1. 样品台规格:样品台尺寸:Φ160mm大工件尺寸:Φ200mm大工件厚度:52mm大工件重量:2kg纵向调整范围:2.5" (±5mm/160mm)样品台材质:黑色硬质铅手动旋转:360°(手动粗调)、±5°(微调,小约0.5°)2. 传感器参数: 原理:光栅式传感器Z方向测定范围:Max. 600μmZ方向小分辨率(随放大倍率变化):x5,000倍时:10nm ±300μmx10,000倍时:5nm ±160μmx20,000倍时:2.5nm ±80μmx50,000倍时:1nm ±32μmx100,000倍时:0.5nm ±16μmx200,000倍时:0.25nm ±8μmx500,000倍时:0.1nm ±3.2μmx1,000,000倍时:0.05nm ±1.6μmx2,000,000倍时:0.025nm ±0.8μm测定力:10μN~500μN触针半径:2μm 60° 钻石针头(另有多种可选)驱动方式:直流伺服重复性:te = 0.2nm (1μm以下台阶时)3. X轴(基准轴/测量轴)参数:移动量(大行程):100mm (±50mm)直线度:0.2μm/100mm (全量程),5nm/5mm (局部)移动速度:0.005~20mm/s线性度(linear scale):X方向分辨率 0.1μm位置重复误差:±5nm以下是详细列出的机械臂参数和功能:4. Z轴参数:移动量:54mm移动速度:大2.0mm/S检出器自动停止机能5. Y轴参数(手动定位用):移动量:25mm(±12.5mm)6. 工作观察参数:彩色1/3"CCD,配备x4物镜倍率综合倍率:约320倍(使用19"显示器时)视野范围:1.2mm x 0.9mm观察方向:右侧斜视照明系统:白色LED,支持软件调整明暗度7. 软件功能简介:型号:i-STAR31可设定测量条件菜单、重复测量设定及解析菜单支持设定下针坐标,实现定位后自动测量及解析功能配备低通滤波功能,有效过滤噪音及杂讯具有返回测量起始点功能显示倍率范围:垂直方向502,000,000倍,纵方向110,000倍强大的解析功能,包括主要图形、段差解析、粗糙度解析、内应力分析及多种段差解析选项8. 其他参数:床台材质:一体花岗岩防振台(选购):提供落地型或桌上型选项电源规格:AC220V±10%,50/60HZ,300VA本体外观尺寸及重量:W500×D440×H610mm,重120kg,采用一体花岗岩低重心结构设计(不含防振台)
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