高精度离子探针设备

岛津原位探针离子化质谱仪DPiMS-2020 是基于岛津单四极质谱分析仪LCMS-2020同时配备探针电喷雾离子源为一体的新型质谱分析仪。该仪器通过精密的探针取样式设计在无需样品制备的情况下实现快速便捷的样品分析。技术基于探针电喷雾离子化技术及原理（PESI）适用于化工领域，食品和生物制品领域中样品无样品制备条件下的快速质谱分析。 该仪器具有多项应用优势：1) 样品直接质谱分析，简化样品制备过程；2)容易氧化或讲解的化合物快速分析，分时段实时样品成分含量监测；3) 微量样品离子化能力，有效避免高浓度样品对质谱的污染。

主要参数： 适用于I-V/C-V/RF/亚微米级测试测试的探针座线性无后座力移动，磁性吸附，带磁力开关/真空吸附 X-Y-Z 行程为 13mm*13mm*13mm，精度0.7um 进口制造***牙具，100 牙/英寸 高刚性结构，弹簧消隙 X-Y-Z，稳定无间隙 可搭配同轴/三轴探针夹具/射频调节机构使用多点探头调水平旋钮，可以+-10°调节，精度0.1度适用于市面主流射频探针台和射频探针

型号： DR/L-100m/V主要参数：• 线性无后座力移动 ， 磁性吸附 ， 带磁力开关/真空吸附（真空吸附需要配置真空泵，常在磁场中使用，已消除磁场的影响）• X-Y-Z 行程为 12mm*12mm*12mm• 100 牙/英寸• 进口制造精密牙具 ， 精度 0.7 微米 （转动1度的移动量）• 高刚性结构 ， 弹簧消隙 X-Y-Z ， 稳定无间隙• 可升级 ， 进行射频测试主要特点： ： 吸附力强，稳定性好 ， 旋钮顺畅产品常常配合探针台使用，市面上主流探针台均可配合。也接受定制，根据客户使用场地的大小，因地制宜。深圳，北京，上海，西安仓库均有现货，接受使用，产品性能毫不逊色与进口。

SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台，设计灵活，易于使用，可用于高效设备表征，晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持最多200mm晶圆的手动和半自动探测。高分辨率复合显微镜。偏光显微镜。广泛的相机选择。射频可偏置卡盘和屏蔽罩。抛光镀金可调节真空吸盘。超完全真空泵。温度范围为-65°C至 400°C的热卡盘（也可以使用更高的温度）。适用于超声波和激光切割的系统。可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜。高分辨率复合显微镜。偏光显微镜。广泛的相机选择。射频可偏置卡盘和屏蔽罩。抛光镀金可调节真空吸盘。超完全真空泵。温度范围为-65°C至 400°C的热卡盘（也可以使用更高的温度）。适用于超声波和激光切割的系统。可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜。型号SPS-12000-HPSPS-2800-HPSPS-2600-HP晶圆尺寸高达300mm高达200mm高达100mm电机类型步进电机XY舞台行程高达300mmx300mm高达200mmx200mm高达100mmx100mm馈通终端BNC，Triax或香蕉插头系统尺寸101CM宽x91CM深x 88CM高122CM宽x122CM深x 92CM高78CM宽x80CM深x 58CM高

±1μm精度探针座 适用于I-V/C-V测试的微型定位器 CINDBEST CB-40 -T| 适用于I-V/C-V测试的微型定位器 特点/应用 ◆ 适用于I-V/C-V测试的微型定位器◆ 单线操作结构，占用更小面积，可将定位器靠近放置◆ 高刚性结构，弹簧消隙X-Y-Z，稳定无间隙◆ 线性移动，磁性吸附◆ 30度倾仰调节机构◆ 可搭配同轴/三轴探针夹具使用◆ 80牙/英寸 探针座 规格参数 型号：CB-40-T 尺寸：96（L）*52（W）*76mm（H） X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 调节精度：2um 固定方式：磁性吸附 重量：350g

产品说明：Magic-X30a是环闭高精准度全自动探针台，可进行DC至RF，微波和光电探测，以及超导磁量测。产品特点：用在晶圆测试的混合应用设计DC到RF，微波光电和磁性测量芯片设计验证范围广泛从-60到300摄氏度准确定位和移动精密全防护三轴探针机械手臂显微镜 XYZ平台提供大行程范围和精确的移动用于同时探测多个机械手臂的精密压板精细Z轴移动 人体工程学设计和覆盖自动晶圆装载，测试操作更有效率也更安全制冷器空间布置减少了楼地板占用面积隔振集成系统

名称：四探针电阻测量仪图片：品牌：KLA 集团旗下品牌 Filmetreics型号：R50用途：金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测。优势 :1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)2) 100mm Z行程，高精度控制 3)导体和半导体薄膜电阻，10个数量级范围适用 4)测试点自定义编辑，包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置 5)200mm XY电动平台 6)RSMapper软件灵活易用 7)兼容KLA所有电阻测试探针应用市场：1）半导体 2）化合物半导体 3）先进封装4）平板和VR显示 5）印刷电路 6）穿戴设备 7）导电材料8）太阳能

Flowprobe 是一种实时的原位动态微萃取技术，是美国橡树岭国家实验室的 Gary Van Berkel 博士发明了静态液滴萃取表面分析 （LESA）之后的又一创新发明。该技术基于液相微临界表面取样探针 (LMJ-SSP) 原理，其萃取效率在商品化的原位电离技术中首屈一指，适用于细胞、组织、聚合物等平面类样品的药物分布研究、癌症分析、微生物聚类分析等方面，并与主流质谱兼容（如 Thermo、Bruker 和 SCIEX 等 ）。How it works?1）通过连续流动的溶剂将材料表面溶解2）通过电喷雾（ESI）电离离子化分析物flowprobeTM 是 DESI 2D 系统的升级版，为实时动态微萃取探针技术，基于液相微临界表面取样探针 (LMJ-SSP) 原理，通过外套管连续输送溶剂至细胞、组织、或材料表面，高效微萃取代谢物、脂质、肽等标记物、或活性及毒性成分，再以内套管连续将萃取液泵流至电喷雾喷口进行 ESI 离子化。探针的萃取部位可借助摄像头实时调控，以动态获取表面、组织、或细胞内物质的分子信息。该技术适用于药物分布研究、癌症筛查和微生物聚类分析。可在中等空间分辨率（~630μm）条件下快速勾画分子轮廓，又可利用 DESI 2D 在高空间分辨率（~50μm）条件下实现精准医学研究和细胞内连续采样分析。flowprobe 是一种直接进样方法，通过实时，连续流体原位微萃取，可以提升现场采样和扫描的效率。这种创新技术还采用了高精度探头以及光学图像引导表面运动控制。加速药物分布研究和快速组织分析可在较低分辨率下进行快速的轮廓分析精准医学，细胞内连续采样DESI 2D 系统通过改造设计即可体验 flowprobe 的优势应用领域flowprobe是一种可进行连续、实时微萃取的突破性快速进样技术，结合了连续流体微萃取和电喷雾电离的诸多优点，可实现高效的单点采样和连续扫描。这种创新的质谱技术还采用了高精度喷雾头和图像引导的运动控制，使研究工作更加快速高效。其主要应用包括：高通量无损组织病理学分析、法医毒理学分析、过程分析、细菌代谢、微生物鉴定与表征、干血斑分析、时间分辨药物定量等等。flowprobe 生产商为美国 Prosolia 公司。大中华区为华质泰科生物技术（北京）有限公司。

一、产品概述：四探针电阻率测试仪是一种精密测量工具，专用于评估各种材料的电阻率，尤其在半导体和材料科学领域中具有重要应用。该设备通过其独特的四探针设计，能够提供高精度和快速的电阻率测量，适用于不同类型的固体材料。二、设备用途/原理：设备用途四探针电阻率测试仪广泛应用于半导体材料的研发、电子元件的性能测试以及新材料的电性能评估。它能够帮助研究人员和工程师深入理解材料的导电特性，从而推动新技术的开发和应用。工作原理该仪器的工作原理基于四个探针的布局，其中外侧探针施加已知电流，内侧探针测量因电流通过材料而产生的电压降。通过欧姆定律和几何因素的计算，仪器能够准确得出材料的电阻率，减少接触电阻带来的误差，从而提高测量的准确性。三、主要技术指标： 1. 应用：半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)、导电薄膜(金属、离子等)，扩散层，硅相关外延材料，离子注入样品2. 样品尺寸：基于所选择的平台而定，圆形样品大支持300mm(12 inch)，或方形大尺寸730x920mm3. 测量范围： V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq 电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm

1. 产品概述：探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保产品质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台通常由载物台（样品台）、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等部分组成，其核心部件包括x-y工作台，该工作台的结构对探针台的性能和使用体验有重要影响。2.设备用途/原理：晶圆检测：在半导体制造过程中，探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。芯片研发和故障分析：探针台可用于芯片研发过程中的原型验证和性能评估，帮助工程师及时发现和解决潜在问题，优化芯片设计。同时，它也可用于芯片的故障分析，定位问题区域。封装检测：在封装工艺之前，探针台用于对芯片进行CP测试（Chip Probing Test），确保封装前的芯片性能符合标准。其他应用：探针台还广泛应用于光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等领域。3.设备特点 1 高精度定位：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。 2 多功能性：探针台支持多种测试需求，包括电压、电流、电阻、频率、温度等参数的测量，以及小电流量测、电容量测、高压量测、R/F量测、I/O点量测等。 3 高效测试：探针台支持多点测试，能够同时测试芯片上的多个测试点，提高测试效率。此外，一些先进的探针台还具备自动化功能，能够自动完成测试序列，进一步减少人工干预。4.设备参数可移动压板，高度调节 40 mm，接触/分离行程 200 μm，重复精度± 1 μm具有可调摩擦力和阶段锁定的卡盘阶段，独特的Z轴卡盘调整和90毫米的拉出磁性定位器具有 1 μm 特征分辨率和 3 个带精密滚珠轴承的线性轴包括匹配的电缆和基材射频卡盘 ±3 μm 表面平面度独特的 200 μm 压板接触/分离行程，精度≤± 1 μm，可实现可重复接触

一、产品概述：探针台是一种用于微小电子元件和材料的测试设备，广泛应用于半导体、材料科学和微电子领域。它提供一个稳定的平台，用于精确定位和连接探针，以实现对样品的电气测试和分析。二、设备用途/原理：设备用途探针台主要用于测试集成电路、薄膜材料和微结构等的电气性能。常见应用包括半导体器件的参数测试、材料的电阻率测量和故障分析等。通过高精度的定位和可调节的探针，研究人员能够获取样品的详细电气特性。工作原理探针台的工作原理是通过机械系统将探针精确地定位到样品的特定接触点。设备通常配备高分辨率的光学系统，用于观察样品并调整探针的位置。当探针接触样品时，可以通过外部测试设备（如源测量单元）施加电流或电压，并测量相应的电压或电流反应。通过这种方式，研究人员可以获取样品的电气参数，分析其性能和特性。三、主要技术指标：1. 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节2. 样品尺寸：碎片~12英寸3. 自动化：手动、半自动、全自动4. 测试环境：高低温、磁场、真空5. 探针台类型：分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片测量、定制化等。

200 mm 探针台，用于收集高精度测量数据，速度提高 5 倍新型 Cascade SUMMIT200先进的 200mm 探针系统，对于在单个或体积晶圆上收集高精度测量数据至关重要 越快越好。SUMMIT200探针台专为研发、设备表征/建模或利基生产应用而设计，可在超低噪声、直流、射频、毫米波和太赫兹应用中进行温度范围内的精确电气测量，具有半自动和现在的全自动操作，可尽快获得准确数据。下一代探头系统支持 PureLine&trade 技术，可实现市场上最低的噪声水平之一。获得专利的 AttoGuard® 和 MicroChamber® 技术可显著改善低泄漏和低电容测量。新的先进200毫米快速平台，盒式处理多达50片晶圆，高吞吐量测试功能，以及-60°C至300°C的宽温度范围，为科学家，研发和测试工程师或生产操作员提供了快速完成工作所需的一切。SUMMIT200探针台支持Contact Intelligence&trade ，这是一种独特的技术，可实现自主半导体测试。创新的系统设计和最先进的图像处理技术强强结合，提供了一个独立于操作员的解决方案，可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。该SUMMIT200具有广泛的应用范围和满足任何未来需求的升级路径，提供最先进的 200 mm 探针台平台，可对现有和未来的设备和 IC 进行快速、高精度和大批量测量。*SUMMIT200 平台还提供不同版本，用于不需要上述增强功能集的测量任务。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数：由于结合了精确的探测台、完全集成的控制软件和微调的电动定位系统，实现了出色的对准精度。对具有非常小焊盘尺寸和低至微米级间距的 Micro LED 具有高精度探测能力。 - 精密的针力控制 - 精确的热控制 - 适用于不同测试环境的抗振解决方案 - 探头接触补偿集成探针卡或微定位器，用于可靠的 Micro LED 背板测量。 - 能够轻松 测试具有复杂焊盘布局的光学设备 - 灵活的探头序列管理MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。灵活性：由于支持多种测试配方，用户可以根据正在执行的产品和测试灵活选择或修改工作流程或编辑参数。 生产管理：通过直观易用的软件界面管理实验室/生产数据。集成的实时系统监控和报告功能可实现顺畅且完全无人值守的测试过程。 无缝集成：借助 MPI 广泛的仪器库，MPI 测试系统可以轻松与主流第三方测量仪器对接，满足您独特的测试需求。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。VEGA 顶部探针 （TP） 系列主要特点端温度测试能力（-40° 至 +200°C）。高性能装载机系统可轻松处理各种设备类型，如薄/翘曲晶圆、普通晶圆、衬底、封装或其他设备。多种光学/检测器选择，可满足您测试 LIV、近场和远场光学特性的确切需求。可选的接触机构选项包括：探针卡座 （PCH）、楔形探针卡和 MPI F1 单探针模块，可实现高精度测量。MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数：结合了精确的探测台、完全集成的控制软件和微调的电动定位系统高度可配置的晶圆探针台系列可处理 2“ ~ 8” 晶圆，并提供全面的卡盘系统和探针机构选择。高精度电气和光学测量（DC/RF/脉冲）。可选的接触机构选项包括：探针卡座 （PCH）、楔形探针卡和 MPI F1 单探针模块。灵活选择精密光收集和耦合光学元件，以满足您的特定测试要求。MPI 探针台控制软件提供全面的控制功能，从基本的晶圆对准、映射、探针标记检测到部署 MPI 先进的针对准机构 （NAM） 技术。MPI 光子学测试系统采用以用户为中心的设计，可根据您的独特测试要求灵活配置和编程。

1 产品概述： 探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它集成了载物台、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等多个部分，能够确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，从而进行高精度的电气测量。探针台根据操作方式可分为手动、半自动和全自动三种类型，每种类型都有其特定的应用场景和优势。2 设备用途：探针台的主要用途包括：半导体测试：在晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，探针台负责晶圆的输送与定位，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。它广泛应用于晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。光电行业测试：在光电行业中，探针台同样用于测试光电元件和组件的性能，确保产品的质量和可靠性。集成电路测试：探针台可用于集成电路的测试，包括功能测试、电参数测试等，帮助工程师评估和优化集成电路的性能。封装测试：在封装工艺之前，探针台可以对封装基板进行测试，确保封装过程中不会出现质量问题。3 设备特点 探针台具有以下显著特点：高精度：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。多功能性：探针台可用于多种测试场景，包括晶圆检测、芯片研发、故障分析、网络测量等，具有广泛的应用范围。自动化程度高：全自动探针台通常配备有晶圆材料处理搬运单元（MHU）、模式识别（自动对准）等功能，能够自动完成测试序列，减少人工干预，提高测试效率。灵活性：探针台可根据测试需求进行配置和调整，如可选配接入光纤，将电学探针替换为光纤，提高测试灵活性。4 设备参数： 出色的测试精度：短 DUT 和 ISP 分离，实现佳光收集，骰子偏移补偿 通过热卡盘支持实现准确稳定的温度控制。 可编程拾取和放置力在5g~200g之间。 全屏蔽暗盒设计消除了不必要的照明干扰。 具有高引脚数探测能力（4 ~ 256 通道）的多站点测试，可实现高吞吐量。 电学/光学特性的综合统计和分析工具：色度 （xyz）、强度、辐照度。

电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【简介】： 电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000采用大规模集成电路FPGA技术，全数字控制，实现高精度时间间隔测试，整机具有高稳定度、高准确度的优点，功能完善，操作方便，抗干扰能力强。仪器采用时间放大式模拟内插原理、组件式结构,能同时测量一个起始脉冲和32个停止脉冲信号之间的时间间隔,测时范围为50ns-9999ms,时间分辨率为2ns。电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【技术指标】：参数 指标测时范围50ns～820ms外参考 1路，频率20MHz,电平3.3-12V ，可外加-330V高压脉冲信号源 被测路数 通道数 4/8/16/32路被测电平TTL 起止信号 上升或者下降沿测时误差±5ns（1ms） ≤1ms±3 ±0.05tr ±PT 1ms（tr输入信号上升时间，T测量时间间隔，P晶振精度（晶振20MHz，精度1×10-7） 置位方式单次、多次、程控显示方式 液晶触摸屏供电需求220V±20V50Hz或者充电电平（内置）工作温度 5-50℃掉电保护保存掉电前的数据；配充电电源，满足野外实验使用 测量次数： 1、10、50电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000【应用领域】 ： 电探针/弹簧探针爆速测量仪WKDV-5000应用于爆轰与粒子判别等科学试验中爆速、弹速、冲击波速度、自由面速度、飞片速度等爆轰参数测量，是爆轰物理、冲击波物理、常规武器研究、天文实验、激光测距、定位定时、航天遥测遥控等科研领域。

超高真空低温四探针扫描探针显微镜美国RHK Technology 成立于1981 年。作为SPM 工业中的领军仪器制造商，RHK-Technology 始终保持着鲜明的特色：创新性、可靠性、产品设计的开放性与的客户支持。凭借着其优异的系统设计、精良的制造工艺、再加上与著名科学家的紧密合作，二十多年来RHK Technology 源源不断地向全科学家们输送着先进的、高精度的科学分析仪器。变温QuadraProbe UHV 4-探针SPM系统是RHK公司生产的多探针UHV SPM系统中的一种，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以大地满足客户全面的研究应用需要。基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（SPM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。技术参数：- 样品温度：10K（LHe）； 80K（LN2）- 扫描范围：1.5μm（300K）；500nm （10K）- X，Y，Z粗进针：±1.5mm/step motion- 样品定位精度：±1.5mm- STM分辨率：四个探针均可实现HOPG的原子分辨- SEM分辨率：小于20nm- 针材料：钨或者铂、金等金属修饰的钨针。 主要特点：- 四个探针都能实现原子分辨；- 真正的样品和针低温操作（10K），得到佳的高分辨谱图；- 探针与样品立地传输与准备；- 所有探针具有先进的控制操作；- 用户可编程控制的开放性控制环境；- 制冷采用Bath Cryostat构造，大地减少了液氦的消耗；- 可升到非接触式AFM；- 样品台处配有可选择的超导磁体；- 通过光纤实现样品的光学激发。

艾博纳手动探针台是一种精密的电子测量设备， 专为高精度测试需求而设计。包括一个6英寸或8英寸的台体，配备了真空吸附功能，可以360°旋转。显微镜部分包括体式和金相显微镜，支持高稳定的 显微观察，配备了1270万像素的高品质艾博纳手动探针台是一种精密的电子测量设备，专为高精度测试需求而设计。包括一个6英寸或8英寸的台体，配备了真空吸附功能，可以360°旋转。 显微镜部分包括体式和金相显微镜,支持高稳定的 显微观察，配备了1270万像素的高品质尼康CCD。艾博纳手动探针台的构造精巧，具有1微米的探 针座调节精度，配备射频线和多种接头类型，满足不同测试需求。适配多种类型的探针，如美国GGB 探针、韩国进口探针及国产探针，确保广泛的应用范围。探针台还配备了高性能的真空泵和27英寸的2K全高清专业显示器，为用户提供了便捷的操作体 验和高质量的显示效果。

1． 系统介绍MMLAB-prob-2型探针系统是MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的双探针型号。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计，具有硬件结构简单、可靠性强、抗扰动能力强等优点。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的软件界面友好，操作简便，实现诊断与数据处理全过程自动化。2． 系统硬件构成MMLAB-prob-2型探针系统硬件由探针、驱动采集单元和计算机构成（图1）。其中，驱动采集单元一端通过USB接口与计算机连接，另一端有电缆与探针连接，其作用一是按照计算机的指令生成扫描信号，放大后为探针提供偏置，二是采集探针的电压电流值并输入计算机。

高温四探针测试仪 HGTZ-800型号高温四探针测试仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料在高温、真空及气氛条件下测量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，配备10英寸触摸屏，软件可保存和打印数据，自动生成报表；本仪器可显示电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电 流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导 率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购。双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度,也可应用于产品检测以及新材料电学性能研究等用途。 HGTZ-800型号系列采用电子护系统，设备的安全性；选用热电偶保定温度的采集有效值、采用SPWM 电子升压技术，电压输出稳定性好。配备高精度电压、电流传感器以保证试验数据的有效性。 HGTZ-800型号系統搭配Labview系统开发的hcpro软件，具备弹性的自定义功能，可进行电压、电 流、温度、时间等设置，符合导体、半导体材料与其它新材料测试多样化的需求。高精度的输出与测量规格，保障检测结果的品质，适用于新材料数据的检测。例如：多晶硅材料、石墨烯材料、导电功能薄膜材料、半导体材料，也可做为科研院所新材料的耐电弧性材料的性能测试。针探针测试仪做了多项安全设计，测试过程中有过电压、过电流、超温等异常情况以保证测试过程的安全；资料保存机制：当遇到电脑异常瞬时断电可将资料保存于控制器中，不丢失试验数所新开启动后可恢复原有试验数据。 应用领域： █ 多晶硅材料█ 石墨烯材料 █ 石墨功能材料 █ 半导体材料 █ 导电功能薄膜材料 █ 锗类功能材料 █ 导电玻璃（ito）材料 █ 柔性透明导电薄膜 █ 其它导电材料等 系统功能： █ 电压、电流、温度实时显示 █ 自动升压功能 █ 循环自动测试 █ 升温速度可控 █ 自动试验报表 █ 过压、过流、超温报警 █ 软件自动升级 █ 试验电压、电流可调 █ 电极方便更换 █ 在线设备诊断 系统特点： 多功能真空加热炉，一体炉膛设计、可实现、高温、真空、气氛环境下进行测试 █ 采用铂材料作为导线、以减少信号衰减、提高测试精度， █ 可以测量半导体薄膜材、薄片材料的方块电阻、电阻率； █ 可实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能 █ 温度传感器、PID自动温度控制，使测量温度更准确； █ 仪器可自动计算试样的电阻率pv █ 10寸触摸屏设计，一体化设计机械结构，稳定、可靠； █ 程控电子升压技术，纹波低、TVS防护系统，保证仪器安 █ 99氧化铝陶瓷绝缘、碳化钨探针； █ huace pro 强大的控制分析软件。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

仪器简介：EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。 技术参数：应用： 静态 /动态SIMS 一般目的的表面分析 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS 兼容的离子枪/ FAB 枪 成分/污染物分析 深度分析 泄漏检测 与Hiden SIMS 工作站兼容主要特点： 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围 SIMS 成像，分辨率在微米以下 光栅控制，增强深度分析能力 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器 Penning规和互锁装置可提供过压保护 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

海底热流探针可用于超高精度的海床温度测量。若干个THP传感器挂在重力取样管的不同深度上，可以得到地热梯度值。 海底热流探针规格参数 测量参数 测量温度范围 : -2 to 至35° C 分辨率 : 0.5m° C （当温度为+6° C时） 精度 （线性、滞后性、重复性） : 3m° C （在0° C 和+25° C之间） 测量温度达到 +70° C时, 分辨率大约为9m° C 参考稳定性: 0.6 ppm/° C 海底热流探针记录参数 内置万年历时钟 采样率 : 1s 到99hrs 存储容量 : 采用数据压缩254 kb； 采样率为1小时，可存储3年，每小时0.1℃的温度变化信号 非易失存储器，如果电池损坏，可进行数据恢复。 通讯 : 电磁传输，通过数据笔和计算机串行端口连接。 物理规格参数 材质 : 钛和塑料. 探针尺寸: 长度130mm,直径5mm. 外壳尺寸:长度183mm,直径28mm. 在空气中的重量: 280 g. 海底热流探针应用实例: 1、深海沉积盆地地热评价 2、地质断层内或不稳定土地内流体温度监测 3、高精温度测量应用于深海环境研究 测量特点 特征测量范围-2+35℃ 分辨率0.5m℃ at 6℃ 最高可以超过+70℃因此分辨率在9m℃（毫摄氏度） 精确度 （线性, 滞后作用,重复性）3m℃（0~+25℃） 参考稳定性0.6ppm/℃ 海底热流探针记录特点 时间: 内置万年历时钟 采样率:1s~99 h可选 存储容量: 采用数据压缩254ko,若每小时每次可采3年可采集每小时0.1℃的温度变化信号 存储类型: 不会丢失，若电池损坏可以找回数据 个人电脑接口: 不需要外接设备可进行电磁传输，采用数据笔即可传输 电脑软件: 在WINDOWS下开发进行参数设置 电池容量: 锂电池若每小时采样一次至少可用3年，若每5秒采样一次至少可用21天 海底热流探针机械特性 最大深度: 6000m 管体材料: 钛 帽材料: Ketron THP传感器: 固定封套上有沟槽，可以用夹子固定 尺寸探针长度：130mm 探针直径：:5mm 封套长度：183mm 封套直径：28mm 重量0.280kg

最高温度 1650°c测量范围 0.1mΩ-100MΩ温度精度 ±0.25°c最快测量 6.4ms更多功能 高温四探针、退火高温I-V特性测试高温真空测量高温气氛测量高温烧结/退火高温四探针测量 消除电网谐波对采集精度的影响高温四探针测试仪采用直排四探针法设计原理测量。主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能，参考美国 A.S.T.M 标准设计。重复性与稳定性更好，采用双屏蔽高频测试线缆，提高测试参数的精确度，同时抗干扰能力更强。本设备也可应用于产品检测以及新材料电学性能研究等用途。 搭配Labview系统开发的Huacepro软件，具备弹性的自定义功能，可进行介电温谱、频谱、升温速度、测量参数等设置，符合功能材料测试多样化的需求。电压、过电流、超温等异常情况以保证测试过程的安全；资料保存机制，当遇到电脑异常瞬时断电可将资料保存于控制器中，不丢失试验数据，设备重新启动后可恢复原有试验数据。 源测量仪器的精密耦合特点相对分立仪器具有许多优点。例如，它具有更短的测试时间，通过减少GPIB的流量并简化了远程编程接口。它还保护被测设备在偶尔过载、热失控等情况下不被损坏。电流源和电压源都可设置回读使器件测量完整性最大化。如果回读达到可编程容限的极限，那么该源就被钳位在此极限，从而提供错误保护。 华测系列阻抗分析仪是华测仪器电子事业部采用当前先进的自动平衡电桥原理研制成功的新一代阻抗测试仪器，为国产阻抗测试仪器的最新高度。也彻底超越了国外同类仪器，在测量10Hz-50MHz的频率瓶颈；解决了国外同类仪器只能分析、无法单独测试的缺陷；采用单测和分析两种界面，让测试更简单。得益于先进的自动平衡电桥技术，在10Hz-50MHz的频率范围可以保证0.05%的基本精度。 快达5ms的测试速度及高达50M的阻抗测试范围可以满足元件与材料的测量要求，特别有利于低损耗(D)电容器和高品质因数(Q)电感器的测量。四端对的端口配置方式可有效消除测试线电磁耦合的影响，将低阻抗测试能力的下限比常规端配置的仪器向下扩展了十倍。 消除不规则输入的自动平均值功能 更强数据处理及内部屏蔽华测近红外高温炉配合吉时利数字源表进行四探针电阻测量，让测试更加稳定可靠，吉时利数字源表系列专用于要求紧密结合源和测量 的测试应用。全部数字源表型号都提供精密电压源和电 流源以及测量功能。每款数字源表既是高度稳定的直流 电源也是真仪器级的6位半万用表。此电源的特性包括 低噪声、精密和回读。此万用表的功能包括可重复性高和低噪声。最终形成了紧凑、单通道、直流参数测试仪。 在工作时，这些仪器能用作电压源、电流源、电压表、电流表和欧姆表。源和阱（4象限）工作，0.012%基础测量精度（6位半分辨率）。 2线、4线电压源和测量感测1700读数/秒（4位半分辨率），通过GPIB通过/失效比较器用于快速提供高速感测线接触检查功能，在半导体、功能材料行业吉时利数字源表是适于特性析和生产测试等广泛应用的重要源表。目前国内高温加热大都为管式炉或马弗炉，主要原理为加热丝或硅碳棒对炉体加热，加热与降温过程速度慢，效率低下。也无法实现温度的高精度测量，加热区域也存在不均匀的现象，华测仪器通过多年研究开发了一种可实现高精度，高反射率的抛物面与高质量的加热源相配置，在高速加热及高速冷却时，具有良好的温度分布。 可实现宽域均热区，高速加热、高速冷却 ，用石英管保护加热试样，无气氛污染。可在高真空，高纯度气体中加热 。设备可组成均热高速加热炉，温度斜率炉，阶段加热炉。 它提高了加热试验能力。 同电阻炉和其他炉相比，红外线反射炉节省了升温时间和保持时间及自然冷却到室温所需时间，再试验中也可改写设定温度值。从各方面讲，都节省试验时间并提高实验速度。 同高频炉相比，不需特殊的安装条件及对加热试样的要求。同电阻炉一样安装简单，有冷却系统安全可靠。以提高试验人员的工作效率，实现全新的温度控制操作！高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。 1、高速加热与冷却方式高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。2、温度高精度控制近红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用，可以精确控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外，冷却速度和保持在任何温度下可提供高精度。3、不同环境下的加热与冷却加热/冷却可用真空、气氛环境、低温（高纯度惰性气体 静态或流动），操作简单，使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。 更强的扩展能力，实现一机多用█ 多功能真空加热 炉，可实现高温、真空、气氛环境下电学测试 █ 采用铂金材料作为测量导线、以减少信号衰减、提高测试精度 █ 设备配置水冷装置，降温速度更快、效率更高█ 可实现高温下四探针电阻谱等测量功能█ 进口温度传感器、PID自动温度控制，使测量温度更精准█ 近红外加热，样品受热更均匀，不存在感应电流，达到精准测量█ 10寸进口触摸屏设计，一体化设计机械结构，更加稳定、可靠 █ 采用进口高频测试线，抗干扰能力更强，采集精度更高█ 99氧化铝陶瓷绝缘，配和铂金电极夹具█ huace pro 强大的控制分析软件与功能测试平台系统相互兼容温度范围： RT-800 (最高1650)°C 控温精度：±0.25°C 升温斜率：10°C/min（可设定） 测试范围 : 0.1mΩ-100MΩ 加热方式：近红外加热 冷却方式：水冷 输入电压：110~220V 样品尺寸：φ＜25mm，d＜4mm 电极材料：碳化钨针 夹具辅助材料：99氧化铝陶瓷 测量方式：直接四探针 测试功能：I-V、R-T等 数据传输：4个USB接口 设备尺寸：600x500x350mm动态测量范围：电流：10pA to 10A 电压：1µ V to 200V四象限工作 0.012%的精确度，5&half 的分辨率 可程控电流驱动和电压测量钳位的 6位线电阻测量 在4&half 数位时通过GPIB达1700读数/秒 可选式接触检查功能

FT-351高温四探针电阻率测试系统一、概述：采用由四探针双电测量方法测试方阻和电阻率系统与高温试验箱结合配置专用的高温测试探针治具，满足半导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求，通过先进的测控软件可以显示出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。二、适用行业：广泛用于：生产企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻、电阻率和电导率数据.三、功能介绍：液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。四、技术参数资料1.方块电阻范围：10-5～2×105Ω/□2.电阻率范围：10-6×106cm3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.1%读数5.电阻精度：≤0.3%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10. 温度： 1200℃可调节；冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C11、升温速度：9999分钟以内自由设定,一般10分钟内即可升到900℃；功率：3kw.12、炉膛材料：采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征。13.专用测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！14.选购：电脑和打印机还有如下相关产品：FT-351高温四探针电阻率测试系统；FT-352导体材料高温电阻率测试系统； FT-353绝缘材料高温表面和体积电阻率测试系统 ROOKO/瑞柯品牌，来自瑞柯仪器公司，一个专注于改变人们生活方式和品质的企业. 专业与精致并重；智慧之原

岛津原位探针离子化质谱仪DPiMS-2020 是基于岛津单四极质谱分析仪LCMS-2020同时配备探针电喷雾离子源为一体的新型质谱分析仪。该仪器通过精密的探针取样式设计在无需样品制备的情况下实现快速便捷的样品分析。技术基于探针电喷雾离子化技术及原理（PESI）适用于化工领域，食品和生物制品领域中样品无样品制备条件下的快速质谱分析。 该仪器具有多项应用优势：1) 样品直接质谱分析，简化样品制备过程；2)容易氧化或讲解的化合物快速分析，分时段实时样品成分含量监测；3) 微量样品离子化能力，有效避免高浓度样品对质谱的污染。岛津DPiMS-2020原位探针离子化质谱仪信息由岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司为您提供，如您想了解更多关于岛津DPiMS-2020原位探针离子化质谱仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

Signatone四点探针与电阻率测试设备 Signatone 公司生产制造的QuadPro 制程发展电阻率测量系统包含了手动和自动的测量系统。手动系统包含一个滚珠轴承的四点探针机台，为因应使用的需要，手动机台往后可以升级增加自动机台的功能．自动机台系统是由计算机控制马达带动的，在测量100毫米、125 毫米、150 毫米、200 毫米、300 毫米的待测样品时，可设定自动测量9、25、49、或121 个测试点．系统使用四点探针，双架构测试方式，并整合了目前最佳的测量仪表可达到在1mΩ/□至2MΩ/□间小于1% 的误差．系统的准确度(Accuracy)与校准(Calibration)可追朔至美国国家标准局(NIST)。其它特点：平均电阻率(Resitivity)、电阻率标准差(Standard Deviation)、平均片电阻(Sheet Resistance)、片电阻标准差电阻温度系数(TCR, Temperature Coefficient of Resistance)使用自动温度控制器与温控待测样品载台(选用)及仪表测量电阻温度系数测量结果可以用二维(2D)或三维(3D)方式图形表示采用双架构测试方式(Dual Configuration)以达到最佳的系统准确性(Accuracy)与重复性(Repeatability)待测样品大小可由10 毫米到300 毫米在每个待测样品可上可自动测量高达49个可追朔至美国国家标准局的测试点QuadPro Automatic System (自动系统)自动的QuadPro 系统包括计算器、歩进马达控制单元、机台本体、200 毫米或者300 毫米隔离的待测样品载台(Isolated Chuck)。系统软件的设计让使用者可针对测量需求选择在每个待测样品上测量1、5、9、25 或者49 个自动测试点，并可自动绘图显示测量结果。使用者并可设定测试点在待测样品上的分布为方型或圆性。为提升测量数据的准确性与统计的有效性，软件可定义待测样品边缘的测量数据是否被采用。在测量开始时，系统软件自动搜集阻值范围，并据以作最佳的仪表设定。系统采用的双架构测试方式可消除因四点探针头结构误差所产生的测量误差，以提升系统测量的重复性和准确度。系统软件会控制并纪录每个测量点的位置与测量值，测量的结果如片电阻、电阻率和V /I(电压/电流)可在同一个测量结果的表格中表示。在完成全部测试点测量时，系统会用等高线图展示测量结果，此等高线图可在二维图与三维图间轻易的切换观看．电阻率与片电阻的平均值及标准差都会显示在等高线图上 QuadPro TCR Option (电阻温度系数测量选用项)电阻温度系数量测选用项整合了待测样品温度控制、仪表控制与温度系数运算的能力以完成电阻温度系数量测的功能。Signatone 提供了多种温度范围的温控待测样品载台系统供使用者选用。使用者可依测量需要设定开始温度、截止温度与在每个温度点停留多少时间后在开始量测。温度与量测得到的电阻值会存在同一个表格或图表内，以方便后续的分析使用。一般最常被采用的温控待测样品载台系统为室温至350°C。但是除了350°C 温控待测样品载台系统之外，Signatone 也提供低至-55°C 与高至600°C 的温控待测样品载台系统。一般QuadPro 的系统架构包括一台吉时利(Keithley)的2400 仪表(Source Measurement Meter)。吉时利2400 可测量的电阻范围为1mΩ至2MΩ。若使用者要测量更高电阻的材料，QuadPro 的系统架构将包括安捷伦(Agilent)的4156 参数分析仪，并采用隔离式的三轴系统架构，如此架构的QuodPro 系统的电阻测量范围为100mΩ 至10GΩ。为达到最佳的量测准确度，QuadPro 采用了美国ASTM 标准F84-99 测试方法的双架构测试方式以补偿因为四点探针头间距可能不精确或量测接近导电层边缘而造成的量测误差．Signatone 同时也提供准确度可追朔至美国国家标准局(NIST)的校准片，适当的使用校准片和QuadPro 提供的校准程序，可确保系统的准确性优于1%．Four Point Probe Head (四点探针头)Signatone 提供了两大系列的四点探针头供使用者选用；SP4 系列和HT4系列．SP4 系列四点探针头是被大多数应用所采用的四点探针头，它是由直线排列的塑钢探针所组成．SP4 系列四点探针头提供了下列选项以适应各种应用：探针间距：0.040、0.050、0.0625 英寸探针针压：45、85、180 克探针材质：碳化钨(Tungsten Carbide)、锇(Osmium)探针半径：0.0016、0.005、0.010 英寸HT4 系列四点探针头表面看起来与SP4 系列四点探针头类似，但是HT4系列四点探针头适用陶瓷做的，故适用于高温与高电阻的测量，HT4 系列四点探针头可工作至650oC，而且HT4 系列四点探针头的耐高温同轴接线设计使其可测量的电阻值高达10GΩ．探针间距：0.050、0.0625 英寸探针针压：180 克探针材质：碳化钨(Tungsten Carbide)、锇(Osmium)探针半径：0.0016、0.005、0.010 英寸QuadPro Test & Calibration (测试与校准)Pro4-440N configuration (系统架构)电压与电流(V/I)的量测结果会记录在软件内．系统采用了美国ASTM 标准F84-99 测试方法的双架构测试方式以补偿因为四点探针头间距可能不精确或量测接近导电层边缘而造成的量测误差．Signatone 同时也提供准确度可追朔至美国国家标准局(NIST)的校准片，适当的使用校准片和QuadPro 提供的校准程序，可确保系统的准确性优于1%．Pro4-440N 系统的标准范围是1mΩ/□至800KΩ/□．Pro4 Manual Four-Point Probe with Computerized Measurement System(Pro4 手动四点探针台与测量软件)Signatone 自1968 年就已经开始提供业界四点探针电阻率量测系统，其中的Pro4 系列手动四点探针台提供了简易且方便量测片电阻率(Sheet Resistivity)与体电阻率(Bulk Resistivity)的有效方法。使用者只要手动下针并操作软件上的量测按键，软件会自动控制吉时利仪表做最佳的电流设定并得到准确的量测。Pro4-440N configuration (系统架构)电压与电流(V/I)的量测结果会记录在软件内．系统采用了美国ASTM 标准F84-99 测试方法的双架构测试方式以补偿因为四点探针头间距可能不精确或量测接近导电层边缘而造成的量测误差．Signatone 同时也提供准确度可追朔至美国国家标准局(NIST)的校准片，适当的使用校准片和QuadPro 提供的校准程序，可确保系统的准确性优于1%．Pro4-440N 系统的标准范围是1mΩ/□至800KΩ/□．Pro4 Software (软件)使用者只需输入待测样品的大小、形状、待测样品边缘不包括部分的大小与测量点数，Pro4 软件会控制系统的测量、测量资料的撷取、显示、打印与资料的输出(Export)，使用者可设定要显示的参数(如电阻、片电阻或电压/电流)，也可以定义良品/不良品(Pass/Fail)的条件．测量点会在软件上以图样标示出来，同时提醒使用者将探针移至待测点．测量结束，测量数据的平均值、标准差、最大值与最小值会被标示出来，同时可打印测量数据含良品/不良品的报表．Pro4-4400 configuration (系统架构) Pro4-4400 系统与Pro4-440N 相同，但是不含计算器．使用者需自备计算器，计算器需含窗口软件与一个RS-232 接口．Pro4 用于测量芯片或其它材料的电阻率或片电阻． Pro4 使用双架构测试方式和自动设定仪表以保证测量的准确性．系统包括手动四点探针台、二个四点探针头、吉时利仪表(Keithley 2400)与软件． Pro4-4000 configuration (系统架构) Pro4-4000 不包括计算器与仪表，但是包含软件．使用者需自备计算器与吉时利仪表(Keithley 2400)系统包括手动四点探针台、二个四点探针头与软件．Manual Four-Point Probes (手动四点探针台)Signatone 生产各式电阻率测量设备，包括简易型四点探针台与四点探针头． S-302-4右图是四吋的四点探针台，可测量大至四吋的芯片，含四吋铁氟龙(Teflon)待测样品载台。四点探针台也有6"、8”与12”的． Four Point Probe Heads (四点探针头)除了四点探针台之外，Signatone 也生产四点探针头。SP4 系列四点探针头是设计给在室温使用的。HT4 系列四点探针头是设计给在高温使用的。一般四点探针头是由四支直线排列的探针组成，但是Signatone 也提供不同排列方式的订制探针头，例如四支针成矩形排列．

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。