特点低噪声XYZ位置传感器高速Z轴扫描器,扫描范围达15μm自动多点样品扫描集成编码器的XY自动样品载台扫描头滑动嵌入式设计操作方便的样品台用于高级扫描模式易插拔扩展槽同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统高速24位数字电子控制器自动Z轴移动和聚焦系统技术信息引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。Park NX20,这款高精密的大型样品原子力显微镜,凭借着数据的准确性,在半导体和硬盘行业中大受赞扬。全面多样的分析功能Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据,让用户能够更加专注于工作。与此同时,非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。 即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案样品侧壁三维结构测量NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。对样品和基片进行表面光洁度测量表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精准的失效分析和质量保证。高分辨率电子扫描模式QuickStep SCM超快的扫描式电容显微镜PinPoint AFM无摩擦导电原子力显微镜多种创新且创新的专利技术帮助顾客减少测试时间 CrN样品所做的针尖磨损实验通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化,您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。 AFM测量借助真正非接触模式,探针尖端在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。没有前沿或后沿过冲现象终身无需校准,减少设备维护成本 Park NX系列原子力显微镜 传统的原子力显微镜参数扫描器Z扫描器XY扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15μm (可选30μm)高度信号噪声等级: 30 pm(RMS,at 0.5kHz带宽)闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 100μm×100μm(可选50μm×50μm)驱动台Z位移台行程范围聚焦样品台行程范围XY位移台行程范围25mm(Motorized)15mm(Motorized)200mm×200mm样品架样品尺寸样品重量 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µ m分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野CCD840 × 630 µ m (带10倍物镜)100万像素, 500万像素 (可选)软件SmartScan&trade XEIAFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制AFM数据分析软件电子集成功能信号处理连接外部信号4通道数字锁相放大器数据Q控制ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensorDAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioningMaximum data size : 4096 x 4096 pixels20个嵌入式输入/输出端口5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压AFM模式(*可选项)标准成像力测量介电/压电性能真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜(LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力-距离(F/d)光谱力谱成像静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜*机械性能磁学性能*电性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)*化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)高级选项温度稳定的隔音罩集成编码器的自动载台样品盘创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡NX20具有主动隔振功能。XY马达运动工作时分辨率为1 µ m,重复率为2 µ m。Z马达运动的分辨率为0.1 µ m,分辨率为1 µ m。用于电气测量的专用小样品架用于固定晶圆的真空槽温度控制温控台 1: -25℃ to +170℃温控台 2: Ambient to +250℃温控台 3: Ambient to +600℃
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