12寸晶圆紫外固化机品牌:Powatec 型号:U-300 产地:瑞士 关键字:紫外固化机、紫外固化系统POWATEC 固化系统专为固化最大 300 毫米的晶圆和框架而设计。LED 产生的波长为 365 nm,最大输出光功率为 750 mW。 打开盖子,将晶圆放在左侧传送带上。按下启动按钮。晶圆在 LED 单元上方移动到右侧。固化在大约 20-30 秒后完成,产生 130-180 帧/小时的稳定吞吐量。完全可调的固化时间范围在 15 秒到 3 分钟之间。 主要特点: 采购成本低=总拥有成本 (COO) 最低! 没有产生有害臭氧 零预热时间 UV - LED使用寿命长( 10,000小时以上) 低强度下降(10,000小时内下降 5%) 对薄膜没有热影响 紧凑而坚固的桌子设计 安装和实施时间短 维护成本低 符合IEC 204-1安全标准 生产率130-180晶圆/小时。选项: 氮气淋浴 带储物空间的支撑台,适用于洁净室
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