 ）H2 ≤10ppb（原料气非 H2 ）CO ≤10ppbCO2 ≤10ppbCH4 ≤10ppbNMHC ≤10ppbl 最大工作流量：1000sccml 内置颗粒过滤器：2 微米l 软件功能：可显示多达7种工作状态或故障报警，并具有寿命计时及提醒功能l 扩展功能：多台纯化器可同一终端批量控制，也可与其他设备集成使用l 最大工作压力：1.0MPal 进出气接口：1/8″卡套或VCR 接头l 纯化柱及管路：EP级316不锈钢l 电源电压及功率：220V，0.8kwl 产品外形尺寸：170×160×320mm 气体纯化器是集成电路、LED、太阳能板、光纤、燃料电池等制造工艺中必不可少的重要装备，并可有效提高离子溅射、薄膜生长、焊接、配气等多项技术的工艺性能。UP1L 超高纯气体纯化器系列主要服务于各类科研与分析仪器，如气相色谱仪、辉光质谱仪、光谱仪、镀膜机等，为其提高高纯度载气或分析气，也可用于保证材料气相沉积生长、磁控溅射镀膜、高精度焊接等用气纯度。气体种类产品用途应用领域He载气、保护气纯化色谱仪等分析仪器载气Ar载气、保护气、吹扫气纯化辉光质谱仪、磁控溅射、纳米材料制备，热处理保护气，氩弧焊吹扫气N2保护气、吹扫气纯化磁控溅射反应气、气路吹扫气H2反应气、保护气纯化材料生长、镀膜反应气、退火保护气

APK6100E半导体行业超高纯(特种)气体稀释系统，是一款具有高精度高稀释比的升级产品，可配制五种标气的混合气(可定制),稀释比可达到1:10000，二级稀释，高精度，带有加湿功能，可用于传感器生产商，半导体生产商的产品测试及科研院所的科学研究。可根据用户要求定制。 特点： 苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他 带有加湿功能，可控制稀释后气体湿度 高精度质量流量计（MFC），配制气体浓度精准 可选配液体标样稀释模块 应用： 传感器生产商 半导体生产商 科研院所 相关推荐： APK6100标准气体稀释仪 APK6100C便携式标准气体稀释仪

应用TP203 气体纯度分析仪适用于电厂、变电站SF6气体纯度的日常检测及发电机启动、停机时气体置换过程的检测以及冶金、化纤、石化等行业特殊气体纯度的精密检测。原理采用带温度补偿的微型热导传感器，为用户提供了一种简单的SF6纯度现场检测方法，主要用于测量SF6瓶气及SF6开关等设备中的SF6气体纯度(百分含量值)。功能特点长寿命，高速度探测组件。精确度高，重复性好。内置稳压阀和电子质量流量计。德国原装进口自锁接头，安全可靠，无漏气。真彩色高分辨率触摸液晶屏，操作简易高效。测量精度不受环境影响。配置标准USB接口，数据可以通过接口导出至U盘。智能电量显示，智能充电保护。实时显示温湿度以及气体流量。系统时间实时显示。体积小，智能化程度高，功能配备齐全。可存储≤100条存储数据，可随时进行存储技术指标测量范围：(0～100)( SF6百分含量) 测量精度：±0.1%(90%～100量程内) 分 辨 率：0.01测量时间：≤2min显 示：真彩色高分辨率触摸屏图形化显示取样系统：内置稳压阀、过滤器、电子流量计取样流量：(0.5～0.6)L/min工作温度：(-10～50)℃ 电源：内置锂电池(6600mAh) 功率： ≤50W充电时间：4小时以上(智能充电保护) 使用时间：8小时以上尺 寸：310mm×290mm×280mm重 量：约4kg订购指南打印机仪器组装配件注意事项1.勿测有腐蚀性的气体。2.调节气体流量时，流量阀应缓慢打开，使流量指示在0.5～0.8升/分钟范围之内。3.仪器使用前，应及时充电。充电时只需将仪器自带的电源适配器插入充电口，无需打开仪器电源开关，仪器将自动充电，充电时间一般需要5个小时以上。

在半导体工业生产中,几乎各道工序都用到超纯气体,按其用途可分为保护气体,反应气 体以及运载气体。从气体种类又分为超纯大宗气和电子特气。超高纯大宗气体包括氮气，氢气，氧气，氩气，氦气和压缩空气等。主要用于半导体及光伏太阳能生产中作为载气、稀释气、冷却气、吹扫气、氧化气、燃烧气等。电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。极微量的杂质就可能破坏半导体产品的结构，影响产品的强度、镀膜厚度、导电性、表面完好性及效率，同时也会对机台本身产生影响。目前气体公司供应气体方式暂时无法提供更高纯度气体，普通气体纯度：4N~5N（99.99%~99.999%），需通过纯化到7N-9N（99.99999%~99.9999999%）才可以满足半导体精密制造、光伏器件需求环境。而这，是需要搭配一些纯化手段才能达到的结果。华邦化学气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式，可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下，配备316L EP级吸附管，洁净施工，并且内置0.003微米316L颗粒过滤器；用心制造，用心服务。华邦化学气体纯化器标准型号范围从2slpm到2000slpm各型号可选，可配各式接口，同时提供定制服务，满足各种环境下的产品使用方式。管式POU纯化器：应用范围最广POU纯化器，多为外延、氧化、扩散、CVD、MOCVD等半导体机台工艺设备提供超纯气体；流量范围：2-2000slpm（2、10、30、50、120、200、300、600、1000、2000slpm）华邦化学气体纯化器催化剂寿命测试方法： 每批通过100小时，1.5倍超高温运行性能衰减性能测试，确保20年运行性能不减。华邦化学掌握HPC气体纯化器核心技术，自行开发生产的催化剂、吸附剂，並不断开发更高性能的催化剂。公司共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项，形成较为完善的自主知识产权体系。高质量元器件、洁净装配、出场前测试；严格的质量管控、周到的质量跟踪服务；拥有西安、长沙两个大型纯化器长期运行测试基地，开发的每个系列的设备，均经过超过24,000小时测试。我们有千万级的常备库存，能保证国内范围最快到货，持续稳定供应过硬品质产品，如有兴趣可随时联系我们。

高纯锗晶体（12N,13N） 1、晶体习性与几何描述： 该晶体使用直拉法在晶体（100）方向延伸。圆柱形表面（表面光洁度小于2.5 μm RMS）。经红外成像法检测晶体结构稳定可靠。晶体几个结构由直径和长度决定。当一个晶体属于原生态晶体时，其当量直径为： D ----外形尺寸当量直径 W----锗晶体重量 L-----晶体长度 测量值是四舍五入最小可达到毫米级别。为了便于订单出货，我们会依据晶体的体积、直径和长度进行分类。同时我们可以满足客户的特殊需求，提供定制服务。 2、纯度：残留载荷 最大允许净载流子杂质浓度与探头二极管的几个构造有关，请参照如列公式。其纯度依据据霍尔效应测量和计算。 同轴探测器：同轴探测器适用于下列公式： Nmax = 每立方厘米最大杂质含量 VD = 耗尽层电压 = 5000 V εo = 介电常数 = 8,85 10-14 F/cm εr = 相对介电常数(Ge) = 16 q = 电子电荷1,6 10-19C (elementary charge) r1 = 探测器内孔半径 r2 = 探测器外孔半径 3、纯度 ： 假如晶体表面半径减少2mm,由于锂的漫射和刻蚀，内径8毫米的内孔半径， 适用公式变为： D = 晶体外表面 平面探测器：平面探测器（厚度小于2厘米）适用于以下公式： d=探测器外观尺寸厚度 径向分散载荷子（绝对值） 迁移：霍尔迁移 性能： P 型晶体 μH ≥ 10000 cm2/V.s N 型晶体 μH ≥ 10000 cm2/V.s 能级： P 型晶体 通过深能瞬态测量，Cutot ≤ 4.5*109 cm-3 N 型晶体 通过深能瞬态测量点缺陷 5*108 cm-3 晶体主要指标： P 型晶体 N 型晶体 错位密度 ≤ 10000 ≤ 5000 星型结构 ≤ 3 ≤ 3 镶嵌结构 ≤ 5 ≤ 5 4、高纯度高纯锗HPGe晶体说明： 高纯锗晶体产地法国物理性质颜色银灰色属性半导体材料密度5.32g/cm3熔点937.2℃沸点2830℃ 技术指标材料均匀度特级光洁度特优纯度99.99999%-99.99999999999%（7N-13N)制备方式锗单晶是以区熔锗锭为原料，用直拉法（CZ）法或者垂直梯度法（VGF法）等方法制备的锗单晶体。产品规格P、N型按客户要求定制产品用途超高纯度，红外器件、γ辐射探测器P型N型高纯锗在高纯金属锗中掺入三价元素如铟、镓、硼等，得到p型锗；在高纯金属锗中掺入五价元素如锑、砷、磷等，得到n型锗。交货期90天

PTM600高纯度单一气体分析仪简介：PTM600高纯度单一气体分析仪报警仪用于便携式快速检测高纯度单一气体分析仪、温湿度测量并超标报警的场合。采用3.5寸高清彩屏实时显示浓度，选用进口品牌（霍尼韦尔、日本根本、英国CITY、英国阿尔法、英国Dynament、瑞士Membrapor等）气体传感器，主要检测原理有：电化学、红外、催化燃烧、热导、PID光离子。先进的电路设计、成熟的内核算法处理，取得了多项软件著作专利和外观专利。PTM600可以检测管道中或受限空间、大气环境中的气体浓度，可以检测气体泄漏或各种背景气体为氮气或氧气的高浓度单一气体纯度，检测气体种类超过500种。 PTM600高纯度单一气体分析仪特点：●防水溅、防尘、防爆、防震，本安电路设计，抗静电，抗电磁干扰，通过国标测试和CPA计量器具型式认证●防护级别IP66，内置水汽、粉尘过滤器，防止因水汽和粉尘损坏传感器和仪器●内置泵吸式测量，响应迅速，采样距离大于10米，特殊气路设计，选配相关配件可检测正压或负压-0.3～2公斤的气体，对测量结果无影响●3.5寸高清彩屏显示实时浓度、报警、时间、温度、湿度、存储、通信、打印、电量、充电状态等信息，菜单界面采用高清仿真图标显示各个菜单的功能名称●大容量数据存储功，更大容量可订制。可选配U盘存储或SD卡存储功能，支持实时存储、定时存储或只存报警浓度数据和时间、支持本机查看、删除数据，也可通过USB、红外通信、RS232 接口将数据上传到电脑，用上位机软件分析数据和存储、打印。●红外通信接口、USB接口、RS232接口自动识别，可选配内置或外置无线红外打印机，打印内容：公司名称、气体名称、日期时间、环境温湿度、浓度数据、检测结果（是否合格）●USB充电接口，可用电脑或充电宝充电，兼容手机充电器，过充、过放、过压、短路、过热保护，5级精准电量显示，支持USB热插拔，检测仪在充电时可正常工作●采用5400mAh×2大容量可充电高分子聚合物电池，可长时间连续工作●声光报警、视觉报警、欠压报警、故障报警，报警时多方位立体显示报警状态。●报警值可设，报警方式可选低报警、高报警、区间报警、加权平均值报警●高精度温湿度测量（选配），同时对传感器进行温度补偿，仪器使用温度范围-40～70度，可检测1300度的气体（选配高温采样降温过滤手柄或高温高湿预处理系统）●最低可以检测到0.001PPM，最高可检测99.999%Vol，支持高低量程自动切换（订货时需注明）。●可以实时检测或定时检测（针对被测气体的量比较小的情况），不检测时可以把泵关闭以延长开机时间。●可以选配同时检测1～6种气体，最多扩展到18种，单位自由切换，常规气体不需要输入分子量，特殊气体需要输入分子量就自动计算并切换，单位可选：PPM、mg/m3、Vol%、LEL%、PPHM、ppb、mg/L ●三种显示模式可切换：同时显示四种气体浓度、大字体循环显示单通道气体的浓度、实时曲线，各通道之间自动循环或手动循环可切换，可设置是否显示最大值、最小值、气体名称，可查看历史记录曲线图。●中英文界面可选择，默认中文界面，简明中文或英文操作提示，各个年龄阶段的使用者都可以轻松操作●数据恢复功能，可以选择性恢复或全部恢复，浓度校准误操作自动识别并阻止，避免人为因素造成的不良●零点自动跟踪，目标点多级校准，保证测量的线性度和精度，能同时符合国家标准和地方计量局标准。●可记录校准日志、维修日志、故障解决对策，传感器寿命到期提醒，下次浓度校准时间提醒功能检测气体有毒气体、氧气、二氧化碳、易燃易爆类气体、TVOC等，1～6种气体随意组合，可扩展到18种以上的气体。 选配：温湿度测量。应用场合石油、化工、医药、环保、燃气配送、仓储、烟气分析、空气治理等所有需要便携式快速检测气体浓度的场合。检测范围0～1、10、100、1000、5000、50000、100000ppm、200毫克/升、100%LEL、20%、50%、99.999%、100%Vol可选，其他量程可订制。分 辨 率0.01ppm或0.001ppm（0～10 ppm）；0.01ppm（0～100 ppm），0.1ppm（0～1000 ppm），1ppm（0～1000 ppm以上），0.01毫克/升（0～200%毫克/升），0.1%LEL，0.01%，0.001%Vol检测原理电化学、催化燃烧、红外、热导、PID光离子等，根据气体类型、量程、现场环境和用户需求而定。允许误差≤±2%F.S （其他或更高精度可订制）线 性 度≤±2%响应时间T90≤20秒重 复 性≤±2%不确定度≤±2%工作环境温度：-40℃～+70℃，湿度：≤10～95%RH，内置过滤器可在高湿度或高粉尘环境使用恢复时间≤30秒样气温度-40℃~+70℃ ，选配高温采样降温过滤手柄，最高可检测1300度的烟气浓度温湿度测量选配：温度-40℃~+70℃，精度0.5℃；湿度0～100%RH，精度3%RH工作电源3.7VDC，5400mAh×2大容量可充电高分子聚合物电池显示方式3.5寸高清彩屏检测方式内置泵吸式测量，流量800毫升/分钟。标定流量要大于800毫升/分钟，要接三通管进行分流，保证有多余的气体从旁路排出报警方式声光报警、关闭报警可设通讯接口USB（充电与通讯），选配：RS232、红外通讯，自动识别数据存储大容量数据存储，支持扩容。防护等级IP66防爆类型本质安全型防爆标志Ex ia IIC T4 Ga 防爆证号：CNEx16.3091执行标准GB 15322.3-2019《测量范围为0-100%LEL的便携式可燃气体传感器》 GB 3836.1—2010 《爆炸性气体环境用电气设备 通用要求》GB 3836.4—2010 《爆炸性气体环境用电气设备 本质安全型“i”》外型尺寸255×210×125mm(L×H×W)， 定制:420×210×125mm(L×H×W)重 量2.5Kg标准附件说明书、合格证、保修卡、USB充电器（含数据线）、高档铝合金仪器箱 、内置湿度粉尘过滤器 、40cm不锈钢采样手柄（1米软管，带粉尘过滤器，不可伸缩）选配项温湿度测量功能、1.2 m 可伸缩采样手柄（1-10米软管，标准长度1米）、外置远距离采样泵、高温采样降温过滤手柄、高温高湿预处理系统、光盘（上位机通讯软件）、外置微型无线蓝牙打印机、内置微型打印机、SD卡存储、U盘存储、无线数据通讯

产品简介：仪器主要配置：　　氢焰检测器（FID）+Ni转化炉+气体进样系统+色谱柱系统、网络化电控系统、内置工作站一、*参数1、检测器指标 氢火焰检测器（FID）灵敏度（检测限）≤8.0×10-12g/s（正十六烷）基线噪音≤1×10-13A基线漂移≤ 7×10-13A/30min线性范围107 2、温度控制 温度范围：室温以上8℃-400℃ 温控精度：±0.5% 程序阶数：8阶 程升速率：0-39℃/min（调节增量0.1℃/min） 程序升温重复性：≤1％ 二、仪器特点：1、全微机控制系统，电脑反控一台电脑可控制N（N≦253）台色谱仪，具有六路温度控制系统；四路时间程序系统。2、色谱仪采用10/100M以太网通讯接口，可以实现对仪器的远程控制和远程数据传输处理及监管。可连接到单位主管及上级主管，便于主管实行监管。3、数字信号输出（内置色谱工作站）,信号网线直接输出。4、大容量柱箱带自动后开门，可进行8阶程序升温；近室温控制功能（室温以上8℃）。5、具有故障自我诊断功能，可显示故障部位及性质；具有超温保护功能，*一路温度超过设定温度，均会自动停止加热。

LIFE DUO DIL在一台单一的仪器融合了多个模块，有两个独立收集部分：一个收集计量污染源排放气体和另一供应并计量稀释气体，仪器符合HJ734-2014和UNI EN 13649湿烟道气VOC采样规范. 仪器的每一个采样部分包含有干式气体流量计组成的内置计量系统和一个带有液晶显示器的键盘组成.。稀释线上带有活性炭吸附阱（也可以使是符合填料-依据应用）。 取样部分的干式气体流量计和转子流量计位于仪表前面板上，稀释部分的干式气体流量计和转子流量计装在后面板上。主机前面板有2个键盘和2个液晶显示器，用于设置收集样品参数和数据管理。在左边有2个收集线的气路连接。右侧有一自动门从这里可以检查更换稀释空气纯化阱。仪器销售完整，技术手册和测试报告 注：试验报告还规定了使用的校准程序和主要参考标准.。原标准采用LAT中心或国际校准中心认证由认可的E–欧洲合作成员机构认可（代表欧洲认证机构协会） 带加热过滤气体采样探头GAS PROBE，适用于像SOx、NOx（意大D.L 25 / 08 / 2000）气体样品和无机酸、SVOC（UNI CEN/ TS 13649:2015）气体样品采样，感谢他的稀释室 。内置恒温温度控制系统，允许在过滤器支架上达到180°C。

产品展示： 仪器主要配置：　　热导检测器（TC-1H）+ 气体进样系统+色谱柱系统、网络化电控系统、内置工作站一、*参数1、检测器指标 热导检测器（TCD）灵敏度（检测限）&ge 5000－10000mV.ml/mg（苯）基线噪音&le 0.01mv基线漂移&le 0.1mv/30min线性范围105 2、温度控制 温度范围：室温以上8℃-400℃ 温控精度：± 0.5% 程序阶数：8阶 程升速率：0-39℃/min（调节增量0.1℃/min） 程序升温重复性：&le 1％*小检测浓度：　　H2：0.5ppm、O2：1.5ppm、N2：2ppm二、仪器特点：1、全微机控制系统，电脑反控一台电脑可控制N（N≦253）台色谱仪，具有六路温度控制系统；四路时间程序系统。2、色谱仪采用10/100M以太网通讯接口，可以实现对仪器的远程控制和远程数据传输处理及监管。可连接到单位主管及上级主管，便于主管实行监管。3、数字信号输出（内置色谱工作站）,信号网线直接输出。4、大容量柱箱带自动后开门，可进行8阶程序升温；近室温控制功能（室温以上8℃）。5、具有故障自我诊断功能，可显示故障部位及性质；具有超温保护功能，*一路温度超过设定温度，均会自动停止加热。

产品展示：仪器主要配置：　　热导检测器（TC-1H）+氢焰检测器（FID）+Ni转化炉+气体进样系统+色谱柱系统、网络化电控系统、内置工作站一、*参数1、检测器指标 氢火焰检测器（FID）热导检测器（TCD）灵敏度(检测限)≤1×10-11g/s(正十六烷）≥3000mV.ml/mg(苯)基线噪音≤1×10-13A≤10uv基线漂移≤ 6×10-13A/30min≤60uv/30min线性范围107105 2、温度控制 温度范围：室温以上8℃-400℃ 温控精度：±0.5% 程序阶数：8阶 程升速率：0-39℃/min（调节增量0.1℃/min） 程序升温重复性：≤1％ 二、仪器特点：1、全微机控制系统，电脑反控一台电脑可控制N（N≦253）台色谱仪，具有六路温度控制系统；四路时间程序系统。2、色谱仪采用10/100M以太网通讯接口，可以实现对仪器的远程控制和远程数据传输处理及监管。可连接到单位主管及上级主管，便于主管实行监管。3、数字信号输出（内置色谱工作站）,信号网线直接输出。4、大容量柱箱带自动后开门，可进行8阶程序升温；近室温控制功能（室温以上8℃）。5、具有故障自我诊断功能，可显示故障部位及性质；具有超温保护功能，*一路温度超过设定温度，均会自动停止加热。

高纯度氮气发生器气体分离技术产品介绍：Anyan品牌氮气发生器是一种先进的气体分离技术，以韩国进口膜分离空气制取高纯度的氮气，空气经压缩机压缩过滤后进入高分子膜过滤器，由于各种气体在膜中溶解度和扩散系数不同，导致不同气体在膜中相对渗透速率不同，在一定压力条件下，利用氧和氮等不同性质的气体在膜中具有不同的渗透速率来使氧和氮分离。和其它制氮设备相比它具有结构更为简单、体积更小、无切换阀门、维护量更少、产气更快(≤3分钟)、增容方便等优点。产品参数：型号AYAN-20LAYAN-30LAYAN-60LAYAN-20LGAYAN-30LGAYAN-60LG出气量20L/mim30L/mim60L/mim20L/mim30L/mim60L/mim纯度值99%99.9%压力值0-0.6mpa过滤系统三级总功率2600W3200W3800W2600W3200W3800W工作电压380V外形尺寸400x300x1300mmAnyan品牌氮气发生器可订制各种流量，纯度分别为99%，99.9%，99.99%，99.999%，99.9999%的氮气发生器，欢迎选购！二、高纯氢发生器目前市场上为气相色谱配套的氢气发生器按电解膜材料分主要有碱石棉膜、离子膜、钯金属膜三种。碱石棉膜价格低廉、使用方便、便于维护，高子膜价格稍高、且目前国内此项技不本成熟。同时高子胰对电解水质要求较高，水的电导率不高时会产生离子颜“中毒”现象，更换离子膜的费男也比较高。银金属膜制氢价格高、0/in的输出量计算，价格大约在4万元左右。若使用不当、会使银金属表面氧化，造成电解率下降，影响正常的使用。