肖特基场发射

电子显微镜通过发射电子与样品相互作用成像，用来“照射”样品的可靠电子源是电镜最重要的部分之一。电子显微镜对电子束的要求非常高。目前只有两种电子源满足要求：热电子发射源和场发射电子源。目前商用的，热电子发射源用的是钨灯丝（较少见）或六硼化镧（ ）晶体（较常见）；场发射电子源用的是很细的针状钨丝（具体分为肖特基发射源和冷场发射源）。场发射电子源场发射电子源通常叫做 FEG，其工作原理和热电子源有着本质区别。基本原理是：电场强度 E 在尖端急剧增加，这是因为如果把电压 V 加到半径为 r 的（球形）尖端，则在场发射中我们称细针为“针尖”，钨丝是最容易加工成细针尖的材料之一，可以加工出半径小于 0.1μm 的针尖，场发射与钨针尖的晶体取向相关，310是最好的取向。场发射枪（FEG）相对简单，通过拔出电压将电子从针尖中拉出来，然后通过加速电压对电子加速。第一次启动时要缓慢增加拔出电压，使热机械振动不至于损坏针尖。这就是使用 FEG 要执行的唯一实际操作，并总是由计算机实际控制。热电子发射源我们称热发射钨电子源为“灯丝”，因为钨可以被拉成细丝，类似白炽灯中用的灯丝。六硼化镧通常沿110取向生长来增强发射能力。事实上，把任何一种材料加热到足够高的温度，电子都会获得足够的能量以克服阻止它们离开的表面势垒（称为功函数 Φ）。大小约为几个电子伏。热电子发射机制可以用 Richardson 定律表示：其中，J 为发射源电流密度，T 为工作温度（K），k 是玻尔兹曼常量 ，A 是 Richardson 常数，A ，具体数值取决于电子源的材料。把电子源加热到温度 T，使电子获得大于 Φ 的能量并从此那个电子源中逃逸出来，从而形成电子电子束。然而大多数材料注入几 eV 的热能时就会熔化或蒸发。唯一可能的热电子源材料要么是高熔点（钨熔点 3660K），要么 Φ 异常小（ 功函数 2.4）。晶体是现代 TEM 中所用的唯一热电子源，通常被绑在金属（例如铼）丝上通过电阻加热形成热发射。 晶体对热冲击很敏感，所以加热、冷却电子源时要小心。当必须手动开关电子源时，要缓慢增加/减小热电流，在每个设定值后停顿 10~20s。随着科学技术发展，目前部分操作已可以通过计算机控制，但是对于大多数 TEM 仍广泛使用的热电子枪，仍需要操作者进行部分手动控制。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。

项目编号：ZZ0147-G22HZ0317/TC229J0LQ项目名称：肖特基场发射扫描电子显微镜-关联拉曼测试系统采购项目预算金额：600.0 万元（人民币）最高限价（如有）：600.0 万元（人民币）采购需求：采购内容：肖特基场发射扫描电子显微镜-关联拉曼测试系统采购数量：1套项目概况：本项目拟采购1套肖特基场发射扫描电子显微镜-关联拉曼测试系统用于无机材料、有机材料、金属材料（包括铁磁性材料）等各类型材料的形貌观测。该系统需同时对材料进行能谱和电子背散射衍射分析，对材料的元素成分和晶体结构以及物质化学结构进行多尺度联用综合分析、表征。合同履行期限：自合同签订生效之日起10个月内交货，并安装、调试结束，验收合格，交付招标人使用。本项目( 不接受 )联合体投标。

仪器信息网讯 5月28日，株式会社日立高新技术(以下简称“日立高新技术”)发布“SU3900SE”、“SU3800SE”系列高分辨率肖特基场发射扫描电子显微镜，可在纳米水平上对大型重型样品进行高精度和高效的观察。高分辨率肖特基场发射扫描电镜 SU3900SE(左) ，SU3800SE(右)该系列最大可观察样品重量达到5 kg。此外，通过搭载日立高新技术SEM系列中最大级别的样品台，可以对直径300mm、高度130mm的大型样品进行观察，从而减少切割样品等加工工序，有助于提高整个过程的效率。并且，新产品在可以进行大型重型样品观察的同时，还兼具样品台5轴(左右、前后、上下、倾斜、旋转)移动。此外，还具有相机导航功能，可以将一系列单独拍摄的图像拼接在一起，从而观察样品全貌，支持观察大型样品时的视野搜索（在测量开始时确定当前测量位置），有助于提高操作性。产品开发背景SEM是用于观察材料表面微观结构的仪器，广泛用于纳米技术和生物技术等多个领域的研发、制造和质量控制。特别是，高分辨率肖特基场发射扫描电镜 (FE-SEM) 可在更高倍率进行观察，在微粒观察、微小异物观察以及元素分析方面的需求不断增加。当观察大型和重型样品时，如钢铁等工业材料及汽车相关零部件，可观察的试样尺寸和重量有限制。在观察前需要进行切割等样品处理，从而增加了观察工作的负担。另外，近年来，SEM更多的应用在控制微观结构，以提高各种材料的功能和性能，以及分析异物和缺陷以提高产品质量。因此，还需要通过进一步提高可操作性来减轻用户的负担，例如提高获取大量数据的效率，以及简化大范围观察时的视野搜索等。主要特点（1）大型重型样品的广域观测由于样品台可以观察到大型重型样品，日立高新技术的大型SEM实现了对直径300 mm、高130 mm、重量5 kg样品的观察。此外，产品既可搭载大型重型样品又具备5轴移动的功能。（2）使用光学相机图像进行简单的大范围移动使用光学相机导航系统可覆盖整个样品台的移动范围，轻松确定样品位置。此外，光学相机图像也可以随样品台而旋转，从而轻松移动样品位置，并在 SEM 图像中顺利观察到样品位置。（3）获取大量数据时减轻用户负担配备可选功能“EM Flow Creator”，可视需要组合倍率和样品台位置等条件设置、焦距及对比度等调整功能，创建一系列观察菜单。通过执行创建的菜单，可进行自动观察，有助于减轻用户的操作负担，并在连续图像采集过程中节省人力。关于SU3900SE/SU3800SESU3900SESU3800SE最大样品尺寸Φ300mmΦ200mm最大可观察范围Φ229mmΦ130mm最大可搭载重量5kg2kg最大可搭载高度130mm80mm今后，日立高新技术将继续完善其“解析、分析”的核心技术，致力于打造解决客户问题的解决方案平台和专用设备，为解决环境问题、强韧、安全和安心等社会问题和客户课题做出贡献。公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助客户实现其目标，共创美好未来。

8月4日，日立高新技术公司推出了最新的肖特基场发射扫描电子显微镜SU5000，它采用了全新的EM Wizard用户界面，相比于传统电镜操作方式具有更好的可操作性，使非专业人员也可以轻松获得高品质的图像。　　扫描电子显微镜可应用于纳米技术、材料科学、医学和生命科学等多个领域。近年来，随着扫描电镜功能的不断增强，其应用领域也在不断扩大，相应的用户群体也在不断扩大。扫描电镜已经成为一种常规的不可或缺的分析仪器，因而人们对无需太多专业技术就能操作的电镜的需求也越来越多。与此同时，随着扫描电镜应用领域的扩大，观察样品的种类也越来越多，因此人们对电镜的观察能力也提出来新的要求，希望其对观测样品的大小和特征等的限制越来越少。SU5000肖特基场发射扫描电子显微镜　　日立高新最新推出的SU5000包含新的用户操作界面EM Wizard，它可以帮助用户在没有专业技能的前提下获得符合需求的样品图片。EM Wizard采用了经验设计理念来显著改进电镜的可操作性，它包含了多种自动化功能，无需用户进行复杂的设置。用户只需要选择观察的目标，如观察表面信息或找出材料的分布情况，EM Wizard即可完成从设置到图像捕捉的一系列工作。当然，SU5000也允技能熟练的用户像过去一样自由的设定操作条件。除此之外，EM Wizard还有各种教育培训工具，可以帮助初学者或对电镜了解较浅的用户更好的操作电镜，提高他们的技能；对于技能熟练的用户，它提供全面的操作能力和对初学者的培训支持。　　SU5000拥有的“multi-finder”功能可以帮助用户快速确定样品的观察位置，相比于传统的图片导航功能更加直观方便，提高了数据的重复性以及测量通量。同时，SU5000具有强大的扩展功能，其最大工作电流为200nA，确保了可观察和分析的样品范围。SU5000可以装配多种附件，如EDS、WDS、EBSD、CL等，能够满足未来日益广泛的材料观察和分析需求。全新的五分割高灵敏度BSE探测器和低真空二次电子探测器UVD可以使我们在低真空下同时获得样品的成分和形貌信息，对于荷电样品和含水样品的观察具有重要意义。　　因此，SU5000是一台操作简便且功能强大的扫描电镜，日立高新对其充满信心，希望它能够给广大用户带来真正的帮助。公司介绍： 　　天美(中国)科学仪器有限公司(“天美(中国)”)是天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)的全资子公司，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。天美(中国)在北京、上海、等全国15个城市均设立办事处，为各地的客户提供便捷优质的服务。 　　天美(控股)是一家从事设计、研发、生产和分销的科学仪器综合解决方案的供应商。继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司和英国Edinburgh等多家海外知名生产企业，加强了公司产品的多样化。 更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

p style=" text-indent: 2em " strong style=" text-indent: 2em " 仪器信息网讯 /strong span style=" text-indent: 2em " 2020年5月25日，日本电子株式会社（JEOL Ltd.）总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布一款新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800，并在2020年5月上市销售。 /span br/ /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 250px height: 248px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202005/uepic/e031654d-80fb-4a72-8acf-e6f200c2b34c.jpg" title=" news_20200525_jsm-it800.jpg" alt=" news_20200525_jsm-it800.jpg" width=" 250" height=" 248" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) text-indent: 0em " 新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800 /span a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C400548.htm" target=" _blank" style=" color: rgb(255, 0, 0) text-decoration: underline " span style=" color: rgb(255, 0, 0) " 【产品链接】 /span /a /p p style=" text-indent: 2em " span style=" background-color: rgb(112, 48, 160) color: rgb(255, 255, 255) " strong 产品开发背景 /strong /span /p p style=" text-indent: 2em " 扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域。随着SEM的应用范围不断扩大，不仅包括研究和开发，还包括生产现场的质量控制和产品检验，SEM用户需要快速高质量的数据采集，以及简单的成分信息确认和无缝的分析操作。 /p p style=" text-indent: 2em " 扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学、生物学等领域，且其应用领域还在不断延。同时，应用的场景也涵盖了从基础研究开发，再到生产制造现场的质量控制和产品检测。与此相应，SEM用户对快速高质量的数据采集、简单的成分信息确认，以及无缝的分析操作等的需求也越来越高。 /p p style=" text-indent: 2em " 为了满足这些需求，带有智能技术（IT）平台的JSM-IT800集成独特的“镜头内肖特基Plus场发射电子枪”，用于高分辨率成像及快速元素映射，并配置新一代电子光学控制系统“Neo Engine”，以及最求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射线能谱仪。此外，JSM-IT800可提供两种类型的物镜配置，以满足不同用户的需求。 /p p style=" text-indent: 2em " JSM-IT800的两种版本为：用于通用FE-SEM的混合镜头版本（HL版本）和用于增强的高分辨率观察和各种分析的超级混合镜头版本（SHL版本）。此外，SHL版本的JSM-IT800配备了新的上部混合探测器（UHD），可获取更高的信噪比图像，以研究样品的精细结构。 /p p style=" text-indent: 2em " 此外，JSM-IT800还可以配备新的闪烁体背散射电子检测器（SBED）和多功能背散射电子检测器（VBED）。SBED使得即使在低加速电压下也能以高响应度采集图像并产生鲜明的材料对比度。而VBED可以获取3D、不均匀度和材质对比的图像。 /p p style=" text-indent: 2em " span style=" background-color: rgb(112, 48, 160) color: rgb(255, 255, 255) " strong 主要特点 /strong /span /p p style=" text-indent: 2em " strong 镜头内肖特基Plus场发射电子枪 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 电子枪和低像差聚光镜的增强集成提供了更高的亮度。在低加速电压下（5 kV时为100 nA）可获得足够的探针电流。独特的In-lens肖特基Plus系统可实现从高分辨率成像到快速元素映射，电子背散射衍射（EBSD）分析以及软X射线发射光谱（SXES）的各种应用，而无需更改透镜条件。 /p p style=" text-indent: 2em " strong Neo Engine（新电子光学引擎） /strong /p p style=" text-indent: 2em " Neo Engine是一种尖端的电子光学系统，累积了多年的JEOL核心技术。即使更改不同的观察或分析条件，用户也可以执行稳定的观察。自动功能的高度可操作性大大增强。 /p p style=" text-indent: 2em " strong SEM中心/ EDS集成 /strong /p p style=" text-indent: 2em " GUI“ SEM中心”与SEM成像和EDS分析完全集成，可提供无缝、直观的操作。通过合并可选的软件附件（例如SMILENAVI）可以增强JSM-IT800的功能，以帮助新手用户并为他们提供学习路径，并且可以使用LIVE-AI过滤器（Live Image Visual Enhancer–AI）来获取更高质量的实时图像。 /p p style=" text-indent: 2em " strong 混合镜头（HL）版本和超级混合镜头（SHL）版本 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 基于静电场和电磁场透镜的组合，有两种类型的物镜可用。不同的配置可以满足用户的各种需求，实现高空间分辨率的成像和从磁性材料到绝缘子的各种样品的分析，同时保持JSM-IT800的相同功能。 /p p style=" text-indent: 2em " strong 上层混合探测器（UHD） /strong /p p style=" text-indent: 2em " 内置于SHL型物镜中的UHD大大提高了从标本产生的电子的检测效率。这导致获得具有更高信噪比的图像。 /p p style=" text-indent: 2em " strong 新的反向散射电子探测器 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 闪烁体背散射电子检测器（SBED，可选）具有高响应度，适合在低加速电压下获取与材料形成对比的图像。具有分段检测器元件设计的多功能背向散射电子检测器（VBED，可选）允许用户选择配置各个段，或使用预编程的检测器设置来获取图像，以提供三维，地形或成分信息。 /p p style=" text-indent: 2em " strong span style=" color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) " 主要参数 /span /strong /p table border=" 1" cellspacing=" 0" cellpadding=" 0" style=" background: white border: none " thead tr class=" firstRow" td width=" 27" style=" background: rgb(249, 249, 249) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " br/ /td td width=" 153" style=" background: rgb(249, 249, 249) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" JSM-IT800 /span /strong strong 　 /strong strong span style=" font-size:16px" SHL & nbsp & nbsp version /span /strong /p /td td width=" 196" style=" background: rgb(249, 249, 249) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" JSM-IT800 /span /strong strong 　 /strong strong span style=" font-size:16px" HL & nbsp & nbsp version /span /strong /p /td /tr /thead tbody tr td width=" 27" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Resolution (1 kV) /span /strong /p /td td width=" 104" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" 0.7 nm /span /p /td td width=" 196" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" 1.3 nm /span /p /td /tr tr td width=" 27" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Resolution (15 kV) /span /strong /p /td td width=" 104" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" 0.5 nm /span /p /td td width=" 196" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" - /span /p /td /tr tr td width=" 27" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Resolution (20 kV) /span /strong /p /td td width=" 104" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" - /span /p /td td width=" 187" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" 0.7 nm /span /p /td /tr tr td width=" 27" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Accelerating voltage /span /strong /p /td td width=" 271" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" 0.01 to 30 kV /span /p /td /tr tr td width=" 27" rowspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Standard detector /span /strong /p /td td width=" 271" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Secondary & nbsp Electron Detector (SED) /span /p /td /tr tr td width=" 35" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Upper Hybrid & nbsp Detector (UHD) /span /p /td td width=" 105" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Upper Electron & nbsp Detector (UED) /span /p /td /tr tr td width=" 27" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Electron gun /span /strong /p /td td width=" 271" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" In-lens & nbsp Schottky Plus field emission electron gun /span /p /td /tr tr td width=" 27" rowspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Probe current /span /strong /p /td td width=" 104" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" A few pA to 500 & nbsp nA (30 kV) /span /p /td td width=" 187" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" A few pA to 300 & nbsp nA (30 kV) /span /p /td /tr tr td width=" 141" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" A few pA to 100 & nbsp nA (5 kV) /span /p /td /tr tr td width=" 27" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Objective lens /span /strong /p /td td width=" 104" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Super Hybrid & nbsp Lens (SHL) /span /p /td td width=" 187" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Hybrid Lens & nbsp (HL) /span /p /td /tr tr td width=" 27" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Specimen stage /span /strong /p /td td width=" 271" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Full eucentric & nbsp goniometer stage /span /p /td /tr tr td width=" 27" rowspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" Specimen movement /span /strong /p /td td width=" 271" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" X: 70 mm & nbsp & nbsp Y: 50 mm & nbsp Z: 2 to 41 mm /span /p /td /tr tr td width=" 141" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Tilt: –5 to 70° & nbsp & nbsp Rotation: 360° /span /p /td /tr tr td width=" 27" rowspan=" 3" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" strong span style=" font-size:16px" EDS detector /span /strong /p /td td width=" 271" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Energy & nbsp resolution: 133 eV or better /span /p /td /tr tr td width=" 141" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Detectable & nbsp elements: B to U /span /p /td /tr tr td width=" 141" colspan=" 2" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " p style=" margin-top:auto margin-bottom: auto text-align:center text-indent:32px" span style=" font-size:16px" Detection area: & nbsp 60 mm sup 2 /sup /span /p /td /tr /tbody /table p style=" text-align: left text-indent: 2em " br/ /p

-搭载全新用户界面，向所有用户提供高画质图像- 扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。 传统的扫描电子显微镜要求用户具备相关的专业知识和应用技巧，但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。 Good Design Award由日本设计振兴会主办的一项综合性设计评奖制度。它的前身是” Good Design评选制度,于1957年由当时的通商产业部创建。在迄今为止的半个多世纪里，有将近40000件优秀设计作品获奖。获奖作品覆盖领域全面而广泛，既有有形的，如传统意义上的工业设计，建筑、住宅设计，也有无形的，如应用程序，服务交互，商业模式等的广义设计。 Good Design Award远不只是一项设计赛事。它旨在通过正确评价优秀的设计作品以促进人们生活、工业产业及社会的发展。那些被精心挑选出来的设计作为榜样将引领人们创造出更加优秀的设计。这便是Good Design Award所创造出的良性循环。 2014年，日立高新技术公司（以下简称：日立高新） 新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"作为工业用设备荣获由公益财团法人日本设计振兴会颁发的GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)。有关GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)的详情,请参考：http://www.g-mark.org/about/ga21.htmlhttp://www.g-mark.org/award/describe/41765?locale=zh_CN 基于即便是初学者也能简单操作从而获得好照片的设计理念，日立高新于8月4日开始发售的新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"搭载了全新的用户界面和"EM Wizard"，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。 这次新开发的"SU5000"对用户没有任何操作技巧上的要求，通过EM Wizard,只要选择好观察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择，表面细节观察或是成分分布等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置EM Wizard。对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来；对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是"EM Wizard"的价值所在。 另外"SU5000"的寻找视野功能"3D MultiFinder"更是独一无二的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。 如果用户对照片有不满意的地方，还可以通过应用程序帮助用户界面查找原因和解决方案。日立高新希望通过这台任何人都可以简单操作的新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"，为您的工作提供更多的支持，进而为分析产品的进步注入新的力量。 关于日立高新技术公司: 日立高新技术公司是一家全球雇员超过10,000人，有百余处经营网点的跨国公司。企业发展目标是“成为独步全球的高新技术和解决方案提供商”，即兼有掌握最先进技术水准的开发、设计、制造能力和满足企业不同需求的解决方案提供商身份的综合性高新技术公司。日立高新技术公司的生命科学系统本部，通过提供高端的科学仪器，提高了分析技术和工作效率，有力推进了生命科学领域的研究开发。我们衷心地希望通过所有的努力，为实现人类光明的未来贡献力量。 更多信息请关注日立高新技术公司网站：http://www.hitachi-hitec.cn

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 7月31日，日立高新技术公司(以下简称“日立高新”)全球同步正式推出重磅电镜新品——肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。 br/ /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/33248da5-7ad4-43a3-9b6b-3de9bd73b56c.jpg" title=" SU7000" style=" width: 495px height: 413px " height=" 413" hspace=" 0" border=" 0" vspace=" 0" width=" 495" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " SU7000外观图 /span /p p 　　扫描电子显微镜(SEM)可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp 近年，冷场技术几乎是高分辨观察SEM市场的主流，但近来SEM市场开始显现出一些微妙的变化，用户中有一些特定需求的声音逐渐浮出： strong “冷场SEM虽然分辨率高且稳定，但在超大束流分析时还有些不足” /strong ，所以在超大束流分析（如WDX）热场便成为一种新的需求。结合客户的心声，日立高新经过两年时间开发，推出了全新一代热场技术扫描电镜-SU7000。 /p p 　　此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD)，以设置最佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。 /p p 　　而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道)，进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。 /p p 　　它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。 /p p 　　据悉，日立高新将在8月5日(星期日)~8月9日(星期四)在美国马里兰州举办的“Microscopy & amp Microanalysis”及9月5日(星期三 )~9月7日(星期五)在幕张展示中心(千叶县千叶市)举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000， span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 预计每年全球销量有望达150台 /strong /span 。 /p p 　　日立高新表示：“日立高新技术科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业全球第一为中期战略目标，今后仍将全力推动产品研发与市场推广，努力为全球制造业作出更大的贡献。作为先进、前沿的事业创新型企业，今后以成为提供高新技术和解决方案的全球一流企业为目标，始终站在客户的立场，快速满足客户和市场需求。” /p p 　　 strong 【主要特点】 /strong /p p 　　1.在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与EDX分析 /p p 　　2.最多可同时实现6通道检测与显示 /p p 　　3.在最大像素10240 x 7680时，也可获得图像数据 /p p 　　4.同级别*设备中最多的可配置18个附件接口 /p p 　　5.支持最低300Pa的低真空模式(选配) /p p 　　*空间分辨率在1 nm/1 kV以下 /p p 　　 strong 【主要规格】 /strong /p table align=" center" border=" 1" cellpadding=" 0" cellspacing=" 0" width=" 399" tbody tr class=" firstRow" td style=" border: 1px solid windowtext padding: 0px 7px background: rgb(217, 217, 217) " valign=" top" width=" 75" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 产品名称 /span /p /td td style=" border-style: solid solid solid none border-top-color: windowtext border-right-color: windowtext border-bottom-color: windowtext border-top-width: 1px border-right-width: 1px border-bottom-width: 1px padding: 0px 7px background: rgb(217, 217, 217) " valign=" top" width=" 285" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " SU7000 /span /p /td /tr tr td style=" border-style: none solid solid border-right-color: windowtext border-bottom-color: windowtext border-left-color: windowtext border-right-width: 1px border-bottom-width: 1px border-left-width: 1px padding: 0px 7px " width=" 75" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 电子源 /span /p /td td style=" border-style: none solid solid none border-bottom-color: windowtext border-bottom-width: 1px border-right-color: windowtext border-right-width: 1px padding: 0px 7px " valign=" top" width=" 285" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " ZrO/W /span strong span style=" font-size:13px font-family: 宋体 color:red" 热场 /span span style=" font-size:13px font-family: 宋体 color:red" 发射（肖特基热场发射 /span /strong span style=" font-size:13px font-family:宋体" ） /span /p /td /tr tr td style=" border-style: none solid solid border-right-color: windowtext border-bottom-color: windowtext border-left-color: windowtext border-right-width: 1px border-bottom-width: 1px border-left-width: 1px padding: 0px 7px " width=" 75" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 二次电子分辨率 /span /p /td td style=" border-style: none solid solid none border-bottom-color: windowtext border-bottom-width: 1px border-right-color: windowtext border-right-width: 1px padding: 0px 7px " valign=" top" width=" 285" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 0.8 nm /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" （加速电压 /span span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 15 kV /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" ） /span /p p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 0.9 nm /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" （加速电压 /span span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 1 kV /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" ） /span /p /td /tr tr td style=" border-style: none solid solid border-right-color: windowtext border-bottom-color: windowtext border-left-color: windowtext border-right-width: 1px border-bottom-width: 1px border-left-width: 1px padding: 0px 7px " width=" 75" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 加速电压 /span /p /td td style=" border-style: none solid solid none border-bottom-color: windowtext border-bottom-width: 1px border-right-color: windowtext border-right-width: 1px padding: 0px 7px " valign=" top" width=" 285" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 0.1 /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" ～ /span span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 30 kV /span /p /td /tr tr td style=" border-style: none solid solid border-right-color: windowtext border-bottom-color: windowtext border-left-color: windowtext border-right-width: 1px border-bottom-width: 1px border-left-width: 1px padding: 0px 7px " width=" 75" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 放大倍率 /span /p /td td style=" border-style: none solid solid none border-bottom-color: windowtext border-bottom-width: 1px border-right-color: windowtext border-right-width: 1px padding: 0px 7px " valign=" top" width=" 285" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 20 /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" ～ /span span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 2,000,000 /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" 倍 /span /p /td /tr tr td style=" border-style: none solid solid border-right-color: windowtext border-bottom-color: windowtext border-left-color: windowtext border-right-width: 1px border-bottom-width: 1px border-left-width: 1px padding: 0px 7px " width=" 75" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 束流 /span /p /td td style=" border-style: none solid solid none border-bottom-color: windowtext border-bottom-width: 1px border-right-color: windowtext border-right-width: 1px padding: 0px 7px " valign=" top" width=" 285" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 最大 /span span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " 200 nA /span /p /td /tr tr td style=" border-style: none solid solid border-right-color: windowtext border-bottom-color: windowtext border-left-color: windowtext border-right-width: 1px border-bottom-width: 1px border-left-width: 1px padding: 0px 7px " width=" 75" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:宋体" 样品台 /span /p /td td style=" border-style: none solid solid none border-bottom-color: windowtext border-bottom-width: 1px border-right-color: windowtext border-right-width: 1px padding: 0px 7px " valign=" top" width=" 285" p style=" line-height:20px" span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " X/Y/Z : 135 x & nbsp 100 x 40 /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" （ /span span style=" font-size:13px font-family:& #39 Arial& #39 ,& #39 sans-serif& #39 " mm /span span style=" font-size:13px font-family:宋体" ） /span /p /td /tr /tbody /table p 　　 strong ■产品咨询 /strong /p p 　　日立高新技术(上海)国际贸易有限公司北京分公司 /p p 　　生命科学系统本部 先端分析装置部 /p

近日，中国科学院重庆绿色智能技术研究院微纳制造与系统集成研究中心在《创新》（The Innovation）上发表了题为“Schottky Infrared Detectors with Optically Tunable Barriers Beyond the Internal Photoemission Limit”的研究论文，报道了突破内光发射限制的势垒可光调谐肖特基红外探测器。内光发射效应作为光电效应的重要分支，阐明了光照射至金属-半导体界面时热载流子如何被激发并跨越肖特基势垒，最终进入半导体以完成光电转换的物理过程。1967年以来，研究人员致力于基于内光发射效应的肖特基光电探测器研究，并在拓展响应光谱范围以及开发与硅工艺兼容的红外探测器方面取得了进展。然而，相关探测器的性能受制于截止波长与暗电流之间的矛盾，且通常需要在低温条件下运行。该团队提出了势垒可光调谐的新型肖特基红外探测器（SPBD），有效解耦了光子能量与肖特基势垒之间的关联，使得SPBD能够在保持高肖特基势垒以抑制暗电流的同时，还能够探测到低于肖特基势垒能量的红外光。在室温背景下，SPBD实现了对黑体辐射的探测，并获得了达7.2×109Jones的比探测率。该研究制备的原型器件展现出低暗电流、宽波段响应以及对黑体辐射敏感的性能。制备流程与硅基CMOS工艺具有良好的兼容性，为低成本、低功耗、高灵敏硅基红外探测器的研制提供了新方案。研究工作得到国家重点研发计划等的支持。论文链接 传统肖特基探测器和势垒可光调谐的肖特基红外探测器的对比

11月15日，第二十五届中国国际高新技术成果交易会（以下简称“高交会”）在深圳开幕。　　记者在中国科学院专馆看到，作为尖端科学仪器和真空技术领军者——北京中科科仪股份有限公司携其全资子公司科仪光电带来了具有自主知识产权的场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100。据悉，这是该产品首次在高交会亮相。中国科学院专馆　　场发射枪扫描电镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具，在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用，广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析。　　同时，场发射枪扫描电镜在虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用，对于我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科的研究有着不可替代的重要地位。　　针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电镜的迫切需求，2013年，中科科仪牵头，联合北京大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院生物物理研究所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位，承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”，在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000，并在此基础上提升电子光学系统综合性能，于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100，分辨率优于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术，成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。　　KYKY-EM8100场发射枪扫描电镜的技术优势主要有方面：一是自主设计制造了低像差物镜；二是突破了电子束镜筒加速技术；三是自主研制了电子光学智能化控制系统，实现了自动灯丝加热、自动偏压、自动孔径角、自动聚焦、自动亮度/对比度等电子光学智能化控制功能，还实现了图像增强、图像锐化、样品尺寸测量、形貌拟合、颗粒度分析等功能，大大提升了产品的功能性与使用便捷性，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战。　　据介绍，该款扫描电镜是北京中科科仪股份有限公司承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分。该设备目前已完成科技成果转化及产业化落地，并形成批量销售。

经历2020年疫情笼罩，2021年全球电镜市场规模回暖，规模再次以个位数速率增长，作为最大需求单一市场国家，中国则实现20%以上增长。电镜新品发布也迎来活跃一年，发布新品不仅低、中、高端产品基本覆盖，大部分主流品牌皆有输出，国产方面也多点开花。以下对2021年在电镜新品进行盘点，数据主要统计自本网报道或公开信息，如有遗漏、错误欢迎在留言区补充或邮件（yanglz@instrument.com.cn ）。2021年电镜发布新品速览（按发布时间顺序）类型品牌产品名称型号描述SEM蔡司新一代Gemini场发射扫描电镜系列GeminiSEM 360GeminiSEM 460GeminiSEM 560高分辨，不挑样日本电子肖特基场发射电镜JSM-IT800(i)/(is)适用观测半导体器件聚束科技高通量(场发射）扫描电镜Navigator-100B PLUS国产高通量场发射升级款祺跃科技原位高温扫描电镜-国产原位高温日本电子新型扫描电子显微镜JSM-IT510钨灯丝电镜升级飞纳台式场发射扫描电镜Phenom Pharos G2分辨率提至1.8nm日立两款场发射扫描电子显微镜SU8600SU8700聚焦自动获取大量数据功能国仪量子场发射扫描电镜SEM5000国产场发射扫描电镜TEM日本电子新一代冷冻电镜CRYO ARMTM 300II （JEM-3300）速度、操作、通量全面升级赛默飞球差校正透射电镜Spectra Ultra适合电子束敏感材料的球差电镜赛默飞扫描透射电镜Talos F200E为半导体行业设计纳镜鼎新高通量生物扫透电镜智眸365(Smart View 365)国产高通量生物扫描透射电镜聚焦离子束显微镜赛默飞聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM)Helios 5 PXL Wafer DualBeam聚焦半导体领域其他日本电子超微电子衍射平台Synergy-ED电镜-x射线衍射平台赛默飞定制球差校正电镜Spectra φ定制球差电镜扫描电镜：11款齐发，9款场发射！扫描电镜方面，场发射产品成为新品主流，蔡司和日立分别发布3款、2款场发射电镜，日本电子发布场发射和钨灯丝升级产品，飞纳台式场发射电镜分辨率提升至1.8nm。国产方面，国仪量子也加入场发射产品行列，聚束科技发布高通量场发射升级产品，祺跃科技则基于其原位力学技术，发布原位高温扫描电镜。蔡司|新一代Gemini场发射扫描电镜系列【3款】Gemini系列新品，左至右：GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560【发布会专题】 发布时间：3月24日参考价格：300-600万元蔡司此次发布的GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560是Gemini电子光学系统针对不同的应用场景衍生出的三款新型号。GeminiSEM 360搭载1型Gemini镜筒，是一款高通用性成像工具。其物镜为静电透镜+磁透镜复合透镜，在提高其电子光学性能的同时将它们对样品的影响降至更低。即使对极具挑战的样品也能进行高品质成像。Beam booster技术具有镜筒内的电子加减速功能，可确保获得小束斑和高信噪比；Gemini镜筒内带有平行设计的镜筒内二次电子和背散射电子探测器，可实现信号的高效采集，同步获取形貌衬度和成分衬度像。GeminiSEM 460搭载2型Gemini镜筒，专为应对复杂的分析工作而设计。它除了复合透镜和镜筒内加减速设计以外，利用双聚光镜设计实现更加灵活的束流调节。用户可以在小束流的高分辨成像模式与大束流的分析模式之间进行无缝切换，对称设计的EDS接口可让您获得无阴影的成分分布图，而物镜无漏磁设计可以让您获得无畸变的大面积EBSD花样。您还可以通过加装各种原位实验附件将Gemini 460升级为一个自动化原位实验平台。GeminiSEM 560搭载3型Gemini镜筒，带给用户极致的高分辨成像体验。该款镜筒拥有两个可协同工作的电子光学系统：Nano-twin透镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot，可通过聚光镜优化所有工作条件下的电子束会聚角，进一步提升分辨力；还可实现1倍到200万倍的无缝过渡，大视野导航和亚纳米成像一镜到底。日本电子|场发射电镜JSM-IT800半透镜版本(i)/(is)新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800【产品链接 】 发布时间：8月31日参考价格：200-400万元JSM-IT800 集成了用于高分辨率成像的透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”， 以及追求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射线能谱仪。JSM-IT800 有五种不同物镜版本：混合镜头版本 (HL)，这是一种通用 FE-SEM；超级混合镜头版本（SHLs/SHL，功能不同的两个版本），可实现更高分辨率的观察和分析；以及新开发的半透镜版本（i/is，两个不同功能的版本），适用于半导体器件的观察。半透镜通过在物镜下方形成的强磁场透镜会聚电子束来实现超高分辨率。此外，该系统有效地收集从样品发射的低能量二次电子，并使用上部透镜内检测器 (UID) 检测电子。因此，它可以对倾斜样品和横截面样品进行高分辨率观察和分析，这正是半导体器件故障分析所需的。此外，它对于电压对比度观察也非常有用。聚束科技|高通量(场发射）扫描电子显微镜 Navigator-100B PLUS高通量(场发射）扫描电子显微镜 Navigator-100B PLUS【 产品链接】 发布时间：8月参考价格：500-700万元成像速度在同等条件下是同类机型的10倍以上，可在72小时内以4nm 像素完成对10x10 mm2 区域的无遗漏采集。 新机型在硬件部分模组提升较大，配备新型电子枪，电子束落点能量范围可达30keV，涵盖绝大多数扫描电镜落点能量需求范围。分辨率可达1.0nm (15keV下), 且在1-3kV低加速电压下即可获得1.5nm高分辨率的同时，仍能保持1‰以下的低图像畸变。具备高度智能化，包括简单快捷全景光学导航、一键全自动换样、全景光学导航、实时聚焦追踪，可以实现全自动超大区域（100mm×100mm）全息地图集式拍摄，并绘制成全景地图式信息浏览。祺跃科技|原位高温扫描电镜祺跃科技原位高温扫描电镜新品【发布详情】 发布时间：10月14日新开发的扫描电镜设计理念包括样品室空间从紧凑到合理，样品台承载能力较大、成像探测器承温能力提升、保证高真空足够的抽气能力等，达到追求时序信息的目标。本次新品实现整机国产化的核心部件包括高温二次电子探测器、三维移动平台与大载荷拉伸平台、1400度原位加热器、超大结构样品腔室和超高真空系统等。保障电镜极端环境长时间稳定运行的相关模块包括冷阱、等离子清洗、极靴屏蔽、红外测温等。同时兼容EDX和EBSD等，还预留设置了多种通讯接口，为今后拓展更多原位技术留有余地。 日本电子|钨灯丝扫描电镜升级产品JSM-IT510钨灯丝扫描电子显微镜JSM-IT510【产品链接】 发布时间：11月8日参考价格：130-200万元为了满足基础研究、工业现场对更快获取结果数据等， JSM-IT510系列进一步提升了InTouchScope™ 的可操作性。借助新增的Simple SEM功能，现在可以将日常工作 “交给”仪器。主要特点包括：新型“Simple SEM”功能、最新型低真空二次电子探头 (LHSED)、 扫描电镜图像和能谱的一体化、实时立体三维图像、实时分析功能、新的导航放大功能、0 倍放大、显示X射线产生区域、SMILE VIEW™ Lab管理软件等。飞纳|第二代肖特基场发射台式扫描电镜Phenom Pharos G2飞纳台式场发射扫描电镜 Phenom Pharos G2【 产品链接 】 发布时间：11月24日参考价格：200-300万元Phenom Pharos G2, 集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析功能于一体。高亮度肖特基场发射电子源，使用户可以轻松获得高分辨率图像，且低电压性能优异。Pharos G2分辨率提升至1.8nm，采用热场发射电子源，信噪比高，使用寿命长，保证长期稳定的性能。飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能，可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。日立|全新场发射扫描电镜SU8600和SU8700全新冷场发射扫描电镜SU8600（左）和热场发射扫描电镜SU8700（右）【发布会专题】 发布时间：12月9日全新一代冷场发射扫描电镜SU8600不光保留了日立传统冷场电镜的优点，还采用了新型冷场电子枪，可选择更多种类的探测器，而且具有全新的自动数据获取功能，这些技术的加入使得SU8600的成像、分析能力以及自动化性能都有了质的飞跃。具体特点包括：强大自动化功能、成熟的电子光学系统、强大的图像显示和存储、简便的操作等。全新一代热场发射扫描电镜SU8700是一款集高分辨观察、高效率分析、自动化操作等特点于一身的扫描电镜。全新的自动数据获取功能，电子光学系统，多探头检测系统等技术的加入使得SU8700的成像和分析能力有了质的飞跃。具体特点包括：强大的自动化功能、全新的电子光学系统、高效的分析能力、丰富的样品适用性、简便的操作等。国仪量子|场发射扫描电子显微镜SEM5000场发射扫描电镜SEM5000【 发布信息 】 参考价格：200-300万元新品场发射扫描电子显微镜SEM5000，是一款高分辨的多功能扫描电镜，分辨率优于1 nm，放大倍数超过一百万倍。SEM5000的新型镜筒，优化了电子光路设计，采用高压隧道技术，在高电压和低电压下均能实现高质量成像；系统配置了无漏磁物镜，实现了无漏磁高分辨成像，适用于磁性样品分析；可选配多种探测器及其它分析仪器，能够满足用户的各种需求。将广泛应用于锂电池材料、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物等领域。透射电镜：冷冻电镜、球差电镜，国产扫描透射透射电镜方面，面向高端市场的扫描透射电镜成为新品主流。日本电子新一代冷冻电镜JEM-3300年初上市。赛默飞球差电镜新品Spectra Ultra、扫描透射电镜新品Talos F200E更加关注半导体领域。国产方面，基于生物到实验室和生物物理所合作，针对病理组织样本高通量成像需求的专用扫描透射电子显微镜SmartView发布。日本电子|新型冷冻电镜JEM-3300新型冷场发射低温电子显微镜(cryo-EM)——CRYO ARM™ 300 II (JEM-3300)【 产品链接 】 发布时间：1月22日参考价格：3000-5000万元JEM-3300新型冷冻电镜基于“快速、易于操作、获得高对比度和高分辨率图像”的理念而开发。与之前的CRYO ARM™ 300相比，JEM-3300可进行高质量数据的快速采集、操作简便，并在通量方面有大幅提升。主要特点：通过最佳电子束控制实现高速成像，独特的“Koehler mode”照射模式允许均匀电子束照射到样品的特定位置，JEM-3300吞吐量相比上一代提升两倍或更高；提高了高质量图像采集的硬件稳定性，配备了一种新型冷场发射枪(cold FEG)、新的柱内 Omega 能量过滤器；系统升级后可操作性更高等。赛默飞| 球差校正透射电镜Spectra Ultra 新一代扫描透射电镜Spectra Ultra S/TEM【产品详情】 发布时间：3月3日参考价格：2500-5000万元全新Spectra Ultra在数分钟内即可灵活优化高级成像和分析条件。出于加快材料研究进程以及高通量需求，用户现在可以以非常快的速度稳定地调节加速电压。这极大扩展了研究的样品范围，最大程度地减少了电子束损伤，并显著降低了工具的优化耗时。“配置了Ultra-X的Spectra Ultra改变了材料科学研究人员和半导体从业者的游戏规则。它可以通过迅速施加不同的加速电压来显著减少电子束损伤，并且用户将能够检测极低浓度的轻元素。”赛默飞世尔材料科学副总裁Rosy Lee表示，“此外，与其他商业化解决方案相比，用户可以以更高的分辨率快速成像快速分析，以研究新材料和改进现有材料。”赛默飞| Talos F200E扫描透射电镜Talos F200E扫描透射电镜发布时间：3月17日参考价格：600-1500万元Talos F200E (S)TEM提供原子级分辨率成像、快速EDS)分析和增强的数据可靠性，专为满足半导体行业日益增长的需求而设计。且具有成本效益，易用性高，帮助半导体实验室实现快速的样品表征，加快可以量产的速度，提高制程良率。“随着创新的步伐不断加快，半导体企业要求其分析实验室加快周转时间，并在各种设备和工艺技术上提供更可靠和可复现的(S)TEM数据，以支持他们的业务，”赛默飞半导体事业部副总裁Glyn Davies表示，“Talos F200E通过提供高质量的图像数据、快速的化学分析和行业领先的缺陷表征等特质，可以为客户提供高性价比、易用的解决方案。”纳镜鼎新|高通量生物扫描透射电子显微镜SmartView高通量生物扫透电子显微镜智眸365(Smart View 365)【产品详情】 发布时间：7月28日智眸365(Smart View 365)以其高通量、全自动、超高清图像的优越特性在降低人员工作强度的同时为专家分析和诊断病理提供更多的信息，有效提高诊断的效率与正确率。满足专业用户对超微病理诊断的需求。主要特点包括：高通量高效率，插入病理切片样品仓，选定工作模式，一次性自动连续完成多至500个样品成像等；高分辨，分辨率高达0.9nm STEM图像；高稳定运行，长寿命、超稳定的场发射电子源；使用简单等。聚焦离子束显微镜赛默飞|Helios 5 EXL晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜Helios 5 EXL晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜【产品详情】 发布时间：4月21日参考价格：700-1500万元Helios 5 EXL旨在满足半导体厂商随着规模化经营而不断增加的样品量以及相应的分析需求。这款产品拥有的机器学习和先进的自动化能力，可提供精确的样品制备，以支持5纳米以下节点技术和全环绕栅极半导体制程以及良率提高。赛默飞半导体事业部副总裁Glyn Davies 表示：“半导体实验室正面临着巨大的压力，在不增加成本的情况下，他们需要更快地提供TEM分析数据，以支持制程监控并提升学习曲线，Helios 5 EXL可以通过可扩展的、可复现的和高精度的TEM样品制备来应对这一挑战。”其他新品：扩展技术与定制产品日本电子|超微电子衍射平台Synergy-ED超微电子衍射平台Synergy-ED发布时间：5月31日日本电子与Rigaku公司联合开发出Synergy-ED，一个超微电子衍射平台（ED），通过将日本理学的结构分析技术和设备（如其高灵敏度检测器）与日本电子的透射电子显微镜相结合，将两者的核心技术结合起来，希望新品的技术能够应用于材料研究、化学和药物开发等领域，并为利用电子衍射进行单晶结构分析提供新的解决方案。在以前困难的亚微米范围内，结构分析成为可能。赛默飞|定制球差校正电镜Spectra φ定制的高分辨率扫描透射电子显微镜Spectra φ发布时间：5月20日定制的高分辨率扫描透射电镜Spectra φ，用以支持莫纳什大学在先进材料方面的研究。该仪器安装在澳大利亚莫纳什电子显微镜中心（MCEM）。Spectra φ提供增强的电子束灵活性，以优化复杂材料系统的高速多维成像。Spectra φ 的设计和制造符合由MCEM 和澳大利亚科学院院士Joanne Etheridge教授领导的团队的规格。通过将 Spectra φ 纳入其仪器阵容，莫纳什大学将继续推动对重要能源相关的开创性研究，包括高效光伏设备、电池、材料轻量化、低功耗电子产品和清洁发电等。

11月15日-19日,第二十五届中国国际高新技术成果交易会(以下简称“高交会”)在深圳隆重举办。中科科仪作为国科控股与国科科仪高端装备制造版图中的重要组成部分,携众多前沿技术及硬核产品亮相国科控股高端装备板块。16日上午,中科科仪总经理助理兼科仪光电总经理孟祥良在高交会(福田展区)新产品新技术精品发布活动中进行了《场发射枪扫描电子显微镜》的精彩报告,带来了具有自主知识产权的国产高端场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100并进行详细介绍。【发布现场】扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器,具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点,是中国科技发展中不可或缺的高端科学仪器。中科科仪具有50多年的电镜研制历史,具备深厚的电子光学技术基础,是国内率先实现扫描电子显微镜产业化的企业,在产品的研发和制造方面拥有丰富的经验。针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电子显微镜的迫切需求,2013年,北京中科科仪股份有限公司牵头,联合北京大学、中科院微电子所、中科院生物物理所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位,承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”,在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8000,并在此基础上提升电子光学系统综合性能,于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100,分辨率优于0.9nm@30kV,3nm@1kV,解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术,成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。KYKY-EM8100型扫描电子显微镜是中科科仪承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分,具有自主设计制造了低像差物镜、突破了电子束镜筒加速技术、自主研制了电子光学智能化控制系统等三大技术优势。目前该设备已完成科技成果转化及产业化落地,并形成批量销售,深受各行业用户好评,为我国纳米科技、材料分析、分子生物学研究与半导体检测领域提供技术支撑,取得了显著的经济效益和社会效益。场发射枪扫描电子显微镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具,在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用,广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析 同时,场发射枪扫描电子显微镜在虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用,在我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科研究的过程中发挥着不可或缺的重要作用。场发射枪扫描电子显微镜的研制成功,是我国电子光学研究水平的集中体现,是我国电子光学领域的重要成果,对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。当前,紧随科研需求和市场热点,中科科仪积极推进电子束等光学仪器设备的研究制造,加速高端仪器设备国产化替代进程,满足更多的科研及产业客户的特殊需求,助力中国高新技术产业高质量发展。未来,中科科仪将加快推进电子光学高端科学仪器装备的研制进程,提升国产化替代水平,不断解决高端仪器装备的问题,高质量引领重大科学仪器攻关及产业化发展,为强化国家战略科技力量、实现高水平科技自立自强做出新的贡献。

仪器信息网讯 2021年8月31日，日本电子株式会社（JEOL Ltd.）总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布已经开发出肖特基场发射电子显微镜 JSM-IT800（2020年5月推出）用于观测半导体器件的最佳半透镜版本(i)/(is)——JSM-IT800(i)/(is)，并已于 2021 年 8 月开始销售。产品开发背景扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域。随着SEM的应用范围不断扩大，不仅包括研究和开发，还包括生产现场的质量控制和产品检验，SEM用户需要快速高质量的数据采集，以及简单的成分信息确认和无缝的分析操作。为了满足这些需求，JSM-IT800 集成了用于高分辨率成像的透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”， 以及追求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射线能谱仪。此外，JSM-IT800 允许以模块形式更换物镜，提供不同版本物镜以满足不同用户的需求。JSM-IT800 有五种不同物镜版本：混合镜头版本 (HL)，这是一种通用 FE-SEM；超级混合镜头版本（SHL/SHL，功能不同的两个版本），可实现更高分辨率的观察和分析；以及新开发的半透镜版本（i/is，两个不同功能的版本），适用于半导体器件的观察。JSM-IT800 还可以配备全新的闪烁体背散射电子探测器 (SBED)。 SBED 能够以高响应性轻松观察实时图像，即使在低加速电压下也能产生清晰的材料对比度。主要特点透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪电子枪和低像差聚光透镜的增强集成提供了更高的亮度。在低加速电压（5 kV 时为 100 nA）下可获得充足的探针电流。独特的透镜内肖特基 Plus 系统适用于各种应用，从高分辨率成像到快速元素分析，以及电子背散射衍射 (EBSD) 分析。Neo Engine（新电子光学引擎）Neo Engine 是一种尖端电子光学系统，它积累了 JEOL 多年的核心技术。即使改变不同的观察或分析条件，用户也可以进行稳定的观察。自动功能的高可操作性大大增强。SEM 中心 / EDS 集成GUI“SEM 中心”、 SEM 成像和 EDS 分析完全集成，以提供无缝和直观的操作。 JSM-IT800 可以通过结合可选的软件插件来增强，例如 SMILENAVI 为新手用户提供学习路径， LIVE-AI 过滤器（Live Image Visual Enhancer– AI）以获得更高质量的实时图像.半透镜版本(i/is)半透镜通过在物镜下方形成的强磁场透镜会聚电子束来实现超高分辨率。此外，该系统有效地收集从样品发射的低能量二次电子，并使用上部透镜内检测器 (UID) 检测电子。因此，它可以对倾斜样品和横截面样品进行高分辨率观察和分析，这正是半导体器件故障分析所需的。此外，它对于电压对比度观察也非常有用。上电子探测器（UED）上电子探测器可以安装在物镜上方。该系统的优点是能够采集背向散射电子图像，并结合试样偏压采集二次电子图像。从样品发射的电子由物镜内的 UID 过滤器选择。 UED 和 UIT 允许在一次扫描中获取多个信息。新型背散射电子探测器闪烁体背散射电子检测器（SBED，可选）具有高响应性，适用于在低加速电压下获取材料对比图像。主要参数JSM-IT800i versionJSM-IT800is versionResolution (1 kV)0.7 nm1.0 nmResolution (15 kV)0.5 nm0.6 nmAccelerating voltage0.01 - 30 kVStandard detectorSecondary Electron Detector (SED)Upper In-lens Detector (UID)Upper Electron Detector (UED)Secondary Electron Detector (SED)Upper In-lens Detector (UID)Electron gunIn-lens Schottky Plus field emission electron gunProbe currentA few pA to 500 nA (30 kV)A few pA to 300 nA (30 kV)A few pA to 100 nA (5 kV)Objective lensSemi-in-lensSpecimen stageFull eucentric goniometer stageStage movementType1(standard) X 70 mm Y 50 mm Z 1 to 41 mmType2 (optional) X 100 mm Y 100 mm Z 1 to 50 mmType3 (optional) X 140 mm Y 80 mm Z 1 to 41 mmTilt -5 to 70° Rotation 360°EDS detectorEnergy resolution: 133 eV or betterDetectable elements Be to UDetection area: 60 mm2新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800【产品链接】

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 2015年10月27日，第十六届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA 2015)在北京国家会议中心隆重开幕。本次展会特别展示了由中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项《场发射枪 a href=" http://www.instrument.com.cn/zc/em.asp" target=" _self" title=" " style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 扫描电子显微镜 /span /a 开发和应用》项目的实施成果——国内首台自主研发的肖特基场发射枪扫描电镜产品KYKY-EM8000F。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/e4968a88-8fbd-4d58-b933-0e416021ccea.jpg" title=" 图0.jpg" / /p p style=" text-align: center " strong 肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000F /strong /p p 　　在《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目的实施过程中，中科科仪突破了30kV场发射电子枪、低像差物镜设计与制造等关键技术，实现国产场发射枪扫描电镜零的突破，并且产品的分辨率优于1.5nm@30kV。KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜的研制成功，是我国电子光学研究水平的集中体现，将成为我国电子光学领域的重要成果，对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。 /p p 　　在KYKY-EM8000F展示期间，科技部、中国分析测试协会的相关领导对于该产品都给予了极大的关注，并提出了相应的指导意见。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/209cd609-5181-4d3d-b265-53ed504eb338.jpg" title=" 图..jpg" / /p p 　　科技部侯建国副部长、张泽院士、吴学梯司长、吴波尔原司长、原科技平台中心副主任张渝英等一行人来到中科科仪展台前参观，详细了了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的研制过程，对国内首台场发射扫描电镜的研制成功表示祝贺，勉励中科科仪在将来的产品开发中取得更大成绩。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/7e475557-6c04-4cc5-96d3-da70578a759c.jpg" title=" 图2..jpg" / /p p 　　BCEIA2015大会主席、国务院参事、科技部原副部长刘燕华先生等一行人也特地来到中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项展台参观，详细了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的情况，祝贺中科科仪在电镜开发方面取得的进展，强调一定要爱护好中科科仪这个国产电镜的唯一品牌，指出产品开发要以市场为导向，以服务用户为目标，注重产业化，把科学仪器自主创新摆在突出位置。 /p p 　　同时在本次展会上，KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜还在31家单位申报的41个项目中脱颖而出，荣获了“BCEIA 金奖”。 /p p style=" text-align: center " strong img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/f9217118-5176-41a4-8718-fdc42fddaef7.jpg" title=" 图3..jpg" / /strong /p p style=" text-align: center " strong “BCEIA金奖”颁奖现场 /strong br/ /p p 　　据中科科仪电镜部孙占峰研究员介绍，KYKY-EM8000F的销售台数已超过5台。首台产品于2014年11月21日正式交付给中国科学院大学，同年12月10日，双方共建了中国科学院大学—北京中科科仪股份有限公司“电子显微技术”联合实验室，为KYKY-EM8000F的应用研究搭建了平台。 /p p 　　中国科学院大学在该仪器上已经开展了“国家自然基金”课题(51272281)以及“中国科学院科研装备项目”(yz201356)的材料形貌研究，对材料的观测尺度涵盖了微米级到纳米级，分析了掺杂碳材料的形貌演化规律，发现了碳材料的生长奇异现象。获得的图像显示了在碳沉积过程中掺杂金属前驱体，会使金刚石发生纳米化 在生长驱动力增大的条件下，无定形碳会发生分叉和交叉生长，这种现象在以往的碳材料研究中从未报道过。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/8fc2f44e-1567-409d-ac4e-18084b5169fe.jpg" title=" 图4.jpg" / /p p style=" text-align: center " strong 中科科仪电镜部孙占峰研究员 /strong /p p 　　另外据介绍，《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目在新应用方法或解决方案、样品前处理设备、可拓展仪器应用领域的关键部件和数据库等方面也进行了卓有成效的研究，如进行了场发射枪扫描电镜在半导体集成电路的检测技术研究 建立了超过100万兆的秀丽隐杆线虫连续切片扫描电镜成像原始数据库 编制了环境空气-大气粒子(PM2.5)形貌观测与无机元素分析等行业标准建议稿 成功开发了连续超薄切片收集装置和微操作装置等样品前处理和功能拓展装置等。 /p p 　　通过该项目的实施，中科科仪和合作单位已申请并受理国家发明专利11项，软件著作权2项，发表相关论文2篇，起草相关行业标准建议稿2项 形成了场发射枪扫描电镜的技术资料1套，建立了包括院士、教授、高级工程师在内、覆盖国内扫描电镜研制和应用优势单位的人才队伍，培养了满足国家重大需求的高精尖仪器和电子显微学专业人才，这将为相关电子光学仪器的开发和应用提供有力的技术支撑。 /p p style=" text-align: right " 编辑：秦丽娟 /p

近日，国仪量子应用中心迎来重磅新品——场发射扫描电镜SEM5000。SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜，有着先进的镜筒设计，镜筒内减速、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时可适用于磁性样品。SEM5000具有光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程。无论操作者是否具有丰富经验，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。电子枪类型：高亮度肖特基场发射电子枪分辨率：1 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV放大倍率：1 ~ 1000000 x加速电压：20 V ~ 30 kV样品台：五轴全自动样品台产品特点01分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像02电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品03镜筒内减速，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证04电子光路无交叉，有效降低系统像差，提升分辨能力05水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性06磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换应用领域场发射扫描电镜SEM5000可广泛应用于锂电、芯片半导体、陶瓷、建筑材料、电子元器件、化学化工、生物医疗、环保、金属材料等领域。场发射扫描电镜SEM5000拍摄案例樱花花粉经伪彩处理NVPTIO2钛酸锂正极极片负极极片极片表面的导电添加剂隔膜

近日，苏州博众仪器科技有限公司（简称博众仪器）宣布了一项重大关键技术突破，成功研发出热场发射电子源。该产品可以用于电子显微设备和电子束光刻设备等领域，标志着中国在热场发射电子源方面实现了国产化替代，为高端电子显微技术自主化进程提供了强大助力。同时，其作为电子束的共性基础元件，也将对发展电子束相关设备，如发展电子束光刻机等设备奠定坚实基础。目前，该产品已取得相关发明专利。该产品针尖曲率半径可精准控制在400～900nm之间，角电流密度达200～500uA/Sr，在200kV高压下，其亮度可达6.5x10^8～1.5x10^9A/(c㎡ Sr)，在1700～1850K的温度环境下稳定工作，不仅性能媲美国际顶尖产品，更在性价比上展现出巨大优势。目前，该产品已作为成熟产品对外销售并可提供定制化服务。当前，电子显微镜市场尤其在高端扫描电子显微镜、透射电子显微镜等领域一直被美国的赛默飞、日本的日本电子和日立等企业所垄断，国内企业面临技术封锁和市场挤压的双重挑战。而电子源作为电子显微镜的核心部件，其技术门槛高、研制难度大，一直是国产电子显微镜发展的瓶颈之一。在各类电子源中，热场发射电子源是应用最广的一类电子源，其亮度比钨灯丝高约1000倍，比LaB6灯丝高约100倍，而且具有更小的能量分散和更小的光斑直径，因此非常合适用于电子显微设备和电子束光刻设备等。但当前只有赛默飞、日本电子、日立、DENKA和YPS等国外公司有成熟的产品，国内企业始终面临着采购周期长、成本高、不能自主可控的困境。博众仪器自成立以来，始终秉持着自主可控的经营理念，专注基于电子束的高端装备的研发、生产和销售，主营透射电子显微镜及其核心部件，如：肖特基电子源、超高稳定电源（包括高压电源和恒流电源）、高精度控温水冷机等产品，并提供电子枪、高压电源、磁透镜等整体解决方案。而热场发射电子源作为透射电镜的核心部件，自公司成立之初便开始研制。团队历时3年多的不懈努力，终于突破关键技术难点，研制出性能稳定、性价比更高的热场发射电子源。接下来，博众仪器也会陆续推出，应用于高端仪器设备领域的超高稳定电源等核心产品，持续为高端仪器设备行业的发展贡献力量。

大束科技从2015年开始销售商品化的热场肖特基电子源，在不断研发、完善各种电镜核心部件以及提升生产能力下，目前位于北京生产基地的自动化生产线已经全部投入生产，该生产线完全由大束科技自主完成设计和组装调试。设备全年可以生产各种电子源、离子源产品5000套，并且规模还在扩大中。由于规模化量产采用了自动化生产设备，产品的一致性更加完美。根据产品使用的场合不同，在生产上也会采用不同的工艺，目前大束科技的热场发射电子源已经在扫描电镜SEM、透射电镜TEM、电子束光刻EBL、半导体量检测的关键尺寸量测设备CD-SEM 、电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）、电子束缺陷检测EBI上安装使用。 大束科技的场发射电子源、离子源规模化量产后，不仅满足了国内存量电镜的使用，也为国内整机厂家提供性价比更高的部件，对整个电镜产业链都是一个振奋人心的消息。同时这些产品已经销往海外，得到国外客户的认可。 大束科技成立之初，定位只做电子显微镜的核心部件，不做整机。这也是创始人一直提倡并付诸实践的，以供应链思维推进中国电镜发展。1. 做好发射源从发射源产品热致发射的钨灯丝、六硼化镧灯丝到热场肖特基电子源、冷场电子源全系列电子源产品。FIB聚焦离子束的液态镓离子源的多种规格，可以完全兼容市场上的进口产品。随着规模化量产的实现，标志着我国在带电粒子发射源上实现了独立自主。大束科技不仅提供电子源和离子源，也提供电子枪和离子枪。同时提供电子枪和离子枪的部件，比如物镜、透镜、偏转器等。2. 做好更多核心部件 大束科技从源起步，不断增加电镜部件，比如大束科技提供的：(1) 各种光阑，有单孔、多孔、应用到电子束或离子束的不同材料的不同孔径的。(2) 各种电镜使用的控制电源模块(3) 探测器3. 以电镜服务为中心开展产品研发大束科技提供产品同时提供电镜技术服务，已经建立了覆盖全国的技术服务团队，为客户提供电镜维修及部件安装。提供电镜搬迁服务。其产品研发也围绕客户需求不断增加。比如大束科技的冷水机具有更好的性价比。总的来说，大束科技的这一成就，不仅为国内电镜整机厂家提供了更多的部件选择，促进了电镜供应链的完善，也为全球电镜行业的发展贡献了中国力量。随着电镜核心部件的规模化量产，大束科技正引领中国电镜行业迈向更加广阔的舞台。

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 2019年12月6日，由北京中科科仪股份有限公司承担的国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目技术综合验收会在北京外国专家大厦召开，科技部专家组成员、项目牵头单位、合作和应用单位代表参加了本次会议。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 338px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201912/uepic/12c61986-7256-46e1-96d0-5c32fcd33ee9.jpg" title=" 验收.jpg" alt=" 验收.jpg" width=" 450" height=" 338" border=" 0" vspace=" 0" / /p p 　　会上，验收专家组现场听取了中科科仪项目完成情况汇报，观看了项目视频，听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员对项目完成情况给予高度评价，一致建议通过验收。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 224px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201912/uepic/aa7c05ae-5295-49d6-b65c-ff0a014dc18b.jpg" title=" 场发射.png" alt=" 场发射.png" width=" 600" height=" 224" border=" 0" vspace=" 0" / /p p 　　场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具,为前沿科技研究提供重要支撑，提升高端科学仪器研制水平，促进精密制造业发展，满足半导体技术、生命科学、环境保护等领域的迫切需求。该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率指标分别达到和优于3nm@1kV和1nm@30kV，达到国际一流水平，极大促进了我国电子光学仪器产业的发展，使我国扫描电镜实现台阶式飞越，有效解决当前“卡脖子”问题，打破了国外产品垄断局面，促进国家、民族工业发展。极大推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平。 /p p br/ /p

【科学背景】随着信息技术和电子设备的迅猛发展，对高性能、高速运算的需求日益增加。因此呢，晶体管作为核心电子器件，其性能的提升成为了关键研究方向。传统的晶体管，如金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）和双极结晶体管（BJT），已经在现代集成电路中取得了显著成功。然而，随着应用对速度和功能的要求不断提高，热载流子晶体管作为新兴技术开始受到关注。热载流子晶体管是一类利用载流子过剩动能的设备，与常规晶体管依赖于稳态载流子输运不同，热载流子晶体管通过将载流子调节至高能状态来提升设备的速度和功能。这种特性对于需要快速开关和高频操作的应用，例如先进电信和尖端计算技术，具有重要意义。然而，传统的热载流子生成机制主要包括载流子注入和加速，这些机制在功耗和负微分电阻（NDR）方面限制了设备的性能。例如，载流子注入机制和加速机制都无法提供低于60&thinsp mV&thinsp dec&minus 1的超低亚阈值摆幅，这对于现代低功耗应用至关重要。为了解决这些问题，中国科学院金属研究所研究员刘驰、孙东明和中国科学院院士成会明，联合中国科学院金属研究所研究员任文才团队、北京大学助理教授张立宁团队合作提出了一种基于双重混合维度石墨烯/锗肖特基结的热发射晶体管（HOET）。该晶体管利用加热载流子的受激发射机制，实现了低于1毫伏每十年（decade）的超低亚阈值摆幅，超出了玻尔兹曼极限，并且在室温下具有大于100的峰值-谷值电流比的负微分电阻。通过这种新颖的机制，HOET克服了传统热载流子晶体管在功耗和NDR方面的限制，提供了一种具有显著潜力的多功能晶体管，适用于低功耗和负微分电阻应用，为后摩尔时代的技术进步提供了新的解决方案。【科学亮点】（1）实验首次报道了一种基于双重混合维度石墨烯/锗肖特基结的热发射晶体管（HOET），该晶体管利用加热载流子的受激发射实现了超低亚阈值摆幅和高峰值-谷值电流比的负微分电阻（NDR）。（2）实验通过结合块状材料和低维材料（石墨烯和锗），利用其不同的能带组合形成潜在障碍，从而实现了以下结果：&bull 该HOET实现了低于1毫伏每十年（decade）的亚阈值摆幅，超出了玻尔兹曼极限，这使得设备在低功耗应用中表现优异。&bull 在室温下，HOET的负微分电阻具有大于100的峰值-谷值电流比，这在石墨烯设备中为最高之一，显示出优异的性能。&bull 进一步演示了具有高反相增益和可重配置逻辑状态的多值逻辑应用，展示了设备的多功能性和高性能。【科学图文】图1：器件结构及基本特性。图2：超低SS和SEHC机制。图3：负微分电阻。图4： 用于MVL技术的HOET。【科学结论】本文的研究提供了对热载流子晶体管（HET）领域的重要科学启迪。传统的热载流子生成机制，如载流子注入和加速，存在限制设备性能的不足，特别是在功耗和负微分电阻（NDR）方面。本文提出了一种基于双重混合维度石墨烯/锗肖特基结的热发射晶体管（HOET），利用加热载流子的受激发射机制，显著突破了传统机制的限制，实现了低于1毫伏每十年（decade）的超低亚阈值摆幅，并在室温下展现出大于100的峰值-谷值电流比。这一创新不仅提升了器件的性能，还为低功耗和NDR应用提供了新颖的解决方案。通过将块状材料与低维材料结合，利用不同能带组合形成的潜在障碍，HOET展示了如何通过新机制生成热载流子，推动了热载流子晶体管技术的发展。这项研究为后摩尔时代的电子器件设计开辟了新的方向，尤其是在高性能、低功耗和多功能应用方面，具有重要的科学价值和应用前景。参考文献：Liu, C., Wang, XZ., Shen, C. et al. A hot-emitter transistor based on stimulated emission of heated carriers. Nature (2024). https://doi.org/10.1038/s41586-024-07785-3

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 2018 年7月24日，荷兰飞纳Phenom 在仪器信息网 a style=" color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline " title=" " target=" _self" href=" http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2018/" span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 第四届电镜网络会议(iCEM 2018) /span /a 首日重磅推出其颠覆性创新产品——全球首创台式场发射(FEG)扫描电镜能谱一体机Phenom LE：采用肖特基场发射电子枪，集背散射电子成像，二次电子成像和能谱分析于一体，分辨率优于 2.5nm@15kV，放大倍数 500,000x。只需一张承重200kg以上的桌子就可以安装飞纳台式场发射(FEG)电镜，无需装修改造实验室，无需安装防震台、磁屏蔽。可谓是扫描电镜行业的一个里程碑式创新产品，从参会千名电子显微学工作者的现场反应以及100多个产品咨询问题，侧面看到了广大电镜用户对该产品的极大兴趣。 /p p style=" text-align: center" img style=" width: 450px height: 366px " src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/781d19d2-6236-4f8b-854f-66d64ccad0d5.jpg" title=" 1.png" height=" 366" hspace=" 0" border=" 0" vspace=" 0" width=" 450" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 飞纳台式场发射(FEG)扫描电镜 Phenom LE /span /p p 　　“飞纳台式场发射——复杂设计给飞纳，极致体验给用户”，有着十多年电镜工作经验的飞纳应用顾问李淑波这样描述新产品，“该产品从立项到最后上市，耗时 6 年时间，发布多项专利，凝聚着上百名(直接、间接)研发人员的心血：为了早日让用户体验产品，研发人员 24 小时不停歇，晚上下班后将监测设备搬回自家调试，如今，这款设备终于通过了荷兰飞纳苛刻的质量保证体系，远渡重洋为忠实，勤劳，高品质要求的中国用户服务”。 /p p 　　据介绍，飞纳台式场发射(FEG)电镜能谱一体机Phenom LE 将为用户节省 40% 左右的购买成本(相较于购买传统落地式场发射电镜和能谱)，同时可为用户节省 20-60 万的实验室改造费用(安装防震台，磁屏蔽，装修实验室等)，飞纳台式场发射只需要一张桌子(千元左右)，维护也相对简单，省钱更省心。 /p p 　　 strong 从台式电镜到场发射(FEG)电镜能谱一体机，从 CeB6 灯丝到场发射灯丝 /strong ——2006 年，飞纳发布全球首台使用高亮度 CeB6 灯丝的台式扫描电镜(Phenom Desktop SEM)，放大倍数为 10000 倍。2012 年 3 月，飞纳研发出首台电镜能谱一体机，开创电镜能谱设计新理念，两年销量达到 790 台。 /p p 　　 strong 台式电镜分辨率从 30nm 提升至 2.5nm /strong ——飞纳台式场发射(FEG)电镜Phenom LE 在 15kV 条件下，分辨率已提升至优于2.5nm，放大倍数为500000x。且低电压成像优异，可以获得更丰富表面细节。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/ecf347ca-8ab9-46ba-82a9-ba0cc0c16575.jpg" title=" 3.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 分辨率提升对比图 /span /p p style=" text-align: center " （左，飞纳台式电镜(CeB6 灯丝)；右，飞纳台式场发射(FEG)电镜） /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/59ed611c-d324-40a2-8630-7462abce450b.jpg" title=" 4.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 飞纳台式场发射(FEG)电镜高分辨性能 /span /p p style=" text-align: center " （左，锂电池隔膜；右，纳米氧化铁颗粒） /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/f8b5d6f5-b574-49e8-9104-700bb4199852.jpg" title=" 5.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 飞纳台式场发射(FEG)电镜低电压成像 /span /p p style=" text-align: center " （左，太阳能电池板 2kV；中，药物微球 3kV；右，静电纺丝纳米蛛网 5kV） /p p 　　 strong 场发射电镜能谱一体机之能谱 /strong ——能谱探头由原厂集成，延续飞纳电镜能谱一体机的设计理念，腔室内部采用特殊设计结构，以保证能谱探头最佳探测角度和探测距离，提高 X 射线收集效率。同时，此次升级的肖特基场发射电子源束流大，进一步激发样品产生充足的 X 射线。配置超薄“窗口”(Si3N4)，元素探测范围：Boron(5)-Americium(95)。 /p p 　　 strong 高效，简易操作、安装 /strong ——高效率体现在15秒抽真空、全程样品导航、全自动马达样 /p p 　　品台等功能。整体操作简化为三步：装样品，自动聚焦和对比度亮度调节，一键取图成像。人性化的简约操作界面帮助操作者快速学会所有操作。飞纳台式场发射(FEG)电镜不仅具有操作便捷的优势，还可以适应高楼层等大多数环境的安装，且可免去磁屏蔽系统及防震台。 /p p 　　 strong 关于选配软件 /strong ——Phenom LE 配置了多功能选配应用软件，如颗粒系统、孔径系统、纤维系统等，使得一些统计分析的应用可以一键完成。也可以根据客户的需求定制个性化软件，帮助客户自动完成样品图像的拍摄，分析。 /p

2013年5月28日天美公司&mdash 日立高新肖特基扫描电镜SU70新技术研讨会在上海交通大学召开，研讨会邀请了日立公司SU70应用专家及已有用户进行了专题报告，包括潜在用户在内的30余人参加此次研讨会，研讨会讨论热烈。 日立SU70扫描电镜 研讨会由天美上海办徐育经理主持，研讨会首先由日立高新部长今田芳宪先生发言，在发言中今田部长从日立高新公司的整体介绍、中国区营销架构、以及与天美公司的合作等方面做了整体介绍；随后天美公司副总裁赵薇女士进行了发言，在发言中赵总对天美公司的发展历程以及与日立高新的合作等方面做了总体介绍，并对各位来宾表示了热烈欢迎和感谢。 日立高新部长今田芳宪先生和天美公司副总裁赵微女士分别发言 在SU70应用方面，来自宝钢集团的王国栋老师结合自己的亲身感受对SU70在钢铁研究中的应用做了报告，首先他对SU70在钢铁夹杂物表征方面的应用作了分享，通过大量的应用图片展示了SU70良好的分辨率，然后分享了SU70在EBSP中的应用，并使用丰富的应用举例对SU70的高探针电流所带来的良好EBSP分析效果进行了阐述，在报告最后王老师把自己在SU70具体操作方面的经验也进行了分享。 宝钢集团王国栋老师报告 接下来来自日立高新的应用专家杉本祐先生首先对日立扫描电镜目前的所有产品型号作了总体介绍，同时对各型号间的区别和联系进行了详细阐述，然后重点讲解了日立肖特基扫描电镜SU70，从其工作原理到其独特的镜筒设计都进行了讲解，并指出了其所具有高分辨率和强大分析功能的深层次原因。 日立高新SU70应用专家杉本祐先生和罗琴女士作报告 最后来自日立高新的应用专家罗琴女士主要对如何利用SU70拍出高质量的样品像进行了总结，总结中引用了大量的举例加以说明，同时对SU70在各领域的应用也作了具体介绍。罗琴女士在报告中也对扫描电镜样品处理设备&ldquo 离子研磨仪IM4000&rdquo 进行了详细介绍，包括其优异的样品处理技术，较高的样品研磨速率，以及可囊括平面及截面研磨能力等。通过罗琴女士的报告，使与会者对SU70以IM4000有了更加深刻的了解。 研讨会的最后一项议程是SU70实验室参观和体验， 罗琴女士进行了现场讲解和操作演示，眼见为实，各位与会者纷纷对SU70所表现出的优异成像性能和强大的样品综合分析能力表示了赞赏。 SU70现场参观和体验 通过本次研讨会的成功举办，使与会者和用户对SU70有了更深刻的了解，对其优异的图像分辨率和强大的样品综合分析能力也进行了现场体验，同时大家对日立高新和天美公司所表现出的&ldquo 用户至上&rdquo 的服务态度也大加赞赏。 详细内容也可参见上海交通大学网页：http://mtac.sjtu.edu.cn/info/1041/1210.htm 公司介绍： 　　天美(中国)科学仪器有限公司(&ldquo 天美(中国)&rdquo )是天美(控股)有限公司(&ldquo 天美(控股)&rdquo )的全资子公司，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。天美(中国)在北京、上海、等全国15个城市均设立办事处，为各地的客户提供便捷优质的服务。 　　天美(控股)是一家从事设计、研发、生产和分销的科学仪器综合解决方案的供应商。 继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司和英国Edinburgh等多家海外知名生产企业，加强了公司产品的多样化。 　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

二维半导体材料，比如二硫化钼（MoS2），表现出了诸多新奇的特性，从而使其具有应用于新型电子器件领域的潜力。目前，研究人员常用电子束光刻的方法，在此类仅若干原子层厚的材料表面定域制备图形化电，从而研究其电学特性。然而，采用此类方法常遇到的问题之一是二维半导体材料与金属电之间为非欧姆接触，且具有较高的肖特基势垒。近期，刊载在Nature Electronics上的Patterning metal contacts on monolayer MoS2 with vanishing Schottky barriers using thermal nanolithography一文（Nature Electronics volume 2, pages17–25 (2019)），针对以上问题展开了研究。文中，Zheng等人采用热扫描探针光刻（thermal scanning probe lithography，t-SPL）的方法，在二维原子晶体表面成功制备了图形化电。此方法具有高的可重复性，并且具有小于10 nm的分辨率，以及可观的产率（单根针达到105?μm2?h?1）。相较于电子束光刻方法而言，此方法可以同时进行图形化工艺并原位对图形化工艺后的结果进行成像表征，而且不需要真空腔体以及高能电子束。采用这一技术方案，Zheng等人在单层MoS2上制备了具有栅和背栅结构的场效应晶体管。在未采用负电容或异质堆叠等方案的前提下，Zheng等人制备的器件中的二维半导体材料与金属电之间的肖特基势垒趋于0 meV，开关比达到1010，且亚阈值摆幅低至64 mV/dec，大大优于此前诸多其他方案所制得的类似器件的电学特性。 图1 器件制备流程及主要步骤后的样品形貌表征表1 采用两种不同方法（热扫描探针光刻与电子束光刻）制备的基于MoS2的FET的电学特性对比 值得指出的是，文中Zheng等人实现图形化掩膜制备所用的设备，是由瑞士Swisslitho公司所研发的NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机，该系统实现图形化工艺主要是基于前文所述的热扫描探针光刻技术。热扫描探针光刻技术的核心，是利用高温纳米针与一种热解胶（PPA）作用，热解胶在高温作用下会挥发，从而使热针“画”过的区域没有热解胶而热针没有“画”过的区域留存有热解胶，从而实现对热解胶的图形化处理。工艺过程中，图形的刻写精度与针的曲率半径以及针的温度控制水平息息相关。依托成熟的微加工工艺以及微系统设计经验，Swisslitho设计并制备了具有纳米曲率半径的针的悬臂梁，并且在悬臂梁上集成了用于控制及反馈针温度的电学系统，可以在室温至1100 ℃的范围内对针的温度进行准确地控制及监测，从而使得NanoFrazor的图形加工精度可以达到10 nm量的水平，且工艺具有佳的稳定性和重复性。图2 针处于加热状态下的悬臂梁图像另一方面，从工作原理不难看出，热扫描探针光刻不需要额外的显影操作。只要是用高温纳米探针在热解胶表面一“画”，热解胶表面相应区域就会挥发掉，从而在表面留下痕迹。着眼于这一特点，Swisslitho的研发人员巧妙地在悬臂梁上集成了轮廓探测器，可以原位对热解胶表面留下的痕迹进行形貌表征，从而实现闭环图形加工功能。NanoFrazor使用户可以实时了解图形加工的情况，并进行修正，大大缩减了图形化工艺所用的时间，提升了效率。 此外，由于NanoFrazor特殊的结构特点，使得NanoFrazor在进行套刻工艺时，可以方便快捷地直接定位到样品表面的目标区域并进行套刻工艺，无须预先在样品表面制备对准标记，亦可省去进行传统光学光刻或电子束光刻对准过程中的繁琐步骤。 为重要的是，由于工艺过程中用针的热与热解胶作用替代了电子束或光束与光刻胶作用，可以有效减少图形化工艺过程中对样品中介质材料的电荷注入所引起的损伤，从而提升微纳结构电学特性的可靠性，亦可有效提升器件的电学特性。

p & nbsp 碳化硅与其他半导体材料相比，具有高禁带宽度、高饱和电子漂移、高击穿强度、低介电常数和高热导率等优异的物理特点。在同样的耐压和电流条件下，SiC器件的漂移区电阻比硅要低200倍 SiC肖特基二极管具有超快的开关速度，反向恢复电流几乎为零，具有超低的开关损耗等优点。 /p p 　　在国家重点研发计划“新能源汽车”重点专项项目“高温车用 SiC 器件及系统的基础理论与评测方法研究”支持下，中国科学院微电子研究所与株洲中车时代电气股份有限公司研究团队针对高温下SiC芯片存在的高温电流导通能力退化，大面积芯片电流集中引起的热电强耦合导致的电流降低(损耗增加)性能退化等问题，开展了高温SiC芯片载流子的输运机理与行为规律的基础科学问题研究，从载流子传输路径优化、电流/电场均衡分布的芯片设计思路出发，利用外延层、有源区、精细化终端结构等综合优化技术，突破高温下SiC芯片电流输运增强技术，成功研制车用高温、大电流、高可靠1200V/100A SiC SBD器件，并通过该器件的静态、动态等全参数测试，以及可靠性摸底试验。结果显示，该项目研制的SiC肖特基器件与Cree公司的第五代同电压等级的CPW5-1200-Z050B产品的电流密度208A/cm2相比，在电流密度方面具有优势，在国内处于领先水平，即将应用于车用SiC模块的研发。 /p

仪器信息网讯 2024年1月20日上午，正值寓意“寒去春来”的大寒节气， 由生物岛实验室科研团队领衔研制，拥有自主知识产权的国产首台商业场发射透射电子显微镜太行 TH-F120在广州面向全球用户发布！发布会现场发布会邀请中国科学院饶子和院士、中国科学院隋森芳院士、中国科学院徐涛院士，广东省科学技术厅、广州市市场监督管理局、黄浦区科技局、黄浦区市场监管局、中国科学院生物物理研究所、中国科学院广州生物医药与健康研究院、生物岛实验室等相关领导，以及国内知名电镜专家等五十余位代表出席。仪器信息网作为受邀行业媒体，共同见证这一历史时刻。太行 TH F120历经三年研制成功， 由生物岛实验室与国仪量子共同成立的慧炬科技承接转化，目前已具备量产条件。TH F120的问世将打破国内透射电镜100%依赖进口的局面， 是中国电子显微技术的重大突破。作为极难攻克的“卡脖子”高端科学仪器代表，TH F120是生物岛实验室与国仪量子强强联合的成果，也呈现了尖端仪器技术从科学端研制、成果转化，到商业端产业化的典范。而本次发布会 “研发成果汇报”、“新品发布会”两个环节的设置，相得益彰，是相互尊重，更是传承。环节一： 生物岛实验室研发成果汇报生物岛实验室科研与成果转化部部长李中华主持会议中国科学院院士、广州实验室常务副主任、生物岛实验室主任徐涛开场致辞徐涛院士首先代表生物岛实验室向莅临本次活动的各位领导和专家们表示热烈欢迎，向一直关心支持生物岛实验室发展的各界朋友表示衷心感谢。他讲到，1933年，世界上第一台透射电镜诞生，如今，电镜已成为现代科学研究不可或缺的研究工具，在半导体、材料科学、生命科学等战略性领域的科研活动中起到至关重要的作用，被誉为高端科学仪器“皇冠上的明珠”。透射电镜技术跨越多个学科，工程技术复杂，攻关难度大，被列为我国受限制的35项关键技术之一。为解决卡脖子问题，在生物物理所的大力支持下，孙飞研究员带领团队早在2016年就启动了预研工作。之后在生物岛实验室组建了完整的研发团队体系，在国家自然科学基金委、广东省科技厅的大力支持下，经过三年多的不懈努力，先后成功研制120kV场发射电子枪、120kV低纹波高压电源、400万像素和1600万像素CMOS电子探测相机，以及100万杂合像素直接电子探测相机等透射电镜核心关键部件。在此基础上，才有了今天发布的国内首台100%自主知识产权的120kV场发射透射电镜，实现0.2纳米分辨率的成像能力，达到产品化水平。这对于我国摆脱进口依赖，实现高水平科技自立自强具有重大意义。作为团队的一员，徐涛院士见证了整个项目艰难的研发过程，借此发布会的机会，对实验室电镜研发团队不惧困难挑战、勇于投身科研实践的责任担当表达了崇高的敬意。最后，徐涛院士表示，科学仪器研制是一场马拉松，虽然目前取得了一些成绩，但仍然存在许多受制于人的短板弱项。未来，生物岛实验室将继续坚持四个面向，在省市科技部门的指导下，坚定不移的在科技创新的道路上大步迈进，为广东省大湾区的生物医药产业高质量发展、加快构建先进生产力贡献力量。实现科技自立自强，道阻且长，然行则将至；行而不叕，则未来可期！中国科学院院士、清华大学教授饶子和致辞饶子和院士表示，正如徐涛院士所言，透射电镜为推动科学技术进步做出了重要贡献，但核心技术一直被国外垄断，面临卡脖子风险，如今能与大家一同见证国内首台自主知识产权的场发射透射电镜成果发布会，可谓振奋人心。饶子和院士的研究方向长期聚焦在生物领域。推动生物领域向前发展，一个很关键的方面，便是新技术、新方法、新仪器、新手段的不断革新。生物结构学的发展随着蛋白晶体学技术、同步辐射技术、核磁共振技术、冷冻电镜技术、人工智能技术的突破而不断升华，仪器设备技术的发展对推动生命科学的发展至关重要。上世纪五六十年代以来，生物物理所一直是我国在生物电镜方面的研究基地之一，饶子和院士在担任所长期间也十分重视电镜中心的建设。饶子和院士回顾了孙飞研究员加盟生物物理所的往事，以及孙飞研究员在科研工作中展现出的优越的数理基础和对方法技术出众的敏感优势。最后，饶子和院士对在徐涛院士领导下，孙飞研究员带领团队能够取得这样的突破性成果表示祝贺，并对参与TH F120研制的科学家和工程师队伍给予最热烈的掌声，期待生物岛实验室的透射电镜能取得更加辉煌的成就，也期待在不久的将来，科学家能够用上我们自己研究的100kV、200kV、300kV冷冻电镜，促进我国生命科学和生物医学不断发展。生物岛实验室研发成果汇报：120kV场发射透射电子显微镜研制汇报人：广州生物岛实验室 /中国科学院生物物理研究所研究员孙飞冷冻电镜技术为生物分子结构研究带来革命性进展，主流厂商为赛默飞和日本电子，垄断全球市场。作为另一种专业化电镜，体电子显微镜技术是解析细胞谱系的重要工具。而透射电镜是冷冻电镜和体电子显微镜技术的基础，其由电子的发射、加速、成像和探测等基本单元系统构成，对应主要核心部件包括电子枪、电子探测相机等。同时，100kV场发射冷冻透射电镜是透射电镜发展的新方向，并将成为主流，用于大多数生物大分子结构解析。孙飞研究员分享了生物岛实验室基于以上背景开展的系列研究成果。其一，是120kV场发射冷冻透射电镜核心部件的研制。依托广东省重点领域研发计划项目，先后完成120kV场发射电子枪研制、120kV低纹波高压电源研制、电子探测相机研制，完成所有项目验收考核指标，并利用研制的核心部件完成对商业电镜Talos L 120C的关键部件替换，达到预期效果。其二，是100kV高通量高分辨率场发射冷冻透射电镜的研制。依托广东省重点领域研发计划项目，针对我国生命医学领域研究对冷冻电镜高度依赖进口的现状，突破100kV场发射电子枪、超高稳定高压发生器、平行光照明、恒定功率物镜、低加速电压下高性能高灵敏度探测相机等关键技术，研制场发射冷冻电子透射显微镜智能控制系统和高通量自动化数据收集软件，开展基于自主研发技术的工程化和产业化。电镜主机硬件搭建完成，已经能够进行成像，自研和国产部件比例高于90%。其三，是细胞图谱超微结构高通量分析系统研制，研发针对细胞谱系研究需求的高通量、超分辨、双模态 (光学+电镜) 显微成像系统，实现在1个月左右对1mm3尺度的生物组织样品的细胞超微结构图谱高通量分析的能力。研发成果转化便是本次发布的120kV场发射透射电镜。未来，团队将进一步开展100kV高通量高分辨率场发射冷冻电镜以及120kV高通量场发射体透射电镜的研制工作。突破“卡脖子”技术，国产首台场发射透射电镜发布仪式合影环节二：慧炬科技120kV场发射透射电镜产品发布会慧炬科技总经理曹峰致辞曹峰介绍道，慧炬科技成立于2022年11月，是由生物岛实验室和国仪量子共同出资成立，专注于透射电镜以及相关关键技术的研发与制造。融合了生物岛实验室透射电镜技术和国仪量子在科学仪器产业化方面的强大能力，慧炬科技有信心成为透射电镜研发领域的领导企业，让中国科学家用上国产的、世界领先的透射电镜。关于“慧炬”的释义，曹峰讲到，这源于透射电镜中电子束的“汇聚”，取其音义，“慧炬”又蕴含了“智慧聚集”、期待成为透射电镜领域的“火炬手”、带领电镜技术继续向前的寓意。曹峰表示，本次发布的透射电镜新品，凝聚了慧炬科技团队几年来的心血与汗水，承载着慧炬科技的梦想和理想，也寄托了慧炬科技“承鸿鹄之志，造大国电镜”的决心，相信在团队的努力下，在生物岛实验室以及广东省科技厅等各级政府的支持下，慧炬科技一定能够将透射电镜进行产业化，为我国科学和产业界的高质量发展提供强大助力。广州开发区管委会二级巡视员、生物岛实验室主任助理杨寿桃致辞杨寿桃主任表示，生物岛实验室与国仪量子合作共同成立慧炬科技，实现了场发射透射电镜科研成果的转化，推出商业化产品。TH F120完成了从科学研究到技术开发，再到市场推广的三级跳，为我国高端科学仪器市场注入新活力，是实验室发展历史上一个重要里程碑。生物岛实验室2021年完成了创建国家实验室的战略目标任务后，迅速响应政府号召，转型为专注成果转化和产业孵化，截至目前，已经孵化了12家创新型企业，其中4家企业估值过亿元。未来，生物岛实验室将继续紧盯成果转化与产业孵化，围绕产业链布局创新链，以满足重大产业化需求为己任，充分发挥国家战略科技力量的引领作用，协同推出更多原创性的科技成果，打通从科技强到产业强，再到经济强、国家强的通道，为广东省在生物医药领域提升科技自立自强能力贡献力量。国仪量子董事长贺羽致辞贺羽讲到，慧炬科技今天的发布成果源于徐涛院士、孙飞研究员等科学家不懈的努力和探索，在此谨代表国仪量子对徐涛院士团队致以崇高的敬意，对慧炬科技团队取得的成果表示热烈祝贺。本次慧炬科技发布国产首台量产场发射透射电镜，对中国电子显微事业与高端科学仪器国产化的发展而言都具有重要意义，相信慧炬科技一定能在透射电镜领域取得更加辉煌的成就，和国仪量子一起彻底打破高端电镜卡脖子的局面，为国家科技自立自强作出更大贡献。成立7年来，国仪量子陆续研制并发布了多款人无我有，人有我优的高端科学仪器，已经交付至全球数千家客户，并且在德国、美国、新加坡等发达国家完成了海外交付。截至目前，实现了量子精密测量仪器全球市占率领先，顺磁共振谱仪国内市占率第一，电子显微镜年成交量近200台等突出成绩。国仪量子很荣幸能够与生物岛实验室合作成立慧炬科技，共同研制填补国内空白的透射电镜。未来国仪量子将继续发挥自身在工程化、市场开拓等方面的优势，全力支持慧炬科技的产品研发和产业化，共同为客户提供更高品质的产品和服务。中国科学院院士、清华大学/南方科技大学教授隋森芳致辞隋森芳院士表示，很荣幸与大家一起见证我国首台场发射透射电子显微镜研制成功。当前，我国冷冻电镜技术应用研究在国际上已经具有领先地位，孙飞研究员这种新技术新方法研究在国际上也可圈可点。然而，由于冷冻电镜硬件装备不能自主研制，我国在冷冻电镜技术方法领域的创新受到了很大限制。很高兴看到生物岛实验室联合生物物理研究所在冷冻电镜研制方面的持续发力，多年成绩显著，抓住冷冻电镜技术领域国际前沿，率先选择100kV场发射冷冻电镜这一新赛道发力。首先成功研制了120kV场发射透射电镜，成像分辨率可以达到两个埃，并通过慧炬科技完成了工程化和产品化。这一重要时刻，是令我国冷冻电镜领域乃至整个电镜领域相关科技工作者兴奋的时刻，可以预见，该电镜设备成功投入市场将极大地推动我国冷冻电镜应用研究进步。相信在不久的将来，生物岛实验室和慧炬科技能够进一步完成专业化的100kV高通量场发射冷冻电镜，为我国高端科学仪器的自主研制事业作出重要贡献。此外，隋森芳院士强调，希望慧炬科技能够坚持下去，不断优化仪器的性能和稳定性，不断面向用户，提升仪器的易用性，虚心接受用户的反馈，不断实现仪器的迭代，最终在市场上赢得广大用户的认可和尊重。最后，隋森芳院士祝愿科研人员再接再厉，取得更大的成绩，祝愿我国高端电子显微镜自主研发事业蓬勃发展。中国科学院物理研究所/松山湖材料实验室研究员、中国电子显微镜学会副理事长、粤港澳大湾区电镜联盟理事长马秀良致辞马秀良研究员代表粤港澳大湾区显微科学技术联盟向由徐涛院士、孙飞研究员领衔的国产首台场发射透射电镜成功研发表示热烈祝贺。国际上透射电镜的研制始于上世纪30年代初的德国。上世纪50年代到70年代，我国科学家、工程技术人员也曾为研发透射电镜付出了不懈的努力，并在当时的条件下取得一定进展，只是由于复杂历史原因没有得到传承和延续。到改革开放初期，我国高考恢复以及国际上材料科学的广泛兴起，激发了国内青年学子对掌握知识的广泛渴望，对探索未知的热情空前高涨。时至今日，历经几代人，这种高涨的热情还在持续。以1980年成立的中国电子显微学会为例，每年一届的全国电子显微学学术年会，参会规模从当时的几十人，到现在已经达到3000多人。电镜已经成为科学家探索微观世界的重要手段，是材料科学、生命科学、半导体等领域不可或缺的高端科学仪器。从数量讲，我国已经成为透射电镜的最大市场，但过去四十多年里，我们对透射电镜几乎完全依赖进口，所以本次透射电镜成功研制的重大意义不言而喻。马秀良研究员表示，相信在120kV场发射透射电镜成功研制的基础上，在材料科学领域常用的200kV、300kV场发射透射电镜的成功研制也指日可待，这也势必会带动我国高端制造业的发展。学术报告：生物医学电镜自主研制之路报告人：中国科学院生物物理研究所/广州生物岛实验室研究员、广州慧炬科技首席科学家孙飞研究员孙飞研究员为大家分享了120kV透射电镜成功研制背后的心路历程。2016年8月，以生物物理研究所为主办单位，召集了国内各方有志于国产电镜装备研制事业的专家学者、企业家、政府领导，在西安交通大学召开了针对我国开展电镜装备研制必要性和可行性的研讨会议。至此，新时代下，我国电镜自主研制再出发。先后完成电镜相关研发项目和成果，包括光电融合超分辨生物显微成像系统、生物大分子跨尺度结构研究前沿技术、生物超快冷冻电子显微镜、冷冻电镜样品制备技术、冷冻聚焦离子束减薄技术、冷冻电镜图像处理技术等。在这些研发项目历程中也逐渐组建起以孙飞、曹峰、季刚、金亮、卢志钢、姚一帆等为代表的体系化工程技术队伍。随后电镜关键技术从装备研发的30kV开始，成功研制了针对病理组织切片样品的高通量扫描透射电子显微镜SmartView。接着再到120kV透射电镜关键部件的突破，最终实现向整机研制的进发。最后结合数年转化历程，针对我国高端科学仪器自主研制的战略出路分享了自己的几点看法。整机揭幕：饶子和院士、 隋森芳院士揭幕，专家代表共同见证广州慧炬科技产品发布讲解讲解人：广州慧炬科技有限公司总经理曹峰【命名】：作为慧炬科技首款透射电镜产品，同时也是我国国首台正式发布的商业场发射透射电镜，TH-F120取名源自中华名山“太行”(TH) ，寓意TH-F120将如太行山一样成为中国透射电镜产业的脊梁。产品参数如下：【设计理念】：越级体验（将场发射电子枪、高自动化模组等越级配置集成至120kV平台，入门即高配）；高效操作（所有控制高度集成至PC端，全中文软件交互界面一目了然，提升操作效率）；模块设计（每一个模块自成一体，可以独立升级或替换，为用户打造与众不同的科研利器提供便利）；拓展丰富（预设充足的附件加装接口以及整机升级空间，满足用户使用新需求，有效应对多样的应用场）。现场展示产品：120kV场发射电子枪（左），120kV低纹波高压电源（右）【产品特点】：肖特基场发射电子枪；高像素CMOS相机；平行束/会聚束自适应切换照明系统；四轴高精度样品台；对称式极靴、恒功率物镜 (高衬度/高分辨模式可选)；全中文软件交互界面。高稳定低纹波高压电源（HJ-HT120，新品）：加速电压输出-10kV~-120kV；高压电源加速电压稳定性冷冻透射电镜系列: “珠穆朗玛”ZMLM-F300C“唐古拉”TGL-F200C，"玉龙”YL-F100C；热发射透射电镜系列: “秦岭”QL-T120，“丹霞”DX-LaB120。【慧炬科技透射电镜产品路线四年计划】：2024年（120kV 透射电镜、100kV 冷冻电镜）；2025年（200kV 透射电镜、200kV 冷冻电镜）；2026年（200kV 球差电镜、300kV 透射电镜）；2027年（300kV 球差、新型透射电镜）。实验室参观、TH F120真机演示合影留念

2020年02月14日，日本电子（JEOL Ltd.）总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布全新原子分辨率分析电子显微镜JEM-ARM300F2（GRAND ARM™ 2），该电子显微镜将于2020年2月发布。■ 主要特点1 超高空间分辨率与能谱分析的组合优化。新开发的FHP2物镜极靴的特点如下：1）提高了能谱分析效率到两倍以上。2）低光学系数，低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行。（保证的STEM分辨率：300kV时53pm，80kV时96pm）**在配置STEM扩展轨迹像差（ETA）校正器时2 用于物镜的超宽极靴（WGP）能谱分析灵敏度超高，原位扩展极强。1）WGP极靴的能谱固体角为2.2 sr。2）WGP极靴宽度可达6mm，更方便进行各种类型的原位实验。3 JEOL开发的12极子球差（Cs）校正器和自动校正软件。1）FHP2极靴，GRAND ARM™ 2在300 kV时的STEM分辨率达到53 pm。2）WGP极靴，GRAND ARM™ 2在300 kV时的STEM分辨率达到59 pm。3）JEOL COSMO™ （自动校正软件）使快速，轻松执行像差校正成为可能。4 新式冷场发射枪（Cold-FEG）。GRAND ARM™ 2配备了新式Cold-FEG，可从电子源提供较小的能量散布。稳定性更好。5 减轻外部干扰的外壳这种新外壳是减少外部干扰（例如气流，室内温度变化和噪音）的标准。■ 主要规格保证分辨率HAADF-STEM图像：53pm（带ETA校正器和FHP2）电子枪：冷场发射枪（Cold-FEG）加速电压标准：300kV和80kV能量色散X射线光谱仪大面积SDD（158mm 2）：可以使用双探测器创新点：1）更稳定的得到冷场发射电子枪； 2）更高级的自动球差校正软件 3）更高效的能谱分析功能 冷场发射12极子球差校正透射电镜

在德国莱比锡的Panometer馆，一场盛大的艺术展览正在举行，柏林艺术家Yadegar Asisi向参观者们展示了一幅巨大的360°全景艺术作品—“Carola’s Garden”，美丽的卡罗拉花园此时竟像是一个巨大的王国，将人们带入一个从未感受过的迷人世界。图：德国莱比锡Panometer馆特别的是，这并不是一幅简单的巨幅花园景色，而是把花园中稀疏平常的事物放大100倍并采用特殊的技术、图像捕捉工具及软件处理拼合。Asisi在“纳米摄影师”Stefan Diller和生物学家Mirko Wlfling的共同帮助下，花费两年多的时间才最终完成了该幅作品。最后，通过向Panometer圆形大厅的360°全景屏幕上投射作品映象，整个全景图像便像画卷般徐徐展开，向人们展示出肉眼观察不到的别样世界。图：Yadegar Asisi巨幅艺术作品“Carola’s Garden”在全景图中，这座花园拥有巨大的花朵、野生植物、昆虫和其他生物等。一只约25米高的蜜蜂正在为洋甘菊花授粉并采集花蜜，观众置身其中，仿佛走入了一个充满异国情调的天堂。图：游客参观被部分放大100倍的全景花园全景图像的制作采用了最先进的技术，如纳米摄影、微距摄影、扫描电子显微镜和聚焦堆叠等。在这幅作品中，由于图像打印尺寸（约32米高，28米宽）的限制，使用普通的光学和堆叠技术无法满足像素要求，因此只有利用场发射扫描电子显微镜才能完成这项工作。图：高像素大景深的蜜蜂和洋甘菊花的SEM图像Stefan Dill—科技摄影公司的CEO Stefan Dill使用TESCAN MIRA3 FEG-SEM拍摄出了其中超高像素的大景深蜜蜂和洋甘菊花的SEM图像，这两张图像分别由51和25个独立的8000 x 8000 px像素的图像扫描处理而成，为了保持整体的清晰度，图像景深达到了900微米。在这项工作中，数TB的图像数据和共计1100小时的图像扫描均使用TESCAN MIRA3场发射扫描电子显微镜完成。图：TESCAN MIRA FEG-SEM安装于Stefan Diller—科技摄影公司“洋甘菊花上的蜜蜂”可能是迄今为止在扫描电子显微镜上获得的最大印刷图像......这在技术上非常复杂，但Stefan Dill最终完成了这一巨作，使得“Carola’s Garden”在Panometer圆形大厅的墙壁上能够完美呈现，向人们提供一个感知已知和未知世界的新视角。

2016年新年伊始，日本电子株式会社（JEOL）即全球同步推出了新款场发射透射电镜JEM-F200。 为了全面整合近年发展起来的透射电镜上的各种功能，JEM-F200进行了全新设计，在保障各种功能达到极限的同时，追求操作的简单化和自动化，为用户提供透射电镜操作的全新体验。具体特点表现为： 1）精炼的全新设计：在提高机械和电气稳定性的同时，凭借对透射电镜的丰富经验，对电镜整体进行了精炼全新设计，力求为用户提供全新感受； 2) 四级聚光镜设计：为了最大程度发挥出STEM功能，JEM-F200进行了全新概念的四级聚光镜设计，亮度和汇聚角可以分别控制； 3）高端扫描系统：在照明系统扫描功能之上又增加了成像系统的扫描功能（选购件）可以获得大范围的EELS分析，可进行表面等离子共振（Surface Plasmon resonance)等近代物理研究； 4）皮米样品台控制：标配的压电陶瓷控制样品台，可以在原子尺度上获得精准的移动； 5）全自动装样测角台（SPECPORTER）：样品杆的插入拔出只需电钮即可全自动实现，彰显其便利性及安全性； 6）成熟的冷场发射技术：将JEOL应用在球差校正技术上的高端冷场发射技术移植到普通的场发射透射上，可获得更好的高分辨观察、更高效的成分分析和更好的化学结合状态分析； 7）双超级能谱设计：可安装双超级能谱，将普通电镜能谱的分析能力拓展到原子尺度； 8）节能减排：启用省电模式耗电量降低80%。

1月20日，由生物岛实验室领衔研制，拥有自主知识产权的首台国产场发射透射电子显微镜在广州发布。这标志着我国已掌握透射电镜用的场发射电子枪等核心技术，并具备量产透射电镜整机产品的能力，将为我国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。中国科学院院士、生物岛实验室主任徐涛联合中国科学院生物物理研究所研究员孙飞在2016年启动透射电镜有关研究，并于2020年在生物岛实验室组建起一支体系完整的透射电镜研制工程技术团队。团队成立三年多以来，相关研发工作接连取得重大突破。研发团队介绍，此次推出的首款场发射透射电镜新品TH-F120，取名源自中华名山“太行”，寓意它将如太行山一样成为中国透射电镜产业的脊梁。该场发射透射电镜利用被加速到120千电子伏特的高能电子与被观测样品中的原子发生相互作用，检测透射电子携带的样品信号转化为显微放大的图像，可以用来观察材料样品中的原子排列结构、细胞组织样品的精细超微结构、病毒和生物大分子复合体的精细结构，是科学家研究微观世界的重要仪器。研发团队表示，该电镜拥有自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化电子光学设计，可带来更佳的图像衬度和分辨率。生物岛实验室是广东省首批省实验室之一。自成立至今，生物岛实验室优化整合力量，加快成果转化、产业孵化和创新体系建设，不断培养高价值专利，与本地头部企业共建联合实验室、技术产业转化中心，累计孵化企业12家。发布会现场详细信息，请关注仪器信息网后续报道。

p 　　在常规光学显微系统当中，由于光学元件的衍射效应，平行入射的照明光经过显微物镜聚焦之后在样品上所成的光斑并不是一个理想的点，而是一个具有一定尺寸的衍射斑。在衍射斑范围内的样品均会发出荧光，导致这些样品的细节信息没有办法被分辨，从而限制了显微系统的分辨能力。随着扫描电镜、扫描隧道显微镜及原子力显微镜等技术的出现，实现纳米量级分辨率的观测已经成为可能，但是以上这些技术仍然存在对样品破坏性较大，只能观测样品表面等缺点，并不适合对于生物样品，特别是活体样品的观测。因此，研究人员们急需找到一种光学的超衍射极限显微方法。二十世纪九十年代以来，研究人员们陆续提出了多种超分辨显微技术来实现超越衍射极限的高分辨率。在这些方法之中，以德国科学家S.W.Hell在1994年提出的受激发射损耗显微术(Stimulated Emission Depletion Microscopy，STED)的发展最为成熟，应用也最为广泛。 /p p 　　受激发射损耗显微术(STED)是通过受激发射效应实现减小有效荧光发光的面积。一般STED显微系统中包含两束照明光，一束为激发光，一束为损耗光。当激发光的照射使得衍射斑范围内的荧光分子被激发，其中的电子跃迁到激发态后，损耗光使部分处于激发光斑外围的电子以受激发射的方式回到基态，而位于激发光斑中心的被激发电子则不受影响，继续以自发荧光的方式回到基态。由于在受激发射过程中所发出的荧光和自发荧光的波长及传播方向均不同，因此探测器观测到的光子均是由激发光斑中心的部分荧光样品通过自发荧光方式产生的。通过这种方式可以减小有效荧光的发光面积，提高系统的分辨率。 /p p 　　目前，受激发射损耗显微术的关键主要集中在损耗光斑的调制，激发光与损耗光激光类型和波长的选择等方面。 /p p 　　根据国家科技部消息，近日，在国家重点研发计划“数字诊疗装备研发”专项的支持下，由苏州国科医疗科技发展有限公司、吉林亚泰生物药业股份有限公司、中国科学院物理研究所等多家单位共同承担的数字诊疗重点研发专项项目--双光子-受激发射损耗(STED)复合显微镜获得重要进展：成功研制出国内外首台双光子-STED复合显微镜样机。项目组完成了显微镜系统中核心部件的自主研制，成功研制出了具有自主知识产权的大面阵CMOS相机和长工作距离大数值孔径物镜等核心部件，打破了国外相关产品对我国的垄断。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/003b5e67-5cf9-4afd-8932-d8a32c788f59.jpg" title=" 首台复合显微镜.png" alt=" 首台复合显微镜.png" / /p p style=" text-align: center " strong 国内外首台双光子-STED复合显微镜样机 /strong /p p 　　在当今生物学及基础医学的研究中，超分辨显微光学成像是取得原创性研究成果的重要手段。国外双光子-STED成像技术研究开展的相对较早，德国、加拿大、法国、意大利等多个国家的科研机构都已经成功搭建了双光子-STED成像实验系统 而我国相关研究起步较晚，目前双光子STED成像技术仍停留在实验室研究阶段，国际上尚未出现相应的产品。因此，双光子-受激发射损耗(STED)复合显微镜的成功研制对于满足我国生物医学等前沿基础研究的定制化需求、提升创新能力以及推动我国显微镜行业升级等具有重要意义。 /p

1月20日，由生物岛实验室领衔研制，拥有自主知识产权的首台国产商业场发射透射电子显微镜TH-F120“太行”在广州发布。这标志着我国已掌握透射电镜用的电子枪等核心技术，并具备量产透射电镜整机产品的能力。　　透射电镜技术跨越多个学科、工程技术复杂、攻关难度大。经过三年多努力，中国科学家们完成了我国首台100%自主知识产权的120千伏场发射透射电镜的整机研制，实现了0.2nm分辨率的成像能力，达到了产品化的水平。　　“这对于我国摆脱进口依赖、实现高水平科技自立自强具有重大意义。”中国科学院院士、生物岛实验室主任徐涛介绍，这将打破国内透射电镜100%依赖进口的局面，场发射透射电子显微镜将为我国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。　　以“太行”之名，挺起透射电镜产业的中华脊梁　　如果说光学显微镜揭开了细胞的秘密，那么透射电子显微镜则把纳米级的微观世界展示在人类眼前。1933年，世界上第一台透射电镜诞生，为科学研究提供更强有力的武器，也因此被誉为高端科学仪器皇冠上的“明珠”。　　透射电镜具有极高的行业垄断性与技术门槛。行业数据显示，此前，我国透射电镜100%依赖进口，国产化尚属空白。2022年，我国进口透射电镜约300台，进口总额超30亿元，预计2022年至2028年期间，年复合增长率超5.8%。　　生物岛实验室生物电子显微镜技术研发创新中心研究员孙飞早在2016年便带领团队联合中国科学院生物物理研究所启动了预研工作。　　“我们通过广泛交流，集合了有志于从事国产电镜自主研制的科学家和工程师，涵盖了电子光学、机械、自动化控制、软件等相关领域。”孙飞介绍，其中既有来自国内外学界的科研人才，也有在产业界深耕扫描电子显微镜多年的领军人物，“大家都抱有同样的愿景，就是造出我们国家自己的透射电镜。”　　2020年，这支来自全国各地甚至海外的队伍集结在广州的生物岛实验室组展开技术攻关。团队成立三年多以来，在国家自然科学基金委、科技部、广东省科技厅、广州市科技局的大力支持下，相关研发工作接连取得重大突破——先后成功研制120千伏场发射电子枪、120千伏低纹波高压电源、400万像素和1600万像素棱镜耦合CMOS电子探测相机、100万杂合像素直接电子探测相机等透射电镜核心关键部件。　　据悉，电子枪是透射电镜的“光源”，其作用是发射高能电子束照射到样品上，是透射电镜最为核心的部件之一。“将原有的30千伏场发射电子枪提升为120千伏，要解决电子源发射稳定性、高压真空打火等问题。经过不断的摸索，我们突破国外相关技术壁垒，去年成功实现120kV场发射电子枪的稳定量产。”孙飞说到。如今，生物岛实验室是我国唯一有能力量产该透射电镜核心部件的单位。　　孙飞直言，更大的困难在于如何将各个研制成功的部件组合起来实现联调，真正拿到高分辨率图像。“拿到分辨率优于0.2nm图像的那天，我们非常激动，我国终于突破这一关键技术。”　　为了进一步推动透射电镜的产业化，生物岛实验室与国内领先的科学仪器公司国仪量子联合成立了广州慧炬科技有限公司，致力于将透射电镜技术商业化应用。　　“我们成功走到今天，得益于生物岛实验室作为新型研发机构的特殊体制机制，保证了研发队伍的稳定。同体制内外并行发力，与产业界的紧密合作。同时，国家部委项目的支持，保证了项目研制的可持续性。”孙飞说。　　此次广州慧炬科技有限公司推出的首款透射电镜新品TH-F120，取名源自中华名山“太行”，寓意TH-F120将如太行山一样成为中国透射电镜产业的脊梁。　　向“珠穆朗玛”进发，将推出更高千伏电镜透视更厚材料　　广州慧炬科技有限公司总经理曹峰正在推进“太行”的商业化应用。他介绍，场发射透射电镜在高端科研、产业发展应用广泛、意义重大。在生命科学研究领域，它可以看到蛋白质的生物结构；用在集成电路领域，可以实现半导体的缺陷检测；用在新材料领域，可开展锂电池的研发等等。　　曹峰表示，“太行”是拥有原子级分辨率的显微放大设备，信息分辨率达0.2nm，可以呈现大多数晶体的排列结构。广州日报记者现场看到，“太行”能清晰呈现小鼠大脑中的髓鞘组织、小鼠肝脏细胞的里的线粒体。“它是多个技术的复合体。我们必须在每个环节都做到极致，才能保证设备整体达到超高分辨率。”曹峰说。　　尽管“太行”是该公司推出的“入门级”产品，现已具备多项先进性能——一是自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化电子光学设计，可为用户带来更佳的图像衬度和分辨率；二是自主研制的高稳定性低纹波高压电源，实现了高压自动控制，保证电子枪稳定发射；三是标配自主研制的高像素CMOS相机，在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节；四是以人机分离为设计理念，匹配高度自动化的控制系统，使图像采集工作更加舒适高效；五是预设充足的拓展接口和整机升级空间，满足用户需求迭代，有效延长整机使用年限。　　曹峰透露，团队明年计划研制出200千伏场发射透射电镜。“电压虽然看起来只是增加了80千伏，但研制难度却是指数级增加，设备的稳定性、防护性都需要进一步探索。”　　曹峰表示，电压越高意味着电子能量越高，就越能穿透更厚的样品。目前120千伏的电镜，可以穿透大约50纳米厚度的材料。但是对于常见的100纳米的材料，还需要200甚至300千伏的电镜。　　在未来数年，该公司计划推出场发射透射电镜系列EM -F200“峨眉”、KL -F300“昆仑”，冷冻透射电镜系列YL -F100C“玉龙”、TGL -F200C“唐古拉”、 ZMLM -F300C“珠穆朗玛”，热发射透射电镜系列QL -T120“秦岭”、DX -LaB120“丹霞”。“我们的透射电镜产品取名均源自中华名山，代表慧炬立足中国、放眼世界，助力科研工作者勇攀高峰、不断突破。”曹峰说。　　此次“太行”的发布，是生物岛实验室“二次创业”，向成果转化专业机构成功转型的缩影。作为广州市首批省实验室之一，生物岛实验室不断培养高价值专利，与本地头部企业共建联合实验室、技术产业转化中心，累计孵化企业12家，其中4家估值已经超亿元。通过技术作价、配比投入等方式撬动社会资本近1.5亿元，助力科研成果高效率转化，赋能产业科技创新，为广州高质量发展作出突出贡献。

近日，国科大杭州高等研究院预算220万元欲采购1套进口超高分辨率场发射扫描电子显微镜，用于样品表面微观形貌和结构表征的科研项目研究。该设备的采购已经由归口部门科研处组织5名熟悉该产品性能的专家（含1名法律专家），进行了超高分辨率场发射扫描电子显微镜的可行性论证及进口设备专家认证。详情如下：一、采购人名称：国科大杭州高等研究院二、进口产品公示编号：importedProduct2022101549659249三、采购项目名称：超高分辨率场发射扫描电子显微镜四、符合采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：序号品牌/厂家产地1日立日本2赛默飞美国3蔡司德国五、 专家论证意见：专家一：采购单位研究的超小磁性纳米生物材料及其复合材料样品在磁分离、磁靶向、纳米酶催化、体内磁热治疗、体内MRI造影等领域应用广泛。磁性样品显微形貌结构表征时，为了避免磁性样品吸附到仪器内，污染干扰仪器检测，安全起见通常需要在10 mm及以上的大工作距离下进行表征，因此，大工作距离下的分辨率指标很重要。另外，为了避免这类尺寸超小的复合生物材料样品受电子束辐照损伤，通常采用低电压和小束流的条件，并且在低电压下达到1.0 nm以下的高空间分辨率对样品微结构形貌分析很重要。进口产品在1kV的低加速电压下可达到≤0.8 nm的分辨率，在10 mm的工作距离、1kV低加速电压时，仍可保证达到1.0 nm的分辨率指标。国产设备在1kV的低加速电压下最高空间分辨率仅能达到1.5 nm，随着工作距离调整到10 mm及以上时，1kV低电压分辨率显著降低，不能满足超小的磁性纳米生物材料及其复合材料样品的研究分析需求。综上，根据采购单位样品分析需求，国产设备目前暂时无法满足使用，建议采购进口设备。专家二：采购单位涉及囊泡纳米颗粒、蛋白组装纳米颗粒等类型各异的生物样品。对于导电性差的生物类样品在高加速电压电子束作用下表面微结构形貌容易损伤，最好在低电压下表征，而为了高分辨表征样品细节，仪器需要保证在低电压时具有超高的分辨率性能。进口设备起步发展早，机型种类多，高端机型在1 kV低加速电压下可达到0.8 nm以下的分辨率。相比之下，国产设备发展晚、可供选择的机型少，在1 kV低加速电压下，高端的国产机型分辨率都在1.5 nm及以上，国产设备不能达到1.0 nm及以下的分辨率指标，会导致很多实验样品不能被表征分析，影响项目研究推进。因此，为了保障采购单位的项目申请和研究需求，建议采购进口设备。专家三：此次拟采购的超高分辨率场发射扫描电子显微镜需要用于聚合物纳米颗粒、蛋白纳米颗粒等纳米材料的微结构形貌和元素分布研究。高分子、蛋白类的纳米材料通常导电性不佳、容易受到电子辐照损伤，故对这类样品进行电子显微表征时，需要考虑仪器低电压下的空间分辨率和元素测试的速度。低电压分辨率方面，目前进口的高端设备低电压1kV的分辨率可达到1.0 nm或更优，在配备电子速减速技术时分辨率可达到0.8 nm或更优。目前国产最高端设备，在低电压1kV、减速条件下最优达到1.5 nm分辨率，无法满足1.5 nm以下的成像分辨率，使用受限。元素分析方面，进口设备可选配一体化的硅漂移探测器，因其底层与扫描电子束信号共用同一个图形发生器，可以在进行形貌扫描的同时实时得到元素分布的结果，达到同样元素分析效果的前提下速度比使用第三方探测器快一倍以上，减少了所需要的电子辐照样品时间。目前国内暂时没有生产硅漂移探测器的厂家，国产设备只能选配进口的、第三方的产品，需要额外的图形处理器和软件，速度较慢，电子辐照时间变长，增加了辐照损伤样品的风险。综上，建议采购进口设备以满足单位的科研工作需要。专家四：拟采购的超高分辨率场发射扫描电子显微镜利用高能电子束和不同的探测器，可从毫米尺度到纳米尺度连续地对样品进行形貌、结构、元素、电位分析，是材料微观分析领域不可替代的设备之一。对于采购单位研究的小尺寸聚合物纳米点、量子点等纳米材料，表征时镀膜处理会带来假象，采用低加速电压探测是最常用和有效的表征方法。1kV的低加速电压下进口高端产品的分辨率可以做到≤0.8nm，而国产的高端产品低电压1kV的分辨率≥1.5nm。成像能力和分辨率指标的倒数成正相关，意味着国产产品在低电压成像分辨能力比进口高端产品有大于50%的差距。因此，在低电压成像分辨能力方面，国产产品确实不能很好地满足上述尺寸小的样品表征需求。在功能探测器方面，进口产品具备独立的形貌、元素、电位衬度探测器；具备一体化硅漂移探测器，能量分辨率129 eV或更优；具备一体化软件，可以实时得到形貌信息、结构信息、电位信息、元素信息的原位微观表征结果。国产产品具备形貌、元素衬度探测器，并无独立的电位衬度探测器；无国内厂家可生产硅漂移探测器，只能选配第三方的产品，软件功能无法集成一体，也会带来售后问题。综上，建议采购进口设备。专家五：（一）国科大杭州高等研究院企业信息拟采购的进口产品符合《政府采购的进口产品管理办法》（财库[2007]119号第三条）以及《关于政府采购进口产品管理有关问题的通知》（财办库[2008]248号）的认定情形。（二）该商品未列入商务部《限制进口机电产品目录》和《中国禁止进口限制进口技术目录》；（三）通过市场调查，国产设备目前在导电性差/尺寸小的生物样品形貌空间分辨力等性能指标达不到要求，不满足采购单位科研需要。该设备属于国家非限制进口仪器设备，符合国家相关进口产品的法律规定，建议该项目采购进口设备。