北方华创

北方华创2024年上半年业绩预告净利润大幅增长预计2024年上半年归属于上市公司股东的净利润范围为25.7亿元至29.6亿元。同比增长率高达42.84%至64.51%，显示出强劲的增长动力。单季度新高第二季度预计实现净利润14.43亿元至18.33亿元，较去年同期实现显著增长（19.54%至51.83%）。环比增长尤为显著，预计增长28.04%至62.64%，创下单季度净利润新高。市场与技术优势北方华创在半导体设备及元器件领域具有领先地位，凭借技术实力和市场拓展能力赢得广泛认可。公司积极响应国家创新驱动发展战略，持续加大研发投入，推动技术创新和产业升级。未来展望预计随着全球半导体产业的持续发展和国内市场的扩大，北方华创将保持强劲的增长势头。公司将继续秉持创新理念，致力于为客户提供优质产品和服务，推动半导体产业的高质量发展。公司简介北方华创微电子装备有限公司是北京电控集团下属的国有高科技企业，&zwnj 通过整合七星电子和北方微电子半导体装备业务，&zwnj 构建了中国唯一的半导体装备产业上市平台。&zwnj 该公司主要产品包括刻蚀、&zwnj PVD、&zwnj CVD、&zwnj 氧化/扩散、&zwnj 清洗、&zwnj 气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，&zwnj 广泛应用于集成电路、&zwnj 微机电系统、&zwnj 功率半导体、&zwnj 先进封装、&zwnj 半导体照明、&zwnj 化合物半导体、&zwnj 新能源光伏、&zwnj 平板显示等领域。&zwnj 北方华创微电子在北京经济技术开发区、&zwnj 中关村电子城高科技园区、&zwnj 顺义天竺出口加工区拥有三大制造基地，&zwnj 其营销服务体系覆盖欧、&zwnj 美、&zwnj 亚等全球主要国家和地区。&zwnj 北方华创微电子以“创造精良,打造民族自尊”为己任，&zwnj 继续发扬“精良品质卓越服务中国制造”的企业精神，&zwnj 致力于成为高端微电子工艺装备领域的领军企业，&zwnj 深耕发展，&zwnj 引领未来。&zwnj 公司坚持以客户需求为导向的持续创新，&zwnj 助推产业技术进步，&zwnj 带给产业无限可能。&zwnj 北方华创科技集团股份有限公司，&zwnj 成立于2001年，&zwnj 是北京市国资委一级企业北京电子控股有限责任公司下属的国有控股上市公司。&zwnj 它是目前国内产品种类多、&zwnj 规模大的集成电路装备重点企业之一，&zwnj 法定代表人为张劲松。&zwnj 2022年，&zwnj 北方华创实现营业收入146.88亿元，&zwnj 同比增长逾50%，&zwnj 归属于上市公司股东的净利润约23.53亿元，&zwnj 同比翻倍。

10月14日消息，据《南华早报》援引知情人士消息透露，中国最大的半导体设备制造商北方华创已告知其在中国的美国员工停止参与零部件和机械开发，以遵守美国商务部出台的新的出口管制措施当中，对“美国人”支持中国半导体制造“设施”开发或生产集成电路的能力的限制。消息人士称，北方华创在一份内部通知中要求其美国工程师立即停止参与研发项目。对于该消息，北方华创没有回应。受美国新禁令影响，美国半导体设备供应商的驻场人员已经从中国大陆的先进晶圆制造厂撤出，并停止了销售和技术支持。不过，目前三星、SK海力士、英特尔、台积电等外资厂商在中国大陆的晶圆制造厂已经获得美国商务部为期一年的出口管制豁免，他们可以正常获得美系半导体设备厂商的供货和技术支持，以便于继续运营他们在中国大陆的晶圆厂。

自2020年下半年晶圆代工产能紧缺以来，“缺芯”已经成为全球半导体行业短期难以抚平的“阵痛”。在“缺芯”危机下，身处上游的晶圆代工企业不仅在努力优化产能结构，更重要的是在寻求扩充产能。基于半导体产业链的传导，“缺芯”会持续拉动台积电、三星、中芯国际等晶圆代工厂商的资本支出，来订购设备积极扩产，以应对迅猛爆发的需求扩张。根据Counterpoint Research预测，全球领先的代工厂有望在2021年到2023年间，进行大规模的半导体设备资本投资。从半导体设备制造商的角度来看，这场危机似乎会带来中长期利好，其中12英寸设备的需求将会成为扩产主流。随着全球半导体产业即将进入新一轮扩产周期，在供应链自主可控的趋势下，国产半导体设备厂商将会迎来新的爆发契机。而作为A股半导体设备龙头——北方华创的集成电路刻蚀机、PVD、CVD、ALD、清洗机、立式炉、外延炉等设备在先进工艺验证方面取得阶段性成果，部分工艺完成验证；成熟工艺设备在新工艺拓展方面继续突破，新工艺应用产品相继进入客户产线验证或量产，不断收获重复采购订单；光伏单晶炉、负压扩散炉、PECVD大尺寸、大产能产品相继研发完成，推向市场，受下游客户需求拉动，光伏设备业务实现快速增长；碳化硅（SiC）长晶炉、刻蚀机、PVD、PECVD等第三代半导体设备均已开始批量供应市场。回顾极不平凡的2020年，新冠肺炎疫情全球蔓延，国际形势严峻复杂。“受益于5G、人工智能、IoT等新一代信息技术带来的增量市场，全球半导体产业发展表现亮眼，销售规模保持增长。”在北方华创看来，近年来，中国半导体产业取得了长足进步，成为全球规模最大、增速最快的区域市场，为处于产业链上游的半导体设备企业带来了机遇。“半导体设备是推动集成电路产业甚至整个电子工业技术进步的引擎。”北方华创称，经过多年的发展，中国半导体设备产业实现了从无到有的跨越，多种国产12英寸关键设备导入生产线量产，这无疑是一个巨大的进步。国内设备厂商在成熟应用领域已有较好表现，体现了速度快、服务好、成本低的竞争优势。同时，我们也看到了与国际先进水平的差距，中国半导体设备产业要实现健康发展，仍有很长的路要走，不但要持续攻克关键核心技术，也要加快实现产业链协同发展。北方华创表示，2020年，北方华创积极应对新冠肺炎疫情影响，及时复工复产，保障研发、生产及订单交付得以正常进行。随着国内疫情逐步缓解，下游需求得到较快恢复，公司经营业绩继续保持增长。北方华创深耕半导体设备领域多年，已形成涵盖刻蚀机、PVD、CVD、立式炉、清洗机等半导体设备产品线，在集成电路、功率器件、化合物半导体、先进封装、新能源光伏、新型显示等领域得到广泛应用，持续获得客户认可，成为国内半导体产业链上的重要成员。据了解，在去年年底，北方华创的lCP刻蚀机已经完成1000腔交付，其刻蚀技术应用领域已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。其中，12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm 国产化替代的同时，在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中也发挥着重要作用。受益产品线多路并举，北方华创去年也取得了可观的业绩。根据北方华创发布的2020年业绩预告，归属上市公司股东的净利润为4.6亿元-5.8亿元，同比增长48.85%-87.68%。北方华创表示，2020 年度，公司主营业务下游客户需求旺盛，同时公司积极应对新冠肺炎疫情影响及时复工复产，使公司生产运营及订单交付得以正常进行。值得提及的是，在当前复杂的国际经贸形势下，半导体设备的战略地位凸显，下游客户对国产设备采购意愿强烈，积极配合产品验证导入。目前在成熟制程新扩产能方面，下游客户持续加大国产设备采购比例。随着下游客户的持续扩产及先进制程设备的研发及验证，以北方华创为代表的国产半导体设备厂商份额有望持续扩张。“展望未来，机遇和挑战并存。”北方华创表示，2021年是北方华创成立二十周年，公司将坚持以客户需求为导向，持续开展技术和产品创新，与全球产业链合作伙伴共同携手，继往开来，共续华章。

近日，由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备Orion Proxima正式进入客户端验证。这标志着北方华创在绝缘介质填充工艺技术上实现了新的突破，也为北方华创进军12英寸介质薄膜设备领域，打开百亿级市场迈出了坚实的一步。集成电路领域高速发展，对芯片制造工艺提出了更具挑战的要求，其中就包括如何用绝缘介质在各个薄膜层[1]之间进行均匀无孔的填充，以提供充分有效的隔离保护。为了满足以上需求，HDPCVD设备已经成为介质薄膜沉积工艺的重要设备。[1]包括浅槽隔离（Shallow-Trench-Isolation，STI），金属前绝缘层（Pre-Metal-Dielectric，PMD），金属层间绝缘层（Inter-Metal-Dielectric，IMD）等。据介绍，Orion Proxima作为北方华创推出的国产自研高密度等离子体化学气相沉积设备，主要应用于12英寸集成电路芯片的浅沟槽绝缘介质填充工艺。此款设备通过沉积-刻蚀-沉积的工艺方式可以有效完成对高深宽比沟槽间隔的绝缘介质填充，借助北方华创在刻蚀技术上的积累，发挥其高沉积速率、优异的填孔能力和低温下进行反应得到高致密的介质薄膜的优势，获得多家业内客户关注。北方华创表示，现阶段，Orion Proxima技术性能在迭代升级中已达业界先进水平：通过灵活可控的软件系统调度优化与自主研发特有传输平台的结合，助力客户实现产能的大幅提升，取得双赢；通过提供不同的硬件配置方案，满足了包括填孔能力、膜层质量、颗粒控制等工艺需求的同时，更实现了对逻辑、存储及其他特色工艺领域客户的全覆盖。Orion Proxima HDPCVD通过优化机台结构，缩小了整机占地面积，节省了客户空间运营成本；通过优化排气管路设计，提高了清洗效率；通过优化开盖方式，缩减了人力维护开支，提高了设备生产效率。

2023年，全球半导体行业仍处于周期底部，导致上游半导体设备产业市场需求出现小幅萎缩，但在国产替代的黄金浪潮推动下，北方华创预计2023年营收为209.7亿至231亿元，成为首家闯入全球TOP 10的中国半导体设备厂商。根据各半导体设备公司公布的财报数据及营收预测，笔者整理了全球前十大半导体设备供应商的销售数据及排名显示，荷兰光刻机巨头荷兰阿斯麦（ASML）2023年营收增长30%，以276亿欧元的销售额，超越美国应用材料（AMAT）排名第一；美国应用材料以265.2亿美元（截至2023年10月29日）的收入排名第二；美国泛林（LAM）以143.17亿美元（截止2023年12月24日）的营收排名第三；日本东京电子（TEL）预估今年度（2023年4月-2024年3月）合并营收目标为1.73万亿日元，排名第四；美国科磊（KLA）预计营收为96亿美元排名第五。注：（1）鉴于汇率的变化，以及各半导体企业的财报统计的起止时间上有差异，笔者尽量统计各大企业2023年自然年度的营收，难以拆分的数据则为2022/23年的总营收。（2）上述企业财务数据为整体业务收入，并未拆分出半导体设备业务收入，且部分厂商为预测数据，取中位数计算。因此，上述数据难以详尽，仅供大家参考。从上述数据来看，在业务体量方面，尽管除ASML大幅增长和应用材料小幅增长外，泛林、东京电子、科磊都出现了不同程度的下滑，但上述Top 5的地位基本难以撼动，门槛接近百亿美元的范畴。而排在第六位的日本迪恩士（Screen）预计2023财年销售额为5000亿日元，换算为美元仅科磊的三分之一，日本爱德万（Advantest）预计2023财年销售额为4700亿日元，排名第七。排名第八至第十的分别为中国北方华创、荷兰ASMI和美国泰瑞达（Teradyne）。值得注意的是，得益于国内旺盛的市场需求，北方华创预计2023年营收为209.7亿至231亿元，其增长幅度达42.77%至57.27%，远超其他半导体设备企业，也是首次闯入全球TOP 10的中国半导体设备厂商。由上可知，进入全球前十大半导体设备企业的营收门槛约为26.7亿美元。另外，从前十大半导体设备厂商总部的所属地区来看，美国占4家；日本占3家；荷兰2家；中国大陆1家。由此也可以看出，美国、日本、荷兰在半导体设备领域的强势地位，而中国大陆企业正在逐步突围。

p 近期，国产刻蚀机取得新的突破。北方华创近日宣布，公司ICP刻蚀机1000腔已经顺利交付。 /p p 北方华创自2001年成立后便开始组建团队研发刻蚀技术，并于2004年第一台设备成功起辉，2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线，并于2007年获得国家科学技术进步二等奖。 /p p 目前，北方华创的刻蚀设备已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。 /p p 其中，12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm国产化替代的同时，在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中也发挥着重要作用。 /p p 北方华创表示，lCP刻蚀机交付突破1000腔，不仅是公司发展征程中的重要里程碑，更是国产刻蚀机在历经了二十载自主创新，得到客户广泛认可的重要标志。 /p

日前，北方华创科技集团股份有限公司发布2023 年度业绩预告。具体来看，北方华创预计2023年实现营业收入209.7亿元～231亿元，同比增长42.77%～57.27%；实现归母净利润36.1亿元～41.5亿元，同比增长53.44%～76.39%；实现扣非后归母净利润33亿元～38亿元，同比增长56.69%～80.43%。对于业绩变动原因，北方华创表示，公司始终坚持以客户需求为导向的产品创新，2023年主营业务呈现良好发展态势，市场认可度不断提高，应用于高端集成电路领域的刻蚀、薄膜、清洗和炉管等数十种工艺装备实现技术突破和量产应用，工艺覆盖度及市场占有率均得到大幅提升；2023年公司新签订单超过300亿元，其中集成电路领域占比超70%。公司持续推动降本增效工作，多元化供应链保障能力不断增强，量产交付水平有效提升，规模效应逐步显现，2023年归属于上市公司股东的净利润实现同比较大增长。据了解，北方华创成立于2001年9月，2010年在深圳证券交易所上市，股票代码002371，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。其主营半导体装备、真空及锂电装备、精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有六大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

4月21日晚，北方华创公告，拟定增募资不超过85亿元，布局新技术并拓产扩能。其中，34.83亿元投向半导体装备产业化基地扩产项目（四期），24.14亿元投向高端半导体装备研发项目，7.34亿元投向高精密电子元器件产业化基地扩产项目（三期），18.68亿元补充流动资金。公司表示，本次定增募资目的在于积极布局新技术，提升公司集成电路设备技术水平；应对未来市场需求的增加，进一步提升产业化能力；增强核心竞争力，进一步实现公司战略目标；发挥资本的作用，加速公司规模化发展的步伐。公告显示，总投资31.36亿元的高端半导体装备研发项目，建设内容将包括改造研发实验室，购置研发用设备及软件，开展下一代高端半导体装备产品技术的研发，具体包括先进逻辑核心工艺设备、先进存储核心工艺设备、先进封装核心工艺设备、新兴半导体核心工艺设备、Mini/MicroLED核心工艺设备和先进光伏核心工艺设备等。总投资38.16亿元的半导体装备产业化基地扩产项目（四期），其设计产能为年产集成电路设备500台、新兴半导体设备500台、LED设备300台、光伏设备700台的生产能力。北方华创表示，该项目建成后将成为公司最大的装备生产制造基地，与公司总部基地形成研发与生产、装备与核心零部件的双向协同，进一步提高生产规模和产品产能。同时，通过项目的实施，将加快半导体装备的产业化进程，极大转化高端半导体装备国产化研发成果，为公司带来直接经济收益。北方华创表示，公司定位于高端电子工艺装备和精密电子元器件“两个产业平台”的主业布局，构建半导体装备、精密元器件和真空三个事业群，服务于半导体、新能源、新材料以及特种精密元器件等领域。在“十四五”期间，规划将坚持并进一步提升两大平台的创新能力和竞争能力。

p style=" text-indent: 2em " span style=" color: rgb(51, 51, 51) text-align: justify background-color: rgb(255, 255, 255) font-family: & quot Microsoft YaHei& quot " 由中国机械工程学会与中国热处理行业协会共同主办的2020上海热处理装备与技术展览会，在上海虹桥国家会展中心举行，北方华创全方位展示了多款热处理设备，提供了最新工艺解决方案及创新成果。 /span /p p style=" text-align:center margin-top: 0px margin-bottom: 0px padding: 0px color: rgb(51, 51, 51) font-family: & quot Microsoft Yahei& quot , arial, 宋体 white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) " img src=" http://www.naura.com/Public/Upload/image/20201106/5fa510266c439.jpg" alt=" " style=" border: 0px none vertical-align: top outline: none -webkit-tap-highlight-color: transparent max-width: 100% height: auto overflow: hidden " / /p p style=" margin-top: 0px margin-bottom: 0px padding: 0px color: rgb(51, 51, 51) font-family: & quot Microsoft Yahei& quot , arial, 宋体 text-align: justify white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) " br/ /p p style=" text-indent: 2em " span style=" color: rgb(51, 51, 51) text-align: justify background-color: rgb(255, 255, 255) font-family: & quot Microsoft YaHei& quot " 面对传统制造行业提质降本增效的需求，北方华创依托多年的技术积累，不断推出高品质、高效能的真空热处理设备，致力于满足不同领域客户的个性化、多样性需求。作为国内高端热处理装备制造的主力军，北方华创携以下三种核心设备参展：真空钎焊设备具有腔室“零”污染的优势，为批次的稳定性提供了重要保障，同时配备快速冷却系统，可有效提高设备生产效率；真空气淬设备具有独特的炉内喷嘴设计和布局，可有效保证冷却均匀性，同时配备全自动高精度分压控制系统，有效防止了高温下合金元素的挥发；氢气退火设备配备了防回火和防爆装置，可确保设备及人员安全，优化的气路系统，可有效减少工艺气体的消耗。与此同时，北方华创向行业同仁分享了在真空电子、工模具、汽车等多个领域的成功案例与经验，吸引了众多专业人士驻足交流，赢得了新老客户的广泛认可，并与多家客户达成初步合作意向。 /span /p p style=" text-align:center margin-top: 0px margin-bottom: 0px padding: 0px color: rgb(51, 51, 51) font-family: & quot Microsoft Yahei& quot , arial, 宋体 white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) " img src=" http://www.naura.com/Public/Upload/image/20201106/5fa510426f767.jpg" alt=" " style=" border: 0px none vertical-align: top outline: none -webkit-tap-highlight-color: transparent max-width: 100% height: auto overflow: hidden " / /p p style=" text-indent: 2em " /p p style=" text-indent: 2em " span style=" color: rgb(51, 51, 51) text-align: justify background-color: rgb(255, 255, 255) font-family: & quot Microsoft YaHei& quot " 未来已来，北方华创将始终秉承“精良品质· 卓越服务· 中国制造”的企业宗旨，以国际化的视野和创新型的资源整合聚焦热处理行业的可持续性发展，推动形成互融共生、合作共赢的产业发展新格局，以客户需求为导向进行持续创新。今日之功，明日之获，为产业带来无限可能，华创人奋进正当时！ /span /p

半导体设备受到严重打压近年来，美国在限制了ASML自由出货EUV光刻机和高端DUV光刻机的情况下，更是进一步要让荷兰阻止ASML 向中国客户提供光刻机售后服务，不允许荷兰、日本、韩国的工程师给出货到中国的半导体设备提供维修服务。这就导致当半导体设备发生损坏且无法修复时，它们很可能失去原有的使用价值，被迫沦为废铁。而半导体设备不仅仅只有光刻机，还有化学气相沉积设备、离子注入设备、抛光设备、清洗设备等，如果都无法得到及时的修复，必将严重影响产线的运转并且会带来巨大的经济损失。在这样的市场背景下，中国从最上游的芯片材料到中游的设计、制造，再到下游的封测，逐渐全面实现国产替代。尤其在半导体设备领域，国产替代的浪潮更加汹涌，国产化率逐年升高。北方华创的现状国内半导体设备企业因此得到飞快迅猛的发展。其中，作为国内半导体设备的龙头企业北方华创，其财报最为亮眼。2023年，北方华创的营收达到了220亿元，同比增长50%，净利润39亿元，同比增长66%，排世界第八。这是中国厂商首次出现在前十的榜单中，也让外界进一步了解了北方华创的现状。并且在今年第一季度，北方华创更是创下新高，营收达58.59亿元，同比增长51.36%；净利润11.27亿元，同比增长90.40%。按如此发展态势，北方华创2024年的排名有望提升至全球第六，成为国产半导体设备最大赢家。国产半导体设备正在崛起北方华创之所以展现出如此卓越的表现，关键在于其国产化水平的迅速提升。北方华创产品线覆盖广泛，能够供应大量的国产化半导体设备，包括刻蚀机、氧化炉、清洗机等，能够满足客户大部分的需求，市场份额和营收自然会水涨船高。中国是全球最大的半导体设备销售市场，并且自2020年以来，市场规模逐渐增长。ASML已经连续三个季度在中国取得最大的营收来源，今年第一季度中国市场更是为ASML贡献49%的营收。如此旺盛的需求，美国阻止西方企业出货，损失的只会是他们自己。根据研究机构TrendForce整理的各国半导体设备公司公布的财报数据及营收预测，2023年中国前五大半导体设备供应商分别为：北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科。除了北方华创之外的其他四家设备厂商能提供光刻机、刻蚀机等产品，有的处于成熟制程领域，有的已经迈入先进制程范畴。不管如此，只要国产半导体设备厂商不断向前，就一定能拨云见雾。

3月5日，北方华创在互动平台表示，公司半导体设备均为100%自主研发，零部件来自全球供应商。作为A股半导体设备龙头，北方华创的主要产品包括集成电路刻蚀机、PVD、CVD、ALD、清洗机、立式炉、外延炉等，上述设备在先进工艺验证方面取得阶段性成果，部分工艺完成验证；成熟工艺设备在新工艺拓展方面继续突破，新工艺应用产品相继进入客户产线验证或量产，不断收获重复采购订单；光伏单晶炉、负压扩散炉、PECVD大尺寸、大产能产品相继研发完成，推向市场，受下游客户需求拉动，光伏设备业务实现快速增长；碳化硅（SiC）长晶炉、刻蚀机、PVD、PECVD等第三代半导体设备均已开始批量供应市场。受益产品线多路并举，北方华创去年也取得了可观的业绩。根据北方华创发布的2020年业绩预告，归属上市公司股东的净利润为4.6亿元-5.8亿元，同比增长48.85%-87.68%。北方华创表示，2020 年度，公司主营业务下游客户需求旺盛，同时公司积极应对新冠肺炎疫情影响及时复工复产，使公司生产运营及订单交付得以正常进行。随着北方华创经营业绩持续向好，其也在不断地扩大竞争优势和产能。据了解，北方华创高端集成电路装备研发及产业化项目在春节期间不停工，该项目预计今年6月初全部竣工，建设完成后，将具备年产刻蚀机、PVD、退火炉、立式炉、清洗机等设备150台以上的能力。

1月12日，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）发布2022年度业绩预告的公告。根据公告，北方华创预计2022年营业收入为 135–156亿元，较2021年增长96.834781亿元，同比增长39.41%-61.10%。预计2022 年年度实现归属于上市公司股东的净利润21–26亿元，较2022年同期增长94.91%-141.32%。公司预计2022年年度实现扣除非经常性损益的净利润为19–24亿元，较2022年同期增长135.52%-197.50%。据了解，北方华创科技集团股份有限公司是由北京七星华创电子股份有限公司和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司战略重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有四大产业制造基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。对于业绩变动的原因，北方华创表示，2022 年度，公司积极采取多项措施，克服了疫情及供应链等不利因素的影响，保障了生产经营的正常运行，实现客户订单有序交付，全年电子工艺装备和电子元器件业务经营业绩均实现了持续增长。

3月11日，北方华创科技集团股份有限公司公布2022年1至2月主要经营情况。公告信息显示，因主营业务下游市场需求旺盛，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“公司”）半导体装备及电子元器件业务持续增长。经公司初步核算，2022 年 1 至 2 月，公司实现营业收入 13.66 亿元，同比增长约 135%；新增订单超过 30 亿元，同比增长超过 60%。北京北方华创微电子装备有限公司（简称“北方华创微电子”）的主营业务是由原七星电子的半导体装备相关业务与原北方微电子的全部业务整合而成。七星电子成立于2001年9月，2010年3月在深圳证券交易所上市，是国内集成电路装备上市公司，也是国家02科技重大科技专项的主要承担单位之一，清洗机、氧化炉、LPCVD（低气压化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）和气体质量流量控制器（MFC）等多个项目获得了政府科研项目资助。目前，多种高端集成电路关键设备批量进入大生产线，取得了良好的使用效果。同时，七星电子作为国内电力电子芯片装备、光伏电池装备、平板显示装备的主要供应商，与国内外行业主流客户形成了长期友好的合作关系。北方微电子成立于2001年10月，是由北京电控集团联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院光电技术研究所共同出资，由国内半导体高端管理技术人才和海外专家为核心团队创建的专注于高端集成电路装备业务的高技术公司。公司以生产销售高端集成电路装备为主业，重点发展刻蚀设备（Etch）、物理气相沉积设备（PVD）和化学气相沉积设备（CVD）三大类设备，广泛应用于集成电路制造、先进封装、半导体照明(LED)、微机电系统（MEMS）等领域。北方微电子自成立以来先后得到了国家科技部“十五”863集成电路制造装备重大项目及国家02科技重大专项的研发与产业化项目的科研资助。通过十余年的努力耕耘，已经发展成为中国大陆具有较强竞争力的高端微电子工艺装备制造企业，具有深厚的市场基础和良好的客户口碑。重组后的北方华创微电子拥有高端人才50余人。产品涵盖：等离子刻蚀（Etch）、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、氧化/扩散、清洗、退火等半导体工艺装备；平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域，产品行销全国各地及东南亚、欧美，是国内覆盖领域广泛、产品种类众多、建设规模较大、综合实力强劲的半导体装备旗舰平台。在集成电路领域，由公司自主研发的14nm等离子硅刻蚀机、单片退火系统、LPCVD已成功进入集成电路主流代工厂；28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD设备已率先进入国际供应链体系；12英寸清洗机累计流片量已突破60万片大关；深硅刻蚀设备也于去年一举告捷东南亚市场。这些丰硕的市场成果，标志着中国装备企业已经实现了集成电路装备制造技术的里程碑式跨越。在先进封装领域，北方华创微电子开发的刻蚀机和PVD设备已在全球主要先进封装企业中得到了广泛应用。公司的先进封装PVD机台性能优越，在全球CIS封装企业中名列前茅；所开发的TSV刻蚀设备在大陆地区最近几年的新增市场中亦实现了较高的市场占有率；同时应用于Bumping制程的Descum设备于2016年一经推出便收获了市场的积极关注… … 北方华创将始终紧跟市场需求，不断提供能够精准符合客户需求的卓越产品与优质服务。在LED领域，ELEDE系列刻蚀机自2010年面市以来销售量已经超过两百余台，其中氮化镓刻蚀机在2014～2016连续三年新增市场占有率、出货量大幅提升；PSS刻蚀机一直是全球主流PSS厂家的主要机台，目前为止国内规模超卓的中图半导体公司已累计采购该机型近百台，对市场起到了有力的表率作用；自主开发的AlN缓冲层溅射设备，更是引领了全球LED行业技术发展趋势，在2016年实现 AlN Sputter的全球市场占有率提升，不仅在市场上取得了较大成功，更是在技术上一举打破了多年来本土设备商只能处于追随状态的坚冰局面！而同样面向LED芯片制造的EPEE550系列PECVD自推向市场以来，一直保持着新增市场占有率80%以上的市场业绩，稳居市场前沿。面向目前高速增长的MEMS及新兴市场，北方华创微电子的深硅刻蚀设备，已批量销往多家科研机构及生产线，服务于微纳制造、光通信、化合物半导体、功率器件等多个新兴领域，客户安装量超过百台以上；应用于薄膜/厚膜硅外延的APCVD系统在2016年更是一举获得了硅外延市场认可，斩获了客户大批采购订单。在光伏制造领域，公司研发了国内应用于高效光伏电池生产的负压扩散炉，获得了市场认可，目前已成为市场主流产品；研发的晶硅电池线的大部分关键生产设备如在线湿法刻蚀机、槽式单晶制绒机、卧式扩散炉、PECVD等设备均已实现了进口替代。在平板显示领域，北方华创微电子公司是国内TFT-LCD生产线的骨干设备供应商，多种产品在客户G5至G10.5各个世代TFT-LCD生产线及OLED生产线上批量应用；CELL段的ODF工艺紫外固化炉UV Cure以及Cutting工艺的Grind Cleaner等设备均在各世代生产线占据重要份额。此外，北方华创微电子公司在气体流量测量和控制方面亦拥有多项关键技术优势，气体质量流量控制器（MFC）产品行销欧美。

半导体行业，细分包括半导体制造（中芯国际）、半导体设计（韦尔股份），半导体封装（长电科技），半导体材料（雅克科技）、半导体设备（北方华创）等。根据财报，比较六家半导体设备公司的营收、员工薪酬和人效。基本结论，这个行业属于高质量增长——增速高、利润高、人效高。1、员工情况2023年，没有一家公司减员，其中，北方华创增员最多，增加2000人。从员工变化，侧面说明行业保持增长、各公司产能持续增加。2、营收情况2023年，六家公司中，除了至纯科技，其他都属于高增长。超过50%增长，有三家，超过30%增长的，有两家。通常来说，企业能超过营收两位数（10%+）属于快速增长，超过20-30%属于高增长。3、利润情况净利润也都是大幅增长，全部超过30%，其中，超过60%，有北方华创和拓荆科技。再看净利润率，最高是华海清科是29%，其次是拓荆科技25%。惊人的是，六家半导体设备的利润率，均超过半导体制造大厂。4、员工人效先看人均营收，中微公司最高363万，其次是拓荆科技253万。再看人均利润，最低都是20万，最高是中微公司69万。人均营收300万，人均利润50万，在行业是什么水平？继续跟半导体制造大厂比，六家基本都处于领先位置。5、人工成本这里谈的“人工成本”，是指公司要承担员工薪酬、社保、公积金、养老金等全部成本。2023年，人均成本最高是中微公司，超过60.9万，其次是北方华创、盛美上海、拓荆科技34-35万。至纯科技和华海清科，在22-26万之间。6、员工薪酬先看研发薪酬。薪酬数据从哪里来？很多科技公司都主动披露。下图是中微公司的研发薪酬明细。2023年是63.28万，2022年是64.98万。下图是盛美上海的研发薪酬明细。2023年是38.84万，2022年是43.8万。汇总六家公司研发人均薪酬。中微公司最高63万，其次是盛美上海和拓荆科技38万左右，然后是北方华创和华海清科的25-32万。至纯科技可能是“研发费用”统计口径不同，数据偏低。最后，看全员薪酬。扣除公司承担的员工福利、社保、公积金等费用。2023年，人均薪酬最高是中微公司50万，其次盛美上海30万，华海清科、拓荆科技、北方华创在20-27万之间。对比2022年，六家人均薪酬都有上调，上涨超过10%就有四家。

半导体设备公司中报业绩增速亮眼。根据各半导体设备公司披露的半年报来看，设备公司普遍都有较好的营收增长，其中北方华创今年的单季度营收增速稳定保持在50%左右的水平，中微公司增速也较为稳定；盛美上海因为疫情影响，Q1增速较低，但部分延迟的设备在 Q2出货，使得 Q2增速反弹；拓荆科技 Q2单季度营收规模明显增大；芯源微上半年新签订单同比大幅增长。国产量测设备取得中标。8月部分晶圆厂公布的设备中标中：1）量测与测试设备，上海精测和东方晶源分别中标 1台量测设备，其中上海精测中标晋华集成的 12吋扫描式电子显微镜，显示国内厂商在逐步突破壁垒较高的量测环节。另外，宁波舜宇仪器中标积塔半导体的 4台检测设备，而广立微中标华虹无锡的 1台电特性测试仪。2）刻蚀设备中，北方华创中标浙江创芯的 1台多晶硅刻蚀系统。3）清洗设备中，创微微电子继续在积塔半导体中标 3台槽式清洗机。上海精测 OCD 设备通过客户 28nm 工艺验证，多款设备交付客户。今年 7月，上海精测半导体的光学关键尺寸（OCD）测量设备再度通过关键客户 28nm 工艺验证，顺利进入量产生产线并全面投入使用。OCD 设备是图形晶圆检测中基于光学技术的重要设备。精测的突破显示国产量测设备取得积极进展。8月，精测向客户交付了第三批前道光学测量设备，包括光学膜厚测量和 OCD 设备，其中光学膜厚测量设备适用于 28nm FEOL 和 14nm BEOL 节点制程，而 OCD 设备主要应用于28nm 及以上制程。日本半导体设备销售增速回升，国内晶圆厂逆周期投资提升设备需求。根据 SEAJ数据，7月日本半导体设备厂商销售额（3个月移动平均）环比恢复增长，同比增速也提升到约 32%，显示半导体设备需求在 7月表现较好。近期，中芯国际宣布将在天津新投资一条规划产能 10万片/月的 12英寸晶圆代工生产线，提供28~180nm 的代工服务。中芯国际继续扩产显示国内晶圆厂投资热度不减，对于半导体设备需求也将带来提振。

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“承载装置及半导体工艺设备”专利公布，申请公布日为2024年5月7日，申请公布号为CN117987807A。本申请公开了一种承载装置及半导体工艺设备，涉及半导体装备领域。一种承载装置，包括：承载件、第一气道和限位组件；承载件设有用于容纳晶圆的容纳槽，容纳槽的槽底面为承载面；第一气道的出气口位于承载面上，用于通气，以使晶圆悬浮；容纳槽的边缘处设有多个滑道，多个滑道围绕容纳槽的周向排布，承载件内设有多个第二气道，多个第二气道与多个滑道分别连通；限位组件包括用于与晶圆的外缘周面抵接的多个限位件，多个限位件一一对应地滑动连接于多个滑道，通过向第二气道内通气，使限位件朝向或背离容纳槽的中心可移动。一种半导体工艺设备，包括上述承载装置。本申请能够解决托盘与晶圆的间隙不重复导致晶圆的圆周膜厚不均匀等问题。

1月17日，北方华创发布2021 年度业绩预告的公告。根据公告，北方华创预计2021年度实现营业收入为84.784602亿元-109.008775亿元，比上年同期增长40%-80%，上年同期营业收入60.56043亿元预计2021年度实现归属于上市公司股东的净利润为9.396283亿元-12.080935亿元，比上年同期增长75%-125%，上年同期盈利为5.369304亿元。预计2021年度实现扣除非经常性损益后的净利润为6.895896亿元-8.866152亿元，比上年同期增长250%-350%，上年同期盈利为1.9702596亿元。图片来源：北方华创公告截图对于业绩变动的原因，北方华创表示，2021 年度，公司主营业务下游客户需求旺盛，半导体装备及电子元器件业务实现持续增长，使得公司营业收入及归属于上市公司股东的净利润均实现同比增长。据了解，北方华创的前身是北京七星华创电子股份有限公司（以下简称“七星电子”）和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司（以下简称“北方微电子”），这两家公司都成立于2001年。2010年，七星电子上市。5年后，七星电子与北方微电子合并，并更名成了现在的名字。经过这些年的发展，目前北方华创的产线覆盖了半导体设备、真空设备、锂电池设备和元器件等行业。其中，半导体设备覆盖IC、光伏、LED、面板四大领域，包含刻蚀、PVD、CVD、氧化、退火、清洗、ALD、传送、固化等各类型设备，是国内最全的半导体设备产品线；真空设备主要包括焊接工艺设备、晶体生产设备、热处理设备、烧结设备和磁性材料设备；锂电池设备涵盖全套锂电池制造产线设备；元器件主要为特种器件，包含电阻、电容器件等。从披露信息来看，北方华创2021年半导体装备及电子元器件业务增长巨大，对此，有投资者在投资者互动平台提问：“尊敬的董秘，您好！贵公司2021年非公开发行中的一个项目是高精密电子元器件产业化基地扩产项目（三期），请问贵司发展电子元器件业务是考虑该业务本身有市场作为独立业务发展，还是发展半导体设备业务的需要？如果是半导体设备业务的需要，相关电子元器件采取自产而非外购的原因是什么？”北方华创1月18日在投资者互动平台表示，公司主要产品为高端电子工艺装备和精密电子元器件，电子元器件是相对独立的业务。自2020年下半年晶圆代工产能紧缺以来，“缺芯”已经成为全球半导体行业短期难以抚平的“阵痛”。在“缺芯”危机下，身处上游的晶圆代工企业不仅在努力优化产能结构，更重要的是在寻求扩充产能。受益于晶圆厂建设热潮，我国半导体设备市场规模近年来持续扩张。2020年，我国大陆地区半导体设备销售额达187.2亿美元，同比增长39%，占全球市场比重26.29%，首次成为全球最大半导体设备市场。与庞大的市场规模不相匹配的是，目前国内半导体市场仍以进口设备为主。为了解决“卡脖子”的问题，国产替代已经成为了半导体领域的大趋势。而北方华创的半导体设备产品线最为齐全，有望最大受益于国产替代。在过去的一年中，北方华创在半导体设备领域也取得了可喜的成绩。甚至于在2021年，北方华创募资85亿元，加码半导体装备生产研发，布局新技术并拓产扩能。其中，34.83亿元投向半导体装备产业化基地扩产项目（四期），24.14亿元投向高端半导体装备研发项目，7.34亿元投向高精密电子元器件产业化基地扩产项目（三期），18.68亿元补充流动资金。此外，北方华创也表示正在开发应用于HIT电池的PVD、CVD设备。

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“晶圆卡盘和晶圆加工方法”专利公布，申请公布日为2024年7月16日，申请公布号为CN118352289A。 背景技术高分子聚合物在微电子制造中有广泛的应用，例如：聚酰亚胺(PI)是一种综合性能良好的有机高分子材料，耐高温达400℃以上，并具有高绝缘性能，103Hz下的介电常数4.0，属于低介电常数材料，被广泛用于微电子制造领域：1、聚酰亚胺容易与氧气、NaOH等发生化学反应而被刻蚀掉，因此可被用作牺牲层来制备微机械系统(MEMS)中的悬空结构；2、利用聚酰亚胺的绝缘性能可用作电路之间的钝化层，如先进封装中的重新布线(RDL)技术，可将聚酰亚胺光敏改性后光刻制备图案化结构并避免不同电路之间互连；3、利用聚酰亚胺的低介电常数特性，可减少电路中的寄生电容，用于高频电子器件中的线路钝化。再如：光刻胶是一类具有光敏特性的高分子聚合物，在光照下其结构发生改性，可以被显影液剥离(正性光刻胶)或者保留(负性光刻胶)，利用光刻胶的光敏特性可以将光刻板上的图形转移到晶圆上，再通过干法刻蚀或者薄膜生长等工艺将图案固定下来，最后光刻胶需要被去除。在上述应用中，常常需要等离子体干法刻蚀对高分子聚合物进行处理。例如：采用聚酰亚胺来实现先进封装中的重新布线技术时，需要等离子体干法刻蚀对聚酰亚胺表面进行改性处理，增大粗糙度和亲水性，以保证电镀重新布线金属时药液可以完全浸润整个晶圆；再如：利用光刻胶做干法刻蚀的掩膜后的去除过程中，由于光刻胶经过干法刻蚀后发生改性，难以使用溶剂溶解的方法进行湿法去除，而需要进一步利用等离子体去胶机进行去除。尤其是在扇出型封装中，晶圆的基底常采用树脂等聚合物制作，进而在制作晶圆的过程中，晶圆容易发生翘曲。当基底有翘曲时，刻蚀过程中的电荷积累引起的放电效应会严重影响刻蚀工艺结果，甚至导致刻蚀工艺停止而失败。发明内容本发明提供了一种晶圆卡盘和晶圆加工方法，涉及晶圆的刻蚀技术技术领域，为解决翘曲的晶圆在等离子刻蚀时易放电打火的问题而设计。晶圆卡盘包括边缘卡盘和中心卡盘，边缘卡盘分布在中心卡盘的至少一个径向的外侧，边缘卡盘传动连接有边缘卡盘驱动装置以调节边缘卡盘的高度。本发明提供的晶圆卡盘可以避免晶圆的边缘打火受损。

2022年8月12日，以“Reliable可靠Innovative创新Excellent卓越”为主题，北方华创NMC508RIE介质刻蚀机新产品发布会在北京亦庄总部顺利举行。这是北方华创首次以8吋设备整体解决方案的视角，全方位、多维度地展现NAURA在CCP介质刻蚀领域实现的创新突破。新品发布会首先由北方华创副总裁李东三做了开场致辞，“NMC508RIE产品的诞生，既表明了北方华创现已实现8吋刻蚀工艺的全覆盖，也彰显了拥有二十多年技术积累的北方华创持续创新的精神力量”。在发布会的现场，第一刻蚀事业单元副总经理陈庆以《8&6吋兼容介质刻蚀的新机遇与挑战》为主题做了分享报告。他表示：“目前，国内的8吋、6吋生产线正在经历一个‘老瓶装新酒’的发展时机，汽车电子、物联网等高速增长的芯片需求正在驱动市场进行渐进式的器件与工艺的更新。”NMC508RIE正是采用了最新的装备技术应用到8吋设备上，专为新工艺需求定制，开发出同时兼容到6吋的全新多频解耦CCP介质刻蚀设备，不仅具备刻蚀速率高、均一性好、工艺窗口大等特点，能更好地满足新型器件高深宽比结构的发展趋势，且系统稳定性高、维护成本低。创新求变是北方华创的持久驱动力。发布会的最后，北方华创集团董事长赵晋荣做了总结讲话，“应时而生，北方华创推出全新CCP介质刻蚀机，致力于通过开放的生态合作、持续的创新投入、丰富的工艺解决方案经验，帮助客户加速实现量产升级”。未来，为应对当下前所未有的挑战，北方华创将坚定创新理念不动摇，始终坚持以客户为中心，精研市场需求，推出更多新产品与工艺解决方案，致力于持续推动产业进步，创造无限可能。

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“碳化硅晶体生长装置”专利公布，申请日期为2023年2月8日，公开日为2024年8月9日，申请公布号为CN118461121A。背景技术随着第三代半导体材料使用领域的扩大，碳化硅单晶材料作为第三代半导体的代表材料，因其特性具有禁带宽度大、热导率高、饱和电子漂移速率高和击穿场强高等性质。在多个领域具有广阔的应用前景，尤其电动汽车、轨道交通和电机驱动(Motor driving)领域增长迅速，占比逐年增大。碳化硅单晶材料普遍采用物理气相传输(Physical Vapor Transport，PVT)法生长，在PVT法中，采用碳化硅粉料作为生长单晶的原料，将碳化硅籽晶粘接在石墨坩埚顶部(石墨盖)作为籽晶，通过电磁感应线圈加热石墨坩埚，石墨坩埚通过热传导将碳化硅原料加热至升华，气相碳化硅在轴向温度梯度作用下输送到籽晶位置开始生长，在特定温度下可生长单晶碳化硅。碳化硅晶体生长中，坩埚是主要的发热源，粉料通过吸收坩埚壁的热量实现升华。由于热量通过粉料间热传导的方式从石墨壁向粉料中心传递，这导致粉料中心的温度始终低于边缘温度。发明内容本发明提供了一种碳化硅晶体生长装置，涉及碳化硅单晶材料的制造技术领域，为解决坩埚内的粉体温度均匀性差的问题而设计。碳化硅晶体生长装置包括坩埚、感应线圈组件和盖设于坩埚上方的盖板，盖板用于在盖板的中心设置籽晶，坩埚内设置有至少一个的感应加热件；感应加热件具有封闭连续的外周面，且能够在感应线圈组件的作用下产生感应涡电流。本发明提供的碳化硅晶体生长装置可以改善坩埚内的粉体温度均匀性。

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“一种集成电路的制造工艺”的专利，授权公告号为CN113506731B，授权公告日为2024年7月23日，申请日为2016年10月8日。背景技术在集成电路制造工艺领域，目前通常使用硅基材料制造集成电路，硅 (或者多晶硅)在空气中放置的情况下表面会自然氧化形成一层致密的二氧化硅(SiO2)层。在有些工艺中，例如，在金属硅化物(Silicide) 工艺中，金属镍铂(NiPt)薄膜要与硅衬底直接接触，如果衬底表面有一层 SiO2，则会增加电阻率，影响器件性能，因此，制造后续工艺前需要去除这层SiO2。而在去除这层SiO2的同时，必须保护其他薄膜/结构不能被去除或者损伤，隔离层(Spacer，由氮化硅(Si3N4)材料制成)的线宽尺寸会影响器件电性，如漏电(leakage)增加等。因此，需要在去除 SiO2的同时尽量保持隔离层(Spacer，Si3N4)不被去除。现有工艺多采用湿法刻蚀、等离子体干法刻蚀等方法去除SiO2，其对Si3N4的刻蚀选择比低，对隔离层去除过多，造成隔离层尺寸缩小，增大漏电，从而影响器件性能。因此，有必要开发一种应用于集成电路制造工艺中的高选择比、高效率的去除晶片上的二氧化硅的方法。公开于本发明背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。发明内容公开了一种集成电路的制造工艺，包括：去除晶片上的二氧化硅的方法，该方法可包括：向工艺腔室内通入脱水的氟化氢气体和脱水的醇类气体；使所述脱水的氟化氢气体和脱水的醇类气体混合，生成气态的刻蚀剂；使所述刻蚀剂与所述工艺腔室内的晶片反应，并使所述工艺腔室内保持高压状态以提高刻蚀选择比；以及将所述反应的副产物从所述工艺腔室内抽出。根据本发明的集成电路的制造工艺中，去除晶片上的二氧化硅的方法通过使气态的刻蚀剂在高压力下与二氧化硅直接反应，并在反应后将反应产物抽出，实现高选择比、高效率地去除二氧化硅。

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺设备及其运动部件的控制方法和装置”的专利，授权公告号为CN113488410B，授权公告日为2024年7月23日，申请日为2021年6月25日。背景技术在半导体工艺设备(例如晶圆清洗设备)中，上位机主要包括协调模块(Coordinator)和调度模块(Scheduler)。调度模块用于根据协调模块输入的机台信息，计算工艺任务(Job)的优化执行序列，保障机台产能；协调模块用于与调度模块交互，接收从调度模块输出的动作任务序列，并控制下位机(如传输控制模块和/或工艺控制模块等)完成对应的工艺任务。上位机中控制软件的核心功能之一是对工艺任务的控制，在执行工艺任务的过程中，会不断收到来自调度模块输出的动作序列，协调模块会将动作序列中的动作任务分配给对应的运动部件(比如机械手或者槽盖)执行动作。具体可以参考图1所示，调度模块输出的工艺任务包括多个动作任务(Move)：如图1中Move1、Move2、…、MoveN；各个动作任务包括至少一个设计好了执行顺序的子动作对象(Action)：如图1中Move1包括Action11和Action12，Move2包括Action21、Action22和Action23；针对每个子动作对象，协调模块会将具体要执行的动作名称及参数发送给对应的运动部件(Module)，由对应的运动部件执行各个子动作对象：如图1所示Move1中Action11由Module1执行，Action12由Module2执行，Move2中Action21由Module1执行，Action22和Action22均由Module2执行。其中，每个动作任务开始执行前，协调模块会将该动作任务包含的所有子动作对象涉及到的运动部件置为占用，直到该动作任务包含的所有子动作对象都执行完，相关运动部件才会被释放。运动部件可以持续扫描自己是否有子动作对象需要执行，但只会执行把自己置为占用的动作任务中的子动作对象。这种设计可以在一定程度上保证上一个动作任务的所有子动作对象没有完全执行完前，相关运动部件不会去执行其它动作任务的子动作对象，使各个动作任务之间的子动作对象互不干涉。然而，上述动作任务在执行过程中，对运动部件的占用机制过于绝对，容易导致运动部件的利用率低，从而可能影响对应的机台产能。发明内容本申请公开一种半导体工艺设备及其运动部件的控制方法和装置，其中控制方法包括：获取当前动作任务，所述当前动作任务包括多个子动作对象；确定当前子动作对象和待执行子动作对象，所述待执行子动作对象被配置为在所述当前子动作对象之后执行；控制与所述当前子动作对象关联的当前运动部件执行所述当前子动作对象；在执行完所述当前子动作对象之后，确定与所述待执行子动作对象关联的待用运动部件；在所述待用运动部件不包括所述当前运动部件时，将所述当前运动部件的运动状态设置为可用。其可以提高运动部件的利用率，缩短相应动作任务的执行时间，从而缩短工艺任务的总执行时间，提高相应机台产能。

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“盖板托盘组件及半导体设备的工艺腔室”的专利，授权公告号为CN111863702B，授权公告日为2024年7月23日，申请日为2020年7月30日。背景技术图形化衬底技术(Patterned Sapphire Substrates，PSS)是目前普遍采用的一种提高氮化镓(GaN)基LED器件出光效率的方法，也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用电感耦合等离子体Inductively CoupledPlasma，ICP)刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，再在其上生长GaN材料，使GaN材料的纵向外延变为横向外延。该方法可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小了有源区的非辐射复合，减小了反向漏电流，提高了LED的寿命。有源区发出的光，经由GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了全反射光的出射角，从而提高了光的提取效率。现有技术中，通常采用包括托盘主体和盖板的盖板托盘组件进行PSS工艺，其中，托盘主体具有放置晶片的晶片槽，盖板底部具有压爪，压爪用于固定晶片，防止晶片由于背氦的吹里作用而发生移动。而对于圆锥形的PSS工艺，其参数指标通常要求高度为1.75～1.85um(微米)，底宽为2.7～2.85um，边缘0.5以内不黏连。但是，采用现有的托盘及PPS工艺，得到的图形在晶片压爪区域经常发生底部黏连的现象，导致底宽(底宽＝3.0um)过大，靠近压爪边缘图形对称性很差(两边分别距中线的距离相差约800nm，两段距离差越大对称性越差)，出现外延雾化现象等，从而造成了较大的边缘形貌问题。鉴于此，亟需一种新的盖板托盘组件以改善上述PSS工艺后出现的晶片边缘形貌问题。发明内容本发明提供一种盖板托盘组件及半导体设备的工艺腔室，包括：托盘主体、盖板及中间介质，其中：托盘主体用于承载晶片；盖板设置于托盘主体上，在盖板上设置有压合部，压合部与晶片的边缘接触；中间介质设置于托盘主体与盖板之间，且中间介质的上表面和下表面分别与盖板和托盘主体接触，用于使托盘主体与盖板之间形成一空间，以能够降低压合部与晶片之间的电势差。应用本申请，可以降低压合部上表面与晶片上表面的鞘层电势差，从而降低压合部和晶片的连接处形成的电场偏转程度，避免造成现有技术中晶片压爪区域发生底部黏连，导致底宽过大、靠近压爪边缘图形对称性差等，继而有效改善了PPS工艺过程中的边缘形貌问题。

4月23至25日，由我公司主办的《第一期大连北方化验员培训会》历时3天圆满成功，培训会邀请了多家公司负责化验工作的一线化验员，旨在培训化验员对试验方法的理解及要点掌握。 本届培训会主要内容为剪切类仪器标准的解读及仪器原理操作，会上不仅有关于新标准试样方法的详细解读，也有对应仪器的原理介绍，主要针对的仪器有高温高剪切、 CCS、圆锥滚子剪切试验机、柴油喷嘴、布氏粘度等，通过各位老师的讲解能够让各位学员有所收获。在理论知识讲完后的第二天为了让学员能够更深刻的记住所学知识，公司特意为学员提供了实践操作的场地，每三人一组有在指导老师的带领下进行实际操作。培训现场↓ 在最后一天的培训会上我公司针对这两天的培训内容做出了一份考试答卷，希望能够详细了解各位学员对本次培训会的掌握情况，最终各位学员都已优异的成绩完成了此次答卷。 会后各位学员给与了本次培训的极大肯定，感觉收获颇丰，希望能够多举办这样的活动，同时我们也会再接再厉，希望给更多需要这方面培训的同行提供帮助。 第一期培训会化验员合影留念↓

p 　　国内半导体国家02专项设备龙头，担负设备国产化重任：公司是国内规模庞大，产品体系丰富，涉及领域广泛的高端半导体工艺设备供应商，主要产品包括等离子刻蚀设备(Etch)、物理汽相沉积设备(PVD)、化学汽相沉积设备(CVD)、氧化扩散设备(Oxide/Diff)和清洗设备 (CleaningTool)等，基本涵盖半导体生产各关键工艺装备。我国半导体设备长期被应用材料、科林等国际巨头垄断，不利于我国信息产业安全及高端制造升级。公司在国家扶持下制造能力不断提高。28nm制程设备已进入生产线量产，14nm制程设备处于工艺验证阶段，为国内半导体设备最前沿。凭借不断进步的技术实力，公司担起关键设备加速国产化重任。 /p p 　　全球半导体行业景气叠加国家战略推动产业加速中国转移，预计未来三年设备潜在市场规模2000亿元以上。据WSTS估测，2017年全球半导体行业增长17%，走出2015~2016年零增长困境。我国从2014年以来不断出台政策支持半导体行业国产化，大基金2014年9月成立至今已投资超千亿元助力半导体产业链发展。 /p p 　　根据SEMI统计，未来三年全球规划建设62个晶圆厂，其中26个晶圆厂在中国建设，将为国产设备采购浪潮，半导体设备市场规模超2000亿元以上。以公司为代表的国内设备企业有望从低端开始逐步替代，享受半导体产业发展红利。 /p p 　　战略涉足光伏、锂电、电子元器件，产业多元化助力高端制造业升级。除半导体设备外，公司还广泛布局真空设备、锂电设备、精密电子元器件等。受分布式光伏发展及单晶硅占比提升带动，公司真空设备订单饱满，业绩增长迅速。新能源汽车长期高景气，公司锂电设备供应全国95%以上的锂离子电池研究院所、生产企业，并远销到日本、德国、俄罗斯等国家，享受下游新能车景气红利。精密电子元器件广泛用于航空航天、精密仪器仪表等领域。公司通过多产业布局，熨平产业发展周期，增长动力持续强劲。 /p

2014年4月2日， 北京昊诺斯科技有限公司在中国人民解放军防化研究院举办了徕卡常规病理产品及毛细管电泳知识讲座。活动上，昊诺斯的产品负责人凌文慧和周尧分别针对徕卡常规病理产品及AB SCEIX的毛细管电泳做了讲解，报告期间，不时有老师提出问题，都反应讲解的内容对于购买仪器非常受用。并希望今后能经常组织这样的活动，把更多有用的信息与大家分享。感谢防化研究院的老师们在百忙之中参与昊诺斯的活动，更加感谢大家对昊诺斯的支持。 北京昊诺斯科技有限公司是徕卡和AB SCEIX毛细管电泳在北方地区的一级代理商，致力于为生命科学、生物检测、生物工程、药物研发、组织病理等领域提供先进的实验室仪器设备及多层次服务的高科技公司。昊诺斯代理的国外产品绝大部分是专业领域内的世界一流品牌。主要包括：ThermoFisher、Merck Millipore、徕卡、AB SCIEX、美国艾森生物、韩国ADAM、台湾光鼎、加拿大Avestin、西班牙Telstar、波兰HTL等。 昊诺斯的代理权绝大多数为直接与生产厂家签约代理协议的独家或一级代理，这意味着昊诺斯销售的代理产品将得到生产厂家及昊诺斯的双重支持与售后服务。北京昊诺斯科技有限公司的库存拥有大量的备品备件及现货以服务用户，这意味着在中国这样广大的用户区域内用户将可以就近联系昊诺斯，更加及时更加充分地享受到更有保障的服务。 同时昊诺斯还销售鼎昊源品牌的多种国产仪器，包括自动研磨仪、系列台式离心机、振荡混合器、封板机、温控金属浴、温控振荡、系列凝胶图像分析系统、自动染色仪、全自动Blot膜杂交系统等产品，并在逐步增加品种，扩大规模。 昊诺斯愿尽最大的努力为实验室提供更加先进的产品、更加可信的服务。昊诺斯相信凭借一流的技术与服务基础，与科技研发的实验室一起共创美好的明天。

p style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) margin-top: 0px margin-bottom: 15px color: rgb(80, 80, 80) font-family: & quot Helvetica Neue& quot , Helvetica, Arial, sans-serif white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) text-align: center " img src=" http://s.laoyaoba.com/jwImg/news/2020/10/27/16037620425800.png" style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) border: 0px vertical-align: middle max-width: 100% " / /p p style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) margin-top: 0px margin-bottom: 15px color: rgb(80, 80, 80) font-family: & quot Helvetica Neue& quot , Helvetica, Arial, sans-serif text-align: justify white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) " 据企查查工商信息显示，芯链融创集成电路产业发展（北京）有限公司（以下简称芯链融创）出资1亿，领投成为北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司（以下简称创新中心）的第一大股东，持股比例为50%。中芯国际、北京亦庄占比各为25%并列为第二大股东。 /p p style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) margin-top: 0px margin-bottom: 15px color: rgb(80, 80, 80) font-family: & quot Helvetica Neue& quot , Helvetica, Arial, sans-serif text-align: justify white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) " 相关资料显示，增资前创新中心为中芯北方的全资子公司，成立于2017年9月，根据主要业务方向设立产业链国产化、技术开发与合作、技术服务、联盟及产业链建设四个主要业务部门及相应的组织，旨在打造集成电路产业链生态圈，搭建多层面沟通平台。业内人士分析，创新中心项目为国产化设备提供验证测试，提升集成电路生产线效率，降低生产线的建造与运营成本。 /p p style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) margin-top: 0px margin-bottom: 15px color: rgb(80, 80, 80) font-family: & quot Helvetica Neue& quot , Helvetica, Arial, sans-serif white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) text-align: center " img src=" http://s.laoyaoba.com/jwImg/news/2020/10/27/1603762053534.png" style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) border: 0px vertical-align: middle max-width: 100% " / /p p style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) margin-top: 0px margin-bottom: 15px color: rgb(80, 80, 80) font-family: & quot Helvetica Neue& quot , Helvetica, Arial, sans-serif text-align: justify white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) " 作为增资后的第一大股东，芯链融创由北京凯世通半导体有限公司（以下简称北京凯世通）在内的26个国内半导体优质公司共同出资组建，是一家致力于集成电路、半导体技术产品开发、设计、服务的高科技企业，于2020年8月27日注册成立。其中，北京凯世通持有芯链融创4%的股份。 /p p style=" box-sizing: border-box outline: 0px text-size-adjust: none -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) margin-top: 0px margin-bottom: 15px color: rgb(80, 80, 80) font-family: & quot Helvetica Neue& quot , Helvetica, Arial, sans-serif text-align: justify white-space: normal background-color: rgb(255, 255, 255) " 工商信息显示，北京凯世通是上海万业企业股份有限公司的下属公司，成立于2020年5月，主要业务为生产半导体器件专用设备，开展机械设备、电子科技领域内的技术开发、资讯和服务内容。其研发及制造集成电路核心设备的低能大束流离子注入机等，是解决芯片国产化设备卡脖子的关键环节，相信北京凯世通入股芯链融创助力创新中心进行产业布局，或能获得更稳定、优先的设备需求联动。 /p

p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 初识李方华先生是在2000年，那是在中科院客座公寓召开的某电镜厂商用户交流会上，当时我刚刚接触电镜不久，虽有兴趣但无更深层次的了解，我有幸在这次会议中聆听了李方华院士和郭可信院士等电子显微学前辈的分享，正是这次难得的机会让我感受到电镜独特的魅力，与电子显微镜结下了不解之缘。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 408px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/cf493f14-6bf0-4227-bc97-adb61dd6410a.jpg" title=" 1987年李方华先生为桥本初次郎电镜讲座做翻译.jpg" alt=" 1987年李方华先生为桥本初次郎电镜讲座做翻译.jpg" width=" 600" height=" 408" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong span style=" font-size: 14px " 1987年李方华先生为桥本初次郎电镜讲座做翻译 /span span style=" font-size: 14px text-indent: 0em " （柳得橹教授摄） /span /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 从那次会议起，我每年都积极参加电镜会议，也经常见到李方华先生，先生用她的实际行动表达着对电镜行事业的热爱，对后辈的关怀。河南电镜学会副理事长李炎教授，对李方华先生在2004年来河南科技大学讲学期间回忆道：“她在会上做报告时说过一句话，我一直记在心‘做科研不要像蝴蝶采花，这一下那一下，要认准了的一直做下去，把一个小芽做成一棵大树’。当时课件上好像还画有一棵枝繁叶茂的大树。”这样的话，一直影响着我们河南电镜工作者...... /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 398px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/382fd719-421a-4eaa-879e-86605a5e212e.jpg" title=" 2008年李方华院士在山东省电镜学术会上做报告.jpg" alt=" 2008年李方华院士在山东省电镜学术会上做报告.jpg" width=" 600" height=" 398" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" font-size: 14px " 2008年李方华院士在山东省电镜学术会上做报告（郭新勇摄） /span /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 2008年中镜科仪刚刚成立第三年，我与时任山东省电镜学会理事长李伯勤教授共同策划了“山东分析测试学会电子显微科学学术大会”。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 李伯勤教授回忆道:“记得我邀请方华先生做会议报告时，先生由于身体原因已经不怎么参加全国会议甚至国际会议了，但她却欣然应邀前来参加山东省的电镜会，以她精彩的报告、渊博的学识和对电镜事业的挚爱，鼓舞并推动山东电镜事业的发展! ” /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 398px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/267eebc8-95e2-4009-967d-34be72c31250.jpg" title=" 008年山东省电镜会上，左边依次为郭新勇、张教授、张泽、李方华、丁明孝、张福州、李宁春、.jpg" alt=" 008年山东省电镜会上，左边依次为郭新勇、张教授、张泽、李方华、丁明孝、张福州、李宁春、.jpg" width=" 600" height=" 398" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" font-size: 14px " 2008年山东省电镜会上，左边依次为郭新勇、张教授、张泽、李方华、丁明孝、张福州、李宁春、李伯勤、胡萍等人合影 /span span style=" font-size: 14px " （程书洁摄） /span /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 当时会议邀请了李方华院士、张泽院士、时任中国电镜学会理事长丁明孝教授、《电子显微学报》李宁春主任、中国电镜学会办公室胡萍主任、山东省测试分析学会理事长张教授、电镜专业委员会主任委员张福州教授等人参加那次会议。李方华先生做了首场报告，她极为认真详尽地解答了每一位年轻电镜同行提出的问题，使我深受感动，从她身上我看到了科学家的气度,看到了她对待科研工作的认真和执着。会后，我有幸与李方华先生交谈，说起自己从一个电镜工作者变为服务于电镜工作者的商人，虽然还是在自己深爱的领域，但毕竟离开了学校，多少有些迷茫。李先生却语重心长地鼓励我：“没有专业的实验耗材、专业的服务，电镜工作者也不能安心做好科研工作”。先生的这一席话使我坚定了从商之路，也坚定了我“从商育人”的信念...... /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 342px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/a59d19d3-b804-44a7-8a85-1a7337eaedcc.jpg" title=" 2008年山东分析测试学会电子显微科学.jpg" alt=" 2008年山东分析测试学会电子显微科学.jpg" width=" 600" height=" 342" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" font-size: 14px " 2008年山东分析测试学会电子显微科学学术大会代表合影（王保安摄）& nbsp /span /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 从业多年来，很多电镜同行都问过我一个问题：电镜用的“方华膜”与李方华先生有关吗？ /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 关于这个问题的答案要从2006年说起。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 当时，中镜科仪刚刚成立，在编写产品目录时，电镜用的单层有机膜需要有一个中文商品名。由于制作这种有机膜的材料就是Formvar，在当时的各种文献中，这种有机膜（Formvar& nbsp film）被音译成“福尔蒙瓦尔膜、富尔瓦膜、方华膜”等，前几个名称比较拗口，也不便记忆，只有“方华”一词比较符合中文习惯，恰巧又与李方华先生的名字同音同字。李方华先生在中国科学院物理研究所创建了中国最早的高分辨电子显微学研究组，是我国最早开始从事高分辨电子显微学的研究者之一。想到科学界有很多发明发现都是以科学家来命名的先例，用“方华膜”来命名这款产品，不仅朗朗上口，也为它镀上了浓浓的“方华”情怀。或许，这就是一个最美丽的巧合吧...... /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 我很欣慰地看到，目前“方华膜”这一商品名称，已经被很多科技文献引用。也许，这样的命名当初只是为了更符合中文习惯，但是对于电镜界来说，这何尝不是对于李方华先生最好的纪念？ /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 我想说的是，虽然李方华先生离开了我们，但是她对电镜事业的支持和热爱会一直影响着我们，激励我们在追求电镜梦的道路上不懈努力！惟有如此，才能告慰先生的在天之灵！ /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 愿先生在天堂依然绽放属于她的芳华！ /p p style=" text-align: right text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em " br/ /span /p p style=" text-align: right text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em " 中镜科仪总经理郭新勇 /span /p p style=" text-align: right text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em " 2020年1月27日夜& nbsp /span /p p style=" text-align: justify " span style=" color: rgb(127, 127, 127) " br/ /span /p p style=" text-align: justify " span style=" color: rgb(127, 127, 127) " *& nbsp 这篇文章经过了柳得橹教授、李伯勤教授、李炎教授、马明经理、李凤丽经理、王蕴棋经理等人修改和审阅，感谢他们和我一起追忆李方华先生。 /span /p p style=" text-align: right " & nbsp （中镜科仪总经理郭新勇供稿） /p

根据《工业和信息化部办公厅关于组织开展2023年国家技术创新示范企业认定及国家技术创新示范企业复核评价工作的通知》（工信厅科函〔2023〕260号），经企业自主申报、地方和央企组织推荐以及专家评审，拟认定沈阳仪表科学研究院有限公司等68家企业为国家技术创新示范企业。获得国家技术创新示范企业认定的企业不仅可以获得一定金额的奖励，在税收、融资、人才、专利等多方面仍可以到享受政策的支持。本次通过2023年国家技术创新示范企业认定的企业中，多家仪器仪表企业上榜。沈阳仪表科学研究院有限公司沈阳仪表科学研究院有限公司（原沈阳仪表科学研究院）是原机械工业部直属大型综合性科研单位，现隶属于中国机械工业集团有限公司，名列全国综合科技实力百强研究院所行列，是辽宁省AAA级信用企业。宁波永新光学股份有限公司宁波永新光学股份有限公司成立于1997年（全资子公司南京永新前身始于1943年）。公司在宁波、南京建有制造基地，占地11万平方米，员工约1300名，主要从事光学显微镜和精密光学元组件的研发、生产和销售，是国家级制造业单项冠军示范企业、中国仪器仪表行业协会副理事长单位、光学仪器分会理事长单位和光学显微镜国家标准制定单位，主导ISO9345显微镜国际标准制定。北方华创科技集团股份有限公司北方华创科技集团股份有限公司成立于2001年9月，2010年在深圳证券交易所上市，股票代码002371，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业，主营半导体装备、真空及锂电装备、精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有六大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。……名单完整版沈阳仪表科学研究院有限公司中裕铁信交通科技股份有限公司广东芬尼克兹节能设备有限公司泰和新材集团股份有限公司中铝郑州有色金属研究院有限公司浙江伟星新型建材股份有限公司洛阳轴承研究所有限公司横店集团东磁股份有限公司宁波永新光学股份有限公司西安凯立新材料股份有限公司方盛车桥（柳州）有限公司重庆再升科技股份有限公司云南贝泰妮生物科技集团股份有限公司内蒙古蒙牛乳业（集团）股份有限公司上海微创心脉医疗科技（集团）股份有限公司界首市天鸿新材料股份有限公司赛轮集团股份有限公司四川汇宇制药股份有限公司江西联创电子有限公司郑州森鹏电子技术股份有限公司湖南湘投金天科技集团有限责任公司安徽皖维高新材料股份有限公司湖北三江航天万峰科技发展有限公司河南心连心化学工业集团股份有限公司湖南松井新材料股份有限公司中车山东机车车辆有限公司山东福瑞达医药集团有限公司河南光远新材料股份有限公司武汉华工图像技术开发有限公司马应龙药业集团股份有限公司陕西天成航空材料有限公司中国五环工程有限公司天津久日新材料股份有限公司重庆博腾制药科技股份有限公司北自所（北京）科技发展股份有限公司天津铁路信号有限责任公司晶澳太阳能科技股份有限公司东软医疗系统股份有限公司湖北航鹏化学动力科技有限责任公司OPPO广东移动通信有限公司维沃移动通信有限公司贵州安大航空锻造有限责任公司海底鹰深海科技股份有限公司陕西凌云电器集团有限公司甘肃海林中科科技股份有限公司中重科技（天津）股份有限公司安徽安利材料科技股份有限公司重庆红江机械有限责任公司成都利君实业股份有限公司新疆有色金属工业（集团）有限责任公司经纬智能纺织机械有限公司北方华创科技集团股份有限公司华勤技术股份有限公司苏州迈为科技股份有限公司无锡先导智能装备股份有限公司安徽金禾实业股份有限公司福建恒杰塑业新材料有限公司泰晶科技股份有限公司江苏曙光光电有限公司武汉达梦数据库股份有限公司江苏扬农化工股份有限公司招商局金陵船舶（南京）有限公司长春生物制品研究所有限责任公司中车太原机车车辆有限公司南京钢铁股份有限公司长春捷翼汽车科技股份有限公司广西建工集团建筑机械制造有限责任公司哈尔滨电机厂有限责任公司

近日，根据《技术创新示范企业认定管理办法（试行）》（工信部联科〔2010〕540号），2023年国家技术创新示范企业名单和国家技术创新示范企业复核评价结果正式公布。认定北方华创科技集团股份有限公司等68家企业为2023年国家技术创新示范企业（点击跳转）。国家技术创新示范企业实行动态管理，每三年复核评价一次，对合格的示范企业予以确认，不合格的撤消称号。中材科技股份有限公司等248家企业通过复核评价。菱花集团有限公司、山东如意科技集团有限公司、四川茂华食品有限公司、南京华东电子信息科技股份有限公司、中国电建集团上海能源装备有限公司等5家企业未通过复核评价，撤消其国家技术创新示范企业称号。附件：通过2023年复核评价的国家技术创新示范企业名单.doc