扫描电镜成像

像散对扫描电镜成像质量的影响通过之前的文章，大家了解了 “加速电压” 与 “束流强度” 对图像的成像质量有非常大的影响。其实除了加速电压、样品的导电性、电镜的束流强度，像散、图像的亮度对比度等都会影响扫描电镜图像的成像质量。 今天，这一篇文章将教大家了解消除像散的重要性，提高样品的成像质量。 像散的定义可能会比较抽像，所以，小编用近视的散光来进行对比。 当近视看月亮时，月亮会比较模糊，但仍是一个圆形。 当近视有散光看月亮时，看到的月亮会出现变形。 扫描电镜的像散就如同散光，当图像有像散时，在聚焦的过程中会发现图像拉伸变形，失去原本的形状，这也是判断像散的依据。如果在聚焦的过程中，没有发现图像出现拉伸变形，仅仅只是图像虚化，那便说明没有像散。 像散是影响图像清晰度的重要因素。尤其是高倍图片——在用高加速电压、低束流拍摄高倍率图片时，一般都需要进行消像散。下面，通过几组图片，让大家更好的理解消像散对高倍率图像的重要性。 锡球，扫描电镜放大倍数是 79000 倍，左边图像无像散，右边图像有像散 电极材料，扫描电镜放大倍数 50000 倍，左边图像无像散，右边图片有像散 炭材料，扫描电镜放大倍数 20000 倍，左边图像无像散，右边图片有像散 当扫描电镜图像出现像散时，对其进行聚焦，图像会出现拉伸感，如下图所示，消像散需要实验员具有丰富的操作经验，才能准确识别并消除象散。 飞纳电镜 Rel 4.6 的自动消像散功能可以轻松解决扫描电镜初级操作者无法熟练消像散的问题。

据中国政府采购网消息，近日，山东大学公示了2024年10月-11月的仪器设备采购意向，总预算金额为1560万元人民币，采购拉曼成像扫描电镜1台、信号采集与处理集成设备8套、环境扫描电镜1台。序号采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期1拉曼成像扫描电镜 A02100301 显微镜本次采购拉曼成像扫描电镜1台，利用该设备可以从同一点（面或区域）采集扫描电镜及共焦显微拉曼光谱仪数据，能够同时对样品表面形貌、元素成分以及物相结构进行快速直观的表征，从而将各类生物样品，材料样品等的超精细表面形貌结构与分子化学信息相匹配。6802024年10月2信号采集与处理集成设备A02103100 生理仪器本次采购信号采集与处理集成设备8套，含集成可移动实验平台、生物采集系统、呼吸系统、测温系统、照明系统、同步演示系统、智能化集中控制系统等。协助教师进行实验信息化管理，满足各项生理学、药理、病理生理学等实验要求，用于生理信号采集相关实验研究。4802024年11月3环境扫描电镜A02100301 显微镜本次采购环境扫描电镜1台，要求该设备可在高真空的状态下，对于含水的生物样品直接进行高分辨率的原位观察，保持生物样品的原始超微形貌不受破坏，并具有选择性刻蚀能力，可通过断裂升华，显露样品内在信息，适用于生物样品的纳米级别分辨率的超微成像观察。4002024年10月

随着工业生产日益复杂和产品标准不断提高，部件的质量控制和生产速度变得越来越重要。对于实验室和质量管理负责人而言，往往需要在技术人员较少、时间有限的情况下提供分析结果。目前，标准的行业解决方案是将用于获取结构信息的扫描电子显微镜（SEM）与能量色散 X 射线光谱（EDS）探测器相结合，进行样品的化学元素分析表征。 EDS 提供的元素信息可以给质量分析提供指导方向，然而将扫描电镜（SEM）与 EDS 割裂为两个独立的设备会导致用户体验不够友好。比如：需要不断地在高低倍数间切换来完成样品寻找和成像；需要在两个系统间不断进行数据同步和关联；独立的硬件和软件需求会导致兼容性问题和维护困难；数据分析可能会很麻烦并且需要很长时间；操作人员需要更长时间的专门培训。 飞纳电镜推出的 ChemiSEM 技术，将扫描电镜（SEM）形貌观察与 EDS 成分分析相结合，让工作流程更加流畅，简化了许多材料（包括金属、陶瓷、电池、涂层、水泥和软物质材料等）的分析流程：通过彩色元素分布图与扫描电镜（SEM）图像的实时叠加，在成像同时提供高质量的成分定性定量信息。 ChemiSEM 分析技术在易用性、便利性和速度上的提升，可以更快、更轻松地提供元素信息，降低每个样品分析测试的成本，更好地服务于质量分析过程。 对于您的实验室 ChemiSEM 提供了一个简单易行的解决方案，易于安装和使用，始终处于开启状态，并且能够在最少的训练和培训下提供可靠的结果。 对于您的团队 ChemiSEM 延长了设备有效机时，增加了样品吞吐量，从而提高了材料分析的质量和数量。 PART.01 实时分析获取更深层的信息 所有的 SEM-EDS 分析本质上都是复杂的，对于产品故障分析和污染物识别等应用，研发需要不断改进质量控制（QC）和故障分析（FA）流程，以更好地解决出现的问题。 ChemiSEM 技术的实时分析在质量控制和生产效率提升方面提供了独特的优势。它的 EDS 集成在仪器中，并在电镜工作时始终在后台收集成分数据，逐步建立样品更全面和详细的信息，帮助您更快地定位到关键质量问题 PART.02 实时定量面扫：不再有分析干扰 传统的元素分析中，复杂样品元素分布和相分布面扫并不能及时得到精确的结果。例如，一个峰的信号有时会被识别为两个元素，产生错误，干扰样品QC 问题的判断。 凭借创新的算法和智能光谱拟合，ChemiSEM 技术可以帮助您的实验室团队实现准确的元素识别和量化——即使在处理多个重叠元素时也是如此。 ChemiSEM 定量面扫 ChemiSEM 技术自动处理原始信号，生成定量面扫结果。数据被很好地解析，能够有效避免和峰和重叠峰的影响。并且使用专利的算法同时处理 BSE（背散射电子）和 EDS 信号，从而可以实时显示样品的形态和元素定量结果。 PART.03 无偏差相分析 传统的相分析高度依赖于对样品的假设，当存在谱峰重叠或强度不足而遗漏了元素时，这可能会是一个问题。 有了 ChemiPhase（ChemiSEM 技术中的一项新功能）后，可以避免这种情况。复杂样品的分析能够做到完全无偏差，可以基于数据单元中所有光谱结果，系统地识别每个独立的相。随后，数据分析可以在没有任何元素预定义的情况下自动运行，无需丰富经验即可定位次要/微量元素，明确识别主要和次要成分，完成更深入、更全面的分析。 地质切片分析 使用 ChemiPhase 对地质切片的分析，每个相的能谱成分被自动提取和计算，可以将不同矿物相有效区分。 PART.04 自动样品漂移校正 成分分析过程中，准确和有效的定量结果需要一个正确且稳定的样品位置信息。 通常在图像漂移的情况下，研究人员需要多次重新获取分析数据，或者等待样品停止漂移后再获取数据，这两种方式都会降低测试效率。 通过不断监控样品位置，ChemiSEM 软件提供自动样品漂移校正，使高倍率操作和较长时间的能谱采集成为可能。帮助大家节省宝贵的时间和精力，专注于更重要的事情：尽快获取最高质量的数据。 简而言之，ChemiSEM 技术提供高质量的分析结果。它在大量的操作参数范围内进行了优化，即使在存在多个重叠峰的情况下也能提供可靠的数据结果。智能光谱拟合根据精确的参数设置自动验证元素，为获得的结果提供保证。

探索全新扫描电镜成像技术——BEX什么是BEX？BEX是集背射电子和X射线成像于一体的新型微区分析技术，可以在SEM下同步、高效采集背散射电子图像和元素面分布图。BEX技术能带来哪些新体验？此前，基于SEM的显微分析大多是静态的、逐步进行的，并且高度依赖用户经验。操作人员通常根据SE/BSE灰度图中的形貌或原子序数衬度进行样品导航，并借助EDS完成精细的成分分析。如果当前区域没有感兴趣的特征，则需要重复以上繁琐步骤。在BEX技术的支持下，即使样品台移动过程中也能实时呈现试样的形貌、晶体取向、原子序数和元素分布等信息，让复杂样品分析极尽简便迅捷之能。只需稍作停留即可获得高分辨、高质量的元素面分布图，无论是开展更精细的分析还是继续样品导航都如丝般顺滑。SEM成像技术发展二次电子成像自SEM诞生以来二次电子（SE）成像一直是最常见的成像技术之一。SE是样品与高能电子束发生非弹性散射后逸出试样表面的电子，其产额与入射角度相关。它们具有较低的能量（~50 eV）和逸出深度（~10 nm），能够提供丰富的形貌信息。Everhart-Thornley探测器是一种常见的二次电子检测装置，由带正电的法拉第笼、闪烁体和光电倍增管组成。二次电子（绿色）从样品表层逸出，当电子束入射角度偏离法线时，SE产额增加。SE图像的灰度反映样品表面的起伏情况。加速电压：20 kV，束流：1 nA，采集时间：15 s背散射电子成像入射电子经弹性散射逸出样品表面形成背散射电子（BSE）。与SE探测器不同，BSE探测器的核心结构是位于极靴正下方的p-n半导体，可以有效地采集能量更高、激发深度更深的BSE信号。BSE产额随试样的平均原子序数增加而升高，在BSE图像中，越亮的区域意味着更高的原子序数。通过逻辑运算，具有两个或多个分割区域的半导体BSE探测器还可以显示试样表面的起伏信息。背散射电子（红色）的逸出深度更深，BSE图像的灰度反映了样品的平均原子序数衬度。加速电压：20 kV，束流：1 nA，采集时间：15 sBEX成像BEX成像系统在极靴正下方集成了BSE与X射线传感器。后者通常是硅漂移探测器（SDD），用于分析特征X射线，其工作原理与EDS相同。软件算法能够自动识别谱图中存在的元素并进行配色，最终输出与BSE信号叠加的彩色图像。与SE或BSE成像技术相比，BEX成像技术在相同采集时间和工作条件下提供了更丰富的样品组成和元素分布信息。与常规EDS系统相比，BEX系统具有更大的立体角和更高的X射线计数率。此外，BEX系统的特殊设计消除了样品表面起伏在元素面分布图中产生的阴影效应，并拓宽了X射线成像时可用的工作距离范围。同步检测BSE（红色）和X-ray信号（蓝色）；（b）BEX成像结果。加速电压：20 kV，束流：1 nA，采集时间：15 s

在使用扫描电镜的过程中，您是否总是遭遇如下问题： 1. 在不同设备间切换样品时总需耗费大量时间重新定位感兴趣区域2. 总是为获取大面积高分辨图像而苦恼，需要频繁切换成像参数，调整像散聚焦3. 得到图像后又在为图像的量化分析而发愁 针对以上的困扰和需求，蔡司对扫描电镜进行了全方位武装，特别推出智能电镜解决方案，解决以上提到的所有问题，最大程度确保您日常检测和分析工作的顺畅与高效。 01 关联定位分析 蔡司Connect模块轻松实现光学显微镜到扫描电镜的桥接，快速实现样品在不同设备间的重新定位，还能统一管理关联设备的数据和信息 ✓ 关联定位：通过关联样品台实现样品在不同显微镜设备之间自动关联重定位，大幅缩减操作用时✓ 数据叠加：自由叠加来自手机，光学显微镜，扫描电镜的信息以及相关能谱信息✓ 统一管理：管理来自不同关联设备的数据，输出不同信息叠加图像和视频 ▲ PCB电路板的关联显微分析（光镜，电镜，能谱信息），左：宏观图像；右：感兴趣位置局部放大 ▲芯片关联显微分析视频（光镜，共聚焦，电镜） 02 自动成像 蔡司SmartSEM Touch定制软件，全面兼顾参数设置，成像，自动化拼图，图像浏览，实现智能高效的扫描电镜成像 ✓ 向导式操作流程，界面简洁，操作简单✓ 根据样品智能匹配成像参数，实现自动聚焦✓ 简单操作即可完成高通量图像拍摄和拼接 ▲简洁的SmartSEM Touch操作界面 03 量化分析 蔡司ZEN模块实现从电镜图像获取，图像处理，图像分割，自动测量到报告生成的整个量化分析流程 ✓ 一键获取扫描电镜图像，向导式的分析工作流程，毫无经验的新手也可轻松掌握✓ 基于机器学习的ZEN Intellesis模块轻松实现传统阈值方法难以达成的图像处理需求✓ 丰富的测量功能，如颗粒统计分析，孔隙率，含量百分比，层厚测量，晶粒度评级等 ▲量化分析界面-二值化分割 ▲金属焊接位置孔隙大小分析及含量分析 ▲满足多种测量需求——高级测量 ▲颗粒分析 ▲晶粒度评级 ▲含量百分比 ▲层厚测量 ▲孔隙率分析 蔡司智能扫描电镜解决方案满足您的多种需求，点击下方您所属的专业领域了解更多，或关注蔡司显微镜微信公众号（ZEISSMIK）留言咨询您想知道的任何信息。

植物研究中，植物细胞高分辨率成像非常重要，而目前最常用的方法是扫描电子显微镜(SEM)。但SEM有诸多局限，比如制备过程中会损害材料样品或者设备成本高等。为此，佛罗里达大学的研究人员发明了一种利用复合荧光光学显微镜对植物细胞进行光学切片3D重建成像的新方法。该方法比扫描电镜更简单、更具成本效益。 　　复合显微镜有多个镜头反射光线，材料样品用乙醇脱水后浸在液体中去除的保护外层花瓣细胞的蜡膜，然后用荧光染料进行染色以提高显微镜下的细节清晰度。与扫描电镜相比，新的成像方法在保存材料样品的前提下产生清晰的图像，这对需要批量处理样品的研究具有很大意义。&ldquo 我们相信，任何类型的组织都可以放在显微镜下进行成像，&rdquo 研究员兰迪斯说，&ldquo 以前使用扫描电镜和准备样品需要花许多时间，现在，光学切片和三维重建是我所使用的最简单、最有效的方法。&rdquo

生物分类是研究生物的一种基本方法。生物分类主要是根据生物的相似程度（包括形态结构和生理功能等），把生物划分为种和属等不同的等级，并对每一类群的形态结构和生理功能等特征进行科学的描述，以弄清不同类群之间的亲缘关系和进化关系。了解生物的多样性，保护生物的多样性，都需要对生物进行分类。 聊城大学生命学院主要从事植物学和生态学的研究工作，专长于海洋线虫及地衣植被的分类和多样性研究。 物种分类的依据是生物在形态结构和生理功能等方面的特征，其中利用生物的形态分类是最直接、最快速和最常用的方法。线虫一般呈现透明状，可以利用光学显微镜观察虫体结构来进行分类，有时为了便于观察，往往需要对线虫进行染色。 由于光学显微镜分辨率的限制，虫体表面细节很难在光镜下观察清楚，给线虫分类带来了较大困难。扫描电镜具有较大的放大倍数和分辨率，可以对样品表面进行观察，生物类样品经过前期固定、脱水、喷金等处理后，可以放入电镜中进行观察。 飞纳台式扫描电镜具有操作简单、成像速度快、寻找样品视野方便等特点，受到客户的青睐。聊城大学的师生利用飞纳台式扫描电镜，可以通过观察线虫表面角质层的形态进行分类，环纹的粗细程度、侧区是否有网纹、侧区外是否有纵脊或纵线等特征都是重要分类依据。 同时线虫的头部、尾部结构，侧器、唇区形态也是分类的重要依据。飞纳台式扫描电镜能清晰地将这些结构展现在研究人员的面前，为线虫的分类和研究提供重要图像。利用扫描电镜观察叶片表面硅藻利用扫描电镜观察线虫的头部细节 通过飞纳中国工程师的培训，聊城大学的师生很快熟悉了飞纳台式扫描电镜的操作，切身体会到飞纳台式扫描电镜操作简单，成像速度快的特点，并且高分辨率的图像成为了他们重要的研究资料。

BATTERY电动汽车电池组由数千个单独的电池组成，这些电池的每个电极都包含着数百万个颗粒。 在充电和放电过程中，重要的是这些颗粒要一同发挥作用。正极材料及其前驱体的粒径分布和微观结构对电池的能量密度和安全性至关重要，这就意味着，在生产过程中需要严格监控这些颗粒的质量。扫描电子显微镜（SEM）用于制造过程质量控制，能够识别原材料及其中间产物的质量波动。SEM 能够提供直观全面的形态统计结果，在正极颗粒的质量控制过程中发挥着重要作用。在本文中，对 NCM 正极及其前驱体使用了自动化 SEM 的检测方法，向研究人员展示了该方法是如何帮助正极材料生产商优化其质量检查（QC）工序的。这一自动化的解决方案有望通过提高工厂生产力，并节省大量成本。图1. 含镍正极材料的制造工艺示意图SEM 在正极材料 QC 工序中的应用案例图 1 显示了 NCM 正极粉末的生产过程。NCM 正极材料是将锂盐与前驱体混合后烧结（通常通过水热法和共沉淀法制备），烧结后，再将团聚的颗粒研磨粉碎成需要的粒径。NCM 正极前驱体颗粒的质量控制NCM 颗粒的最终形态和粒径取决于其前驱体颗粒的粒径以及烧结的过程，这就意味着在前驱体生产过程中控制前驱体的质量至关重要。质检人员在前驱体质量控制过程中测定两个主要的结构特征：尺寸分布和表面结构。通常，具有窄粒径分布的前驱体可以在更短的时间内锂化，从而获得更好的结晶度。窄的粒径分布和良好的层结构也代表着更好的电化学性能。图 2 显示了通过不同合成工艺生产的前驱体颗粒的 SEM 图。如图 2a 所示，具有宽粒径分布的前驱体颗粒直径范围约 4.5～13.6µ m。图 2b 显示了窄粒径分布且具有多孔表面结构的前驱体颗粒。（图中测量粒径尺寸和分布的软件为 Phenom ParticleMetric ）图2. 不同的合成条件下的 NCM 前驱体 a）具有宽粒径粒径分布的前驱体颗粒b）具有窄粒径分布和多孔结构的前驱体颗粒NCM 正极材料的质量控制一次和二次颗粒特性的表征在 NCM 正极材料质量控制过程中发挥着重要作用。如图 3 所示，NCM 正极颗粒通常由许多一次晶体颗粒组成为球状多晶颗粒（称为二次颗粒）。图3. 具有不同一次晶体颗粒尺寸的多晶 NCM 颗粒在进行充电和放电时，每个一次晶体颗粒经历锂离子的嵌入和脱嵌入时，正极材料会发生二次颗粒破裂。在这个过程中，每个一次晶体颗粒的体积都会发生变化，这是造成颗粒裂开的主要原因。二次颗粒破裂加剧了电池内部反应，并缩短了电池的寿命周期。因此，一次晶体颗粒的表征对于整个 NCM 材料分析至关重要。图4. 由 Phenom ParticleMetric 软件测量的多晶 NCM 颗粒，显示分布着大量的二次颗粒图 4 显示了具有宽的二次粒径分布的 NCM 颗粒，这导致了较低的能量密度。总的来说，确保前驱体的粒径大小在预期值内，能够提高最终正极粉末符合规范的可能性。同时，不符合质量控制标准的前驱体颗粒可以回收再加工，从而降低制造成本。SEM 可以提供一次和二次颗粒粒径的信息，能够帮助制造商在烧结过程中优化关键参数。烧结后，将团聚的颗粒粉碎并研磨成单个颗粒。图 5a 显示了颗粒分散度不足的案例，而图 5b 则显示了过度分离导致颗粒破碎的案例。图 5c 则展示了颗粒高度团聚的案例，此情况是制造单晶正极材料时烧结温度过高的结果。这种团聚使颗粒比多晶材料更难分散。缺乏均匀性、分散不足或过度破碎都会对颗粒的电化学性能产生负面影响。SEM 可以清晰地显示研磨后的颗粒，有助于生产尺寸均匀的颗粒并优化该生产过程。图5. a）团聚的多晶颗粒 b）过度分离的颗粒 c）高度团聚的单晶颗粒SEM 应用于 QC 工序中传统的 SEM 用于 QC，需要检查一个样品中的多个位置，以确保结果具有普遍性。通常，需要不同放大倍数的 SEM 图像，高倍 SEM 图像显示详细的微观结构（例如，前驱体中的层状结构、一次晶体颗粒），而低倍 SEM 图像显示了整体颗粒特征（例如，尺寸、分布、圆度等）。获取这些多幅图像需要进行以下操作：加载样本导航到所需位置调整焦点、亮度、对比度等。获取不同放大倍数的图像根据需要重复步骤 2 - 4每日生产数吨材料的制造厂可能每天需要测试数百个样品。这意味着检测人员需要连续数小时重复单调的操作，这样很容易出现人为错误。图6. 传统的 SEM 成像工作流程与 Phenom XL 台式 SEM 的自动成像工作流程对比自动成像的工作流飞纳电镜 Phenom XL G2 提供了自动成像工作流，AutoScan 软件可以在加载样品后自动获取数据。该设备一次最多可容纳 36 个样品，每个样品能够在不同的位置以不同的放大倍数成像。整个过程可以轻松实现定制化工作流程。例如，正极原材料的标准质量控制可能需要对每个样品上的 5 个不同位置进行 1k、5k 和 10k 的放大倍数分析，并且要求对样品的微观结构进行清晰成像。手动操作 36 个样品，这将需要操作人员重复数百次图 6 所示的步骤，大约花费 3-4 小时才能完成。而 Phenom XL G2 自动化的工作流程只需要用户花费 10 分钟进行输入设置参数即可，这样可以为其他工作腾出宝贵的时间。SEM 可以在无人值守的情况下自动稳定运行，提高了检测效率，从而达到减小误差，提高生产率的效果。基于 AutoScan 软件的自动化成像AutoScan 软件基于Phenom 编程接口（PPI）。使用 AutoScan 软件，飞纳电镜可以根据用户的指令，对每个样品的不同位置以及不同位置下的多个放大倍数进行自动拍照成像。图7. AutoScan 软件用户界面该自动化程序可以每周七天、每天 24 小时运行。自动化的程序也提高了 Phenom 台式电镜的可操作性，可以获取海量数据，为他们的分析提供可靠的数据基础。进一步提升图像分析能力的软件ParticleMetric 飞纳颗粒统计分析软件为了进一步进行自动化粒径分析，可以将图像直接导入 Phenom ParticleMetric 软件，该软件可以自动分析图像并计算统计颗粒形态信息。分析完成后立即生成报告，包括各种颗粒性质和统计数据。图 8 显示了单晶 NCM 样品的 ParticleMetric 软件分析界面。自动粒径分布表明平均粒径为 2µ m。图8. 使用 Phenom ParticleMetric 软件对单晶 NCM 样品分析的用户界面。A）使用的所有图像的列表项目B）已识别的颗粒进行着色C）已识别颗粒的详细信息列表D）所有颗粒的统计信息E）可视化数据均可以进行自定义总结在本文中，介绍了扫描电镜（SEM）在正极材料质量控制中的作用。Phenom XL G2 台式电镜提供的自动化成像工作流，能够进行自动图像采集和分析，优化质量控制过程，从而降低生产成本并提高生产效率。飞纳电镜 Phenom XL G2 与 AutoScan 软件相结合，可以自动获取海量 SEM 图像在 ParticleMetric 软件中对 SEM 图像进行分析，实现关键颗粒信息的可视化自动化 SEM 成像工作流程同样可以应用于电池生产中使用的其他原材料的质量控制AutoScan 软件和 ParticleMetric 软件，从原材料的颗粒形态出发，为电池原材料生产商解决了海量拍照和颗粒统计的烦恼。但是，原材料或者生产过程中引入的杂质，同样严重影响电池的电化学性能，正、负极杂质颗粒都有可能刺穿隔膜，造成安全隐患。因此，对于原材料或者生产过程中的异物监控也是品控中的重要课题，在下期文章中，我们将重点介绍电池异物检测的解决方案 —— Phenom ParticleX 锂电清洁度检测系统。“参考文献ReferenceXu, Zhongling et al.“Effects of precursor, synthesis time and synthesis temperature on the physical and electrochemicalproperties of Li(Ni1&minus x&minus yCoxMny)O2cathode materials.”Journal of Power Sources 248, 180-189 (2014)Hietaniemi, Marianna et al.“Effect of precursor particle size and morphology on lithiation of Ni0.6Mn0.2Co0.2(OH)2.”Journal of AppliedElectrochemistry 51:11, 1545-1557 (2021)Langdon, Jayse, and Arumugam Manthiram.“A perspective on single-crystal layered oxide cathodes for lithium-ion batteries.”Energy StorageMaterials 37, 143-160 (2021)

仪器信息网讯 8月8日，国仪量子官宣推出一款专为大规模成像而生的新产品——高速扫描电子显微镜HEM6000。高速扫描电子显微镜HEM6000在大规模成像场景中，常规扫描电镜成像速度和自动化程度都无法满足应用需求。例如，在芯片结构成像应用中，需要在几周内完成数百平方毫米区域的连续拍摄；在人类脑图谱研究中，需要对百亿级神经元进行高分辨成像。对于此类场景，常规扫描电镜效率严重不足，为解决客户痛点，国仪量子推出此款专为大规模成像而生的新产品——高速扫描电子显微镜HEM6000。产品亮点HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。可广泛应用于半导体工业、生命科学、材料科学、地质科学等领域。图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s加速电压：100 V~6 kV(减速模式)；6 kV~30 kV(非减速模式)分辨率：1.3 nm@3 kV，SE；2.2 nm@1 kV，SE视场大小：最大视场1*1 mm2，高分辨微畸变视场32*32 um2样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um产品优势高速自动化：全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍；大场低畸变：跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变；低压高分辨：样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率。应用案例

p style=" line-height: 1.75em " span style=" line-height: 1.75em " & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 在刚过去的 2016 年 3 月和即将过去的 2016 年 4 月，飞纳台式扫描电镜接连在各大扫描电镜的招标项目中中标。通过参与 3，4 月招投标项目，飞纳台式扫描电镜用户稳定增长，这些新增用户有，昆明理工大学，广东温氏大华农生物科技有限公司，东华大学，邵阳学院，河南工业大学，空军勤务学院，广州医科大学，北京科技大学，中山市武汉理工大学先进工程技术研究院，中国科学院理化技术研究所等。 /span br/ /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " span style=" line-height: 1.75em " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/3d6ec3a9-8774-429a-9835-3c1ee3cf1331.jpg" title=" 1.jpg" / /span /p p style=" line-height: 1.75em " 　　飞纳电镜何以担任领跑者的角色，从产品本身一定可以找到答案。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　 strong 硬件配置 /strong /p p style=" line-height: 1.75em " 　　1. 光学显微镜 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　飞纳电镜在台式扫描电镜中唯一配备了高质量彩色光学成像系统，放大倍数20-135x，完全集成在电镜主机中，能够很轻松的从彩色光学图像中找到需要观察的位置。 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/4178b4ef-5763-4f86-a678-8e36ba08f60a.jpg" title=" 2.jpg" / /p p style=" line-height: 1.75em " 　　2. 自动马达样品台 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　飞纳电镜内部标配自动马达，是和光学导航系统联用的一种装置。操作界面的右上方是彩色光学导航窗口，右下方是低倍电子导航窗口，左侧是实时成像的窗口。通过鼠标点击三个窗口任意感兴趣的位置，自动马达样品台会将该位置移至左侧实时成像窗口的中央。自动马达样品台结合光学导航系统，可以显著提高测样效率，降低灯丝消耗，节约灯丝寿命。 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/ca29e0d8-f88e-4949-b3df-0d2fdf16c348.jpg" title=" 3.jpg" / /p p style=" line-height: 1.75em " 　　3. 灯丝材料 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　飞纳电镜统一采用的灯丝材料是六硼化铈 CeB6 灯丝，特点是长寿命，高亮度，低色差，最低寿命 1500h。飞纳电镜是唯一采用 CeB6 灯丝的台式扫描电镜，其他厂家的台式扫描电镜采用的是传统的钨灯丝，钨灯丝的寿命约为 40-80 小时。飞纳电镜采用全新材料的灯丝是一项突破性的尝试，也面临了巨大的技术挑战。飞纳电镜的研发人员全部来自老牌电镜厂家飞利浦，飞利浦电子光学部门的原班人马成功解决了六硼化铈要求的高真空与样品仓的压差问题。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　灯丝的信噪比 是决定一个扫描电镜分辨率的核心因素，目前有三种灯丝 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　1、钨灯丝(W) /p p style=" line-height: 1.75em " 　　2、六硼化镧(LaB6)或者六硼化铈 (CeB6)灯丝 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　3、场发射(FEG)灯丝 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/uepic/74bfc61a-8447-4fc2-8f30-dc7bdde74540.jpg" style=" float:none " title=" 4.png" / /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/f9f4cdca-7310-499f-8aa6-3192f2dc4336.jpg" style=" float:none " title=" 5.png" / /p p style=" line-height: 1.75em " 　 strong 　操作体验 /strong /p p style=" line-height: 1.75em " 　　1. 找样 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " 　　 img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/af6469a9-9c47-4e67-b6d4-f485d232167d.jpg" title=" 6.png" / /p p style=" line-height: 1.75em " & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 2. 防震性 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　在移动的车厢可以测量样品，是现场检测的好伙伴 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/2c5e3b88-8a2d-4074-9776-e33811aefe9b.jpg" title=" 7.png" / /p p style=" line-height: 1.75em " 　　3. 制样进样 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　飞纳电镜制样进样、操作简单，一步到位 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/313dba93-7093-42e8-8cce-bf6002f9c3a7.jpg" title=" 8.jpg" / /p p style=" line-height: 1.75em " 　　4. 抽真空时间 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　飞纳电镜抽真空 15 秒以内，平均 2 分钟左右拍完一个样品 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/f80fa736-3700-415c-bf8a-9a20b47ebe6d.jpg" title=" 9.png" / /p p style=" line-height: 1.75em " 　　强大的硬件实力和良好操作的操作体验，成为客户选择飞纳电镜的主要原因。除了这些，灵活的软件有时是吸引客户的加分点。例如，可以和飞纳台式扫描电镜集成一体的能谱，其他软件如全景拼图，颗粒系统，孔径测量系统，纤维系统，3D粗糙度，远程联网检测等。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　飞纳台式扫描电镜是一个开放的系统，创新用不止步，相信未来会有更多更强大的软件满足客户的科研需要。 /p p br/ /p

仪器信息网讯 2021年10月14日晚，“2021年全国电子显微学学术年会”在广东省东莞市会展国际大酒店召开前夕，祺跃科技原位高温扫描电镜新品发布会在酒店四楼举办，并正式发布祺跃科技自主研制的原位高温扫描电镜。基于新的发展思路、新的设计理念，突破成像温度，引领原位表征技术，实现原位扫描电镜整机国产化。新品发布会现场中国科学院院士、浙江大学教授张泽致辞 张泽院士在致辞中表示，从科研平台发展成为一个商业化产品会面临很大挑战，需要把我们擅长的科学技术转变为大家都可以方便使用的产品，不仅需要各类跨学科人才，还要经历市场考验。而当前时代下，从经济实力、到学术积累，再到国家支持等，让迎接以上挑战具备了条件。此时，若有勇气去做，便是一件很了不起的事。当前，电子显微镜的空间分辨率、能量分辨率、成分分辨率等已经不断推向极致，团队早期牵头完成的国家基金委重大科研仪器专项便希望从材料真正使用环境出发，在苛刻使役环境条件的原位电镜技术发展方面寻求突破。但已有商品化电镜在设计开发时大部分考虑的还是室温成像能力和分辨能力，均不能满足兼顾超高温加热拉伸和实时原位微观表征的能力。扫描电镜可以配置原位拉伸台、热台、以及拉伸加热台等附件，但受限于现有的SEM样品腔室结构和真空系统设计，也无法满足更高温、高应力等苛刻环境的需求，研究面临“蜗居”受限境况。本次原位电镜新品便解决了这些问题，这款电镜大概是目前世界上最大的扫描电镜腔室，长度已经超过半米，如此大的空间，可以提供更多的想象空间和努力方向。将已有扫描电镜分辨率的极致性能与这样的环境条件相结合，可以做许多事情，比如原位分析大数据人工智能等。而这只是基于材料研究的一类模式，无限可能下，更多挑战将待大家探索。浙江祺跃科技公司总经理 浙江大学教授张跃飞介绍新品张跃飞教授表示，祺跃科技成立于2019年3月，主要致力于研发基于扫描电子显微镜、光学显微镜、x射线衍射仪等设备的原位分析装置，涉及的领域包括原位力学、高低温环境控制、力热耦合、电化学测试等多个方向。祺跃科技在原位分析测试领域快速发展的研发基础，主要来自于浙江大学张泽院士牵头的国家基金委重大科研仪器专项的成果转化。祺跃科技原位高温扫描电镜新品当前，扫描电镜在空间分辨、成分分析、晶体取向等方面已经取得很高水平，扫描电镜在“显微”方面已经做的足够好，祺跃科技未来扫描电镜需要进一步开拓扫描电镜的“威”力——在于材料分析的应用场景和过程分析之中，将材料应用场景与扫描电镜显微分析能力结合起来，具体如快速、多场、原位、动态、实时、在线等。新开发的扫描电镜设计理念包括样品室空间从紧凑到合理，样品台承载能力较大、成像探测器承温能力提升、保证高真空足够的抽气能力等，达到追求时序信息的目标。新品视频介绍：本次新品实现整机国产化的核心部件包括高温二次电子探测器、三维移动平台与大载荷拉伸平台、1400度原位加热器、超大结构样品腔室和超高真空系统等。保障电镜极端环境长时间稳定运行的相关模块包括冷阱、等离子清洗、极靴屏蔽、红外测温等。同时兼容EDX和EBSD等，还预留设置了多种通讯接口，为今后拓展更多原位技术留有余地。 最后，张跃飞教授表示，扫描电子显微的发展还有更多的可能性，而祺跃科技从事扫描电镜开发刚刚上路，愿意与国内外电镜厂商共同开拓扫描电镜更多的应用可能，也愿意与更多专家学者开展技术合作与交流，共同推进中国电子显微仪器事业的发展。由于电镜腔室的移动、减震等问题比较困难，所以此次新产品发布会没有把电镜带到发布会现场。但祺跃科技的工作人员通过在线直播的方式，采用东莞与桐庐两地现场直播的方式，在线介绍了实体电镜的各项功能与研发思路等。 浙江大学副研究员王晋协助新品远程演示

同花顺（300033）金融研究中心10月28日讯，有投资者向钢研纳克（300797）提问， 高通量（场发射）扫描电镜，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。以半导体领域为例：半导体工艺线宽从100nm量级到至今的5nm，工艺制程中的缺陷检测也变的至关重要。半导体元器件进行失效分析往往需要采用先进的物理、冶金及化学的分析手段。扫描电镜分辨率高（纳米级），景深大而且可以从几十倍到几千倍连续扩大，是半导体材料研究和分析的重要工具。请问这高通量电镜是真的这麽厉害吗？公司回答表示，投资者您好，高通量（场发射）扫描电镜是扫描电镜技术的一个比较新的技术分支。最早应用在半导体产线上的电子束晶圆检测设备（EBI），从发明到现在已经在半导体产线中被成功应用于在线检测设备超过20年。近些年慢慢开始被应用到非半导体领域，如材料表征、生命科学的组织结构观测等等。虽然其有着比较大的速度优势，但是由于技术比较新，适用条件比较严苛，在应用到其他领域时也存在诸多限制，需要持续的技术升级与改进。感谢您的关注！

原位扫描电镜研究方法已经成为揭示材料微观结构与性能关系的重要研究手段，为了推动国内原位扫描电镜研究方法的应用与普及，经研究决定于2021年7月21-25日在浙江省杭州市桐庐县举办扫描电镜原位研究方法暑期学习班。暑期学习班由浙江大学电子显微镜中心、浙江省科创新材料研究院联合举办。本期学习班的讲习内容主要涵盖扫描电镜仪器与成像基础、电子背散射衍射（EBSD）分析基础、原位高温-拉伸/EBSD-成像实验与应用、原位微纳米力学测试方法、扫描电镜中透射成像与应用、电子通道成像与应用、原位电子显微分析/EBSD样品制备技术等。讲授内容将更加侧重基本原理、仪器和研究方法，将采取理论讲座、墙报展示和现场演示等多种形式相结合的学习和交流模式。本期学习班全部采用中文授课。本期学习班将邀请全国高校和科研院所理论水平高、实践经验丰富并活跃在科研一线的优秀教师主讲。主讲教师将聚焦基于扫描电镜的原位研究方法，通过讲解相关理论知识和分享应用实例，进一步加强学员对扫描电镜原位实验的理解和认识，有助于学员制定合理的实验方案，并根据方案开展有效的原位SEM材料表征实验。本期学习班将特邀中国科学院院士、浙江大学材料与科学工程学院教授张泽等高水平专家学者作大会学术报告。本期学习班将为致力于扫描电镜原位研究的青年学者和研究生提供一个学习和交流的互动平台。会议具体通知如下：◀一、组织机构 ▶学术委员会：名誉主席：张泽主席：韩晓东、孙立涛、王勇组织委员会：主席：王 勇成员：田 鹤、吴劲松、曾 毅、张跃飞、刘 攀、岳永海、魏 晓、郭振玺、朱敏洁◀二、日程安排▶◀三、拟邀主讲专家▶1．吉 元，北京工业大学 研究员2．曾 毅，中国科学院上海硅酸盐研究所 研究员3．张跃飞 北京工业大学 研究员4．岳永海，北京航空航天大学 教授5．安大勇，西北工业大学副教授6．丁青青，浙江大学 副教授7．王 晋，浙江大学 副教授8．原效坤，北京工业大学 副研究员9．马晋遥，太原理工大学 讲师10．李永合 德国卡尔斯鲁厄理工学院（KIT），洪堡博士后◀四、会议地点▶浙江省杭州市桐庐县经济开发区洋洲南路199号 B座。桐庐科技孵化园浙江省杭州市桐庐县经济开发区洋洲南路199号◀五、报名方法▶1.请有意参加暑期班的学员于2021年6月25日前将附件《参会回执》和《墙报摘要》发至会议邮箱 hzxtkj001@163.com 或 关注公众号线上报名。2.暑期班收取注册费，普通代表2000元，学生代表1500元（包含已充值会议餐费、学习资料、保险等费用）。3.注册费缴纳方式：会议注册费由会议承办单位杭州欣桐科技服务有限公司代收，由杭州欣桐科技服务有限公司出具会议费财务报销凭证（发票）。微信报名：进入杭州欣桐科技服务公众号，点击下方菜单“参会报名”，选择“学生报名”或“普通报名”进入报名申请页面。会议注册电子发票将在注册申请支付成功后发至您的邮箱。邮箱报名：将附件《参会回执》和《墙报摘要》发至会议邮箱 hzxtkj001@163.com。银行汇款信息：名称：杭州欣桐科技服务有限公司统一社会信用代码：91330122MA2H2AXY22地址：浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区洋洲南路199号 桐庐科技孵化园B座202-079工位 电话：0571-64338077开户行：中国工商银行桐庐三合支行账号：1202089309800020055转账时请务必备注参会人单位和姓名，请于转款后，将您的转款凭证发至：hzxtkj001@163.com邮箱。4.住宿标准：会务组为本次会议联系了会场附近酒店一定数量的房间，参会人员可享受会议优惠价，单/标间约400元/天（含早餐），豪华单/标间500元/天（含早餐）。参会人员需自行与会务组工作人员联系住房预订事宜，费用自理。由于7月份是旅游旺季，房源紧张，请大家尽量提前预定房间。◀六、联系方式▶会务组成员：王 燕：13750879087 岳 亮：17767054558 欧 琰：13456757568郑林超：18368155787张晓梅：13588840153

扫描电镜原位技术已经广泛应用于材料科学研究的各个领域，它可以将材料宏观性能与微观结构联系起来，这对研发高性能新型材料非常有帮助。但电镜原位实验从来都不是一个简单的工作，有的时候甚至还需要一些运气。 为了让电镜原位实验变得更加智能高效，蔡司最新推出了扫描电镜原位解决方案。今天就让我们一起看看，蔡司这套原位解决方案拥有哪些黑科技吧！ l 高度集成化：告别手忙脚乱▲ 蔡司扫描电镜原位解决方案 蔡司扫描电镜原位解决方案将扫描电镜、原位样品台、ebsd和eds控制软件深度整合，在单台pc的一个软件中就可以控制所有硬件，实现成像、分析以及原位样品台参数设定的高度集成。 l 开创性自动化实验流程：节省时间+解放双手 ▲ 在原位拉伸过程中的不锈钢样品不同roi的se和bse图像（asb探测器），观察到滑移带形成。 蔡司原位电镜解决方案可实现自动化原位实验工作流程，集成化软件不仅可以自动控制样品台应力加载，还可以设定多个感兴趣区域（roi），并对不同roi进行自动追踪、自动聚焦、自动获取图像。不同roi的成像参数可以独立设定，系统还可以识别样品断裂状态并自动终止实验。 从此原位实验将变得自动智能，减少人工操作时间，大幅提升测试效率，并且可实现长达24小时的无人值守自动化测试，这样就可以充分利用夜晚时间，使电镜利用率大大提升。 l 自动获取ebsd和eds数据：获取样品全面信息▲ 800°c下加热17 小时的钢铁样品自动采集到一系列ebsd图像，展示了晶界和晶粒取向的变化。 该套新解决方案的处理软件不仅可以自动获取图像，还加入了ebsd和eds自动获取功能，可追踪并获取样品同一位置的ebsd和eds分析结果，全面分析材料变化过程。 l 数据获取和处理：高通量、高质量、高效率▲ 表面抛光的低碳钢样品 (s235jrc)。样品表面上的小颗粒用作 dic（数字图像相关）的标记。se 图像被导入 gom关联软件进行 dic 分析。图像中可以显示主要应变的幅度和方向。 自动化高效测试意味着可以得到大量实验数据，不放过样品每一个变化细节，获取具有统计意义的结果，而人工干预因素的减少也可以大大提升实验可重复性和数据可靠性。 当然，蔡司场发射扫描电镜gemini技术也是获取高质量、高分辨数据的强有力保证。该方案还配置有zeiss-gom关联软件，可对数据进行数字图像相关（dic）处理，研究样品表面应变分布。 蔡司扫描电镜原位解决方案整合了电镜、原位台、ebsd与eds软件控制，在进行原位加热和拉伸实验过程中加入高度自动化功能，使得在动态绘制应力应变曲线的同时，能够自动观察金属、合金、聚合物、塑料、复合材料和陶瓷等材料在高温和外力下的变化情况。 解放你的双手，让原位实验从此变得简单高效！来“蔡司显微镜”（zeissmik）微信公众号留言获取更多及时有效的详细信息，持续关注我们，关于蔡司扫描电镜原位解决方案，蔡司君还有更多猛料将陆续放出噢~

TESCAN 全球第3000台扫描电镜 — TESCAN AMBER X 氙气等离子双束 FIB 已在德国弗莱堡大学（University of Freiburg）完成了安装调试。TESCAN AMBER X 是 TESCAN 公司近年来最新推出的第四代电镜中的一员，它完美地结合了超高分辨 SEM 和等离子 FIB，用于样品表面成像以及刻蚀加工等。 这台 TESCAN AMBER X 安装在弗莱堡大学的微系统工程系（IMTEK），近期实验室为新设备举办了技术讲座，除了扫描电镜的演示之外，还介绍了这款设备即将发挥重要作用的两个研究项目。第一个研究项目是弗莱堡大学正在研发的先进神经反馈义肢，将在假肢上集成有“感觉”的反馈系统来实现缺失的神经系统的功能，患者使用这种特殊的义肢接触物体后，就产生“触感”，例如可以感知到物体的表面信息和硬度等。另一个研究项目是燃料电池，最终目的在于能够发现新的解决方案。TESCAN 德国子公司的 Sven Gosda 总经理表示：“ TESCAN AMBER X 已经被证明广泛适用于各类科研。对于我们的电镜能为这两个宏伟的科研项目提供帮助，我完全无法抑制内心的喜悦。”去年，位于布尔诺的 TESCAN 工厂生产了近300台电镜，其中绝大部分出口到全球各大城市。TESCAN 全球营销总监 Maro? Karabino? 表示：“TESCAN 是全球著名的电子显微镜和聚焦离子束供应商，我们非常高兴看到这台对 TESCAN 具有重大纪念价值的电镜能够在德国安装，我们一向重视德国市场并有长期发展的计划。” 这也不是弗莱堡大学第一次选择 TESCAN 的产品，自2016年开始 TESCAN 第三代扫描电镜就已经是弗莱堡大学实验室设备中的一员。TESCAN 公司在德国一直有着良好的口碑。为了能够给客户提供更优质的服务，TESCAN 公司在2018年正式收购了原德国经销商 EOElektronen-Optik-Service GmbH ，成立 TESCAN 的德国子公司 TESCAN GmbH。关于扫描电镜扫描电子显微镜不仅可以用于样品观察，还可以使用聚焦离子束（FIB）实现精确地定位切削和沉积加工，是微纳尺度加工和制样必不可少的工具。TESCAN 是全球首家将等离子 FIB 集成到扫描电子显微镜（SEM）中的制造商，并于去年底推出了新一代的 TESCAN AMBER X 和 TESCAN SOLARIS X。其中 TESCAN AMBER X 完美地结合了可用于样品精确加工的氙等离子体 FIB 和无漏磁的超高分辨成像的 SEM，适合于各类材料的显微结构表征。氙等离子体 FIB 与传统的金属镓离子的 FIB 相比，在小束斑的大离子束流上具有明显的优势。因此，TESCAN AMBER X 可以用更快的速度完成样品切削工作，并且仍然能完成精细加工和抛光，并实现15 nm的高分辨率成像。弗赖堡的阿尔伯特路德维希大学 (Albert Ludwig University of Freiburg) 是首批尝试使用这种新技术的机构之一。关于 TESCAN 公司TESCAN 公司位于欧洲电子光学研发和制造基地捷克布尔诺市，主要研发和生产扫描电子显微镜。公司成立于1991年，由原世界电子光学设备制造的领航者 TESLA 的研发人员和售后工程师创建。TESCAN 于1996年推出了首台仪器 PROXIMA，并凭借该系列产品跻身世界知名设备供应商之列。2013年，TESCAN 与法国公司 ORSAY PHYSICS 组建控股公司 TESCAN ORSAY HOLDING，在全球范围内进行扩张并建立多家子公司，公司总部、生产和研发部门仍然位于布尔诺-科胡图维斯。每一台 TESCAN 扫描电镜都在布尔诺生产，其中大约95％会运往全球各地。TESCAN 的主要客户包括大学，研究中心以及各个行业的工业企业和生产企业。TESCAN ORSAYHOLDING 拥有600多名员工，各类电镜的年产量约为300台，每年的营业额达到20亿捷克克朗。 2018年，TESCAN 收购了 X射线CT 领域著名的制造商 XRE NV 公司，开始生产商业化可用于大尺寸样品三维、四维原位动态分析的 XCT 设备，可研究各种样品在真实环境（原位）下的材料演变，为科学研究及工业应用提供成熟的亚微米尺度分析解决方案。我们的 XCT 客户快速增长，截止2019年底，全球已有近20家科研院所和知名企业和 TESCAN 达成了合作协议并采购了 XCT，包括华威大学、鲁汶大学、CWI 研究所、美国国家能源技术实验室、加拿大国家研究院、沙特阿拉伯国王科技大学和 P&G 等高端科研和工业用户。TESCAN 公司不会停下前进的步伐，我们将致力于为更多的客户提供有价值的综合解决方案，以更好的产品质量以及应用售后团队服务于全球客户！

2010年度扫描电子显微镜最新技术与实验技术讲座在京举办 　　仪器信息网讯 为了提高首都科技条件平台电镜实验人员的仪器操作水平和电镜分析水平，2010年11月23日，由北京科学仪器装备协作服务中心和北京理化分析测试学会电镜分会共同主办的“2010年度扫描电子显微镜最新技术与实验技术讲座”在北京北科大厦隆重举行。来自全国高等院校、科研机构、企事业单位的近130位从事扫描电子显微镜研究及其应用的专家学者参加了此次会议，仪器信息网亦应邀参会。 北京市电镜学会理事长张德添教授主持会议 北京科学仪器装备协作服务中心张晓强主任致辞 　　张晓强主任在致辞中说到：非常荣幸能有机会与北京市电镜学会共同举办此次电镜会议。北京科学仪器装备协作服务中心是一个实现北京地区科学仪器装备共享共用的科技平台，是北京市科学技术委员会授权的“首都科技条件平台”的总体支撑建设和运营单位。通过该平台举办一些技术交流活动，能够促进科技资源与创新需求的宣传与对接，发挥北京地区科学仪器装备资源优势，提高科学仪器装备的协作水平。最后，张晓强主任预祝此次会议能够取得圆满成功。 北京大学徐军高工 报告题目：钨灯丝、场发射SEM、FIB等应用技术技巧 　　徐军高工说到：提高扫描电子显微镜的分辨率最重要的措施之一是提高电子枪的亮度。其中，关键是要寻找电流密度很高、发射角分布非常集中且能量分散很小的电子源。目前，常用的电子枪(工作方式)主要有钨灯丝(热发射)、LaB6(肖特基发射)、单晶钨丝(冷场发射)以及附有氧化锆的钨灯丝(扩展的肖特基发射)。此外，影响扫描电镜图像分辨率的因素主要有样品的潜在衬度、电子探针的电子光学性能、电子和样品的相互作用区以及外部环境。 　　最后，徐军高工着重介绍了聚焦离子束(FIB)的四大基本功能：离子束成像、刻蚀各种图形、离子束诱导沉积、辅助气体选择刻蚀。 日立高新技术公司罗琴女士 报告题目：正确使用扫描电镜的若干技巧分享 　　罗琴女士提到：若要获得良好的扫描电镜解析，所需包括加速电压、工作距离、电子束流、样品前处理、外界干扰、图像调整以及仪器保养等诸多因素。随着加速电压的升高，图像分辨率会升高，但样品损伤、污染程度也会加大 电子信号主要包括二次电子、背散射电子、透射电子等，根据不同的样品检测要求，选择不同的电子信号 而探针电流的升高，图像信噪比也会升高，分辨率会略受影响，但样品损伤、污染程度亦会增大 适当降低探针电流、加速电压或者以背散射电子成像可降低荷电效应 样品的前处理则需考虑样品材质、形态以及观察目的。 　　同时，罗琴女士在报告中还介绍了日立公司IM-3000平面样品抛光仪以及E-3500离子抛光仪在样品前处理过程中的应用。 清华大学杨文言高级实验师 报告题目：环境扫描电子显微术在生物学和材料科学研究中的应用 　　杨文言老师在报告中指出：理想中的扫描电镜分析是指样品保持原来形态，以最简单的处理过程，实时观测样品的变化过程，得到样品真正的表面形貌。传统的扫描电子显微镜观察样品需要在高真空下进行，并且要求样品表面要有较好的导电性，为此就需要湿样品干燥、非导电样品镀膜处理，而环境扫描电子显微镜除了中和电荷外，还具有保持样品环境0-100%湿度等多种功能，但观察视角与对象有局限性，成本也会增加，应对样品特性事先有所了解。 　　在生物学研究中，对样品无需任何处理，可直接观察“活”的生物结构，如昆虫复眼、神经束断面、嗜骨细胞等。最后，杨文言老师介绍了环境扫描电镜在研究环保型粮仓杀虫剂、观察生物固沙效果、水泥沥青砂浆水硬化过程等研究中的应用。 上海易微科技有限公司李金树先生 报告题目：扫描电子显微镜主要附件的最新进展 　　李金树先生用通俗易懂的语言向大家介绍了介绍两款用于扫描电镜高真空环境下的新型纳微操纵仪的工作原理及应用领域。李金树先生谈到：运用扫描电镜纳米操纵仪，实现了在扫描电镜中操纵样品，包括拨动、搬移、旋转，对样品进行多角度观察。其移动范围：轴向0-12mm 水平方向：-120度-+120度 垂直方向：-120度-+120度。可获得力-时间、力-位移曲线，实时测试样品的力学性能。此外，它还可以与微注入功能一起使用，在扫描电镜中进行微区反应的原位观察，与FIB双束仪器一起应用，可以高效和无污染地提取由FIB制备的TEM样品薄片。 　　最后，李金树先生向大家展示了德国最新推出的Evactron除污仪产品，并介绍了其技术优势与主要应用。 北京工业大学吉元教授 报告题目：电子背散射衍射(EBSD)技术及其应用 　　吉元教授指出：电子背散射衍射技术是在1980年发展起来的，是一种应用于扫描电镜中的微区晶体学分析技术。EBSD菊池衍射花样可以通过计算晶面、晶带轴指数以及晶粒取向来标定晶体取向，具有分辨率高、菊池花样取向敏感性高、花样应变敏感性高、花样收集角大等特点。近几年，EBSD的技术进展主要集中在高速EBSD探测器、一体化分析系统、软件功能等方面，越来越多的应用到晶体学取向关系测量、晶粒结构测试、晶界测试、相鉴定、应力/应变分析等领域。 　　最后，吉元教授总结了在EBSD的应用中需要考虑的问题：合理选择和选用SEM-EBSD设备及测试参数、制备好EBSD测试样品、综合利用形貌结构和成分等分析信息、在非导电、纳米材料中的应用难点等。 北京科学仪器装备协作服务中心孙月琴副主任 　　在会议最后，孙月琴副主任表示：非常感谢各位专家精彩的学术报告，为各位参会者带来了扫描电镜领域最新的技术进展与应用成果。 　　同时，孙月琴副主任还说到：首都科技条件平台通过支持研发实验服务基地、领域平台、工作站三类主体，整合科学仪器、科技成果、科技人才三类资源，是实力测试对接、研发实验对接、技术对接三种服务。自成立以来，已有423个国家级及市级重点实验室和工程中心、价值109亿元的1.8万台(套)仪器设备资源向社会开放。目前共计6300多家企业享受到了首都科技条件平台的研发实验服务，服务金额高达6.8亿元。 会议现场

今天，最新款的飞纳台式扫描电镜 ProX+SED 和浙江大学化学工程与生物工程学院的师生们正式见面。这款小巧玲珑的电镜凭借着其高颜值和全面身手在课题组全体师生的见证下顺利通过验收！ 飞纳台式扫描电镜 ProX+SED 型号，同时具有 BSD 和 SED 两种成像探头，可以同时观测样品的成分信息以及形貌信息！ 两种探头可以自由切换，高度集成，操作更加简单安全。培训现场，客户对飞纳台式扫描电镜的防震性能、成像快速、操作简洁等特点予以了很高的认可，迫不及待地想要上手操作。 客户的样品多为静电纺丝出来的纤维，客户需要观察纤维的均匀性以及细节。同时，客户的课题组学生较多，每个人的研究方向都有区别，因此每个学生都希望通过学习飞纳电镜的用法，这样自己就可以上机操作，去实时观测自己的样品。毕竟，只有自己最了解自己的样品，才可以准确地捕捉所需要的SEM照片。飞纳电镜就让这一切成为可能！ 通过一天的培训，学生可以完全的掌握操作要领，上手迅速，大家迫不及待地要上机操作啦！静电纺丝形貌（学生拍摄） 静电纺丝细节（学生拍摄）认真学习顺利通过考核

为了将在中国仪器市场上推出的、创新性比较突出的国内外仪器产品全面、公正、客观地展现给广大的国内用户，同时，鼓励各仪器厂商积极创新、推出满足中国用户需求的仪器新品，仪器信息网自2006年发起“优秀新品”评选活动，至今已成功举办十六届。发展至今，该奖项也成为了国内外科学仪器行业最权威的奖项之一，获奖名单被多个政府部门采信。2022年度“优秀新品”评选活动正在进行中，2022下半年入围名单已公布（详情链接）。值此之际，一起再来回顾下往届年度优秀新品奖获得者们吧！本期带您回顾的是2021年度“优秀新品”获奖产品：聚束科技Navigator-100B PLUS 高通量(场发射)扫描电子显微镜。2021年度共有711台仪器参与“优秀新品”奖项评选，在“技术评审委员会主席团”的监督下，经仪器信息网“专业编辑团”初审、“网络评审团”评审、“技术评审委员会”终审，确定12台仪器获奖。其中，聚束科技Navigator-100B PLUS高通量(场发射)扫描电子显微镜脱颖而出。聚束科技Navigator-100B PLUS高通量(场发射)扫描电子显微镜介绍如下：NavigatorSEM-100B PLUS通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，成像速度可达传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时，操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。NavigatorSEM-100B PLUS在硬件部分模组有较大提升，配备新型电子枪，电子束落点能量范围可达30keV，涵盖绝大多数扫描电镜落点能量需求范围。分辨率可达1.0nm (15keV下)，且在1-3kV低加速电压下即可获得1.5nm高分辨率的同时，仍能保持1‰以下的低图像畸变。聚束科技总经理李帅发表获奖感言：

随着纳米材料在各个工业领域的应用，推动了超高分辨率的扫描电镜的发展，但这些材料导电性不佳，因此，对低电压下仍具有高分辨率的扫描电镜提出迫切需求。 低电压扫描电镜的主要特点之一是能直接对不导电样品进行观察，同时保持高的分辨率。但是其面临的问题是束流电压降低，信号量会显著下降，同时低电压下扫描电镜像差导致分辨率降低。随着扫描电镜技术的蓬勃发展，这些问题目前都得已大大改善。 为了弥补低电压下信噪比低的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜配备了YAG材质背散射探测器（T1）（图1）。YAG（Y3Al5O12:Ce3+）是一种具有高发光效率的闪烁体材料，用掺铈的YAG材料制成的背散射探测器，发光效率更高，亮度更高，更耐离子和电子的轰击，因此几乎不存在随使用时间的累积而导致发光效率下降的问题。Apreo 2系列电镜的T1背散射探测器置于镜筒内靠近极靴下部，这样不仅可以获取大量的信号，而且不会有误操作导致的撞毁风险。同时T1接收的是背散射电子，因此，可以大大改善导电性不佳的样品带来的荷电问题。 图1 Apreo 2 扫描电镜的T1探测器位置示意图 为了减小低电压下像差增加的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜发展出了样品台减速模式（图2），以减小透镜色差和提高低电压图像分辨率。减速模式中引入的“着陆电压”的概念，即实际到达样品表面的电压，其计算非常简单，入射电压减去减速电压即为着陆电压。例如，电子束初始加速电压5kV，在样品台上加4kV的减速电压，在样品表面的着陆电压为1kV，采用减速模式后入射到样品上的电压是1kV，在样品内的电子束扩展范围和对样品荷电的减缓同初始加速电压为1kV的情形一致，但其电子束的亮度接近加速电压为5kV的状态。因此，采用减速模式，一方面保持了高加速电压下的亮度和足够的信噪比，以及高分辨率，同时又真正实现了样品表面荷电的有效缓解。减速模式下，还有一个优点，使电子束与样品相互作用产生的信号电子在减速电压的作用下加速，这些信号电子在被探测器探测到时能量更高，从而提高了二次电子或者背散射电子收集效率，增加了信噪比。图2 样品台减速模式工作原理示意图 在实际应用中，我们会将样品台减速模式和T1探测器联合使用，以获取高分辨图像。比如，锂电池隔膜是一种PP或者PE材质的高分子薄膜，其导电性极差，常规的电镜无法解决荷电问题，而使用T1探测器不仅可以解决荷电问题，而且搭配减速模式仪器使用还可以获取高信噪比图像（图3）。稀土氧化物Y2O3粉体是制造微波用磁性材料及军事通讯工程用的重要材料，综合导电性较差，高加速电压容易使表面积累荷电，而且会掩盖颗粒表面细节，因此，我们采用低加速电压搭配减速模式进行高分辨成像（图4）。 图3 锂电池隔膜（加速电压：500V，放大倍数：30000，探测器：T1，减速电压：1kV） 图4 Y2O3粉末颗粒（加速电压：500V，放大倍数：100000，探测器：T1）

扫描电镜通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像。它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成，应用于生物、医学、材料和化学等领域。扫描电镜作为一种精密仪器，为延长其使用寿命，在使用时应需要以下事项：1、将试样置于载物台垫片，调整粗/微调旋钮进行调焦，直到观察到的图像清晰为止；2、调整载物台位置，找到要观察的视野，进行分析；3、扫描电镜调焦时注意不要使物镜碰到试样，以免划伤物镜；4、当载物台垫片圆孔中心的位置远离物镜中心位置时不要切换物镜，以免划伤物镜；5、在做切换动作时，动作要轻，要到位，关机时要将亮度调到小；6、亮度调整切忌忽大忽小，也不要过亮，影响灯泡的使用寿命，同时也有损视力；7、非专业人员不要调整显微镜照明系统（灯丝位置灯），以免影响成像质量；8、更换卤素灯时要注意高温，以免灼伤；注意不要用手直接接触卤素灯的玻璃体；9、设备不使用时及时关掉电源。

日立场发射扫描电镜最新技术研讨会在京举办 　　仪器信息网讯 2011年11月22日，由天美(中国)科学仪器有限公司、日立高新技术公司联合举办的“日立场发射扫描电镜最新技术研讨会”在北京云南大厦成功举办，天美公司高层、日立高新公司高层以及100余位来自全国各地的专家学者、企业代表出席了会议；仪器信息网作为特邀媒体亦参会。 会议现场 　　　　中国电镜学会　　　　　　天美科技有限公司　　　　 日立高新技术公司 　　　常务理事李建奇先生　　　 市场总监谢宝华先生　 先端分析仪器部今田芳宪部长 　　李建奇先生首先回忆了中国电镜学会与日立高新、天美公司长久以来的良好合作关系，并对日立高新的扫描电镜产品及天美公司完善的支持服务给予了肯定。 　　谢宝华先生谈到，自2003年天美“接手”日立扫描电镜产品以来，一直坚持向用户提供全方位的售前售后服务。2011年是天美与日立高新建立合作关系的十五周年，今后双方将会有更加深入的合作。 　　今田芳宪先生说到，SU8000系列冷场扫描电镜凝聚了日立高新更多的先进技术，拥有更加卓越的仪器性能，通过这次会议，希望大家能够了解日立高新扫描电镜产品更多的技术优势。 　　日立高新SU8000系列扫描电镜新品隆重揭幕 SU-8000系列扫描电镜新品揭幕仪式 　　在新品揭幕仪式上，由日立高新技术公司科学仪器营业本部岡田務本部长、天美科技有限公司谢宝华先生及军事医学科学院张德添教授为SU-8000系列新品揭幕。 　　　　　　　日立高新技术公司设计部　　 　日立电镜全球应用中心 　　　　　　　　主任技师小柏刚先生　　　 　副站长多持隆一朗先生 　　对于日立高新场发射扫描电镜的研发历程，小柏刚先生说到，日立高新的发展历史最早可追溯到1961年。自1971年第一款场发射扫描电镜交付使用至今，日立高新已拥有多款场发射扫描电镜，如热场发射扫描电镜SU6600与SU-70、冷场发射扫描电镜S-4800以及今年最新发布的SU8000系列及SU9000。我们希望凭借日立高新良好的分析技术、丰富的电镜产品系列，能够为全球纳米科技、生命科学等领域持续发展做出贡献。 　　多持隆一朗先生则重点谈到，SU8000系列扫描电镜拥有优异的性能表现，如超高分辨率技术(1.3nm/1.0kV)，信号探测系统范围广，可操作性强，便于用户操作等，可根据用户需求提供不同的样品台，样品室以及信号探测系统，满足用户对超高分辨率显微镜的特定需要。同时，多持隆一朗先生还分别详细介绍了SU8000系列4个型号(SU8010、SU8020、SU8030、SU8040)不同的技术特长与应用特色。 　　随后，日立高新应用专家罗琴女士介绍了SU9000内透镜场发射扫描电镜的技术特点与应用优势 天美公司电子显微镜专家顾群先生则重点介绍了天美公司在日立电镜服务方面的多项措施，可以确保中国用户能够获得全方面的支持服务。 日立高新技术公司电子显微镜营业部 天美(中国)科学仪器有限公司 马玉娥经理出席会议　　　　　　赵薇副总裁主持会议 　　日立高新与天美高层谈SU8000系列新品技术与服务 　　会后，日立高新公司岡田務先生、今田芳宪先生、马玉娥女士以及天美公司谢宝华先生、赵薇女士等人接受了仪器信息网编辑的采访。 　　Instrument：SU8000系列在技术上有哪些提升和改进?它的市场定位是怎样的? 　　岡田務先生：“SU8000系列是在S-4800型基础上研发而来，其技术改进主要体现在低能高分辨率、E×B专利设计等方面，这些优异性能在8010型中都有体现 除此之外，8020型还安装了顶插式探头，8030型的特点是超大样品仓，8040型则表现在样品移动台的高精度，因此与4800型相比，SU8000系列的应用范围更广。除了在性能方面的优秀表现外，SU8000系列在操作、维护方面非常简便快捷，可以给用户十分人性化的体验。” 　　今田芳宪先生：“SU8000系列涵盖了从简单到复杂、从普通需求到高端需求，如作一般高分辨的客户选择SU8010，有电位衬度分析需求的客户选SU8020，需要表征大尺寸样品的用户可选择8030型，而对样品台移动精度有很高要求的用户则可以选择该系列中最高端的8040型。” 　　Instrument：众所周知，日立扫描电镜的市场占有率非常高；随着SU8000系列的推出，贵公司期望市场占有率将会再有怎样的提升? 　　岡田務先生：“日立高新拥有40年的冷场扫描电镜开发经验，选择的是以低维护成本、低消耗的冷场发射扫描电镜为主打的产品推广策略，如日立高新最经典的S-4800型正是这样一款低能高分辨的产品，适时迎合了用户需求，S-4800型自2003年进入中国，现已拥有200多位忠实用户，我们希望SU8000系列的4个型号都能够取得这样的成绩。” 　　谢宝华先生：“无论是硬件还是软件，SU8000系列冷场发射扫描电镜新产品都有了很大程度的更新，如低压高分辨率(1.3nm/1.0kV)，我相信，SU8000系列的推出将会给予用户更多更好地选择，市场销售业绩自然会不俗。” 　　Instrument：新产品意味着新增长，贵公司如此隆重推出SU8000系列，是否表示对当前扫描电镜市场持有很高的期望? 　　岡田務先生：“日立高新在电镜方面的研发技术与制造经验均处于领先地位，目前，我们在全球扫描电镜市场中已位居第一位，在中国市场亦居于榜首。此次日立高新一举推出4个型号的新产品，因此我们对日立高新今后能够继续稳居市场第一的信心更为充足。” 　　赵薇女士：“天美在日立高新电镜产品的销售成绩非常突出，在科研领域，我们仅在中科院就有30多位电镜用户 在企业方面，我们的用户也遍及半导体、太阳能电池、快速消费品等领域。近几年，我国政府对科研的投入越来越大，而材料科学的进步也是有目共睹，在这样的大好环境中，我们对中国扫描电镜市场的前景是非常乐观的。” 　　Instrument：天美公司有哪些措施以保证日立电镜产品的售后服务? 　　谢宝华先生：“天美自2003年代理日立电镜产品以来，我们坚持不放弃任何一个潜在客户，并给予用户全方面的支持服务。例如，我们设有专门的应用示范实验室，目前配有S-3400N钨灯丝电镜、S-4800型场发射扫描电镜，现在更是引进了一台SU8020扫描电镜新品，可以为用户提供完善的售前、售后的应用支持；此外，天美还在国内重点城市设有14个办事处，并拥有专业的工程师队伍，可以向用户提供及时快速的服务；每年我们会组织多期的用户应用培训班，还会有定期回访和维护服务等。” 合影留念 　　扫描电镜技术研讨与摄影大赛颁奖环节精彩纷呈 　　作为日立高新公司的一代经典产品，S-4800型场发射扫描电镜以其独特的低电压下超高分辨率等技术优势，赢得了中国200多位用户的信任与支持，被广泛地用于微电子、锂电池、石油化工、生命科学、环保等材料科学领域的研究、开发和检测工作。 　北京师范大学李永良先生 　　上海硅酸盐所吴伟先生　 　　 安徽大学林中清先生 　　作为用户代表，李永良先生、吴伟先生、林中清先生分别从材料应用领域、成像工作条件以及仪器性能指标3个方面，结合自身的仪器应用经验作了精彩的报告，并纷纷表示，S-4800型拥有卓越的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面，尤其是在低加速电压(1 kV)下的二次电子图像分辨率可达2 nm，是一个真正实用的多用途平台。 摄影大赛颁奖现场 　　“2011年日立场发射扫描电镜摄影大赛”自2011年9月发起，共收到100多张参赛图片，经过专业评审及参会用户的投票，最终评选出20位获奖用户，日立高新与天美公司特别为这20位获奖者颁发了礼品。 　　附录： 　　产品详细信息 http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138451.htm 　　日立高新技术公司 www.hitachi-hitec.cn 　　天美科技有限公司 www.techcomp.cn

台式扫描电镜飞纳 Phenom 在德米特成功安装验收。飞纳台式扫描电子显微镜继续领跑台式扫描电镜市场，飞纳电镜系列产品来自欧洲四大高科技聚居地之一——荷兰的的埃因霍温，飞纳 Phenom 的 工厂就设在这里。从一开始就专注于台式扫描电镜领域，优秀来源于专注，2015 年，PW 推出第 4 代产品，分辨率达到 14 纳米，放大倍率 13 万倍，并推出了飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 Phenom XL， 不仅延续了飞纳台式扫描电镜系列的产品简单高效的操作方式，在此基础上，实现了更大的样品仓，样品仓尺寸高达 100mm X 100mm X 65mm，一次可放进大量样品，进一步提高测样效率，同时也能实现直接观测大尺寸样品，减少样品的前处理，减少对样品的破坏。德米特专注于光电、光学、汽车等领域客户的差异化需求，提供个性化解决方案，致力于中高端研磨抛光材料的研发、生产与服务。在研发过程中，原材料的微观形态和晶粒结构对产品的品质有很大的影响。因此对原材料和成品的形态的直观了解和评价显得尤为重要。飞纳电镜在微米尺度上的优异成像能力可以完全胜任这一点，进而帮助客户的研发与生产。以下是一些原料照片。图1. 样品 A图2. 样品 B德米特的用户认为这款飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版 Phenom Pro 操作方便，有光学导航和工厂原装自动马达样品台，点到哪里可以看到哪里，调研了其他台式扫描电镜厂家，都没有导航界面，且定位较困难，需要先调节至低倍，再手动旋 X 轴、Y 轴，这相对于直接点击定位的操作方式来说更加费时费力。此外，换样快捷，15 秒抽真空，30 秒成像，对于企业来说，效率就是生命，飞纳电镜能满足德米特对效率的追求。图3. 用户亲自使用飞纳台式扫描电镜图4. 飞纳电镜工程师为用户颁发了培训合格证书飞纳电镜在微米、亚微米尺度的成像能力优秀，图像细节丰富。加速电压在 5-10 kV 之间连续可调，对于多样化的的生产研发需求来说，不同性质的样品可以选择不同的加速电压来观察，以求找到每类样品最佳的观测模式，这些特点可以帮助他们更好地改善产品性能。飞纳电镜衷心祝愿德米特的研发生产继续取得更大的进展！注明：此新闻德米特（苏州）电子环保材料有限公司仅授权复纳科学仪器（上海）有限公司使用，如需转载，请注明出处

重磅产品出炉——德国HEKA扫描电化学显微镜，看到名字大家可能比较陌生但是又似曾相识，如果你认为这款仪器是扫描电镜和电化学工作站的简单叠加，那么你就OUT了!HEKA ElProscan是一台扫描电化学显微镜，用于研究样品的电化学活性表面。它属于扫描探针显微镜（AFM, STM, SECM）家族的一员。由德国弗莱堡Albert-Ludwig大学材料研究中心的Dr.Jurgen Heinze（教授）合作开发了ElProscan仪器。2005年HEKA公司创立了ElProscan品牌，它包括传统的SECM实验方法及扩展功能。整个系统包括三个主要部分，定位系统，双恒电位仪，数据采集系统。定位系统控制微电极在溶液中电化学活性样品表面上进行三维扫描，因此ElProscan可用作传统的SECM仪器并且具有更多的功能。ElProscan与传统的SECM不同之处在于它不仅仅记录针尖的电流信号，而且在针尖上可实现任何电化学实验方法的应用（用可编程脉冲发生协议Programmable Pulse Protocol来完成）。在脉冲发生协议运行过程中，在样品上应用独立的电化学实验方法并同时在针尖上应用不同的方法。因此ElProscan还具有电化学活性表面修饰的功能。 图1、典型的实验配置图 超微电极(UME)在溶液中接近样品表面上方扫描，在电极表面由于氧化还原反应所溶解的物质形成法拉第电流 随着针尖向样品表面逼近，可测出电流的变化。电化学惰性表面抑制针尖表面的氧化还原物质扩散并导致针尖电流逐渐减小（正反馈） 图2、ELProscan反馈模式 当样品是电化学活性表面，针尖电流逐渐增大。这是因为在样品表面再生了反应后的氧化还原物质，并在针尖再次进行反应（正反馈）。 反射光成像透射光成像 图3、透射和反射光成像重叠成像 图4、表面形态（左）电化学活性表面（右）图5、仪器本尊ElProscan系统具有多重应用领域如：表面分析功能、金属沉积、导电聚合物沉积、酶活性成像、催化材料表面活性等，就像扫描电镜一样，我们能罗列的仅仅是其中的少数应用。后续会持续更新其在各领域的具体应用。

上周，飞纳台式扫描电镜成功中标国家计量院，这标志着飞纳电镜成功开辟了继高校科研领域、企业领域、公安刑侦领域之外的计量检测新领域。飞纳台式扫描电镜继续领跑台式扫描电镜市场，飞纳电镜系列产品来自欧洲四大高科技聚居地之一——荷兰的的埃因霍温，飞纳电镜的工厂 Phenom-World 就设在这里。Phenom-World 从一开始就专注于台式扫描电镜的研发制造，2015 年，PW 推出第 4 代产品，分辨率达到 14 纳米，放大倍率 13 万倍，并推出了飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 Phenom XL， 不仅延续了飞纳台式扫描电镜系列产品简单高效的操作方式，在此基础上，实现了更大的样品仓，样品仓尺寸高达 100mm x 100mm x 65mm，一次可放进大量样品，进一步提高测样效率，同时也能实现直接观测大尺寸样品，减少样品的前处理，减少对样品的破坏。2016 年 ，Phenom-World 推出第 5 代产品，分辨率达到 10 nm。荷兰飞纳 Phenom 台式电镜，源自飞利浦技术，适合课题组和工业科技。国家计量院隶属国家质量监督检验检疫总局，是国家最高的计量科学研究中心和国家级法定计量技术机构，是国际计量科学中的前沿，在国家经济建设、社会发展和科技进步中发挥了重要的支撑作用。这标志着飞纳电镜成为为计量科技新领域保驾护航的重要性工具。飞纳电镜成像快速，维护周期长，性能稳定，其独有的 Ceb6 灯丝寿命至少为 1500 小时，2~3 年不用更换灯丝。Ceb6 灯丝信号充足，可采用低加速电压成像，样品表面细节更丰富。飞纳电镜具有强大的拓展功能软件：1、超大视野图像拼合软件该软件可自动在指定的区域进行扫描，将所得图像拼合成一副全景图像加以保存，以便观察。2、孔径统计分析测量系统孔径统计分析测量系统可以搜集孔的分布数据，全自动地对孔径、形状、尺寸、数量和分布进行分析，使孔洞的可视化分析更加简单。3、颗粒统计分析测量系统飞纳台式扫描电镜的颗粒统计分析测量系统，用于实现颗粒可视化分析，可对颗粒进行形貌及特征参数的分析。此外，飞纳台式扫描电镜还具有纤维统计分析测量系统，3D 粗糙度重建功能，远程联网检测功能。飞纳电镜强大的功能软件、内置高精度自动马达样品台、光学与低倍电子双重导航、适于不同领域的样品杯、专业的防震技术和设备的准确性与稳定性都是客户重点考虑的因素。正是由于飞纳台式扫描电镜的优良的性能，使得飞纳台式扫描电镜在国家计量院成功中标，脱颖而出。飞纳电镜衷心的祝愿国家计量院的计量事业取得更大的突破。

飞纳台式扫描电镜以表面细节丰富的高质量的优质照片，15 秒钟快速抽真空，简单人性化的操作而著称。如果您需要快速得到扫描电镜样品测试结果，却又不得不排队等候测试，那么请您致电飞纳台式扫描电镜测试中心，专业的工程师将以最快的速度为您提供最真实的数据，详情请联系我们的客服人员咨询及预约测试。联系方式（许小姐）：邮箱：service@phenom-china.com电话：400 857 8882

仪器信息网讯 2012年12月6日，由天美(中国)科学仪器有限公司与日立高新技术公司共同举办的“日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500(以下简称‘SU3500’)研讨会”在北京举办。来自国内各大高校和科研院所约30余位专家参加了此次新品研讨会。天美公司副总裁赵薇、日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部部长Imada Yoshinori在研讨会上进行了致辞。日立高新电子显微镜全球应用工程师振木 昌成与日立高新技术公司电镜营业部马玉娥经理对SU3500新型扫描电镜最新功能和应用进行了详细讲解，并且进行了现场实际操作演示。 　　 左至右：天美公司副总裁赵薇，日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部部长Imada Yoshinori，日立高新电子显微镜全球应用工程师振木昌成 　　扫描电镜是利用电子束“照射”样品表面，通过产生的二次电子信号成像来观察样品的表面形态。根据电子枪产生电子束的机理不同，扫描电镜主要有场发射、钨灯丝 此次推出的新品SU3500属于应用最广泛、使用最经济的钨灯丝扫描电镜。扫描电镜在低加速电压下工作具有减少或消除样品的荷电效应、增强样品的表面衬度和成分衬度以及减少样品辐照损伤等优点 因此，提高电子显微镜在低加速电压和低真空下的分辨率是扫描电镜的研究热点。 　　低加速电压下实现高分辨。通常加速电压降低，灯丝的发射电流会按比例减少，图像的亮度也会正常衰减。SU3500采用了最新开发的自动多级电子枪偏压设计，能够在特定的加速电压条件下，实现高的发射电流。与日立S-3400相比，SU3500的信噪比增强，成像质量更加优越。在加速电压为3kV时，二次电子图像分辨率可达7nm 在加速电压为5kV时，电子背散射图像的分辨率可达10nm。 　　低真空下实现不导电样品的直接观察。新设计的SU3500真空程序使真空度可达到650Pa，实时真空反馈允许在用户设定的特定压力下，保持样品室快速的真空稳定性。SU3500可变压力模式允许对处于自然状态下的潮湿、油腻和非导电样品进行观察 电子束与空气分子相撞产生的正电荷可消除样品表面的多余电荷，因此不需要进行传统的样品前处理，如干燥和镀膜。 　　SU3500的操作软件也有多项改进，使科研人员的工作效率大幅提高。例如：多模式多用途观察显示功能可以通过菜单操作选择单幅图像、双幅图像、四幅图像以及全屏图像显示 双幅图像及四幅图像显示模式可以同时显示由两种不同的探测器观察到的图像，或者为了多用途观察而合成图像。信号混合功能可以将富有样品表面细微结构信息的二次电子像和富有丰富成分信息的背散射电子像在一幅画里面叠加显示，更易于评价与分析。 　　低电压、低真空下获得极高的分辨率是SU3500最大亮点。天美公司副总裁赵薇表示，SU3500扫描电镜在加速电压为3kV时，二次电子图像分辨率达7nm 先进的3D技术以及非常便利的可视化操作，使SU3500成为目前全球最高端的钨灯丝扫描电镜。 专家现场体验SU3500新型扫描电镜功能 　　 SU3500新型扫描电镜 　　相关新闻： 　　天美(中国)北京总部乔迁庆典及答谢晚宴 　　看清“不一样”的天美——访天美控股有限公司董事长劳逸强

在2013年显微镜&显微分析会议上，蔡司推出新一代用于材料分析及生命科学的EVO系列扫描电镜。通过工作流程自动化技术、电子束流减速技术，以及领先的HD BSE检测器技术，新一代EVO扫描电镜进一步提高了仪器的效率及成像性能。 　　EVO系列扫描电镜将典型的工作流程从400步操作变成了15步。工作流程效率的提升主要通过自动成像设置，如电子束的校准、放大和聚焦等，实现了在最短的时间内对感兴趣的区域进行成像。 　　EVO系列扫描电镜可以对非常精细的表面细节成像。电子束减速技术和高清晰度的BSE检测器可以提供丰富的表面形貌信息。结合EVO HD电子束技术，蔡司EVO系统将为传统的扫描电子显微镜图像质量设定了新标准。 　　蔡司在剑桥的主管Allister McBride解释说，&ldquo 新的EVO系列为客户带来的好处有两方面。自动化和智能化的成像提供了高生产效率和直观的工作流程，而电子束减速和HD BSE检测器提供了出色的形貌分析，并在低电压下可以获取精细的成像信息。&rdquo （编译：秦丽娟）

腐蚀一直是材料及能源损失的重要诱因，在工业比较发达的国家，每年因腐蚀造成的直接经济损失占国民经济总产值的1%～4%，约有30%的设备因腐蚀而报废。镁铝合金具有强度高、质量轻等优良特性，应用范围广泛，与其他常用工程金属材料相比具有许多优势 但其较差的耐腐蚀性制约了它在一些高新领域的应用。提高镁合金的耐腐蚀性，将其应用在航空航天、船舶、汽车、军事等领域，对我国工业的发展将起到重要的作用。因此，研究镁合金表面的耐腐蚀性膜层有着广阔的前景和重大的意义[1]。 为提高镁合金的抗腐蚀性能，通常在其表面构筑化学转化膜[2]，目前，已有许多类型的化学转化膜应用于镁合金基底，包括铬酸盐转化膜[3]、锡酸盐转化膜[4]、氟化膜、稀土转化膜(RE)、Mg-Al水滑石转化膜、离子液体薄膜、熔盐膜、钒基转化膜、硬脂酸转化膜等。化学转化膜，也称为金属转化膜。它是金属（包括镀层金属）表层原子与介质中的阴离子相互反应，在金属表面生成附着力良好的隔离层，这层化合物隔离层称为化学转化膜。化学转化膜的形成不仅包含多步化学反应和电化学反应，同时也伴随着多种物理化学变化，反应产物也更为复杂。对镁合金表面进行转化膜处理是既方便又能灵活运用的防腐方法。化学转化法设备简单占地面积小、制备工艺能耗少、成本低廉、容易操作且仿形能力强。相比于镁合金表面自然形成的氧化膜，化学转化膜具有更加优异的防腐蚀功效，它还可以为其他类型的涂层打底，进而提高涂层的结合强度。化学转化处理所形成的膜层增加了镁合金表面的粗糙度，使得膜层与金属表面的结合更为牢固。 Axia ChemiSEM扫描电镜，可进行样品成分信息的采集、处理和展示；依托先进镜筒技术，保持系统始终处于稳定状态，可聚焦样品采集数据，提供高质量图像，可以同时保存四通道图片；采用全开门式设计，耐用性和灵活性更高；可搭载多款扫描电镜软件实现多种自动化功能；简约化设计，全方面性能出色，可表征各种不同类型材料，提供全面的信息。其成像平台即时可用，集成实时定量能谱面分析功能，成像即刻并融合成分信息，专为快速分析而设计，操作轻松自如。 下图为镁合金表面的锶磷化膜在Axia ChemiSEM钨灯丝扫描电镜下的SEM图像，我们的Axia ChemiSEM扫描电镜配备高质量的ETD和CBS两种探测器。CBS、ETD探测器可以同时成像，既可观察成分衬度，又能获取形貌信息（左图为ETD成像，右图为CBS成像）。从扫描电镜中我们可以清晰的看到磷化膜层均匀致密地覆盖于镁合金表面，有长方体形状的晶体错落堆叠，尺寸不一，但彼此间紧密挨连，几乎没有缝隙。 利用Axia ChemiSEM扫描电镜标配的能谱对锶磷化膜的表面进行成分分析，分析结果如下，从能谱的结果中我们可以清晰的知道该膜层含有C、O、P、Sr元素，分析结果准确、高效。 Axia ChemiSEM搭载多款扫描电镜软件实现多种自动化功能，电镜操作更加智能化，在保证分析精度的情况下，获得的分析结果更高效、准确，可以解决用户的实实在在的问题。 参考文献 [1] 曹京宜, 王臣业, 徐敏等. 镁铝合金表面锶磷化膜的改性及其腐蚀性能研究[J]. 2017.[2] 李鑫庆. 化学转化膜技术与应用[M]. 北京: 机械工业出版社, 2005.[3] Gray J E, Luan B． Protective coatings on magnesium and its alloys—Acritical review [J]. J Alloys Compd, 2002, 336: 88．[4] Elsentriecy H H, Azumi K, Konno H. Effects of pH and temperature on the deposition properties of stannate chemical conversion coatings formed by the potentiostatic technique on AZ91D magne-sium alloy［J］. Electrochim Acta, 2008, 53: 4267.

2015年11月4日，JEOL在俄勒冈州波特兰举行的国际失效分析与测试研讨会(ISTFA)上展示了其最新推出的InTouchScope触控式系列扫描电镜的最新型号产品JSM-IT100。JSM-IT100是一款简单易用、功能全面的研究级扫描电镜，并符合紧凑型的人体工程学设计。　　JSM-IT100可扩展EDS分析功能，并为多种探测器预留接口。InTouchScope触控式扫描电镜不仅功能全面，而且耐用，能够很好的满足不同实验室的需求。它能够提供高分辨率，并能够在高真空和低真空模式下提供系列加速电压。　　IT100是一款非常直观，并具有高通量分析能力的电镜，其设计能够帮助任何实验室简化工作流程。触摸屏操作还是传统的键盘和鼠标操作，任由实验人员选择。快速数据采集使得成像和样品分析变得简单。　　利用IT100扫描电镜，能够轻松快速获取高质量的的二次电子和背散射电子像。采用硅漂移探测技术的嵌入式JEOL EDS系统，具有面分布分析、多点分析、自动漂移补偿、线扫描、Partial area和Mapping Filter等功能。　　JEOL备受欢迎的InTouchScope系列产品还包括高压/低压可选的NeoScope台式电镜，以及具有高效分析和大块完整样品成像分析功能的JSM-IT300LV。编译：秦丽娟

粉体是由许许多多小颗粒物质组成的集合体，在纺织、建材、中药、食品、保健品、饲料、国防等领域的应用日益广泛。对与粉体打交道的从业者而言，粉体材料的形貌，组成和晶型结构是非常重要的信息。因此，具有高分辨，直观性等特点的扫描电子显微镜在粉体分析工作中被广泛使用，是我们了解材料信息的重要帮手。国仪量子SEM应用工程师尹相斐SEM5000和SEM3100扫描电镜拍摄的粉体材料通过扫描电镜对粉体产品进行高分辨成像后，研究人员可以对粉体进行直接精确的粒度表征，并且获得颗粒的粒形特征、表面粗糙度、成分特征等信息，再结合图像识别技术就可以对粉体样品特征进行快速统计，从而获得更加全面的粉体信息。另外，因粉体的显微形貌对其性能有着巨大影响，扫描电镜也能帮助研究人员掌握粉体性质所造成的影响。扫码填问卷，赢取定制好礼！但电镜图的解读工作对于非专业的电镜使用者来说存在一定难度。到底该如何入门？场发射扫描电镜SEM50004月28号下午14:30-15:30，来自国仪量子的SEM应用工程师尹相斐将在线上为粉体材料从业者带来《通过扫描电镜，给粉体材料做诊断》的专题分享。尹相斐工程师专业从事扫描电镜相关的显微分析应用研究工作，具有丰富的理论和实践经验。她在报告中将基于扫描电镜的原理和国仪量子扫描电镜产品，对扫描电镜在锂离子电池、陶瓷、微球等热门粉体材料中的应用进行介绍。欢迎关注国仪量子公众号，参与直播！粉体材料表征利器——比表面及孔径分析仪国仪精测的比表面及孔径分析仪可对粉体材料进行准确高效的表征，为粉体材料提供精准的比表面积测量以及孔径分析，在化学、材料、工业等领域具有广泛的应用。产品具有测试高效、结果准确、性价比高、自动化操作简单易学等诸多优势。