离子探针中心

岛津原位探针离子化质谱仪DPiMS-2020 是基于岛津单四极质谱分析仪LCMS-2020同时配备探针电喷雾离子源为一体的新型质谱分析仪。该仪器通过精密的探针取样式设计在无需样品制备的情况下实现快速便捷的样品分析。技术基于探针电喷雾离子化技术及原理（PESI）适用于化工领域，食品和生物制品领域中样品无样品制备条件下的快速质谱分析。 该仪器具有多项应用优势：1) 样品直接质谱分析，简化样品制备过程；2)容易氧化或讲解的化合物快速分析，分时段实时样品成分含量监测；3) 微量样品离子化能力，有效避免高浓度样品对质谱的污染。

三重四极杆质谱仪可以用于不同领域，对于复杂基质中痕量分析物进行限定性确证和可重复性定量，如临床研究，法医毒理学，药代动力学，环境分析及食品和饮品检测等广泛领域。岛津LC-MS/MS结合了世界先进的岛津UHPLC系统的色谱分离能力，并应用岛津独有的超快速技术（UFMS技术），其中包括超快速MRM测定，MS/MS采集和超高速正负极切换，使LC-MS/MS能以超快速的性能获得大幅度的分析通量提高。在此基础上，岛津推出原位探针电喷雾离子源——PESI（Probe Electro Spray Ionization）1，可用于岛津LC-MS/MS，无需样品前处理即可实现简便、快捷的质谱分析。 PESI技术特点：1、高性能的样品原位质谱分析。2、无需直接加热，适用于热不稳定化合物分析。3、有效避免复杂基质对质谱仪的污染。 Fig. 1. PESI-MS操作流程 适用于各类样本的测定，如：1、体液，如血和尿液。2、组织切片，例如来自实验动物或食品的切片。3、植物样本，如蔬菜和水果。 应用案例：小鼠肝脏26种代谢产物（氨基酸/有机酸/糖）代谢组学分析2。在该例实验中，代谢产物（26种组分）如氨基酸，有机酸和糖的离子对参数用于小鼠肝脏的代谢组学分析。使用PESI-MS系统测定由四氯化碳诱导急性肝损伤模型组和对照组小鼠组织中的主要成分。基于牛磺酸对PCA载荷图中群组分离的显著贡献，在模型组和对照组之间观察到显著差异（Welch' t检验结果p0.001）。该差异在箱线图中得到了验证。通过本次研究发现，由CCl4诱导急性肝损伤，牛磺酸是模型组和对照组主要差异物质。 参考文献：1，Kenzo Hiraoka，Rapid Commun. Mass Spectrom. 2007 21: 3139–31442，Kei Zaitsu，Anal. Chem. 2016, 88, 3556?3561

CYBT-6 CYBT-67中心温度计用于测量空气、液体、果实内部、食品内部温度。是一款便携式 手持式 探针式温度计。核心采用16位单片机，配合进口PT1000温度传感器，达到了很高的测量精度。2、采用不锈钢探针式封装，经过特殊工艺处理，反应速度快，便于使用。3、整机采用防水设计，适合潮湿环境使用。4、由于采用单片机，用户有特殊要求，可以定制。创佳 CYBT-6便携式温度计空气环境液体果实食品内部温度技术参数：　　测温范围：-60℃ -- ＋200℃（可扩展至：-100℃ -- ＋300℃）　　分辩率：0.1℃ 精确度：±0.1℃　　电源：DC3V 1个钮扣电池整机尺寸：150mm（长）探杆长度：100mm（长）LCD显示尺寸：25mm（长）×10mm（宽）

TeraSpike THz近场探针 微区探针(TeraSpike microprobe series)品牌：Protemics型号：TeraSpike TD-800-XTeraSpike是新一代的微探针，用于太赫兹频率范围内电场的光电导检测。基于客户的反馈和不断增长的应用驱动的需求，我们对近场探针进行了彻底的重新设计并且开发成功。新的探针是一款多用途表面近场电场探测器，适用于太赫兹波长范围内，具有前所未有的性能，可靠并且可适应。它可以完美地集成到太赫兹时域系统，在860 nm以下光激发，这是最高性价比的解决方案，将您的系统变成功能强大的高分辨率近场太赫兹系统。 。产品特点：市场上最小的THz探针专利设计空间分辨率可达3um探测频率范围：0-4THz适用于所有基于激光的THz系统安装可兼容标准的光机械组建典型激发光强度1-15mW（1-5uJ/cm2）集成过载保护电路应用：太赫兹研究：超材料，等离子体，石墨烯，波导高分辨率太赫兹近场成像 非接触式薄膜电阻半导体成像MMIC器件特性分析 无损检测芯片时域反射计（TDR）测量脉冲激发的THz超物质表面的近场图像测量激光刻蚀多晶硅晶圆的薄层导电率图像 基于飞秒激光的THz系统 THz探针典型参数TeraSpike TD-800-X-HR HRS Max. spatial resolution3 μm20 μmPC gap size1.5 μm2 μmDark current @ 1 V Bias 0.5 nA 0.5 nAPhotocurrent (*) 1 μA 0.6 μAExcitation wavelength700 .. 860 nmAvg. excitation power0.1 .. 4 mWConnection typeSMP元素路径: body p img当前已输入818个字符, 您还可以输入9182个字符。

TeraSpike THz近场探针 微区探针(TeraSpike microprobe series)品牌：Protemics型号：TeraSpike TD-800-Z (纵向场微探针)TeraSpike是新一代的微探针，用于太赫兹频率范围内电场的光电导检测。基于客户的反馈和不断增长的应用驱动的需求，我们对近场探针进行了彻底的重新设计并且开发成功。新的探针是一款多用途表面近场电场探测器，适用于太赫兹波长范围内，具有前所未有的性能，可靠并且可适应。它可以完美地集成到太赫兹时域系统，在860 nm以下光激发，这是最高性价比的解决方案，将您的系统变成功能强大的高分辨率近场太赫兹系统。 。产品特点：市场上最小的THz探针专利设计空间分辨率可达3um探测频率范围：0-4THz适用于所有基于激光的THz系统安装可兼容标准的光机械组建典型激发光强度1-15mW（1-5uJ/cm2）集成过载保护电路应用：l 太赫兹研究：超材料，等离子体，石墨烯，波导l 高分辨率太赫兹近场成像 l 非接触式薄膜电阻半导体成像l MMIC器件特性分析 l 无损检测芯片l 时域反射计（TDR）测量脉冲激发的THz超物质表面的近场图像测量激光刻蚀多晶硅晶圆的薄层导电率图像 基于飞秒激光的THz系统 THz探针典型参数?TeraSpike TD-800-Z- A-500G Max. spatial resolution 8 μm PC gap size 5 μm Dark current @ 1 V Bias 0.4 nA Photocurrent (*) 0.5 μA Excitation wavelength 700 .. 860 nm Avg. excitation power 0.1 .. 4 mW Connection type SMP

1． 系统介绍MMLAB-prob-2型探针系统是MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的双探针型号。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计，具有硬件结构简单、可靠性强、抗扰动能力强等优点。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的软件界面友好，操作简便，实现诊断与数据处理全过程自动化。2． 系统硬件构成MMLAB-prob-2型探针系统硬件由探针、驱动采集单元和计算机构成（图1）。其中，驱动采集单元一端通过USB接口与计算机连接，另一端有电缆与探针连接，其作用一是按照计算机的指令生成扫描信号，放大后为探针提供偏置，二是采集探针的电压电流值并输入计算机。

仪器简介：EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。 技术参数：应用： 静态 /动态SIMS 一般目的的表面分析 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS 兼容的离子枪/ FAB 枪 成分/污染物分析 深度分析 泄漏检测 与Hiden SIMS 工作站兼容主要特点： 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围 SIMS 成像，分辨率在微米以下 光栅控制，增强深度分析能力 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器 Penning规和互锁装置可提供过压保护 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

岛津原位探针离子化质谱仪DPiMS-2020 是基于岛津单四极质谱分析仪LCMS-2020同时配备探针电喷雾离子源为一体的新型质谱分析仪。该仪器通过精密的探针取样式设计在无需样品制备的情况下实现快速便捷的样品分析。技术基于探针电喷雾离子化技术及原理（PESI）适用于化工领域，食品和生物制品领域中样品无样品制备条件下的快速质谱分析。 该仪器具有多项应用优势：1) 样品直接质谱分析，简化样品制备过程；2)容易氧化或讲解的化合物快速分析，分时段实时样品成分含量监测；3) 微量样品离子化能力，有效避免高浓度样品对质谱的污染。岛津DPiMS-2020原位探针离子化质谱仪信息由岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司为您提供，如您想了解更多关于岛津DPiMS-2020原位探针离子化质谱仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

高温四探针电阻率测试仪一.概述：采用四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合配置高温四探针测试探针治具与PC软件对数据的处理和测量控制，解决半导体材料的电导率对温度变化测量要求，软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.二.适用行业：:用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计参照单晶硅物理测试方法并参考美国 A.S.T.M 标准。三.型号及参数：规格型号FT-351AFT-351BFT-351C1.方块电阻范围 10-5～2×105Ω/□10-6～2×105Ω/□10-4～1×107Ω/□2.电阻率范围10-6～2×106Ω-cm10-7～2×106Ω-cm10-5～2×108Ω-cm3.测试电流范围0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA10mA ---200pA4.电流精度±0.1%读数±0.1读数±2%5.电阻精度≤0.3%≤0.3%≤10%PC软件界面显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式双电测量8.四探针仪工作电源AC 220V±10%.50Hz 30W 9.误差≤3%（标准样片结果≤15%温度(选购) 常温 --400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃气氛保护（气体客户自备）常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子温度精度冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C升温速度：常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟高温材料采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征PC软件 测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！ 电极材料 钨电极或钼电极 探针间距 直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径标配外（选购）： 电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个 高温电源： 供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V 1400℃-1600℃电源380V；功率9KW： 配套方案：解决各材料状态 --固态、液态、气态、颗粒状 电阻、电阻率、电导率测量

详细信息：仪器简介：来自奥林巴斯的3D测量激光显微镜LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜（LSM）以及探针扫描显微镜（SPM）功能一体机，可以满足不同样品的观测需求。LEXT OLS4500可以轻松实现毫米到纳米的观察和测量，放大倍率由几十倍到高达百万倍。找到观测目标后，可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换而不用担心目标消失。可以使用探针显微镜快速而正确的完成观察。 特征及优势： 结合光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜为一体，拥有各自的特长，三种模式可自由转换，无需重新放置样品。探针显微镜拥有多种观察模式（基本模式：接触模式、动态模式、相位模式；选项模式：电流模式、表面电位模式、磁力模式）可以观察、测量样品表面的形状，还可以进行物性分析。涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜，并在电动物镜转换器上装配了SPM单元，可以无缝切换倍率和观察方法，而且能进行纳米级观测。采用装在电动物镜转换器上的物镜型SPM侧头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端，所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。被精确调整过的电动物镜转换器、SPM侧头、微悬臂支架，只需把已调好的微悬臂位置的支架插入SPM侧头中，即可完成微悬臂的更换，提高了观察和测量的效率。具有向导功能，操作简单，可迅速获得测量结果。应用实例：1、高分子薄膜 2.铝合金阳极氧化膜 3、DVD表面 4、维式硬度计压痕 5、TiO2单结晶电路板 6、IC元件圆孔彩色印刷 a1、光学显微镜 a2、SPM a3、SPM形态分析乳酸菌 b1、LSM b2、SPM b3、SPM截面形状分析墨粉粒子 c1、LSM c2、SPM c3、SPM截面形状分析

Flowprobe 是一种实时的原位动态微萃取技术，是美国橡树岭国家实验室的 Gary Van Berkel 博士发明了静态液滴萃取表面分析 （LESA）之后的又一创新发明。该技术基于液相微临界表面取样探针 (LMJ-SSP) 原理，其萃取效率在商品化的原位电离技术中首屈一指，适用于细胞、组织、聚合物等平面类样品的药物分布研究、癌症分析、微生物聚类分析等方面，并与主流质谱兼容（如 Thermo、Bruker 和 SCIEX 等 ）。How it works?1）通过连续流动的溶剂将材料表面溶解2）通过电喷雾（ESI）电离离子化分析物flowprobeTM 是 DESI 2D 系统的升级版，为实时动态微萃取探针技术，基于液相微临界表面取样探针 (LMJ-SSP) 原理，通过外套管连续输送溶剂至细胞、组织、或材料表面，高效微萃取代谢物、脂质、肽等标记物、或活性及毒性成分，再以内套管连续将萃取液泵流至电喷雾喷口进行 ESI 离子化。探针的萃取部位可借助摄像头实时调控，以动态获取表面、组织、或细胞内物质的分子信息。该技术适用于药物分布研究、癌症筛查和微生物聚类分析。可在中等空间分辨率（~630μm）条件下快速勾画分子轮廓，又可利用 DESI 2D 在高空间分辨率（~50μm）条件下实现精准医学研究和细胞内连续采样分析。flowprobe 是一种直接进样方法，通过实时，连续流体原位微萃取，可以提升现场采样和扫描的效率。这种创新技术还采用了高精度探头以及光学图像引导表面运动控制。加速药物分布研究和快速组织分析可在较低分辨率下进行快速的轮廓分析精准医学，细胞内连续采样DESI 2D 系统通过改造设计即可体验 flowprobe 的优势应用领域flowprobe是一种可进行连续、实时微萃取的突破性快速进样技术，结合了连续流体微萃取和电喷雾电离的诸多优点，可实现高效的单点采样和连续扫描。这种创新的质谱技术还采用了高精度喷雾头和图像引导的运动控制，使研究工作更加快速高效。其主要应用包括：高通量无损组织病理学分析、法医毒理学分析、过程分析、细菌代谢、微生物鉴定与表征、干血斑分析、时间分辨药物定量等等。flowprobe 生产商为美国 Prosolia 公司。大中华区为华质泰科生物技术（北京）有限公司。

CM300xi 探针台可应对极其复杂的环境带来的测量挑战，例如在长时间和多种温度下在小焊盘上进行无人值守的测试。在 EMI 屏蔽、光密和无湿气的测试环境中，为各种应用实现了一流的测量性能。热管理增强功能和实验室自动化功能可提高产量并缩短数据获取时间。对于低温测试，FormFactor的开放式IceShield&trade 环境也可用于CM300xi。CM300xi 支持接触式智能&trade - 一种可实现自主半导体测试的独特技术。创新的系统设计与最先进的图像处理技术强强结合，提供了一个独立于操作员的解决方案，可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。CM300xi探针台与物料处理单元相结合，将全自动晶圆测试与最高的精度和灵活性相结合。该系统可以处理多达 50 个 200 或 300 毫米的晶圆，这些晶圆以 SEMI 标准晶圆盒的形式提供。可选的 ReAlign&trade 功能提供了独立于主 eVue 显微镜执行“离轴”探头到焊盘对准的功能。ReAlign 是不允许从上方观察焊盘和探针尖端的探针卡的理想工具。例如，垂直和金字塔探针卡就是这种情况。ReAlign 硬件包括 2 个额外的摄像头：向下的“压板摄像头”直接集成到 CM300xi 的压板中，用于观察垫 向上看的“ChuckView Camera”用于表征探针尖端。重新对齐向导允许使用预定义的算法轻松快速地设置不同的探针卡，如金字塔、阿波罗、悬臂等。ReAlign 可以自动管理温度变化，无需操作员干预。

MPI TS2000是全球范围内公认的 探针系统的自然演变，其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对M MEMS，高功率，RF和mmW 器件测试的特殊要求。TS2000可用于环境和/或仅高温操作模式，速度极快,高可达10 Dies / second（取决于终配置），这使其成为分立RF器件进行生产前电气测试的理想选择。 特点:大探针台TS2000系列提供了易于使用的大型探针台板，以容纳多达12个DC或4个RF MicroPositioner。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners,使得TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择。简易晶圆装载 宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200毫米的晶片，晶片碎片，甚至小至5×5毫米的IC。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要，可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows基于仪器。晶圆和辅助夹具的真空控制面板位于右前侧，以便在装卸过程中轻松检修。热卡盘集成可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热吸盘（从20°C或从环境温度到高300°C），该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。探针卡和微型定位器–同时许多单探针，用于4.5英寸x 11英寸探针卡的薄型探针卡座以及较低的板到卡盘距离非常适合与主动探针同时进行探测，使该系统成为设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择 。整合式DarkBoxTS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000！该系统专为各种测量仪器的佳占位面积，嵌入式互锁，LED照明和标准化接口面板而设计，是受光和激光安全保护的测试环境的。易于从背面板上进行访问，从而使重新配置或初始设置变得非常快捷和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。隔振TS2000结合了两种类型的隔振解决方案，可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作SENTIO控制软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成 –为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数：结合了精确的探测台、完全集成的控制软件和微调的电动定位系统高度可配置的晶圆探针台系列可处理 2“ ~ 8” 晶圆，并提供全面的卡盘系统和探针机构选择。高精度电气和光学测量（DC/RF/脉冲）。可选的接触机构选项包括：探针卡座 （PCH）、楔形探针卡和 MPI F1 单探针模块。灵活选择精密光收集和耦合光学元件，以满足您的特定测试要求。MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。VEGA 顶部探针 （TP） 系列主要特点端温度测试能力（-40° 至 +200°C）。高性能装载机系统可轻松处理各种设备类型，如薄/翘曲晶圆、普通晶圆、衬底、封装或其他设备。多种光学/检测器选择，可满足您测试 LIV、近场和远场光学特性的确切需求。可选的接触机构选项包括：探针卡座 （PCH）、楔形探针卡和 MPI F1 单探针模块，可实现高精度测量。MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数：由于结合了精确的探测台、完全集成的控制软件和微调的电动定位系统，实现了出色的对准精度。对具有非常小焊盘尺寸和低至微米级间距的 Micro LED 具有高精度探测能力。 - 精密的针力控制 - 精确的热控制 - 适用于不同测试环境的抗振解决方案 - 探头接触补偿集成探针卡或微定位器，用于可靠的 Micro LED 背板测量。 - 能够轻松 测试具有复杂焊盘布局的光学设备 - 灵活的探头序列管理MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。灵活性：由于支持多种测试配方，用户可以根据正在执行的产品和测试灵活选择或修改工作流程或编辑参数。 生产管理：通过直观易用的软件界面管理实验室/生产数据。集成的实时系统监控和报告功能可实现顺畅且完全无人值守的测试过程。 无缝集成：借助 MPI 广泛的仪器库，MPI 测试系统可以轻松与主流第三方测量仪器对接，满足您独特的测试需求。

硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10A-5000n.该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量，但其测量准确度尚未评估。使用直排四探针测量装置、使直流电流通过试样上两外探件，测量两内操针之间的电位差，引人与试样几何形软有关的修正因子，计算出薄层电阻。覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.导体材料电阻率测试仪GB/T 11073硅片径向电阻率变化的测量方法提要探针与试样压力分为小于0.3N及0.3 N¯ 0.8N两种。以下文件中的条款通过本标准的引用商成为本标准的条款。但凡注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括订正的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的新版本。但凡不注日期的引用文件，其新版本适用于本标准。GB/T 1552硅、储单晶电阻率测定直排四探针法样品台和操针架样品台和探针架应符合GB/T152 中的规定。样品台上应具有旋转360"的装置。其误差不大于士5"，测量装置测量装置的典型电路叉图1，范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。

导体材料电阻率测试仪GB/T 11073硅片径向电阻率变化的测量方法提要探针与试样压力分为小于0.3N及0.3 N¯ 0.8N两种。以下文件中的条款通过本标准的引用商成为本标准的条款。但凡注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括订正的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的新版本。但凡不注日期的引用文件，其新版本适用于本标准。GB/T 1552硅、储单晶电阻率测定直排四探针法样品台和操针架样品台和探针架应符合GB/T152 中的规定。样品台上应具有旋转360"的装置。其误差不大于士5"，测量装置测量装置的典型电路叉图1，范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10A-5000n.该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量，但其测量准确度尚未评估。使用直排四探针测量装置、使直流电流通过试样上两外探件，测量两内操针之间的电位差，引人与试样几何形软有关的修正因子，计算出薄层电阻。覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 扫描开尔文探针系统 (SKP)：SKP5050系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 表面势和样品形貌3维地图；□ 探针扫描或样品扫描选配；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器； 仪器特色：□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比；□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation modeSM实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signalUC用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parametersDC电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effectsPP平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation ModeSA信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection)WA功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reportingDC所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection ParametersQT针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolutionDE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party softwareOC输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuitFC法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield)RS金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample额外选配项SPV表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware PackageRH相对湿度腔 Relative Humidity ChamberAC控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas InletEDS外部数据示波镜 External Digital OscilloscopeOPT彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical MountsST针尖置换 Replacement TipsGCT镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement TipsXYZ25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage应用领域：吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学； 参考用户：吉林大学、哈工大、大连理工大学、湖南大学、浙江大学、复旦大学、华中科技大学、华南理工大学、合肥工大、中科院纳米中心、中科院理化所、中科院高能所等...

探针台综合测试系统特点：最大可支持32寸样品的测试；专为各种直流/高压测试设计；操作方便快捷；模块化设计，方便后续升级；可接受定制；可兼容多种不同类型显微镜；探针台综合测试系统产品规格样品台尺寸8inch/ 12inch/32inch等水平旋转360度样品固定真空吸附，中心吸附，多圈吸附等显微镜类型单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜选配件隔振台（光学平台），屏蔽箱，探针座、探针夹具，真空泵等

HP-DL627牙周探针刚度测试仪牙周探针刚度测试仪简介：牙周探针刚度测试仪也叫牙周探针抗静态负荷测试仪，牙周探针刚度试验仪、牙周探针刚度测定仪，牙周探针刚度试验机，牙周探针刚度仪，适用于各种形状牙周探针的刚度、抗静态负荷测试。牙周探针刚度测试仪满足标准：YY/T1622.1-2018牙周探针通用要求6.4规定牙周探针刚度测试仪试验原理：沿着平行于柄中心线方向 ，在牙周探针工作端施加向下50g负荷，持续60S，不变化为合格。牙周探针刚度测试仪技术特点：1、触摸屏显示器实时显示力值，变形，自动保存当次试验最大值；显示界面可实时显示试验曲线；试验实时速度、变形等参数。2、采用高精度、全数字调速系统及精密减速机，驱动精密丝杠副进行试验，实现试验速度的大范围调节，运行平稳。3、 采用高精度传感器，专业测控软件，测试精度高，可测试范围广，操作简单。4、试验速度、返程速度、均可单独设置；试验结束，自动回位初始位置。5、标配微型打印机，可随时打印结果，可以统计多次试验结果，最大值，最小值，平均值。牙周探针刚度测试仪技术参数：1.量程范围：标配20N （单臂100 N 200N 1000N 2000N 5000牛可选）2.分辨率：0.01N3.准确度±0.1N 4.测试方式：保持测试5. 速度：1-500mm/min 可任意设定6. 误差：±0.1 mm/S7. 主 机 尺 寸： 540*280*1250mm8. 电源：AC 220V±22V, 50Hz 9、重 量： 约55Kg10、保持时间：0-99小时，任意设置试验触屏控制界面及实验报告

HP-DL626牙周探针拉伸测试仪牙周探针拉伸测试仪简介：牙周探针拉伸测试仪也叫牙周探针拉伸试验仪、牙周探针拉伸测定仪，牙周探针保持力试验仪，适用于各种形状探针的强度测试。牙周探针拉伸测试仪满足标准：YY/T1622.1-2018牙周探针通用要求6.3.1项目牙周探针拉伸测试仪试验原理：沿着平行于柄中心线方向 ，在工作端与柄之间的连接部施加50牛拉力，保持至少5S，不变化为合格。牙周探针拉伸测试仪技术特点：1、触摸屏显示器实时显示力值，变形，自动保存当次试验最大值；显示界面可实时显示试验曲线；试验实时速度、变形等参数。2、采用高精度、全数字调速系统及精密减速机，驱动精密丝杠副进行试验，实现试验速度的大范围调节，运行平稳。3、 采用高精度传感器，专业测控软件，测试精度高，可测试范围广，操作简单。4、试验速度、返程速度、均可单独设置；试验结束，自动回位初始位置。5、标配微型打印机，可随时打印结果，可以统计多次试验结果，最大值，最小值，平均值。牙周探针拉伸测试仪技术参数：1.量程范围：100N （单臂100 N 200N 1000N 2000N 5000牛）2.分辨率：0.01N3.准确度±0.1N 4.测试方式：保持测试5. 速度：1-500mm/min 可任意设定6. 误差：±0.1 mm/S7. 主 机 尺 寸： 540*280*1250mm8. 电源：AC 220V±22V, 50Hz 9、重 量： 约55Kg10、保持时间：0-99小时，任意设置试验触屏控制界面及实验报告

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 单点开尔文探针系统 (ASKP) KP020系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在KP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比； □ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；目前通过我司购买的的开尔文探针测试系统，目前在南昌航空大学工作正常，运行稳定。。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

Nanonics多探针平台在纳米材料表征和加工应用中的独特性石墨烯的发现开启了新一代材料的进化史.这引领了低维度纳米材料和混合材料的多样发展.这些材料的发现也导致了对研究平台的反思,新的平台必须适应这些下一代基础材料的纳米表征和加工,以及相应的应用和新器件开发. 对于这种平台的一个基本的要求就是具有能将纳米成像和纳米操作以及其他探测台整合的能力.在Nanonics Imaging Ltd公司进行这一开拓之前,这种联用通常需要在线的扫描电镜（SEM）来有效的指导纳米操作探针进行纳米材料的研究。FEI Inc公司提供的SEM集成纳米操作台正是实例。但是，即使有SEM的指导的纳米操作台也会对这种纳米材料造成物理损伤或者引入有害的电荷。用户真正需要的是能够在原子级别来反映样品结构和性能的平台，这涵盖了高灵敏度的电学，热学，光学甚至化学的纳米表征。这正是Nanonics Imaging Ltd. MultiProbeMultiView 4000 (MV 4000)平台的独特之处。 这个多探针平台可以充分的集成所有扫描探针显微镜的功能，包括结构和性能的纳米成像。 同时保证纳米探针的超精细分辨率，又不会引入电子束伤害。并可以有效地使用常规的纳米探针用于纳米操作应用。因此，Nanonics多探针平台将多探针AFM探针同时用于结构和性能应用测试，并将先进的纳米操作台开放的联用起来。这项技术将扫描探针显微镜和探针塔的所有优势结合了起来。 为了提供这样的系统，Nanonics不仅在仪器设计方面取得了突破，而且还开拓了NanoToolKitTM专利探针的设计用于超精细的结构和性能成像。这些探针实现了一个探针能够真正的碰触另外一个探针。 这甚至可以允许一个AFM探针对另外一个AFM探针或者纳米操作探针进行成像。纳米操作探针和AFM探针的区别是不具有反馈和成像功能。 为了开启这一新领域，Nanonics在建立之后的20年中一直致力于研究现有单探针或多探针AFM设备中灵敏的AFM反馈机制。这种方法采用了音叉反馈。这种反馈机制非常的灵敏，甚至允许用户用于研究单个光子的作用力。 除了使用这种特有的成像模式，Nanonics平台也可以使用常规的AFM激光反馈模式和AFM硅悬臂达到出色的AFM扫描效果。这种悬臂探针需要反射的激光用于反馈调节。另外，这些探针无法相互之间接触因此无法进行多探针应用，这是他的固有限度。并且由于这种反馈机制明显很低的力灵敏度，纳米材料和元器件的研究并不想采用。 一个主要的局限是这种基于激光束的反馈会在材料上引入电荷，在基本表征测试中引入背景噪音。这些电荷会掩盖这些材料与众不同的物理现象。因此，能够在没有干扰的情况下测试电学，热学和光学特性是对于理解材料基本物理和器件功能必不可少的要求。除却多探针的优势以外，不束缚于外部激光反馈干扰的测试这些功能特性与传统的AFM技术相比具有更大的优势。 无光学干扰的优势对于多探针AFM集成的功能测试也尤其重要，如此探针才能真正物理意义上的接触彼此。这才能实现在两个探针纳米量级的距离变化情况下进行传导机制的测试。 因此，Nanonics多探针集成SPM平台实现了多种独特的测试功能。这是首个被引入国家科学基金会支持的报告的系统。Nanonics平台还在多个方面继续创新。首先，在这些研究中真空环境搭配加热/制冷的环境控制具有重要意义。Nanonics平台可将环境控制与扫描探针显微镜领域的成像功能结合。在我们的研究中需要将温度升至最高350摄氏度，这通过Nanonics平台是可以实现的。这一需求还需要搭配改进后的常规纳米操作台用于样品的精确操纵，这也可以通过Nanonics的系统来实现。而且，这些系统的设计都保证了完全开放自由的光学轴。这使标准的研究级光学显微镜可以与系统完美集成，用于从高真空系统的上方和下方观察样品。这种光学的灵活性在以往从未被实现。为了实现这一目的，SPM系统的结构和探针的设计都必须保证没有任何光学吸收，这对于器件研究尤为重要。传统AFM系统中都无法实现这样沿着光轴上下观察的设计。Nanonics系统提供的全视野不仅对于上述提到的未来升级非常必要，而且利用研究级高放大倍数的光学显微镜用户可以快速的将探针之间的距离缩短到微米量级。当然，所有的功能都同时保证AFM扫描的极限噪音在0.2nm级别伸直更低。新一代材料研究的中心还在于在线光谱表征。这些材料都具有很多重要的光谱特性，是非常必要的表征手段。除此之外，光致发光和振动光谱的研究也很必要。Nanonics是在1990年度就将振动光谱和扫描探针显微镜联用起来的公司。为了这一联用，Nanonics研发了第一台探针和样品都可以扫描的系统。样品扫描对于振动光谱是必要的，而Nanonics这种联用系统的首篇文章在1999年就发表了。这种联用功能现在可以复制到多探针系统上，实现了基于上述所有扫描探针，探针台，和真空功能的化学表征，用于研究材料在电运载过程中的化学性质改变。自从开发了第一套集成扫描探针和振动光谱联用系统，Nanonics多年来也一直努力创新于近场扫描成像领域，将独特的等离子探针引入振动光谱测试，实现纳米级别的振动光谱联用，如TERs（针尖增强拉曼测试）。 Nanonics在近场光学成像领域的专业性早已获得世界范围内的认可，使用多探针系统的成果也很广泛的用于顶级文章的发表。这些功能考虑到了纳米光学成像的多样性。针对这些新材料，还有一个重要应用就是使用纳米光源在没有背景干扰的情况下激发纳米光电效应。这对于研究这些低维度材料及其合成材料在金属接触的局部效应下的能量级非常必要。最后，多探针表征和纳米加工的特有结合也可以通过这个平台实现。在最近发表的一篇文章中，具有Nanonics NanoToolKitTM专利设计的纳米加工探针用于在纳米级别氧化一个纳米结构，并记录由于氧化引起的化学势变化。市面上其他能提供气体纳米加工的系统都结合了SEM和聚焦离子束技术，如FEI Inc和Hitachi High-Technology Corporation公司提供的双束产品。这种设备的价格都超过了一百万美金，并且不能提供实时在线测试以及其他Nanonics平台提供的很多优势。比如上面Patsha用户发表的文章中强调的扫描探针显象模式中的在线化学势成像是这种双束系统所不能提供的。总而言之，专利获奖的Nanonics探针平台可以允许科研人员有效的完成多种独特的测试表征功能。

名称：四探针电阻测量仪图片：品牌：KLA 集团旗下品牌 Filmetreics型号：R50用途：金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测。优势 :1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)2) 100mm Z行程，高精度控制 3)导体和半导体薄膜电阻，10个数量级范围适用 4)测试点自定义编辑，包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置 5)200mm XY电动平台 6)RSMapper软件灵活易用 7)兼容KLA所有电阻测试探针应用市场：1）半导体 2）化合物半导体 3）先进封装4）平板和VR显示 5）印刷电路 6）穿戴设备 7）导电材料8）太阳能

仪器简介：ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是最先进可靠的朗缪尔探针（Langmuir Probe）。技术参数：应用： 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 脉冲等离子体操作 离子密度 (Ni & Gi) 电子温度(Te) 电子能量分布(EEDF) 电子密度(Ne) 等离子体电位 Debye 长度,悬浮电位主要特点： 获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析 Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位，在所有的商业化探针中 ESPion 具 有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室 内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如，供电源引起) ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有 必需的标准脉冲选通电路 300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀， 90°探针，组合式 线性－旋转驱动器可选 自清洗循环，防止探针尖端污染 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低温真空探针台测试系统特点/应用◆ 2至6英寸样品台◆ 高真空腔体◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好◆ 77K-675K高低温环境◆ 兼容IV/CV/RF测试◆ 外置多探针臂，移动行程大◆ 经济实用，可无缝升级极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。◆ 腔体规格：型号：CGO-2/CGO-4/CGO-6样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸样品固定：弹簧压片观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸真空度：10-6torr探针臂接口：4~6个探针臂接口其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口制冷方式：液氮/液氦/制冷机温度范围：77K到573K/4.5K到573K温控精度：0.1K/0.01K/0.001K稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高重量：约100千克/120千克◆ 光学系统：显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜放大倍率：16X-200X/20X-4000X移动行程：水平360度旋转，Z轴行程50.8mm光源：外置LED环形光源/同轴光源CCD：200万像素/500万像素/1200万像素◆ 探针臂：X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm结构：外置探针臂，真空波纹管结构移动精度：10微米/1微米线缆：同轴线/三轴线/射频线漏电精度：10pA/100fA/10fA固定探针：弹簧固定/管状固定接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子频率支持：DC-67GHZ针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米◆ 其他组件：真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机◆ 可选附件超高温配件显示器转接头射频测试配件屏蔽箱光学平台镀金卡盘光电测试配件高压测试配件分子泵组激光系统气敏测试配件规格及设计如有更改，恕不另行通知。

CT-6高低温探针台 最大可用于12英寸以内样品测试采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜 CINDBEST CT-6 | 6"~12" 高低温探针台测试系统 特点/应用 ◆ 最大可用于12英寸以内样品测试◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量◆ 可升降调节适合加装探针卡◆ 可搭配多种类型显微镜◆ 结构模块化设计，可无缝升级◆ 探针台可根据客户要求定制。 高低温探针台 ◆ 台体规格： 型号：CT-6/CT-8/CT-12 样品台尺寸：6英寸/8英寸/12英寸 水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 X-Y移动行程：6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 X-Y移动精度：10微米/1微米 样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座 平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 温度范围：负80°到正400° 温控精度：0.01°/0.1°/1° 重量：约120千克/150千克 ◆ 光学系统： 显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 放大倍率：16X-200X/20X-4000X 移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm 光源：外置LED环形光源/同轴光源 CCD：200万像素/500万像素/1200万像素 ◆ 定位器： X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 吸附方式：磁力吸附/真空吸附 线缆：同轴线/三轴线 漏电精度：10pA/100fA/10fA 固定探针：弹簧固定/管状固定 接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 针尖材质：钨钢/铍铜 ◆ 可选附件 加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、探针卡夹具。