质量流量

质量流量计是利用科里奥利原理进行流量测量的仪表。可直接测量流体的质量流量、体积流量、密度和温度等参数。可通过LED屏显示瞬间及累计质量流量、体积流量、温度、密度等参数。可输出脉冲信号和电流信号，具有485通讯功能。我公司生产的质量流量计，结构设计简单合理、质量稳定、使用方便。对现场管道安装及介质清洁度等条件要求不高。可测量介质：常规液体、高粘度液体、化工类、腐蚀性液体介质等。精度有：0.1级、0.2级、0.3级。广泛应用于石油、化工、冶金、船舶、电力、制药、食品、环保和能源等行业，工艺过程检测和贸易计量等场合。

TBZ科氏力质量流量计， 实现流体质量流量的直接精密测量，而无需任何压力、温度、粘度、密度等换算或修正。其结构是由传感器单元和变送器单元两部分组成。仪表按本质安全防爆型的国家标准设计与制造。性能技术参数适用范围液体、气体、液固、气固的质量流量或体积流量的测量测量管材质316L 不锈钢或哈 C 合金 压力等级标准配置见下表，其他高压可以特殊订货介质温度-50℃～+150℃；-50℃～+250℃；-50℃～+350℃；-200℃～+150℃；环境温度传感器：-41℃～+150℃； 变送器：-41℃～+80℃流量测量精度±0.5%、±0.2% 、±0.1%流量±[(零点稳定性/流量值) 00000000000000×100]% 流量密度测量精度±0.002g/cm3、±0.001g/cm3重复性±0.10% 、±0.05%流量±[?(零点稳定性/流量值)×100]% 流量 流量输出信号：4～20mA 负载电阻500Ω（瞬时流量或密度可选）；0～10kHz 瞬时流量脉冲信号； 485 通讯信号HART（需定制）防爆等级：EX d ib II C T5 Gb电气接口M20×1.5语言中文/英文供电电源24V DC(电流不小于 500mA)或 220V AC防护等级IP65

TSI 的热式质量流量计采用专利的铂金镀膜传感器设计，这种设计适 用于要求快速响应、低压损和高精度，流量范围宽的多种气体流量 测量的应用。高级机型可以将质量流量、jue对压力、温度、体积、压差和湿度测量集成到一台设 备中，还提供具有高流量精度、数据记录或湿度补偿流量测量规格选项的机型。5300 系列是 TSI 公司出品的高流量热式质量流量计。5300 系列可以以超低压降测量高流 量，可测量 300 L/min，同时可减少背压及其对系统的影响。与其他以类似 流速测量的仪器相比，5300 系列流量计外形轻巧紧凑。5300 系列设计为通用流量计，并 针对在呼吸设备市场中的应用进行了优化 功能与优点 + 4 毫秒双向流量响应 + 高精度（读数的 ±2%，可选读数的 ±1.7% 可选）+ 低压降使背压zui小化 + 宽广泛的动态工作范围（1000:1 调节比） + 多种气体校准，可供用户选择 + 使用单个仪器的流量，jue对压力，温度，体积， 压差和湿度测量多达 6 个参数 + 温度和压力补偿，可选湿度补偿 + 2.8 英寸彩色触摸屏操作 + 可同时显示四个测量参数 + 可配置管端接头+ 数据记录（选项） + USB 供电和数据通信 + 包含 NIST 可追溯的校准证书 + 所有仪表都配有电源，电缆，管端连接器，入口过滤器和 FLO-Sight PC 软件随附的 应用研究人员、工程师、设计师和科学家可将 TSI 气体流量计用于各种 应用，如：— 产品开发 — 制造 — 质量保证 — 研究 — 计量 — 现场服务流量测量气体空气、O2、CO2、N2* 校准 （用户可选）测量范围0至±300StdL/min0至 ±100 Std L/min (CO2)精确度（按型号）5300, 5310, 5320读数的 2% 或 0.05 L/min， 以较大值为准5330正向气流：读数的 1.7% 或 0.05 L/min；反向气流：读数的 2% 或 0.05 L/min5303读数的 3%或0.1 L/min， 以较大值为准（请参阅背面注释 1-6 点）响应时间4 毫秒到满量程的 63%单位L/min 或 ft3/min（标准、体积、实际或远程）体积测量测量范围0.004 至 99 L 精确度 读数的 2% 或 1 mL，以较大值为准，峰值流量大于2.5 Std L/min （请参阅背面注释 1-6 点）单位L, mL, ft3 *氮气是空气校准中的校正 温度测量测量范围-10 至 50°C精确度流量 1 Std L/min时为 ±1°C（仅正向气流）响应时间= 75ms至最终值的 63%（阶跃变化）单位°C, °Fjue对压力测量测量范围50 至 200 kPa精确度±1 kPa响应时间= 4 ms 至最终值的63%（阶跃变化）单位Pa, hPa, kPa, mbar, PSI, mmHG, cmH2O, inH2O低差/呼吸回路压力测量测量范围±150 cmH2O精确度读数的±0.5%或0.15 cmH2O，以较大值为准响应时间= 4 ms 至最终值的63%（阶跃变化）单位Pa, hPa, kPa, mbar, PSI, mmHG, cmH2O, inH2O相对湿度测量测量范围10 至 90% RH精确度RH 的 ±3%响应时间= 3 s 至zui终值的 63%（阶跃变化）单位% RH、露点温度 (°C、°F)累加器测量测量范围 0.05 至 400,000 L 精确度 读数的 ±4% 单位L, mL, ft3仪器温度范围操作-10 至 50°C（环境）储存-20 至 70°C（环境）仪器使用压力范围操作 50 至 200 kPa电源通过 USB-C 端口供电 5.0 VDC ±5%，zui大电流 500 ma破裂压力测试加压到 690 kPa，仪器没有破裂。请不要超过 690 kPa。数字量输出USB，RS-232 串行，使用可选的USB-A至RS232 转换器电缆显示2.8 英寸彩色 LCD 触摸屏内部存储器1 GB 存储空间，zui多可存储 20 个数据记录文件物理尺寸重量230 克，含管端保护帽材质聚碳酸酯（主机）

产品名称：多路质量流量供气系统产品简介：质量流量供气系统用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，结合我公司的管式炉，可用作CVD系统和退火炉去研究气体环境影响材料。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。 我公司供应的产品符合国家有关环保法律法规的规定（含采购商ISO14000环境体系要求），不会造成环境污染； 该产品符合采购商OHSMS18000职业安全健康管理体系标准的要求，不会对接触产品的人员健康造成损害！主要特点：精度高、运作稳定可靠、工作压力范围宽（可在高压或真空条件下工作）、操作使用方便技术参数：可根据客户要求特殊订制 型号 标准量程 GSL-2Z 100sccm、200sccm GSL-3Z 100sccm、200sccm、500sccm GSL-4Z 100sccm、200sccm、200sccm、500sccm 质量流量控制器 工作电压：185-245V/50HZ 工作温度：5-45℃ 工作压强：3× 106Pa 最大输出功率：18W 准确度：± 1%FS 线性：± 0.5～1.5% 重复精度：± 0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 机械压力表 量程范围：-0.1-0.15MPa（0.01MPa/grid） 针阀：316不锈钢 管件：不锈钢1/4〞，尼龙管L12〞 ID 1/4〞 气体混料罐：&Phi 80× 120mm 截止阀：316不锈钢针阀&Phi 1/4〞 产品规格： 容积：600× 600× 650mm

ZR-5330A型/B型智能质量流量计为便携式仪器，内置进口热式质量流量计，用于校准小流量气体采样仪器，提供参比流量、自动换算瞬时流量和刻度流量，快速响应、及时出数，测量精度高。配有可更换小型过滤器以及干燥装置。执行标准HJ734-2014固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附／气相色谱-质谱法GB/T 28848-2012 智能气体流量计GB/T?32201-2015?气体流量计技术特点》采用热式质量流量计测量方式，测量介质种类广泛；》低流量可精确测量，测量精度高；》无需预热，响应时间快，及时出数；》3.5寸宽温高亮彩屏，耐高寒，视域广，汉字图形化显示；》支持U盘等大容量存储介质，实现文件无限量存储；》支持蓝牙通信功能，可无线校准设备，无需手动输入测量值（待适配）；》内置可充电锂电池，便携操作；》采用手持式便携设计，配有固定带，单手握持无压力；》外形美观大方，符合人体工程学，配有支架可立于桌面；》内置滤网防护，保证仪器复杂工况下安全使用；》标配外置可更换式小型过滤器，使用便捷，方便更换；》标配小型干燥筒（同ZR-3922型配置）用于潮湿环境下准确校准。主要参数主要参数参数范围测量范围A型 (5～500)mL/minB型 (10～1000)mL/min外形尺寸(长256×宽137×高58）mm整机重量约1.1kgZ大功耗≤5W

TSI 热式质量流量计采用专利技术的铂金镀膜传感器设计，非常适合需要响应速度快、压降低、流量范围宽和精度高的气体流量测量。5000 系列具有双向气流测试、彩色触屏、可选配多种尺寸接头并配套电脑软件。高端型号具有同时测量质量流量、绝对压力、温度、体积流量、压差和湿度的功能，并可以选择更高的流量测量精度、数据记录或湿度补偿的流量测量功能。功能和优点+ 4ms 双向气流响应+ 高精度（读数的±2%或±1.5%可选）+ 低压降减少背压+ 宽动态范围（1000:1 调节比）+ 多种气体校准，用户可选+ 一台仪器可测量多达6 种参数+ 可同时显示4 种测量参数+ 2.8 英寸彩色触摸屏+ 可调整的管路连接头+ 数据记录（选项）+ USB 充电和数据通讯+ 含NIST 校准证书+ 温度和压力补偿，湿度补偿（选项）+ 含FLO-Sight PC 软件（基本款）应用+ 科技人员、工程师、设计者和科学家在广泛应用中使用TSI 气体流量计，如：- 产品开发- 生产制造- 品质保证- 科学研究- 计量认证- 现场服务

科里奥利质量流量计(Coriolis Mass Flowmeter)简称科氏力质量流量计，是利用流体在直线运动的同时处于一旋转系中，产生与质量流量成正比的科里奥利力原理制成的一种直接式质量流量仪表。基于科里奥利原理的流量仪表的开发始于20世纪50年代初，但直到70年代中期*台质量流量计才推向市场。由于它实现了真正意义上的高精度的直接质量流量测量，测量结果不受温度、压力、浓度影响，量程比宽，并可测量密度、温度、浓度多个物理参数等诸多优点，现已在石油、化工、制药、食品及其他工业过程中广泛应用。SMF系列质量流量计是上太仪表全新自主研发的产品，产品以其稳定、可靠、易用而深受用户欢迎，为客户节约投资、提高生产效率。SMF系列小流量专用型质量流量计采用*精密管，测量精度高，*低可达 5kg/h，可选管径DN10, DN15, DN25【质量流量计优点】• 直接测量质量流量，有很高的测量精确度，在工厂标定精度高达0.05%，工况现场可达0.2%。• 对应对迎流流速分布不敏感，因而无上下游直管段要求；• 测量灵敏，测量范围宽，量程比可达1：500；• 可测量流体范围广泛，包括高粘度液的各种液体、含有固形物的浆液、含有微量气体的液体、有足够密度的中高压气体。• 测量管的振动幅小，可视作非活动件，测量管路内无阻碍件和活动件。• 测量值对流体粘度不敏感，流体密度变化对测量值得值的影响微小。• 可做多参数测量，如同期测量密度，并由此派生出测量溶液中溶质所含的浓度。【质量流量计技术参数】被测介质：液体（油，水，浆体等）测量直径：DN10,15,25,40测量项目：质量流量、体积流量、密度、温度密度测量范围： 0.2g/cm3~2.5g/cm3介质温度：-30℃～+90℃流量测量误差： 0.2%； 0.5%密度测量误差： 0.002g/cm3温度测量误差： ≤1℃信号形式：电流4～20mA，脉冲0~2000HZ, RS485（可选），HART（可选）供电电源：外供24VDC测量管材料：304，316L，亦可按用户要求协商提供防爆等级：本安型ExibIICT4，隔爆型ExdIICT4外壳防护等级： IP67法兰标准：国标GB/T系列标准，也可以根据用户要求特殊加工。科里奥利质量流量计 - 测量原理【质量流量计测量原理】通过旋转运动产生科里奥利力是困难的，目前产品均代之以管道振动产生的，即由两断端固定的薄壁测量管，在中点处以测量管谐振或接近谐振的频率所激励，在管内流动的流体产生科里奥利力，使测量管中点前后两半段产生方向相反的挠曲，用电磁学方法检测挠曲量以求得质量流量。下图为质量流量计传感器结构图：1-支撑管 2-薄壁测量管 3,6-检测线圈 4-驱动线圈 5-外壳当管道内没有介质流动时，测量管只受外加振动力作用，入口和出口处检查线圈检测到的交流电信号是同相位的。当介质流动的时候，由于科里奥利效应，测量管产生扭曲，两端的检测线圈检测到的交流电信号存在相位差。流量越大，相位差越大，而且其相位差△T与流量的大小成正比关系。这样，可以利用△T作为质量流量的标定系数，即可以用△T代表每秒有多少克流量流过，从而实现质量流量的测量。【质量流量传感器安装的一般要求】相对于其他类型的流量计，质量流量计具有安装简便、易于使用、测量精度高以及直接质量测量等优点，尤其是没有直管段要求的特点，用户可因地制宜的选择安装位置，节约安装成本。◆ 安装位置应避免电磁##设施、变频设备等。◆ 工艺管道应对中，两侧法兰应平行。严禁用传感器硬行拉直上、下游工艺管道，否则将影响测量甚至损坏传感器。另外在两侧的工艺管道近法兰处（约2～10倍管径处）应有稳固的支撑。◆ 在传感器的上、下游管道上，建议安装截止阀及旁路以方便调零、日常维护及确保传感器在不工作时亦可处于满管状态。使用流量计下游的调节阀进行流量控制。◆ 在测量易汽化介质时，流量计下游建议安装压力表，供检查下游压力。建议流量计后面的工艺管道与流量计保持相同口径一段距离，另外在流量计后安装阀门以调节适当的背压，防止汽化或气穴发生。若介质在流量计中发生汽化或气穴将影响测量精度，严重时导致流量计无法正常工作。◆ 安装时要注意流量计外壳上的流向标志，其箭头指向与变送器内部组态的流量方向是一致的。◆ 对于新建管线，要在完成管道预置和管道吹扫后再安装传感器，避免由于管道施工对传感器造成的意外损坏及避免杂物进入传感器。仪表的搬运设备要操作可靠，做到轻起轻放，跌落和磕碰等易造成传感器*损坏。【SMF质量流量计选型表】SMF-□□□□□□-□□□-□□□□　　　│ │││ ││ │││　 　│ │││ ││ ││└─ 测量管材质：01-316L；02-哈氏合金；09-其他　 　│ │││ ││ │└── 防爆标识：A-本安型 D-隔爆型　 　│ │││ ││ └─── 输出形式：I-4~20mA P-脉冲 H-HART输出 R-485输出　 　│ │││ ││　 　│ │││ │└───── 压力等级：16：1.6MPA；25：2.5MPA；40：4.0MPA│ │││ │　 　│ │││ └────── 温度等级：C-常温型(-40~80℃) G-高温型(-40~180℃)│ │││ D-低温型(-200~60℃)│ ││└─────── 显示方式：1：一体式显示；2：分体式显示　 　│ │└──────── 传感器版本：默认1│ │　 　│ └───────── 连接方式：A： 法兰式； B：螺纹式；　 └──────────── 通径(mm): DN10~200mm选型示例：SMF-25A11-C16-IA01含意为：SMF系列科里奥利质量流量计，法兰式连接，公称口径25mm，介质温度为常温，公称压力为1.6Mpa，4～20mA输出，防爆标志为本安型，测量管接液材质316L。【生产能力】年产一万套【公司网站】【厂家热线】，西安上太仪表感谢您关注本公司产品！依托古都西安坚实的工业基础、强大的科研能力，汇集西部*人才，上太人以“严谨、务实、创新”为理念，为客户奉献行业精品。我们郑重*，本公司产品从出厂之日起12个月三包，出现非人为损坏质量问题，本公司负责包修、包换、包退，并提供终身维护服务。

VA 550-用于流量测量的热式质量流量传感器压缩空气和其他技术气体流量计使用VA 550，降低能源成本，提高可持续性。只需一个测量设备，即可监测消耗量并分析泄漏流量。因此它也是移动测量的理想选择。优势一览： 所有部件均由不锈钢制成，尤其适用于对清洁度和表面质量要求较高的应用场合 坚固的铝外壳可用于粗糙的工业应用 由于ATEX或DVGW许可，可用于易燃气体，如天然气、氢气、沼气等。 测量质量流量，直接输出标准体积流量 在小流量和满程流量下都非常精确 热式质量流量计原理是压力和温度补偿 通过标准的?”球阀快速方便安装 没有活动的零件，无磨损 直径的阻塞率降低而导致的压降降低VA550的技术细节"输出端： 4...20 mA、脉冲、Modbus、M 总 线、Profi Bus、以太网"压力高达100bar温度高达180℃防护等级IP67集成显示器可显示测量值可在DN 20至DN 2000之间使用，可根据要求使用更大管径可在有压力情况下方便地安装可通过显示屏上的键盘进行设置可通过显示器复位流量计流速可高达224 Nm/s"精度：± 1.5 % m. v. ± 0.3 % f. s. 根据需要：± 1 % m. v. ± 0.3 % f. s"

产品详情TSI 4043 型质量流量计（LCD、0-200L/min 空气、O2、N2 1/2" 导管） 可用于众多气体流量监测应用领域。无论是在实验室还是生产环境监测气体流动，TSI 通用型质量流量计都可提供包括多种数据输出选项的精确监测结果。显示版本包括各种组件，使设置和操作快捷方便。TSI 质量流量计规定为 2% 的流量读数误差。一台 TSI 质量流量计的量程与三台或或更多“误差为全量程的百分比的设备”...... 相比具有更好的精度。 快速四毫秒响应时间确保有波动流量中的测量精确性。TSI 质量流量计的这种快速响应时间特别适于闭环控制系统和综合体积流量监测。TSI 质量流量计的低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。 特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域实验室

产品详情TSI 4045 型质量流量计可用于众多气体流量监测应用领域。无论是在实验室还是生产环境监测气体流动，TSI 通用型质量流量计都可提供包括多种数据输出选项的精确监测结果。显示版本包括各种组件，使设置和操作快捷方便。 TSI 质量流量计规定为 2% 的流量读数误差。一台 TSI 质量流量计的量程与三台或或更多“误差为全量程的百分比的设备”...... 相比具有更好的精度！快速四毫秒响应时间确保有波动流中的测量精确性。TSI 质量流量计的这种快速响应时间特别适于闭环控制系统和综合体积流量监测。TSI 质量流量计的低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。 特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域实验室

产品详情TSI 4143 型质量流量计（LCD、0.01-20L/min 空气、O2、N2 3/8" 导管） 可用于众多气体流量监测应用领域。无论是在实验室还是生产环境监测气体流动，TSI 通用型质量流量计都可提供包括多种数据输出选项的精确监测结果。显示版本包括各种组件，使设置和操作快捷方便。TSI 质量流量计规定为 2% 的流量读数误差。一台 TSI 质量流量计的量程与三台或或更多“误差为全量程的百分比的设备”...... 相比具有更好的精度。 快速四毫秒响应确保有波动流中的测量精确性。TSI 质量流量计的这种快速响应时间特别适于闭环控制系统和综合体积流量监测。TSI 质量流量计的低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。 特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域实验室

产品详情TSI 4040 型质量流量计可用于众多气体流量监测应用领域。无论是在实验室还是生产环境监测气体流动，TSI 通用型质量流量计都可提供包括多种数据输出选项的精确监测结果。显示版本包括各种组件，使设置和操作快捷方便。 TSI 质量流量计规定为 2% 的流量读数误差。一台 TSI 质量流量计的量程与三台或或更多“误差为全量程的百分比的设备”...... 相比具有更好的精度！快速四毫秒响应时间确保有波动流中的测量精确性。TSI 质量流量计的这种快速响应时间特别适于闭环控制系统和综合体积流量监测。TSI 质量流量计的低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。 特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域实验室

产品详情TSI 4140 型质量流量计（0.01-20L/min 空气、O2、N2 1/4" 导管） 可用于众多气体流量监测应用领域。无论是在实验室还是生产环境监测气体流动，TSI 通用型质量流量计都可提供包括多种数据输出选项的精确监测结果。显示版本包括各种组件，使设置和操作快捷方便。 TSI 质量流量计规定为 2% 的流量读数误差。一台 TSI 质量流量计的量程与三台或或更多“误差为全量程的百分比的设备”...... 相比具有更好的精度。快速四毫秒响应时间确保有波动流中的测量精确性。TSI 质量流量计的这种快速响应时间特别适于闭环控制系统和综合体积流量监测。TSI 质量流量计的低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。 特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域实验室

VA 520-用于测量流量的热式质量流量计用于压缩空气和各种技术气体的流量计使用VA 520测量并降低能源成本，提高可持续性。在各个配电站和各个部门前面固定安装流量计，为各个用户计费，监测您的消耗量并分析泄漏情况流量计VA520的优势测量质量流量，输出标准体积流量在小流量和满程流量下都非常精确由热质量流原理补偿压力和温度易于安装和拆卸传感器，集成测量部分可以留在管线中，用于清洁或重新校准传感器，并且可以简单地用密封盖关闭没有活动的零件，无磨损直径的阻塞率降低而导致的压降降低可用于压缩空气和氮、氧、氩、氦等非腐蚀性气体。技术明细：标配 Modbus-RTU(RS 485）接口，4.....20mA和脉冲输出可选，如 Modbus TCP (以太网) ，PoE，M-Bus可选：双向测量压力高达40bar使用温度：-30....80℃td防护等级IP65集成显示器，显示测量值可用于DN8到DN80可通过显示屏上的按键调节设置可通过显示器复位流量计流速可高达224 Nm/s"精度：± 1.5 % m. v. ± 0.3 % f. s. 根据需要：± 1 % m. v. ± 0.3 % f. s"

TFCZL质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的流量管，中部装有驱动线圈，两端装有检测线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的检测线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号的相位差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。TFCZL质量流量计主要特点：◆高精度，直接测量质量流量，精度高达0.1%-0.5%◆多参量测量：质量流量、体积流量、密度、组分及温度◆应用范围广：可测量小流量、可测液体和气体、测量不受温度、压力及物性影响。◆安装要求低：对直管段几乎没有要求。◆免维护：运行可靠、维修率低TFCZL主要技术参数◆传感器规格、量程、零点稳定性见下表通径(DN）mm流量范围（kg/h）零点稳定性（kg/h）30~96~1440.014460~540~8100.08180~960~14400.144100~1500~22500.225150~3000~45000.45200~6000~90000.9250~9600~144001.44320~18000~270002.7400~30000~450004.5500~48000~720007.2800~120000~180000181000~192000~300000301500~420000~600000602000~720000~1000000100注：流量范围给出了两个参数，中间参数为标准流量范围，一般出厂检验按此量程进行检验，同时也建议用户在此量程范围内选用仪表；后一个参数为保证传感器稳定工作的上限流量范围。◆密度（液体）测量范围：0.3~3.000g/cm3◆温度测量范围：-200~350℃；◆被测介质工作温度：-200~350℃；◆适用环境温度：-40℃~60℃；◆工作压力：0~4.0MPa

科氏质量流量计可以测量瞬时质量流量、温度、密度及体积流量。因此可以取代多种测量仪器。由于构造无死角，所以该流量计可以清洗得很彻底，而且消毒也很容易。 KEM质量流量计不含活动部件所以也适用于黏性、污染性的介质。根据不同的需求，KEM质量流量计还可提供现场电子显示和远程电子显示的紧凑型质量流量计，都带有挂墙安装和盘装外壳。产品特点：? 德国原装进口/全球领先机械制造工艺? 最高压力 350 bar? 响应时间短 100 ms? 由于结构无死角，因此清洗和消毒效果极好? 介质温度可高达 +150℃? 符合ATEX和EMC测试的Ex防爆标准测量介质：各类化工原料、油品、造纸黑浆、水、酒类、饮料、糖浆、医药制品原料和成品等应用行业：▲ 石油化工▲ 食品饮料/酿酒▲ 轻工/造纸/纸浆▲ 水和废水处理▲ 制药▲ 电力▲ 冶金技术参数：型号质量流量计精度0.10%测量范围3 ~ 230000kg/h零点稳定性0.01%重复性0.05%密度测量范围0 ~ 2500kg/m3密度测量精度±1kg/m3工作温度-100 ~ +200℃本体材质304不锈钢接液材质316L不锈钢、其他防爆等级EXdiaIIBT4、EXdiaIICT4防护等级IP65、IP67连接方式法兰、卡箍连接等

产品详情TSI 41403 型笑气质量流量计（LCD、0.01-20L/min N2O、空气、O2、N2 1/4" 导管） 可用于众多气体流量监测应用领域。无论是在实验室还是生产环境监测气体流动，TSI 通用型质量流量计都可提供包括多种数据输出选项的精确监测结果。显示版本包括各种组件，使设置和操作快捷方便。TSI 笑气流量计规定为 3% 的流量读数误差。一台 TSI 笑气流量计的量程与三台或或更多“误差为全量程的百分比的设备”...... 相比具有更好的精度。快速四毫秒响应时间确保有波动流中的测量精确性。TSI 质量流量计的这种快速响应时间特别适于闭环控制系统和综合体积流量监测。TSI 笑气流量计的低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域实验室TSI 笑气流量计的低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域实验室

气体质量流量计气体质量流量控制器MC-1900D高精度、稳定性好、性价比高支持0-5VDC电压信号控制和RS485通讯面板上的按钮可以设置气体流量可以当作独立的控制单元使用气体质量流量计 Warwick创建于英国，是一家高速成长的科技公司，是多种气体配套产品的公司，拥有自己的研发团队和核心技术，专注于广泛的高科技领域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺。Warwiｃk的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick 始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化"的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。

一、操作便捷性：1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。 二、控制智能化：采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，响应速度快，稳定可靠等特点（气体质量流量控制器） 。 三、使用安全性：1、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。2、采用混气灌装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄漏。 四、周边拓展性：1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉使用。2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。3、可为用户定制多路气路产品。

产品详情TSI 40211 型质量流量计（0-300L/min 空气、22mm ISO 锥销） 快速、精确且具有低压力损失，适用于重要监测应用领域。4000 系列质量流量计规定为 2% 的流量读数误差。一台 TSI 质量流量计的量程与三台或或更多“误差为全量程的百分比的设备”...... 相比具有更好的精度。快速四毫秒响应时间确保有波动流量中的测量精确性。这种快速响应特别适于闭环控制系统和综合体积流量监测。低压降最大程度地减小了流动回路背压及其对系统的影响。特点和优势快速且精确低压降应用范围医疗领域工业领域

一、操作便捷性：1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。 二、控制智能化：采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，响应速度快，稳定可靠等特点（气体质量流量控制器） 。 三、使用安全性：1、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。2、采用混气灌装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄漏。 四、周边拓展性：1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉使用。2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。3、可为用户定制多路气路产品。液晶触摸屏控 制工艺流程一目了然 人机交互更加轻松 气体泄漏报警系统 实验操作更加安全。

coleparmer数字气体质量流量计coleparmer数字气体质量流量计可保存多达 10 种气体的校准数据––自我诊断测试––自动感应零点偏移调整流量计带有精密微控制器和非易失存储器（保存所有硬件的具体变量），可保存多达 10 种不同的校准表格、多达 32 种气体的转换系数，且该流量计支持多达 23 种的体积流量或质量流量工程单元，包括用户定义单元。这种功能使同一流量计可对多种气体进行校准，同时保持每个流量计的额定精度。此外，这款流量计提供了用户定义转换因数。通过数字接口命令，可将转换因数用于任何十种气体校准。通过 RS-485 或 RS-232 可对流量计进行远程编程。每个单元均包括一个带有 6-ft 长 3 线计算机裸通讯电缆的 15 针 D-接头和 3-ft 长 2 线电缆，适用于连接电源。您可选择适用于流量计的其他电缆和源。流量计具有多种功能，包括可编程流量累加器、高和低流量警报、自动校零、两个继电器输出、选择 0 - 5 VDC 或 4 - 20 mA 模拟输出跨接器、状态LED 诊断及内部或用户指定的 K-系数。带有可调背光灯的 LCD 显示器，可同时显示流量、总流量及诊断读数。使用 RS-485 和 RS-232 数字接口可访问相关内部数据，包括流量、CPU 温度、自动调零、累加器和警报设置、气体表、转换因数和工程单元选择、动态响应补偿和线性化表调整。模拟接口配有 0 - 5 VDC 或 4 - 20 mA 输出端口，适用于读取流量读数。自动调零功能需要在一定的条件下方可实现，即在调节过程期间确实无流体流过流量计。通过数字命令，可呈现、读取或保存当前的自动调零数值。通过整合实际的气体流量，并根据时间对气体总量进行计算。通过数字接口对高和低气体流量警报极限进行编程。使用预设延迟时间间隔（0 -3600 秒）启动警报活动，从而激活触点闭合（高低警报应分离）。锁定模式控制功能允许锁定每个继电器或遵循相应的警报状态。注意：此款质量流量计专为仅与清洁气体搭配使用而设计；不得使用此款流量计测量流体的流量。随机配备：电源和通讯电缆及制造商提供的 NIST 可溯源校准报告。规格精度（包括线性度）：在标准温度和压力下为满量程的 ± 1%精度系数，温度：满量程的 ± 0.15%/℃ 或更高精度系数，压力：± 0.01% 满量程 /psi 或更高重复性：满量程的 ± 0.25%最大压降：0.18 psid响应时间：在实际流量的 ± 2%范围内，从满量程的 25 % 到100% 仅需 2 秒（典型值）使用温度：41 - 122 ℉（5 至 50 ℃）最大系统压力：500 psig (34.5 bar)漏气率：1 x 10–9 mL/sec HE电源：11 - 26 VDC输出：0 - 20 mA、0 - 5 VDC及RS-485过程连接：1?4"压缩coleparmer数字气体质量流量计订购信息流速空气/N2 /COO2H2ArHeCO2货号货号货号货号货号货号铝制机身0 - 5 sccm33400-0033400-1033400-2033400-3033400-4033400-500 - 10 sccm33400-0133400-1133400-2133400-3133400-4133400-510 - 20 sccm33400-0233400-1233400-2233400-3233400-4233400-520 - 50 sccm33400-0333400-1333400-2333400-3333400-4333400-530 - 100sccm33400-0433400-1433400-2433400-3433400-4433400-540 - 200sccm33400-0533400-1533400-2533400-3533400-4533400-550 - 500sccm33400-0633400-1633400-2633400-3633400-4633400-560 - 1 LPM33400-0733400-1733400-2733400-3733400-4733400-570 - 5 LPM33400-0833400-1833400-2833400-3833400-4833400-580 - 10 LPM33400-0933400-1933400-2933400-3933400-49—316 不锈钢机身0 - 5 sccm33401-0033401-1033401-2033401-3033401-4033401-500 - 10 sccm33401-0133401-1133401-2133401-3133401-4133401-510 - 20 sccm33401-0233401-1233401-2233401-3233401-4233401-520 - 50 sccm33401-0333401-1333401-2333401-3333401-4333401-530 - 100sccm33401-0433401-1433401-2433401-3433401-4433401-540 - 200sccm33401-0533401-1533401-2533401-3533401-4533401-550 -500sccm33401-0633401-1633401-2633401-3633401-4633401-560 - 1 LPM33401-0733401-1733401-2733401-3733401-4733401-570 - 5 LPM33401-0833401-1833401-2833401-3833401-4833401-580 - 10LPM33401-0933401-1933401-2933401-3933401-49—附件33401-90 电源和通讯电缆；带有 6-ft (1.8-m) 长 3 线接头（带有通讯电缆）的 15 针 D-接头和 3-ft (0.9-m) 长 2 线电缆，适用于连接电源17080-10 带数据的NIST 可溯源校准报告33401-91 带有通讯电缆的电源；115 V 至 15 针 D-接头33401-92 电源和通讯电缆；115 V 至 15 针D-接头，带有额外的 9 线模拟输出

气体质量流量计一、气体质量结构解决的问题v 小管径：DN10～DN35；v 高压：35MPa；v 脉动流：瞬间流速巨变；v 宽测量范围：30：1；v 小安装空间。二、一体化节流式流量计ü 测量装置和差压、压力、温度、积算、通讯做成一体，直接输出体积或质量瞬时流量、温度、压力、累积流量；ü 数字运算后避免了传输误差，差压传感器所有的测量数据都可参与运算，同时在线补偿流出系数C参数，使流量量程宽度达30：1以上；ü 双向计量，分别输出正向和反向累积流量；ü 用于小微口径（DN2～25)流量计量；ü 差压1Pa起步，可测量微小流量；ü 蒸汽和水测量时不需保温伴热；ü 数字输出，可直接网络连接使系统投资节约30%以上；ü 紧凑结构设计，适应撬装装置的使用。用途及限制：ü 气体流量：要求洁净气体；ü 高温、高压液体：要求无结垢，≤2.5MPa、≤100℃；ü 蒸汽：≤200℃；ü 氢气：变送器专业涂层可适应氢气环境下长期工作。 撬装流量计 技术参数表：管道直径mm一体化安装：DN10～35分体安装：DN2～5节流件材质优选1Cr18Ni9Ti；次选304温度范围环境温度：-25～75℃；介质温度：-20～200℃压力范围2.5 MPa、10MPa、35MPa相对湿度年平均≤95%流量宽度蒸汽：20：1；水：25：1；气体：30：1系统精度±1.5%，实流校准后±0.5%不确定度诸多因素影响，本公司可向您提供有关咨询服务防护等级IP67防爆等级ExiaⅡCT4/T5/T6Ga本安防爆供电电源24V DC接头标准订制输出信号4～20mA/HART、RS485/MODBUS直管段要求无要求（自带直管段）流量范围ReD≥5000(0.2≤β≤0.45)、ReD≥10000(β＞0.45)，详见计算书

美国MesaLabs DryCal 800气体质量流量计简介：Bios Met Lab ML-800系列提供低成本、*“干式”方法精密测量气体流量，而且可靠、可直接追溯到NIST。Bios Met Lab ML-800系列能让你实现快速、准确的流量测量，成熟的 BIOS DryCal 技术。Met Lab简单按钮操作和即时气体流量测量，简单而易于操作，无需专业培训，这意味着任何工作人员都可以操作，并且在任何时间都可以准确的校准。 美国MesaLabs DryCal 800气体质量流量计主要特点：*精度 ±0.15%*可靠—超过15年的 Drycal 技术*可追溯性—获NVLAP认可,ISO17025,ANSI Z-540,NIST Handbook 150*灵活—便携，模块化设计：集成软件简单定制你的需求*方便——简单按下按钮；干式无水银或其他液体 美国MesaLabs DryCal 800气体质量流量计主要技术指标：ModelFlow RangeAccuracyStandardizedAccuracy VolumetricDryCal-800-30.5-50 scc/min±0.25%±0.25% plus .002 sccmDryCal-800-105-500 scc/min±0.15%±0.15%DryCal-800-2450-5,000 scc/min±0.15%±0.15%DryCal-800-44500-50,000 scc/min±0.15%±0.15%DryCal-800-751-100 slm±0.15%±0.15% 美国MesaLabs DryCal 800气体质量流量计主要参数：气体兼容性：无腐蚀性气体，不结露，非可燃气体，湿度小于70%流动模式：压力或抽吸温度和压力传感器：在气流中读数模式：单次，自动或触发模式AC交直流转换器/充电器：12V DC 500ma电池系统：6V 可充电密封铅酸蓄电池，典型工作时间6～8小时入口和出口接头：1/4” 内径Swagelok管压缩接头（1/8” 接头型号3）（1/2” 出口接头型号44）环境温度：15 - 30℃储存温度：0 - 70℃环境湿度：-70%，不结露工作压力()：气压，大15 PSIA显示：背光式LCD显示器数据端口（使用优化软件）：RS-232串口质保期：产品1年，电池6个月尺寸：430 X 150 X 280 毫米重量：160盎司/4550克

多路质量流量供气系统是用于控制一种到多种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。 产品型号混气系统2路质子GSL-2Z、混气系统3路质子GSL-3Z、混气系统4路质子GSL-4Z主要特点精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。技术参数1、电源：185-245V 50Hz2、最大输出功率：18W3、控制范围：GSL-2Z控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCMGSL-3Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCMGSL-4Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM4、最大压力：3×106 Pa5、准确度：±1%FS6、线性：±0.5-1.5%7、重复精度：±0.2%FS8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）11、混气罐：?80mm×120mm12、截止阀：?1/4″，316不锈钢针阀13、工作温度：5-45℃产品规格尺寸：600mm×600mm×650mm

服务范围：选型咨询、安装调试、售后服务，第三方校准等全套服务,欢迎咨询应用： S421 是一款用于在允许范围内测量压缩空气的流量传感器，能够测量压缩空气和工业气体的体积流量、气体的累积量。特性： 1 插入式设计，安装简单，可利用球阀带压操作。 2 热式质量测量原理，测量值几乎不受压力和温度的影响。 3 IP65 外壳，即使在恶劣的工业环境中也能提供良好的保护。。 4 精度高，量程宽，响应迅速。有特殊量程需求可咨询定做。 5 管道直径：1/2"至 12"（更大管径可按客户要求订做）。 6 传感器表头显示器（可选）可直接显示体积流量和累积量。 7 Modbus 接口 (可选)。参数： 标准单位流量：m3 /h 其他单位: m3 /min, l/min, l/s, cfm, kg/h, kg/min, kg/s 累积量单位: m3 , ft3 , kg 参考条件： ISO1217 20°C 1000 mbar (Standard-Unit) DIN1343 0°C 1013.25 mbar (Norm-Unit) 测量原理： 热式质量流量 传感器： 玻璃涂层电阻传感器 测量介质： 空气、气体（非爆炸性气体） 工作温度 流体温度：-30 ... +140°C 外壳：-30 ... +70°C 显示器（可选）：0 ... +50°C 测量的介质湿度： 90%, 无冷凝 工作压力 0 ... 1.6 MPa (可选：4.0 MPa) 外壳材质： PC + ABS 测量杆和传感器探头 不锈钢 1.4404 (SUS 316L) 防护等级： IP65 显示器 (可选)： 2.4 英寸彩屏显示器，带按键 管道直径： DN15 ... DN80 工艺连接： G1/2” (ISO 228/1) 重量： 0.6 kg (仅为仪器，不包括测量管道部分。)

仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。主要特点：★高性能价格比、普通型产品★橡胶密封、模拟电路的MFC★7A型的更新换代型★管状分流，使用寿命长技术参数：产品型号D07-7B产品类型普通型流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm产品精度±1.5％F.S.重复精度±0.2% FS线性±1％F.S.响应时间电特性: 10sec 气特性:≤4sec工作温度范围(5~45)°C耐压3MPa密封材料氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene输入输出信号0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)电源+15 V 50 mA -15V 200 mA阀类型常闭温度系数- 无 -零点飘移指标- 无 -电气连接D sub 15 pins Female工作压差范围(0.1～0.5) MPa漏率1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He）标准接头形式双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头重量1.1Kg

国内专业生产和代理的流量控制器供应商，能保证货期短，相同型号价格低，买不买都可以来找我咨询下，可围观朋友圈bythewayjack不止是产品还有服务。性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。Alicat MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。多功能：监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER&trade 气体编辑器确定自己的气体组成。连 接：利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。耐 用：MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。型号最大满量程（N2标准）最小满量程（N2标准）最大工作压力Alicat MC系列低流量5 SCCM0.5 SCCM160 psi性能指标流量精度 ±0.8% R.D and ±0.2% F.S ； ±0.4% R.D and ±0.2% F.S（用于≥5 SCCM型号）重复性±(0.2% R.D + 0.02% F.S)控制范围0.01–100%F.S响应时间10 ms；与流量相关温度精度±0.75°C压力精度±0.5 %R.D（＞ 1 Atm）/ ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）工作温度&minus 10–60°C预热时间1 s电气参数电源 12–24 V；250 mA (如果配备 4–20 mA，则为290 mA )数字通讯RS-232 ； RS-485 ； Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus模拟通讯4–20 mA； 0–5 V；1–5 V； 0–10 V电气接口6 pin locking； 8 pin mini-DIN； 8 pin M12；DB-9；DB-15机械参数阀门类型 常闭阀（MFM无意义）基体材质302； 303； 304；316L；和 430FR 不锈钢；FKM；氧化铝陶瓷；黄铜；玻璃；金；热固化环氧树脂；热固化硅橡胶；聚酰胺；硅尺寸结构尺寸重量（kg）型号高度宽度深度ABCEFG0.5-5sccm3.897in3.338in1.050in0.336in0.525in0.125in0.925in0.150in2.225in≈ 1.1 lb98.98mm84.79mm26.67mm8.53mm13.34mm3.18mm23.5mm3.81mm56.52mm≈ 0.5 kg

TBZR热式气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的，该仪表采用恒温差法对气体进行准 确测量。具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。 传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，仪表工作时，一个传感器不间断地 测量介质温度 T1；另一个传感器自加热到高于介质温度 T2，它用于感测流体流速，称为速 度传感器。该温度ΔT=T2-T1，T2T1，当有流体流过时，由于气体分子碰撞传感器并将 T2 的热量带走，使 T2 的温度下降，若要使ΔT 保持不变，就要提高 T2 的供电电流，气体流动 速度热快，带走的热量也就越多，气体流速和增加的热量存在固定的函数关系，这就是恒温 差原理。本产品广泛应用于钢铁厂、焦化厂、石油、化工、热 力、医疗、热电厂、环保等行业。可进行：钢铁厂，焦化厂煤气流量测量、锅炉空气流量，测量二次风量、烟囱排出的烟气流量测量、水处理中瀑气流量测量、水泥，卷烟，玻璃厂生产过程中气体流量测量、压缩空气流量测量、天然气，煤气，液化气，火炬气，氢气等气体。

仪表简介T700是一个基于微处理器技术、专为精密的气体分析仪而开发的多路气体校准仪。通过采用高精度的质量流量控制器和压缩标准气体，为多个气体参数的零点和跨度检验提供校准标气，最多可以提供4种气源。T700可选配内置的可编程臭氧发生器，该臭氧发生器不仅用作精确、可靠的臭氧校准，还可以用于产生NO2——在内置气相滴定室（GPT）中与NO混合反应。多点线性曲线被用来控制臭氧发生器，以保证可重复的臭氧浓度；可选的光度计还可以实现对臭氧发生器相当高的精度控制，对校准和内置气相滴定室。为了保证相当准确的NO2输出，带有光度计选项的校准仪测量臭氧浓度优先于做气相滴定。T700的设计强调快速反应、可重复性、全面精度和易于使用。和T701零气发生器配合使用，将为您的分析仪构成易于使用且校准精确的终极配置。 仪表特性u 彩屏显示,触屏操作u 标配的以太网连接, RS232，可选配USB或RS485等u 微处理器实现多功能操作u 产生O3、 NO、 NO2、 CO、 H2S、 SO2的精确校准气u 仪器工作参数以数字状态输出u 精密的质量流量控制器，保证仪表的精度u 轻便，易于运输u 4个校准气端口，用于单一气体或多种混合气体u 前面板的USB接口,具有储存卡数据采集功能u 臭氧发生器和光度计允许用作初级标准或传递标准u 玻璃的气相滴定室 仪表技术参数稀释系统指标：流量测量精度满量程的±1％流量控制再现性满量程的±0.2％流量测量的线性满量程的±0.5％稀释气的流量范围 0－10SLPM，可选0-20SLPM，0-5SLPM钢瓶气的流量范围0－100cc/min零气源要求10SLPM℃30psi,可选20SLPM@30psi校准气体输入口4稀释气体输入口1反应时间T98＜60s O3发生器指标:最高输出6ppm LPM最低输出100ppb LPM反应时间T98＜180s紫外光度计模块指标：量程100ppb-10ppm精度1.0ppb线性读数的1.0%升降时间20秒响应时间180秒工作温度范围5-40℃湿度0-95%RH，无冷凝重量27kg尺寸178mm*432mm*609mm电源100V,115V,220V,230V,24OV,50HZ/60HZ认证CE