离子束刻蚀

SUPPRESSOR,SW CONSUMABLE抑制极极电极，用于原厂聚焦离子束设备SW型号的离子枪，抑制极是聚焦离子束加载抑制极电压的电极，与拉出极配合，可对聚焦离子束的发射电流进行调节。大束科技是一家以自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。

STRIP,TOMAHAWK,#02光阑条，用于原厂聚焦离子束TOMAHAWK型号的离子枪，光阑条是一个条状薄片上有多个不同孔径的圆孔，通过不同的孔径限制离子束的电流强度。以实现不同离子束电流间的切换。大束科技是一家以自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。

EXTRACTOR ASSY,HT-SW拉出极电极，用于原厂聚焦离子束设备HT-SW型号的离子枪，拉出极是聚焦离子束加载拉出极高压的电极，用于将液态金属镓离子化，形成离子束。大束科技（北京）有限责任公司成立于2018年，是一家以自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。电子显微镜属于高端精密仪器，密集应用于我国的基础教学、科研平台、高科技项目研发等领域。目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。

上海屹持光电技术有限公司专业提供各种微纳结构加工服务典型案例： FIB加工微纳结构 紫外光刻微纳结构单晶硅反应离子刻蚀图片 ICP 刻蚀微纳结构 纳米压印点线图微流控细胞打印 EBL 刻写微纳阵列 FIB 用于器件电极沉积 激光直写图案激光直写器件微纳结构加工主要设备1，电子束曝光系统；2，聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统；3，双面对准接触式紫外光刻机；4， 单面对准紫外光刻机；5，金属高密度等离子体刻蚀机；6，硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机；7，反应等离子体刻蚀机；8，纳米压印机。

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这些盖玻片都由纯白玻璃制造，表面刻蚀了永久栅格。它有2种型式可选：l 方形刻蚀坐标盖玻片2号厚度的盖玻片有520个带标记的方格，每个方格的大小是600 x 600μm方便细胞或染色体的展开 l 圆形刻蚀坐标盖玻片25mm直径。厚度2号的盖玻片有1-200个方格，每个方格500um宽可以放入六孔板适合活细胞的生长观察 订购信息：货号产品名称规格72264-18刻蚀坐标盖玻片18 x 18 mm 25/盒 72264-23 刻蚀坐标盖玻片23 x 23 mm 25/盒72265-12刻蚀坐标盖玻片12 mm Diameter25/盒72265-25刻蚀坐标盖玻片25mm Diameter25/盒72265-50刻蚀坐标盖玻片25mm Photo-Etched German Glass 25/盒

这些盖玻片都由纯白玻璃制造，表面刻蚀了永久栅格。它有2种型式可选：l 方形刻蚀坐标盖玻片2号厚度的盖玻片有520个带标记的方格，每个方格的大小是600 x 600μm方便细胞或染色体的展开 l 圆形刻蚀坐标盖玻片25mm直径。厚度2号的盖玻片有1-200个方格，每个方格500um宽可以放入六孔板适合活细胞的生长观察 订购信息：货号产品名称规格72264-18刻蚀坐标盖玻片18 x 18 mm 25/盒 72264-23 刻蚀坐标盖玻片23 x 23 mm 25/盒72265-12刻蚀坐标盖玻片12 mm Diameter25/盒72265-25刻蚀坐标盖玻片25mm Diameter25/盒72265-50刻蚀坐标盖玻片25mm Photo-Etched German Glass 25/盒

光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料，是转移紫外曝光或电子束曝照图案的媒介。光刻胶的英文名为resist，又翻译为抗蚀剂、光阻等。广泛应用于集成电路(IC)，封装(Packaging)，微机电系统(MEMS)，光电子器件光子器件(Optoelectronics/Photonics)，平板显示器(LED,LCD,OLED)，太阳能光伏(Solar PV)等领域。 德国ALLRESIST公司是从事光刻用电子化学品研发、生产和销售的专业公司，有丰富的经验和悠久的传统。可以为您提供各种标准工艺所用的紫外光刻胶，电子束光刻胶（抗蚀剂）以及相关工艺中所需要的配套试剂。 北京汇德信科技有限公司作为德国ALLRESIST的国内独家代理经销商，为国内用户提供高品质的光刻胶以及配套服务。 产品类型： 1.紫外光刻胶（Photoresist） 各种工艺：喷涂专用胶，化学放大胶，lift-off胶，图形反转胶，高分辨率胶，LIGA用胶等。 各种波长: 深紫外(Deep UV)、I线(i-line)、G线(g-line)、长波(longwave)曝光用光刻胶。 各种厚度: 光刻胶厚度可从几十纳米到上百微米。 2. 电子束光刻胶（电子束抗蚀剂）（E-beam resist） 电子束正胶：PMMA胶，PMMA/MA聚合物， LIGA用胶等。 电子束负胶：高分辨率电子束负胶，化学放大胶（高灵敏度电子束胶）等。 3. 特殊工艺用胶（Special manufacture/experimental sample） 电子束曝光导电胶，耐酸碱保护胶，全息光刻用胶，聚酰亚胺胶（耐高温保护胶）等特殊工艺用胶。 4. 配套试剂（Process chemicals） 显影液、除胶剂、稀释剂、增附剂（粘附剂）、定影液等。 产品特点1. 光刻胶种类齐全，可以满足多种工艺要求的用户。产品种类包含：各种厚度的紫外光刻胶（正胶或负胶），lift-off工艺用胶，LIGA用胶，图形反转胶，化学放大胶，耐刻蚀保护胶，聚酰亚胺胶，全息曝光用胶，电子束光刻胶（包含PMMA胶、电子束负胶、三维曝光用胶（灰度曝光用胶）、混合曝光用胶等）2. 光刻胶包装规格灵活多样，适合各种规模的生产、科研需求。 包装规格包含：250毫升、1升、2.5升等常规包装，还提供试验用小包装，如30毫升、100毫升等。3. 交货时间短。我们每个月20号左右都会向德国厂商下订单，产品将于第二个月中旬到货，您可以根据实际情况，合理安排采购时间。具体的订购情况，请联系我们的销售人员。 4. 可以提供高水准的技术咨询服务，具有为客户开发、定制特殊复杂工艺用光刻产品的能力5. 储存条件：密闭储存在容器中并置于避光、干燥阴凉、通风良好之处。储存在适当的温度下。详情请联系我们的销售人员。 欢迎致电咨询（电话：010-82867920/21/22），更多光刻胶信息请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514

线性ECR宽波束离子源图1 EC/L600线性宽波束离子源产品介绍ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在离子源内，等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时，电子会发生共振吸收，此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级），获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子，而电离出的电子很快也会发生回旋共振，撞击原子产生更多的电子，从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加，而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加，这使得等离子体的浓度得到很大提高。多个单ECR离子源结合到一起，组成线性ECR宽波束离子源。 1. EC/L600线性宽波束离子源使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源，配备特殊电网绝缘调节系统，在交变电场与永磁体的静磁场的作用下，等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)，拥有长达2米的工作模块，均匀离子流超过总长度的65**。2. EC/L600线性宽波束离子源使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长（超过300小时），所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料，方便实现**佳工艺适应。 技术规范图2 EC/L600线性宽波束离子源尺寸布局参数EC/L600类型法兰安装射频激励离子源多孔径提取栅网源材料放电管：Al2O3栅网：C微波天线的真空分离：二氧化硅杯永磁体：NdFeB外壳：不锈钢磁屏蔽：镀镍钢栅网类型2栅网或3栅网系统2种不同焦距的标准系统型号深度：标准110 mm（可调为250 mm）235 mm x 675 mm（无法兰）重量约75kg法兰带O形密封圈的非标准矩形法兰340 mm x 775 mm微波电源每个模块在2.45 GHz时约125-400 W离子电流**大1 A（取决于栅网类型和运行条件）离子能量100 到 2000 eV加速电压0 –1000 V过程气体惰性气体，N2（无限制）O2和含卤素气体（栅极寿命缩短）气流流量5-20sccm接头：1/8“Swagelock（空气和真空）冷却水1.5 l/min电连接6 mm Swagelock

液态镓离子源，应用于原厂的聚焦离子束设备，液态镓离子源是将液态金属镓灌入尖端的漏斗状结构，在拉出极高压的作用下形成镓离子束。大束科技（北京）有限责任公司成立于2018年，是一家以自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。电子显微镜属于高端精密仪器，密集应用于我国的基础教学、科研平台、高科技项目研发等领域。目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。

产品特点：离子源清洁粉Ion Source Cleaning Powder订货号：22685当您遇到灵敏度差和高质量丰度不足时，使用这种氧化铝粉末清洁接触样品或离子束的表面。产品名称：离子源清洁粉 （Ion Source Cleaning Powder）类似：Agilent 8660-0791 Grace 03-920276-00,5124594

蚀刻有双环的载玻片用于荧光免疫检测实验，大小为25*75mm，厚度大约1mm，带有磨砂书写端。 订购信息：货号产品名称规格71879-10Two Etched 10mm Circle Slide144/盒71879-11Two Etched 10mm Circle Slide10x144/盒71879-15Two Etched 15mm Circle Slide144/盒71879-16Two Etched 15mm Circle Slide10x144/盒

日本KEC-990，KEC-990，KEC990空气正负离子测试仪，办事处，说明书，中文操作，简介：超大量程（2000万级）空气正、负离子测试仪，体积小，重量轻，数字式显示，一目了然。测试各种环境下空气中正、负离子的浓度与各种负离子相关产品的离子产生数量，方便好用。适用于生产负离子发生器（空气清新器、负离子空调、吹风筒）、环境（温泉、ＳＰＡ、精油、瀑布、森林）测量及在线测量等。日本KEC-990，KEC-990，KEC990空气正负离子测试仪，办事处，说明书，中文操作，简介，特点：一、数字显示数值具有保持(HOLD)功能，便于照相与解说。二、可配合三脚架，固定于展示场。三、具有数据输出端子，可将测试结果输出至纪录器。四、具排除静电影响设计，测试结果准确。五、可使用插座电源，长时间连续使用（在线测量）﹔也可以使用电池（方便移动）。六、价格更经济，功能更强大。

蚀刻有双环的载玻片用于荧光免疫检测实验，大小为25*75mm，厚度大约1mm，带有磨砂书写端。 订购信息：货号产品名称规格71879-10Two Etched 10mm Circle Slide144/盒71879-11Two Etched 10mm Circle Slide10x144/盒71879-15Two Etched 15mm Circle Slide144/盒71879-16Two Etched 15mm Circle Slide10x144/盒

符合ISO 17025:2017标准的CDMS产品。NIST标准的可追溯性或单独认证有证书。Pelcotec CDMS ISO校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样，可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。这些标样采用蚀刻制造技术制成，可以覆盖广泛的测量范围。Pelcotec CDMS ISO校准标样有两种特征尺寸范围，分别是 Pelcotec CDMS-1T ISO和 Pelcotec CDMS-0.1T ISO，都提供可追溯和认证标样，共有4个种：Pelcotec CDMS-1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。产品编号描述单位701-1Pelcotec CDMS-1T ISO，2mm - 1um，可追溯，没有样品台，蚀刻线个699-1Pelcotec CDMS-1T，2mm - 1um，可追溯，没有样品台，蚀刻线个Pelcotec CDMS-1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。产品编号描述单位711-1Pelcotec CDMS-1C ISO，2mm - 1um，经过认证，没有样品台，蚀刻线个703-1Pelcotec CDMS-1C，2mm - 1um，经过认证，没有样品台，蚀刻线个Pelcotec CDMS-0.1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。产品编号描述单位708-01Pelcotec CDMS-0.1T ISO，2mm - 100nm，可追溯，没有样品台，蚀刻线个700-01Pelcotec CDMS-0.1T，2mm - 100nm，可追溯，没有样品台，蚀刻线个 Pelcotec CDMS-0.1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。产品编号描述单位712-01Pelcotec CDMS-0.1T ISO，2mm - 100nm，经认证，没有样品台，蚀刻线个704-01Pelcotec CDMS-0.1T ，2mm - 100nm，经认证，没有样品台，蚀刻线个 Pelcotec CDMS ISO标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10um、5um、2um和1um（适用于 Pelcotec CDMS-1T ISO 和 Pelcotec CDMS-1C ISO）。而Pelcotec CDMS-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10um、5um、2um、1um、500nm、250nm和100nm。较小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm，厚度为525um ±10um，在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec CDMS ISO校准标样都有一个独特的识别编号。Pelcotec CDMS ISO校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用，Pelcotec CDMS ISO安装在12mm的AFM圆片上，而对于LM应用，则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。可选的样品座。Pelcotec CDMS-1-ISOPelcotec CDMS-0.1-ISO基底：硅是是基底尺寸：2.5×2.5mm是是基底厚度：525±10μm是是唯一序列识别号是是2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块是是垂直于 X 轴的刻度线，间距为 10μm、5μm、2μm 和 1μm是是仅高分辨率版本 - 垂直于 X 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出—是可在晶圆级追溯到 NIST（ISO 17025:2017 认证标准）T 版本T 版本CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证（ISO 17025:2017 认证标准）C版本C版本不装在样品台上可用是是可安装在 SEM样品台上是是精度优于0.3%是是线边缘粗糙度为每 1um 线边缘长度 +/- 0.3nm是是测量报告的不确定性 (k=2)* 为 ±0.012μm是是

亚硝酸盐测试纸食品水质切削液均可使用 德国MN水质快速检测亚硝酸盐测测试纸食品水质切削液均可使用，测试方法简单，携带方便、检测结果准确，是废水分析的理想产品，深圳市方源仪器有限公司自主研发的水质检测亚硝酸盐测试盒也和该产品同样适用于：农业、水产养殖业、酿酒业、化工行业、饮用水、电镀行业、食品饮料行业、工业废水处理、金属加工业、城镇污水处理、照相行业以及地表水和海水等行业中亚硝酸盐的测试。 产品配置：装有液体试剂或粉末状试剂的彩色编码管用于精确量取固体试剂的测量勺至少8种颜色的比色卡 2支直径20毫米的螺纹口测量试管试管固定器标有5ml刻度的塑料注射器 产品规格参数：订货型号：931044测试类型：VISOCOLOR ? ECO 水质检测单位刻度：00.020.030.050.070.10.20.30.5 mg/l NO2-测试次数：120次保质期：1.5年海水分析：适用适用仪器：德国MN便携式数显高精度水质分析检测仪PF-12 相关产品　VISOCOLOR? ECO比色测试盒 VISOCOLOR? alpha比色测试盒 方源仪器热销铵测试盒　铵根离子分析试剂 铵快速检测工具盒 铵测试盒 多参数水质应急检测箱水质应急检测箱 水质应急测试纸 专用镍快速测试盒 快速总硬度测试盒 半定量总氯测试盒自来水余氯测试盒 泳池专用余氯测试盒 银快速测试盒 快速亚硝酸盐测试盒 特价亚硫酸盐测试盒 方源铜离子测试盒 铜补充测试盒 铁快速测试盒 快速砷测试盒软水硬度测试盒 溶解氧测试盒 偏硅酸测试盒 快速铍测试盒 尿素测试盒热销猛测试盒 氯离子测试盒 水质铝测试盒 六价铬测试盒 liu化物测试盒 磷酸盐测试盒方源总硬度测试盒 快速余氯测试盒 快速亚硝酸盐测试盒 快速铜测试盒 快速镍测试盒快速碱度测试盒 半定量碱度测试盒 快速甲醛测试盒 硅酸盐测试盒 方源水质氟测试盒 水质二氧化氯测试盒 臭氧测试盒批发 臭氧快速检测试纸 氨氮快速测试盒 快速亚硫酸盐试纸亚硫酸盐测试盒 总硬度测试盒 水硬度快速测试盒 快速亚硫酸盐测试盒 电镀废水铜测试盒方源亚硝酸盐测试盒 磷酸盐快速测试盒 氨氮快速测试盒 过氧化氢浓度快速检测 水质应急检测箱磷酸盐快速测试盒 德国MN快速测试盒 线路板铜测试盒 六价铬快速测试盒 硝酸根测试盒硝酸盐快速测试盒 快速qing化物测试盒 废水qing化物测试盒 镍快速测试盒 铜离子快速测试盒比色法测试盒 比色测试盒 VISOCOLOR HE测试盒 锌测试盒 氨氮测试盒 六价铬测试盒磷酸盐测试盒 铬离子测试盒 余氯测试盒 亚硝酸盐测试盒 qing化物测试盒 镍测试盒铜测试盒 水硬度快速测试盒 余氯快速测试盒 氯化物测试盒 砷快速测试盒 铝快速测试盒 中国代理商：深圳市方源仪器有限公司

特点：• 耐高温紫外正胶• 感光波段：Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)• 具有非常好的耐刻蚀稳定性，热稳定性高达300℃• 应用于高温双层剥离结构以及等离子体刻蚀和离子注入应用 • 溶剂为PGMEA旋涂曲线：应用实例：欢迎致电咨询（电话：010-82867920/21/22），更多光刻胶信息请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514

EC/L800线性宽波束离子源线性ECR宽波束离子源图1 EC/L800线性宽波束离子源产品介绍 ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在离子源内，等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时，电子会发生共振吸收，此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级），获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子，而电离出的电子很快也会发生回旋共振，撞击原子产生更多的电子，从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加，而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加，这使得等离子体的浓度得到很大提高。多个单ECR离子源结合到一起，组成线性ECR宽波束离子源。1. EC/L800线性宽波束离子源使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源，配备特殊电网绝缘调节系统，在交变电场与永磁体的静磁场的作用下，等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)，拥有长达2米的工作模块，均匀离子流超过总长度的80**。2. EC/L800线性宽波束离子源使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长（超过300小时），所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料，方便实现**佳工艺适应。技术规范图2 EC/L800线性宽波束离子源尺寸布局 图3 EC/L800线性宽波束离子源离子束轮廓参数EC/L800类型法兰安装射频激励离子源多孔径提取栅网源材料放电管：Al2O3栅网：C微波天线的真空分离：二氧化硅杯永磁体：NdFeB外壳：不锈钢磁屏蔽：镀镍钢栅网类型2栅网或3栅网系统2种不同焦距的标准系统型号深度：标准104.5 mm235 mm x 875 mm（无法兰）重量约80kg法兰带O形密封圈的非标准矩形法兰340 mm x 975 mm微波电源每个模块在2.45 GHz时约125-400 W离子电流1000 V（1.2 kW）时**大1200mA离子能量100 到 1000 eV加速电压0 –1000 V过程气体惰性气体，N2（无限制）O2和含卤素气体（栅极寿命缩短）气流流量40sccm，6 mm软管的插入式接头冷却水1.5 l/min电连接6 mm Swagelock

电子轰击(EI) 离子源建议用于EI 离子源清洁的材料是砂纸，氧化铝粉末。建议用于EI 离子源清洁的材料是砂纸，氧化铝粉末。不要将灯丝或透镜绝缘体浸入到溶剂中。如果绝缘体脏了，要用棉签蘸上试剂级甲醇清洗。如果这样做不能清洁绝缘体，就更换之。5977/5975/5973 MSD 电子轰击离子源部件(EI)项目说明部件号1透境组配套螺丝G1999-200222螺帽，镀金G1999-200213传输线套管G1099-201364离子源体G1099-201305拉出极柱体G1072-200086拉出极板，3 mm05971-20134拉出极板，6 mmG3163-205307灯丝组件，高温 (EI)G7005-600618推斥极组件，Agilent 5977 MSD，不锈钢 EI 350 离子源G3870-601729透镜绝缘体G3170-2053010入口透镜组件G3170-2012611离子聚焦透镜05971-2014312推斥极绝缘体G1099-2013313推斥极G1099-2013214垫圈，SPR CRVD，内径 1.6 至 1.8 mm，外径 4 mm，不锈钢3050-137515垫圈，SPR BLVL 4 内径 0.125 英寸，外径 0.25 英寸3050-130116垫圈，用于推斥极 M33050-089117推斥极插件G3870-20135警告和注意强调：不要用砂纸或超声波清洗绝缘体。用研磨料清洁与样品或离子束接触的表面。用棉签蘸取氧化铝粉沫研磨料匀浆和试剂级甲醇，用力擦拭所有变色部件。不必抛光部件，小的划痕不会影响性能。还要清洁灯丝电子进入离子源体位置的变色部件。注意避免污染已经清洗好并干燥的部件。在接触部件之前戴好新的干净手套。不要将干净的部件置于脏的表面上。只能将它们置于干净的不起毛布上。

热灯丝宽波束离子源KF/F 40 KF/I 40图1 热灯丝宽波束离子源产品介绍热灯丝阴极离子源是通过加热灯丝发射原初电子，发射出来的原初电子，经过阴极鞘层被加速获得相应于等离子体与阴极之间电位差的能量。等离子体的电位略高于阳极电位。这类高速电子与从进气口均匀进入放电室的气体原子相碰撞形成等离子体，形成的离子被离子光学系统发出形成离子束。 1. KF40使用简单、紧凑的考夫曼离子源，可以方便快速地更换灯丝，配备特殊电网绝缘调节系统，所有的惰性气体以及氮气均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料。2. KF40安装在仪器内部和外部均可，使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长。技术规范图2 热灯丝宽波束离子源尺寸布局参数KF/F40KF/I40类型法兰安装考夫曼子源多孔径提取栅网内部安装射考夫曼源多孔径提取栅网源材料放电管：Al2O3栅网：C或Mo灯丝固定器：Mo永磁体：AlNiCo外壳：不锈钢灯丝：钨栅网类型2栅网或3栅网系统3种不同焦距的标准系统型号参见上图（无中和器）重量约4.5kg约2.5kg法兰DN 100 CF3个DN 40 CF介质引线阴极电流:**大30A放电电流/电压 **大6A / 150 V离子电流**大25 mA（取决于栅网类型和运行条件）离子能量50 到 1500 eV加速电压0 –1000 V过程气体惰性气体，N2，不能是活性气体气流流量2-7sccm接头：6 mm Swagelock2-7sccm接头：1/8“Swagelock（空气和真空）电连接HV-DC：BNCHC-DC：电源启动空气侧：BNC，电源接通真空侧：包括0.5米真空电缆的电源启动

日本安天世ANDES，ITC-201A，ITC201A负离子浓度计数仪，说明书，办事处，售后，技术参数：1. 能在各种环境下对各类负离子相关产品所产生的负离子浓度数量进行检测。2．对于超低/高浓度均能快速精确即时显示，检测显示频率为0.25秒/次，检测范围（10－1,300,000个/cc）3．独有的一体显示负/正离子浓度切换显示功能（国际专利），除对负离子浓度数量进行计数检测外，还可切换检测正离子、温度及湿度。4. 设备可自身进行数据存储，存储包括时间、负离子浓度数量、温度等各类检测数据。5. TN大屏幕液晶显示，各类数据一目了然。6. 携带式设计，体积小，重量轻，外形美观7. 可连接电脑，进行数据传输及分析处理，独有的配套专用软件（ITS-801A）可使设备进行远程监控，并对各项数据保存、分析、处理及显示。

FIB半分载网 适用于显微镜进行纳米实验的设备。其产品可以在纳米级别进行探测、操纵、选择性刻蚀和沉积及制样功能，适用于通过纳米技术和半导体设备进行的纳米研究工作。半分载网（聚焦离子束载网），主要用于制样流程的in-situ lift-out，欢迎大家选购！产品选购：货号Posts材质厚度名称包装75964-013铜30μmLift-Out Grids100枚75964-023钼30μmLift-Out Grids25枚75964-030铍25μmBeryllium Half-Ring Grids10枚75964-045铜40μmCopper 5-Post Lift-Out Grids100枚75964-054铜30μm4-Post Lift-Out Grids100枚75964-064钼30μm4-Post Lift-Out Grids25枚75694-073铜30μm3-Post Lift-Out Grids, Side Access100枚75694-083铜30μm3-Post Lift-Out Grids, Shallow Downset100枚75694-095铜35μmCopper 5-Post Lift-Out Grids100枚75694-104铜30μmCopper 4-Post Lift-Out Grids100枚

Extractor EI 源这款创新的离子源摈弃了其他EI 源所采用的拉出极板，改用由惰性材料制成的提取透镜。可程序升温至350 oC，提高活性化合物及后洗脱化合物的响应。该独特结构可为各类不同的化合物提供最高的灵敏度和超痕量分析。提取透镜也可将离子束聚焦进入质量分析器。提取透镜具有另一功能，可与加电压的推斥极一起将离子拉出离子化室。该结果会大大增加分析离子的数量，真正意义上改善了仪器的灵敏度。与另外两种离子源一样，Extractor EI 源具有三种可选的孔径尺寸：3、6 和9 mm，一般来说，3 mm 孔径可提供最高的灵敏度。选择更大的孔径尺寸可分析浓度更高的目标化合物。增加孔的直径也可减少停留或是反应时间，为不稳定化合物提供更有效的惰性环境。Extractor EI 源可在更高灵敏度的提取调谐模式下，或标准模式下运行，在标准模式下运行时表现行为则与标准不锈钢和惰性离子源一样。只需要通过软件控制即可轻松切换提取模式和单一推斥极模式，无需进行任何物理改变。5977/7000C 提取离子源部件5977/7000C 提取离子源部件项目说明部件号1紧固螺钉G3870-204462螺钉G3870-200213提取源体G3870-204404提取透镜G3870-204445提取透镜绝缘体G3870-204456灯丝，4 圈G3170-600537弹簧垫圈3050-13748透镜绝缘体G3870-205309入口透镜组件G3170-2012610离子聚焦透镜05971-2014311推斥极绝缘体G1099-2013312惰性推斥极G2589-2004413垫圈，用于推斥极 M33050-089114垫圈，SPR BLVL 4 内径 0.125 英寸，外径 0.25 英寸3050-130115螺帽，5.5 mm0535-0071165977 提取 350 推斥极模块组件G3870-6017117推斥极插件G3870-20135

特点：• 用于高灵敏度电子束曝光、混合曝光等• 感光波段：e-beam、deep UV(248 nm)• 紫外曝光波段： 负胶：248nm~265nm & 290nm~330nm • 化学放大胶，高灵敏度• 良好的耐干法刻蚀能力旋涂曲线：应用实例： 欢迎致电咨询（电话：010-82867920/21/22），更多光刻胶信息请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514

可调ECR离子源图1 EC/A125产品介绍ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在离子源内，等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时，电子会发生共振吸收，此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级），获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子，而电离出的电子很快也会发生回旋共振，撞击原子产生更多的电子，从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加，而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加，这使得等离子体的浓度得到很大提高。1. EC125可调离子源用于外部法兰安装，使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源，配备特殊电网绝缘调节系统，在交变电场与永磁体的静磁场的作用下，等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)。2. EC125可调离子源使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长（超过300小时），所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料，并拥有全方向节点机械调整系统（每个方向10 grd），方便实现**佳工艺适应。技术规范图2 带有PBN的 EC/A125表1参数EC/A125EC/F125类型法兰安装可调射频ECR离子源多孔径提取栅网法兰安装射频ECR离子源多孔径提取栅网源材料放电管：Al2O3栅网：C或Mo微波天线的真空分离：二氧化硅杯永磁体：NdFeB 外壳：不锈钢磁屏蔽：镀镍钢栅网类型2栅网或3栅网系统2种不同焦距的标准系统型号插入深度：280 mm（无PBN）直径：220 mm（无PBN）插入深度：135 mm（不带PBN）直径：220 mm（无PBN）重量14.5kg11.5kg法兰DN 250DN200微波电源~125 to 400 W at 2.45 GHz离子电流**大180 mA（取决于电网类型和运行条件）离子能量100 到 2000 eV加速电压0 –1000 V过程气体惰性气体，N2（无限制）O2和含卤素气体（栅极寿命缩短）气流流量5-20sccm接头：1/8“Swagelock（空气和真空）冷却水1.5 l/min接头6 mm Swagelock

特点：• 用于高分辨电子束曝光、混合曝光等• 感光波段：e-beam、deep UV(248 nm)、i-line(365 nm)• 紫外曝光波段： 负胶：248nm~365nm• 高分辨率(30nm)，高对比度 • 良好的耐干法刻蚀能力旋涂曲线：应用实例：欢迎致电咨询（电话：010-82867920/21/22），更多光刻胶信息请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514

功能概述：用于透射电镜、扫描电镜、聚焦离子束、电子束光刻机、电子束焊接机、电子束3D打印、电子束蒸镀等领域；主要性能：真空范围：≤2.7 x 10∧-7Pa，温度范围：1750～1850K，针尖曲率半径：0.4~0.9um

这款激光分束镜是欧洲进口的高损伤阈值激光分光镜,英文名是wavelength separator，它能够把不同的激光波长分开，或者把倍频激光的不同波长分开。激光分束镜,激光分光镜采用了离子束溅射技术（Iom Beam Sputtering, IBS)或电子束蒸发技术进行镀膜，这些镀膜技术非常成熟。激光分束镜,激光分光镜,wavelength separator由孚光精仪进口提供，孚光精仪是中国领先的进口光学器件服务商！激光分束镜,激光分光镜,wavelength separator技术参数 基片尺寸公差：+0/-0.1mm 基片波前畸变：基片表面质量：20/10 SD 40/20SD(曲面） 镀膜粘附性和耐久性：Per MIL-C-675A 净孔径： 90% 镀膜反射率：R99% @ 0o Rave99% @ 45o 激光损伤阈值:3-5J/cm2 for 10 ns pulses @1064nm The measured transmission curve for wavelength separator coating code (R99,5% @ 1064nm T95% @ 532 nm)镜 激光分束镜,激光分光镜,,wavelength separator询问服务：请阁下根据如下格式选择和填写您需要的镜片和镀膜参数，然后复制后直接通过Email发送给我们，您会收到及时的报价回复。

安捷伦生产了多种用于 7500 ICP-MS 系列产品的优质离子透镜。静电离子透镜在离子穿过真空系统进入质谱仪和检测器，即最后一个真空室时将它们聚焦成密集的“离子束”。离子透镜还能将离子从光子和残留的中性物质中分离出来与其他配置相比，“离轴”离子透镜的离子传输效率更高，质量数范围也更宽。离轴透镜中并没有使用光子挡板，所以仪器总体的离子传输效率更高。还提供各种离轴透镜的组件和附件。 离子传输效率极高的离轴或 omega 透镜能够将带正电荷的离子与光子和中性颗粒分开。 可提供两种提取透镜。提取透镜的位置正好在截取锥后面，安装在截取锥基座上。它们的作用是提取正离子并将正离子加速传输到 Einzel 透镜。 Omega 透镜由 5 个透镜（omega 偏置、omega (+)、omega (-)、QP 聚焦和板偏置）组成，其作用是将光子和离子分开，引导离子进入四极杆质谱仪。 提供用于提取透镜或 omega 透镜的螺钉和垫片。 可提供各种额外的组件和消耗品：透镜清洁及抛光组件包、八极杆和八极杆组件以及用于反应气的管线。

安捷伦生产了多种用于 7500 ICP-MS 系列产品的优质离子透镜。静电离子透镜在离子穿过真空系统进入质谱仪和检测器，即最后一个真空室时将它们聚焦成密集的“离子束”。离子透镜还能将离子从光子和残留的中性物质中分离出来与其他配置相比，“离轴”离子透镜的离子传输效率更高，质量数范围也更宽。离轴透镜中并没有使用光子挡板，所以仪器总体的离子传输效率更高。还提供各种离轴透镜的组件和附件。 离子传输效率极高的离轴或 omega 透镜能够将带正电荷的离子与光子和中性颗粒分开。 可提供两种提取透镜。提取透镜的位置正好在截取锥后面，安装在截取锥基座上。它们的作用是提取正离子并将正离子加速传输到 Einzel 透镜。 Omega 透镜由 5 个透镜（omega 偏置、omega (+)、omega (-)、QP 聚焦和板偏置）组成，其作用是将光子和离子分开，引导离子进入四极杆质谱仪。 提供用于提取透镜或 omega 透镜的螺钉和垫片。 可提供各种额外的组件和消耗品：透镜清洁及抛光组件包、八极杆和八极杆组件以及用于反应气的管线。