平面度粗糙度高度

岱美仪器技术服务（上海）有限公司联系电话：，（贾先生）联系地址：北京市房山区启航国际3期5号楼801公司网址：Profilm3D光学轮廓仪-台阶高度测量、表面粗糙度测量 一、产品简介： Filmetrics 让光学轮廓测量价格更实惠，性价比更高. Profilm3D 使用了进的垂直扫描干涉 (VSI) 结合高精确度相移干涉 (PSI) 测量.以前所未见的价格使得表面形貌研究进入次纳米等级。通过光学扫描仪扫描表面轮廓可进行台阶高度测量，表面粗糙度测量二、产品特点：（1）100毫米自动XY样品平台， 我们每台Profilm3D 都已将自动XY样品平台以及tip/tilt 功能列为标准配备（2）The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野, 其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要. 可进一步减少总体成本. 本司也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样片。（3）测量速度快，精度高，操作便捷，软件使用可视化三、产品参数：（1）技术参数厚度范围, VSI 50 nm - 10 mm厚度范围, PSI 0 - 3 μmRMS 重复性,VSI 1.0 nmRMS 重复性, PSI 0.1 nm台階高度 准确性 1 0.7%台階高度 重复性 2 0.1%樣品反射率範圍 0.05% - 100%ISO 25178 兼容 是（2）机械部件规格Z 范围 100 mmPiezo (压电)范围 500 μm垂直扫描速度 12 μm/secXY 平台类型 自动XY 平台范围 100 mm x 100 mmTip/Tilt 平台 +/- 5°, 手动相机 2592 x 1944 (5 百万像素)相机变焦 3 1X, 2X, 4X系统尺寸，宽x深x高 300 mm x 300 mm x 550 mm系统重量 15 公（3）物镜选项 （4）选配– 手动 4-物镜筒及位置感应器– 自动 4-物镜筒及位置感应器四、应用实例（1）台阶高度测量Profilm3D光学轮廓仪测量台阶高度时，用户可选取或截取任意扫描区域，并经行任意角度转换。通过鼠标拖拽即可在3D视窗中完成任意角度的翻转 （2）表面粗糙度测量Profilm3D光学轮廓仪测量台阶表面粗糙度时，用户可选取或截取任意扫描区域，并经行任意角度转换。通过鼠标拖拽即可在3D视窗中完成任意角度的翻转。可测量倾斜面、非倾斜面的的粗糙度 岱美仪器技术服务（上海）有限公司

概述　　表面粗糙度仪是用于测量被加工零件表面粗糙度的新型智能化仪器。该仪器集当今微处理器技术和传感技术于一体，以微处理器和集成化的电路设计，构成适应当今仪器发展趋势的超小型的体系结构，可以完成粗糙度参数的采集、处理和显示工作。　　采用优化的电路设计及传感器结构设计,将电箱、驱动器及显示部分合为一体，使其到达集成化 任意选择Ra、Rz测量参数 不仅可以测量外圆、平面、锥面，还可测长宽大于80×30mm的沟槽。　　表面粗糙度仪主要功能　　● 全铝合金外壳 　　● 示值稳定 　　● 抗高温、抗潮湿 　　● 具有示值校准功能　　● 稳定性高。　　适用材料　　适用于加工业、制造业、检测、商检等部门，主要适用于大型工件及生产流水线的现场检验，以及检测、计量、商检等部门的外出检定。　　基本原理　　当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时，其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移，再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化，将该电信号进行放大，滤波，经A/D转换为数字信号，再经DSP处理，计算出Ra、Rz、Rq、Rt值并显示。

袖珍表面粗糙度仪是于测量被加工零件表面粗糙度的新型智能化仪器。该仪器集当今微处理器技术和传感技术于一体，以微处理器和集成化的电路设计，构成适应当今仪器发展趋势的超小型的体系结构，可以完成粗糙度参数的采集、处理和显示工作。适用于加工业、制造业、检测、商检等部门，适用于大型工件及生产流水线的现场检验，以及检测、计量、商检等部门的外出检定。不仅可以测量外圆、平面、锥面，还可测长宽大于80×30mm的沟槽。　　袖珍表面粗糙度仪主要功能　　● 外形采用拉铝模具设计，坚固磨损度，抗电磁干扰能力显著，符合当今设计新趋势。　　● 采用高速DSP处理器进行数据处理和计算，测量和运算度提高。　　● 显示液晶采用流行的OLED显示屏，高亮度，无视角，宽温度，合适多种场合使用。　　● 采用锂离子充电电池，可长时间工作，无记忆效应，可边充电边工作，充电时间短，电池寿命长。　　● 使用通用的USB接口进行充电和通讯。采用充电器或计算机的USB口进行充电，方便快捷。　　● 点阵液晶显示，界面提示信息丰富。　　● 实时监测锂电电池电量并显示，及时提醒用户进行充电并具有充电进度提示。　　● 自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间超长，合适多种现场使用。　　● 传感器测头具有保护门，保护了传感器测头，保障了测量的精度。　　适用材料　　适用于加工业、制造业、检测、商检等部门，主要适用于大型工件及生产流水线的现场检验，以及检测、计量、商检等部门的外出检定。　　基本原理　　当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时，其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移，再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化，将该电信号进行放大，滤波，经A/D转换为数字信号，再经DSP处理，计算出Ra、Rz、Rq、Rt值并显示。

概述YT-400袖珍表面粗糙度仪是于测量被加工零件表面粗糙度的新型智能化仪器。该仪器集当今微处理器技术和传感技术于一体，以微处理器和集成化的电路设计，构成适应当今仪器发展趋势的超小型的体系结构，可以完成粗糙度参数的采集、处理和显示工作。适用于加工业、制造业、检测、商检等部门，适用于大型工件及生产流水线的现场检验，以及检测、计量、商检等部门的外出检定。不仅可以测量外圆、平面、锥面，还可测长宽大于80×30mm的沟槽。主要功能● 外形采用拉铝模具设计，坚固磨损度，抗电磁干扰能力显著，符合当今设计新趋势。● 采用高速DSP处理器进行数据处理和计算，测量和运算度提高。● 显示液晶采用流行的OLED显示屏，高亮度，无视角，宽温度，合适多种场合使用。● 采用锂离子充电电池，可长时间工作，无记忆效应，可边充电边工作，充电时间短，电池寿命长。● 使用通用的USB接口进行充电和通讯。采用充电器或计算机的USB口进行充电，方便快捷。● 点阵液晶显示，界面提示信息丰富。● 实时监测锂电电池电量并显示，及时提醒用户进行充电并具有充电进度提示。● 自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间超长，合适多种现场使用。● 传感器测头具有保护门，保护了传感器测头，保障了测量的精度。适用材料YT-400袖珍表面粗糙度仪适用于加工业、制造业、检测、商检等部门，主要适用于大型工件及生产流水线的现场检验，以及检测、计量、商检等部门的外出检定。基本原理当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时，其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移，再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化，将该电信号进行放大，滤波，经A/D转换为数字信号，再经DSP处理，计算出Ra、Rz、Rq、Rt值并显示。技术参数项目YT-400测量参数Ra、Rz、Rq、Rt测量范围Ra:0.05-10.0μm Rz:0.1-50μm取样长度0.25mm、0.8mm、2.5mm评定长度1.25mm、4mm、5mm扫描长度6mm示值误差≤±15％示值变动性＜12％传感器类型压电晶体行程长度6mm测头触针针尖圆弧半径及角度针尖圆弧半径：10.0±2.5μm；角度：90°传感器触针静测力及其变化率触针静测力：≤0.016N；测力变化率：≤800N/m传感器导头压力≤0.5N电源3.7V锂离子电池工作温度0º C- 40º C重量200g外型尺寸106×70×24mm标准配置主机、电源适配器、多刻线样板（粗糙度标准块）、说明书、合格证、保修卡、包装箱产品介绍表面粗糙度仪_01.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_02.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_03.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_04.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_05.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_06.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_07.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_08.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_09.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_10.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_11.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_12.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "表面粗糙度仪_13.jpg" style="margin:0px padding:0px border:0px vertical-align:middle max-width:800px max-height:300% "

高精度 表面粗糙度仪SDT150能测量最新国际标准的主要参数，严格执行了国际标准，测量参数符合国际标准并兼容美国、德国、日本、英国等国家的标准。适用范围：可对多种机械加工零件表面的粗糙度进行测量，包括平面、斜面、外圆柱面，曲面，小孔，沟槽及车轴等。特点：操作简便，功能全面，测量快捷，精度稳定，携带方便，不受南方环境温湿度影响。 高精度 表面粗糙度仪SDT150特点：u 机电一体化设计，体积小，重量轻，使用方便；u 采用DSP芯片进行控制和数据处理，速度快，功耗低；具有校准功能，操作简单；u 兼容ISO、DIN、ANSI、JIS多个国家标准；u 连续工作时间大于20小时，具有自动休眠、自动关机等节电功能；u 超大容量数据存储，可存储100组原始数据及波形；u 实时时钟设置及显示，方便数据记录及存储；u 可靠防电机走死电路及软件设计；u 显示测量信息、菜单提示信息、错误信息及开关机等各种提示说明信息；u 中/英文语言选择；u 可连接电脑和打印机，可选配蓝牙功能；u 打印全部参数或打印用户设定的任意参数；u 可选配曲面传感器、小孔传感器、测量平台、传感器护套、接长杆等附件。高精度 表面粗糙度仪SDT150技术参数测量参数Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr测量范围Ra： 0.005 um ~ 16.00 um 显示范围Ra,Rq： 0.005 um ~ 16 um ；Rz, Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,： 0.02 um~ 160 umRsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100%示值精度0.001um垂直Z轴量程范围（分辨率）0.002/±20um，0.004/±40um，0.008/±80um取样长度L0.25 ， 0.80 ， 2.50，自动评定长度1L~5L（可选，L为取样长度）测量行程长度3L~7L（可选，L为取样长度）最大驱动行程长度17.5mm / 0.71 inch最小驱动行程长度1.3mm / 0.052 inch示值变动性＜6%示值误差≤±7%针尖角度90°测量轮廓粗糙度，波纹度，原始轮廓滤波器RC, PC-RC, Gauss, D-P内部存储能力100组数据数据接口USB电池内置锂离子充电电池外形尺寸158 mm×63.5 mm×46mm产品重量400g工作环境条件温 度： -20℃～60℃ 相对湿度： 90% 周围无振动、无腐蚀性介质可选附件曲面传感器、小孔传感器、沟槽传感器、深槽传感器、延长杆、微型打印机、KA620测量平台

产品简介　　粗糙度仪又叫表面光洁度仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、粗糙度测试仪等多种名称。它具有测量精度高、测量范围宽、操作简便、便于携带、工作稳定等特点，可以广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测，该仪器是传感器主机一体化的袖珍式仪器，具有手持式特点，更适宜在生产现场使用。外形设计，坚固耐用，抗电磁干扰能力显著，符合当今设计新趋势。　　粗糙度仪的应用领域有：一、机械加工制造业，主要是金属加工制造。仪器最初的产生就是为了检测机械加工零件表面粗糙度而生的。尤其是触针式粗糙度测量仪比较适用于质地比较坚硬的金属表面的检测。如：汽车零配件加工制造业、机械零部件加工制造业等等。这些加工制造行业只要涉及到工件表面质量的，对于仪器的检测应用是必-不可少的。二、非金属加工制造业，随着科技的进步与发展，越来越多的新型材料应用到加工工艺上，如陶瓷、塑料、聚乙烯，等等，现有些轴承就是用特殊陶瓷材料加工制作的，还有泵阀等是利用聚乙烯材料加工制成的。这些材料质地坚硬，某些应用可以替代金属材料制作工件，在生产加工过程中也需要检测其表面粗糙度。三、随着仪器的技术和功能不断加强和完善，以及深入的推广和应用，越来越多的行业被发现会需求粗糙度的检测，除机械加工制造外，电力、通讯、电子、，如交换机上联轴器、集成电路半导体等生产加工过程中也需粗糙度的评定，甚至人们生活中使用的文具、餐具、人的牙齿表面都要用到表面粗糙度的检验。　　针描法又称触针法。当触针直接在工件被测表面上轻轻划过时，由于被测表面轮廓峰谷起伏， 触针将在垂直于被测轮廓表面方向上产生上下移动，把这种移动通过电子装置把信号加以放大， 然后通过指零表或其它输出装置将有关粗糙度的数据或图形输出来。　　采用针描法原理的表面粗糙度测量仪由传感器、驱动器、指零表、记录器和电感传感器是轮廓仪的主要部件之一，在传感器测杆的一端装有金刚石触针，触针尖-端曲率半径r很小，测量时将触针搭在工件上，与被测表面垂直接触，利用驱动器以一定的 速度拖动传感器。由于被测表面轮廓峰谷起伏，触针在被测表面滑行时，将产生上下移动。此运动经支点使磁芯同步地上下运动，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化。传感器的线圈与测量线路是直接接入平衡电桥的，线圈电感量的变化使电桥失 去平衡，于是就输出一个和触针上下的位移量成正比的信号，经电子装置将这一微弱电量的变化放大、 相敏检波后，获得能表示触针位移量大小和方向的信号。此后，将信号分成三路：一路加到指零表上， 以表示触针的位置，一路输至直流功率放大器，放大后推动记录器进行记录 另一路经滤波和平均表放大 器放大之后，进入积分计算器，进行积分计算，即可由指示表直接读出表面粗糙度Ra值。　　当铁芯处于差动电感线圈的中间位置时，指零表指针指示出零位，即保证处于电感变化的线性范围之内。所以，在测量之前，必须调整指零表，使其处于零位。经过噪声滤波和波度滤波以后，剩下来的就是与被测表面粗糙度成比例的信号，再经平均表放大器后，所输出的电流I与被测表面轮廓各点偏离中线的高度y的绝对值成正比，然后经积分器完成的积计算，得出Ra值，由指零表显示出来。这种仪器适用于测定0.02-10μm的Ra值，其中有少数型号的仪器还可测定更小的参数值，仪器配有各种附件，以适应平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、曲面、以及小孔、沟槽等形状的工件表面测量。测量迅速方便，测值精度高。　　传统表面粗糙度测量仪存在以下几个方面的不足：(1)测量参数较少，一般仅能测出Ra、Rz、Ry等少量参数 (2)测量精度较低，测量范围较小，Ra值的范围一般为0.02-10μm左右 (3)测量方式不灵活，例如：评定长度的选取，滤波器的选择等 (4)测量结果的输出不直观。造成上述几个方面不足的主要原因是：系统的可靠性不高，模拟信号的误差较大且不便于处理等。

袖珍式便携式表面粗糙度仪给出的参数符合GB/T 3505-2000《产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面结构的述语、定义及参数》、符合GB/T 6062-2002《产品几何量技术规范 （GPS）表面结构 轮廓法 接触（触针）式仪器的标称特性》。袖珍式便携式表面粗糙度仪适用范围：金属与非金属被测零件表面粗糙度的检测，适用于多种机加工零件、机械加工制造业、检测、商检等部门，尤其适用于大型工件及生产流水线的现场检验，以及检测、计量、商检等部门的外出检定，不会对工件产生损伤。可测量平面、直径大于20mm（经验值）的外圆面、锥面，还可测长宽大于80×30mm的沟槽。独具特点：经过严格的温、湿度试验，适应高温高湿度工作环境，特别是南方潮湿气候测值不受影响。袖珍式便携式表面粗糙度仪特点：u可选择4种测量参数Ra、Rz、Rt、Rq；u校准样块采用光学玻璃基体，由国家计量院鉴定，精度高，不易划伤，使用寿命长；u具有校准功能，操作简单；u广泛用于金属与非金属加工表面的生产现场及外出鉴定的检测；u采用高速DSP处理器进行数据处理和计算，速度快，精度更高；u可选择取样长度0.25 ，0.80 ，2.50；u点阵LED液晶显示，高亮度，无视角，宽温度，适合各种场合；u自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间超长；u两种充电方式，专用充电器或计算机USB口充电，可边充电边工作，方便快捷；u传感器测头具有保护门，有效的保护了传感器测头，保证了测量的精度；u外形采用拉铝模具设计，坚固耐用，抗电磁干扰能力显著，符合当今设计新趋势。袖珍式便携式表面粗糙度仪技术参数：测量参数（μm）Ra、Rz、Rq、Rt测量范围（μm）Ra、 Rq： 0.05 um ~ 15.0 um Rz、 Rt： 0.1 um~ 50 um取样长度（mm）0.25 ， 0.80 ， 2.50评定长度（mm）1.25 ， 4.0 ， 5.0行程长度（mm）6示值精度0.01示值误差±（7-10）%示值变动性＜12%传感器触针针尖圆弧半径及角度针尖圆弧半径：10 μm±1 μm传感器触针静测力及其变化率触针静测力：≤ 0.016N 测力变化率：≤ 800N/m传感器导头压力≤ 0.5N电池3.7V锂离子电池外形尺寸106 mm×70 mm×24 mm重量200g工作环境条件温 度： -20℃～60℃ 相对湿度： 90% 周围无振动、无腐蚀性介质

中图仪器SuperViewW3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能； (6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：SuperViewW光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。 部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM 标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

TQC Sheen SP1560数显表面粗糙度仪是一个组合仪器， SP1560可配备两个不同的探针，一个用于表面粗糙度测试，一个用于涂层厚度测试。优势：• 可以准确而快速的测量清洁又粗糙度的表面的波峰波谷值• 完全符合国际权威通用标准• 平面底座放在漆面上,测针探入并停止于底基材上,就可以测出涂层厚度• 可测量腐蚀坑洞和裂纹深度• 配可更换的平头用于测量粗糙度技术参数：测量范围3.4mm最小刻度1μm精度5μm测头直径8mm

产品简介中图仪器SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪基于白光干涉原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperVieW白光干涉表面粗糙度检测仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器白光干涉粗糙度仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能(1)白光干涉粗糙度仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能 具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。中图仪器白光干涉粗糙度仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。典型结果表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

一、高精度表面粗糙度测试仪器原理：高精度表面粗糙度测试仪器由二部分组成：1- 1.采样部分 这是机电一体化仪器中的精密部份。它分成： A.驱动机构_用PC 送出控制讯号操纵精密伺服马达带动传感器在工件上作直线扫描。测量长度则根据不同截止波长，由使用者根据工件及标准确定。B.精密传感器_本机采用差动式电感传感器 。C.立柱_自动升降，精密定位在传感器测量零位上. D.探针_在被测工件上扫描由工件表面轮廓不 平而形成上下位移，使传感器中磁回路间隙改变导致电感变化，形成微弱讯号。1-2.信号转换 传感器输出的微弱讯号经放大、鉴相后，经过低通滤器及根据高斯滤波器特性而设计的长波段滤波网络，输出模拟讯号分成二路。R参数；轮廓参数分别由USB数据采样卡内的16位A/D转换处理，形成数字信息，经USB输至PC运算处理，显示打印。二、技术参数：主要技术指标 按JJF1105-2003高精度表面粗糙度测试仪器校准规范测量参数 Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2… … 最大测量长度 25mm 50mm 直线度测量精度 0.4μm 滤波器 高斯(Gaussian)滤波器（ISO11562:1996），2RC滤波器 截止波长 0.25，0.8，2.5 测量重复性 3% 相对示值误差 ±5% 示值稳定性 3% 测量长度 λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） 测量范围 640μm 分辨率 0.001μm 测量速度 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s 返回速度（自动） 1mm/s 传感器针尖 R=2μm钻石（测量力1mN）；R=5μm钻石(测量力4mN） 三、高精度表面粗糙度测试仪器操作系统Profile软件必须在Windows XP平台下工作2-1系统功能高精度表面粗糙度测试仪器本系统可以根据不同的传感器分别提供两种测量类型：2-1-1粗糙度可选择三种不同截止波长及扫描长度见下表： *截止波长(可选)测量速度(根据截止波长定)*扫描长度(可选) 0.25mm0.1mm/S1.0 mm1.25mm1.5 mm1.75mm0.8 mm0.32mm/S3.2 mm4.0 mm4.8 mm5.6 mm2.5 mm0.5mm/S10.0mm12.5mm15.0mm17.5 mm 测量系统可提供下列粗糙度数据：Ra, Rz, Rmax, Rt, Rp, Rpm, Rz(jis), Rv, R3z, Rs, Rsm, Rsk, R, Rk, Rpk,Rvk,Mr1,Mr2, Rmr曲线及内燃机专用曲线。*2-1-2、轮廓(需配轮廓传感器) * 测量范围：(视不同轮廓传感器) 0--1000μm ，0—2000μm 扫描长度：1.0mm, 1.5mm, 2.0mm, 3.0mm, 4.0mm, 5.0mm, 5.0mm, 6.0mm, 7.0mm, 8.0mm, 9.0mm, 10.0mm, 15.0mm＊*根据用户特殊要求，特提供圆弧面上测量粗糙度专用档“曲面”，但其数据目前阶段，除了采用平面样板校正之外，，因无更妥当办法验证，只能仅供参考。曲面粗糙度:从0.08档至0.8mm扫描长度从:0.5mm-4.8mm线性范围: 宽达0-800μm。2-2系统运行的软、硬件环境系统要求最低系统配置：主机Pentium II或 赛杨系列（CPU主频≥700）128M RAM, WINDOWS XP中文版2-3计算机软、硬件的安装2-3-1.安装Profile软件前必须先安装加密锁。 高精度表面粗糙度测试仪器加密锁安装方法如下：首先把本机加密锁插入USB接口中。2-3-2.在C盘(并不限于C盘)的根目录下建立JB6C目录。

粗糙度仪平台JS-340介绍粗糙度仪平台JS-340为便携式粗糙度测量仪的主要附件之一，适用于各种国产手持式粗糙度仪TR200、TR210、NDT150、等，为其提供高精度的测量平台和立柱升降系统，可方便地调整仪器，其效果将大大降低仪器的操作难度，尤其是在测量高精度零件时，效果会更明显。该产品也适用于使用其他厂家（包括国外厂家）粗糙度测量仪的用户，但需要定制一个专用的连接部件。当然，也不排除其它用途的特殊用户。对于专用传感器，必须借助这套附件才能够进行复杂的精确调整。 工作原理：操作者通过转动升降手轮带动丝杠螺母系统运动，螺母与滑架连接，滑架与仪器连接，从而带动仪器沿精密燕尾导轨升降。由于丝杠螺母系统采取了消除间隙的特殊设计，使得升降回程差调到很小，因此，本系统升降调整精度很高。并采用了定心和推力轴承来提高旋转的平稳性。 技术参数：丝杆升降，平台上设置V型槽，用来测量形状较小的工件，可提高测量精度。升降高度：300±1mm；升降回程误差：不大于手轮旋转的1/6圈；测量平台的平面度：00级（平面公差值3μm）；测量平台尺寸：400*250*80mm。 操作步骤：按照粗糙度仪的说明书要求操作，先将传感器装到仪器上，再将平台连接板装到粗糙仪的主机上，然后将仪器装到立柱的滑架上，锁紧要可靠。将工件放在平台（或V型块）上，置于传感器的正下方，然后调整升降手轮，使传感器接近工件，当传感器即将接近工件时，一定要放慢传感器的下降速度，当传感器接触工件后，要仔细观察触针位置，当触针处在零位附近时，即可测量。轴向测量圆柱形工件时，可将工件放在随机配置的V型块上，该V型块的中心线与传感器的触针处在同一垂直平面中（出厂时已调好），即传感器接触工件后所测量是圆柱形工件zui高点的母线。调整升降手轮前，先松开滑架锁紧手轮；测量高精度零件时，可将立柱锁紧手轮锁紧，使测量更稳定精确。要经常清洗和防锈；不要用力侧向搬动滑架；移动时，不要直接搬立柱，应把住平台移动，以防立柱松动，定位错误。 标准配置； 内六角扳手3把（M3、M4、M6)金属V型块1块粗糙度仪固定板4块连接板2块十字螺丝刀1把说明书一份 备注：可提供各种定制要求，以适应各个厂家各个型号粗糙度测量仪使用。

产品简介中图仪器SuperVieW3D表面粗糙度轮廓检测仪基于白光干涉原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域 SuperVieW3D表面粗糙度轮廓检测仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施 在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperVieW3D表面粗糙度轮廓检测仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器WD4000晶圆翘曲度厚度粗糙度表面形貌检测设备通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建。它采用的高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立3D Mapping图，能实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。WD4000晶圆检测设备自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。WD4000晶圆翘曲度厚度粗糙度表面形貌检测设备兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量WD4000晶圆翘曲度厚度粗糙度表面形貌检测设备集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术 （1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。 WD4000可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

SuperViewW中图仪器全自动3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW中图仪器全自动3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）； 几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。应用领域SuperViewW中图仪器全自动3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。性能特色1、高精度、高重复性 1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

DR300高精度粗糙度仪是适合于生产现场环境和移动测量需要的一种手持式仪器，可测量多种机械加工零件的表面粗糙度，包括平面、斜面、外圆柱面，曲面，小孔，沟槽及车轴等。可根据选定的测量条件计算相应的参数，并在显示器上显示出全部测量参数和轮廓图形。适用于车间检定站、实验室、计量室等环境的检测。 产品特性主机和驱动器分离，可以满足更多测试需求；采用DSP芯片控制和数据处理、速度快、功耗低；兼容ISO、DIN、ANSI、JIS多个国家标准；连续工作时间大于20小时；超大容量数据存储，可存储100组原始数据及波形；实时时钟设置及显示，方便数据记录及储存；节点功能：自动休眠、自动关机；可靠防电机走死电路及软件设计；显示测量信息、菜单提示信息、错误信息及开关机等各种提示说明信息；中/英文语言选择；可连接电脑和打印机；打印全部参数或打印用户设定的任意参数；可选配蓝牙功能；可选配附件：小孔/曲面/深槽传感器、测量平台、传感器护套、加长杆等附件； 标准配置粗糙度仪主机驱动器粗糙度传感器高度调节支架校准试块试块支架充电器USB通讯线使用说明书合格证保修卡仪器箱保修期∶2年

DR160高精度粗糙度仪是适合于生产现场环境和移动测量需要的一种手持式仪器，可测量多种机械加工零件的表面粗糙度，包括平面、斜面、外圆柱面，曲面，小孔，沟槽及车轴等。可根据选定的测量条件计算相应的参数，并在显示器上显示出全部测量参数和轮廓图形。适用于车间检定站、实验室、计量室等环境的检测。 产品特性DR160一体化设计，体积小，重量轻，使用方便；采用DSP芯片控制和数据处理、速度快、功耗低；兼容ISO、DIN、ANSI、JIS多个国家标准；连续工作时间大于20小时；超大容量数据存储，可存储100组原始数据及波形；实时时钟设置及显示，方便数据记录及储存；节点功能：自动休眠、自动关机；可靠防电机走死电路及软件设计；显示测量信息、菜单提示信息、错误信息及开关机等各种提示说明信息；中/英文语言选择；可连接电脑和打印机；打印全部参数或打印用户设定的任意参数；可选配蓝牙功能；可选配附件：小孔/曲面/深槽传感器、测量平台、传感器护套、加长杆等附件； 标准配置粗糙度仪主机粗糙度传感器高度调节支架校准试块试块支架充电器USB通讯线使用说明书合格证保修卡仪器箱保修期∶2年

中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪以白光干涉技术为原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪非接触式高精密测量，不会划伤甚至破坏工件：【测量小尺寸样品时】可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，Z向扫描电机可扫描10mm范围，可测非常微小尺寸的器件；【测量大尺寸样品时】支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致；SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：粗糙度测量案例 硅晶圆粗糙度测量晶圆IC减薄后的粗糙度检测蓝宝石粗糙度测量部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介： 印刷表面粗糙度仪 PPS纸和纸板 粗糙度/平滑度测定国家标准规定：铜板纸和新闻纸的平滑度要求用PPS来测定为什么用PPS测量表面粗糙度？表面粗糙度是确定纸和纸板印刷适性的一个关键因素。John Parker博士将PPS法推广到造纸业界之前，为预测印刷适性，有许许多多的方法测量纸的表面粗糙度，而这些方法均不能令人满意。Parker博士正确推理出为什么测量表面粗糙度最好的方法，是模拟印刷时印刷机上的条件来进行之的表面粗糙度测量。具体原理如下：纸样夹在测头和弹性衬垫之间，并受到相当于实际印刷中咬合压力一样的压力。在细金属测量环和测量面内，通过一定压差下的气流，测量该气流的受到的阻尼（见图1）。纸样的表面粗糙度由狭缝内气流的平均立方根计算获得（M590自动计算）。特别是PPS的测量环及其周围的狭缝宽度仅51微米，大大降低了纸的透气性对测量的影响，而其他空气泄漏法的仪器都不能避免这一影响。为什么买MESSMER BUCHEL的PPS？非常简单——它是最好的！M590是MESSMER BUCHEL的第三代PPS。30年的PPS生产经验和Parker博士的专业知识使我们成了PPS的技术核心。MESSMER BUCHEL采用了最新技术以保证测试的高可靠性和优异的重复性，技术有所改进，但原理仍旧一样。在MESSMER BUCHEL PPS内，微处理器的使用使测试界面更为友好，并能进行测试统计，而不仅仅是给出测试结果。精确的设计细节，有力的质量保证以及与国际标准的一致性是我们的原则。测头和衬垫之间的相对位置必须严格控制，因为它对于测量结果的重复性有很大影响。MESSMER BUCHEL采用了特别U-形结构，测头调整和固定机械易于拆卸一边清洗，但在测试中又绝不会移动。模块化结构和内置诊断规程保证了简便快速的维护，降低了维护费用。作为我们的生产工序之一，每台MESSMER BUCHEL PPS都经过了彻底的测试和校准。空气阻尼测量系统可校准，并且测量结果溯源到MESSMER BUCHEL主机。采购之后，用户可以用同样的方法进行常规复检。流体阻抗（dummy head）和MESSMER BUCHEL的测试与校准系统含在主机价格内。产品特点/规格： M590 & M595型PPS由微处理器控制 M590和M595均通过ISO参照仪器的标准， 测量范围：M595 高精度 0.5 – 3 μmM590 标准范围 0.6 – 6μm 40字符2行荧光显示屏，显示操作指令和测量结果 测量结果以微米为单位，其结果与实际印刷中墨膜厚度的关系为： 墨膜厚度 = 2 → 2.5 x PPS结果 自动统计分析 数据打印机 内置诊断和校准规程 RS232C V24串行输出 可选灰尘清除系统 可选样本探测 透气度测试（测头可选） 与TESTLINE / TESTLINK相兼容 独到的溯源校准附件（报价中已含）：1个 dummy head（流体阻尼），用于校准。1个 报警检测头4个 软片4个 硬片1个 夹具提升器3个 备用环形橡胶垫1个 备用膜片1本 操作手册1套 测试与校准系统标准PPS M590型测量范围0.6 – 6微米，符合ISO 8791/4，TAPPI T555，BS 6563及SCAN标准和国标。技术参数： M590 & M595型PPS由微处理器控制 M590和M595均通过ISO参照仪器的标准， 测量范围：M595 高精度 0.5 – 3 μmM590 标准范围 0.6 – 6μm 40字符2行荧光显示屏，显示操作指令和测量结果 测量结果以微米为单位，其结果与实际印刷中墨膜厚度的关系为： 墨膜厚度 = 2 → 2.5 x PPS结果 自动统计分析 数据打印机 内置诊断和校准规程 RS232C V24串行输出 可选灰尘清除系统 可选样本探测 透气度测试（测头可选） 与TESTLINE / TESTLINK相兼容 独到的溯源校准主要特点：为什么买MESSMER BUCHEL的PPS？非常简单——它是最好的！M590是MESSMER BUCHEL的第三代PPS。30年的PPS生产经验和Parker博士的专业知识使我们成了PPS的技术核心。MESSMER BUCHEL采用了最新技术以保证测试的高可靠性和优异的重复性，技术有所改进，但原理仍旧一样。在MESSMER BUCHEL PPS内，微处理器的使用使测试界面更为友好，并能进行测试统计，而不仅仅是给出测试结果。精确的设计细节，有力的质量保证以及与国际标准的一致性是我们的原则。测头和衬垫之间的相对位置必须严格控制，因为它对于测量结果的重复性有很大影响。MESSMER BUCHEL采用了特别U-形结构，测头调整和固定机械易于拆卸一边清洗，但在测试中又绝不会移动。模块化结构和内置诊断规程保证了简便快速的维护，降低了维护费用。作为我们的生产工序之一，每台MESSMER BUCHEL PPS都经过了彻底的测试和校准。空气阻尼测量系统可校准，并且测量结果溯源到MESSMER BUCHEL主机。采购之后，用户可以用同样的方法进行常规复检。流体阻抗（dummy head）和MESSMER BUCHEL的测试与校准系统含在主机价格内。

便携式表面粗糙度测量机东京精密HANDYSURF+ 新型便携式表面粗糙度测量机东京精密HANDYSURF+ 新上市了，东京精密HANDYSURF+是E-35B新升级款，性价比更高。设计简练的 HANDYSURF+，全面支持汉字显示，能够满足多种需要，是一款对应全球化规范的便携式表面粗糙度测量机。优异的操作性2.4 英寸彩色液晶显示，大幅提高辨识度。流线型外观设计，配合全新布局按键和人性化用户界面，实现简单直观操作。全面分析功能。突破入门级设备瓶颈，实现参数和波形两种方式显示测量结果，并可进行高端机型拥有的分析功能。如：负荷曲线、振幅分布曲线、波峰计数和Motif 等各种分析。通过预先设定条件，还可自动进行合格判定。合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

中图仪器WD4000半导体晶圆粗糙度表面形貌测量设备通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。它采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，可实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化(TTV)及分析反映表面质量的2D、3D参数。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。WD4000半导体晶圆粗糙度表面形貌测量设备自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。WD4000半导体晶圆粗糙度表面形貌测量设备可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。 （3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。应用场景 1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能 (1)SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪以白光干涉技术为原理，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW光学3D表面轮廓仪复合型EPSI重建算法解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。 部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW光学纳米级光学表面粗糙度测量仪利用光学干涉原理，具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像； 11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。SuperViewW光学纳米级光学表面粗糙度测量仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。SuperViewW光学纳米级光学表面粗糙度测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。 结果组成1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；6、微电子表面分析和MEMS表征。主要应用领域1、用于太阳能电池测量；2、用于半导体晶圆测量；3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；4、用于机械部件的计量；5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。应用领域案例部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

新型便携式表面粗糙度测量机东京精密HANDYSURF+ 新上市了，东京精密HANDYSURF+是E-35B新升级款，性价比更高。设计简练的 HANDYSURF+，全面支持汉字显示，能够满足多种需要，是一款对应全球化规范的便携式表面粗糙度测量机。优异的操作性2.4 英寸彩色液晶显示，大幅提高辨识度。流线型外观设计，配合全新布局按键和人性化用户界面，实现简单直观操作。全面分析功能。突破入门级设备瓶颈，实现参数和波形两种方式显示测量结果，并可进行高端机型拥有的分析功能。如：负荷曲线、振幅分布曲线、波峰计数和Motif 等各种分析。通过预先设定条件，还可自动进行合格判定。合作、共赢！美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD ICP、电镜、电子能谱仪德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机； 摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描 日本奥林巴斯手持光谱仪 德国帕马斯颗粒计数器租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！上海澳信检测技术有限公司青岛澳信仪器有限公司青岛澳信质量技术服务有限公司联系地址：青岛市城阳区山河路702号上海地址：上海浦东新区川沙路1098号新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等

SuperViewW广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。性能特色1、高精度、高重复性 1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

表面粗糙度测量仪SST-180介绍 表面粗糙度测量仪SST-180适用于实验室和生产现场，可测量多种机加工零件的表面粗糙度，包括平面、斜面、外圆柱面，曲面，小孔，沟槽及车轴等，根据选定的测量条件计算相应的参数，在液晶显示器上清晰地显示出测量结果和轮廓图形。 功能特点:1、机电一体化设计，体积小，重量轻，使用方便；2、高精度电感传感器；3、采用DSP芯片进行控制和数据处理，速度快，功耗低；4、GAUSS滤波器；5、128×64 点阵OLED液晶屏6、内置锂离子充电电池及充电控制电路，容量高、无记忆效应，连续工作时间大于20小时；7、具有自动关机、记忆及各种信息；8、可选配曲面传感器、小孔传感器、测量平台、接长杆等附件9、兼容ISO、DIN、ANSI、JIS多个国家标准；10、系统语言可中英文切换，开机默认中文系统11、单位可按顺序更改：工制→英制；默认值为工制。 技术参数 ：名称内容测量范围Z轴（垂直）200μmX轴（水平）15mm分辨率Z轴（垂直）0．01μm/±20μm0．02μm/±40μm0．04μm/±80μm测量项目参数Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc、Rco标准ISO,ANSI,DIN,JIS图形支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓滤波器GAUSS滤波器取样长度(lr)0.25,0.8,2.5mm评定长度（ln）Ln= lr×n n=1~5传感器测量原理位移式差动电感式触针天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径测力4mN导头硬质合金，滑行方向半径45mm滑行速度lr=0.25, Vt=0.135mm/slr=0.8, Vt=0. 5mm/slr=2. 5, Vt=1mm/s返回 Vt=1mm/s示值误差不大于±10%示值变动性不大于6%电源内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电外形尺寸158x63.5x46mm重量约300g工作环境温度：- 20℃ ~ 40℃ 湿度： 90% RH储存运输环境温度：- 40℃ ~ 60℃ 湿度： 90% RH 测量范围： 参 数显 示 范 围Ra,Rq0.005μm ~ 16μmRz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm0.02μm ~ 160μm 标准配置： SST-180粗糙度仪主机1台标配传感器1个多刻线标准样块1块可调支架1个电源适配器1套说明书1个合格证1个保修卡1个

特 点： 1.HANDYSURF+35应对全球化 全面支持汉字显示，标配亚欧20国语言显示，让您一键切换。 2.高效测量，无需设置量程 以往的HANDYSURF在使用高分辨率进行测量时，必须缩小测量范围，HANDYSURF+无此限制。370um的Z方向全量程都可以实现了高达0.0007um的分辨率。无需担心测量范围。3.可以任意方向进行测量 小型轻量的HANDYSURF除了可以水平面测量外，还可以倾斜面、垂直面、顶棚面等所有姿势进行测量。可根据目的分别使用显示部与驱动部一体的测量或分离的测量。 4.直接将数据发送到计算机中点3 标准配置串行端口（RS-232C）。可将测量条件、参数值、形状曲线数据直接发送到计算机中。通过RS-USB转换适配器（选配），可发送到带USB端口的计算机。 5.可交换式位数移型传感器 可用位移型传感器正确而忠实地测量表面粗糙度。由于传感器为交换式方式，因此只要有细孔、深孔等 专用传感器（选购件）即可轻松地进行多样的测量。 6.进一步现场对应— 数据保存/充电式蓄电池 可将10个数据保存到内置存储器中，可随时自由调出测量数据。此外，HANDYSURF及打印机内置有充电电池，最适合无电源的现场测量。 7.优异的操作性 标准配置ISO、JIS（2001/1994/1982）、ASME、CNOMO等各国标准。2.4英寸彩色液晶显示，大幅提高辨识度。流线型外观设计，配合全新布局按键和人性化用户界面，实现简单直观操作 检查成绩表编制（支持软件） 可将数据读入电子表格软件EXCEL编制检查成绩表。TiMS Light（选配） 使用东京精密综合测量系统TiMSLight，可自由地进行高级分析。ACCTee 可用与高档机型上配置的软件相等的TiMS Light及ACCTee进行高级分析。型号 HANDYSURF +35 测量范围 Z 方向 -210~+160μ ｍ 驱动部 X 方向 16 mm 分辨率 Z 方向 0.01μ ｍ /±20μ ｍ～ 0.08μ ｍ /±160μ ｍ 分析项目 对应标准 对应JIS-2001/-1994/-1982、ISO-1997、DIN-1990、 ASME-1995、CNOMO 标准 JIS-2001 参数 截面测量 Ra、Pa、Pq、Pt、Rz、Rz.J、Rzmax、Rq、Rp、Rt、R3z、 粗糙度测量 RSm、Pc、AVH、Hmax、Hmin、Pmr、Rmr、Rk、Rpk、 Rvk、Mr1、Mr2、V ｏ、K Motif R、Rx、AR、W、Wx、AW、Wte 评价曲线 断面曲线、粗糙度曲线、ISO13565 特殊粗糙度曲线、粗糙度 Motif 曲线、波纹度Motif 曲线、包络波纹度曲线 滤波器 截止方式 高斯滤波器、2RC 滤波器（相位非补偿型）（JIS' 82） 截止值 λc 0.08、0.25、0.8、2.5 mm λs 2.5、8μ ｍ 评价长度 0.4 mm ～ 12.5 mm（0.1 mm 单位） 测量速度 0.6 mm/s 传感器 动作方式 标准型号 感应方式 差动电感（位移型） 测量力 4 mN 以下 测量方式 导头方式：人造金刚石 32mmR（跟踪方向）

高精度手持式表面粗糙度仪给出的参数符合GB/T 3505-2000《产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面结构的述语、定义及参数》、符合GB/T 6062-2002《产品几何量技术规范 （GPS）表面结构 轮廓法 接触（触针）式仪器的标称特性》。高精度手持式表面粗糙度仪适用范围：金属与非金属被测零件表面粗糙度的检测，适用于多种机加工零件、机械加工制造业、检测、商检等部门，尤其适用于大型工件及生产流水线的现场检验，以及检测、计量、商检等部门的外出检定，不会对工件产生损伤。可测量工件范围：平面、外圆面、锥面、内孔、沟槽、曲面 等其他异型面（配适用传感器）独具特点：经过严格的温、湿度试验，适应高温高湿度工作环境，特别是南方潮湿气候测值不受影响。高精度，测值稳定，中国领先品质！高精度手持式表面粗糙度仪特点：u大量程，多参数，14种参数：Ra, Rz=Ry(JIS), Rq, Rt=Rmax, Rp, Rv, R3z, R3y, RzJIS, Rs, Rsk, Rku, Rsm, Rmr；u校准样块采用光学玻璃基体，由国家计量院鉴定，精度高，不易划伤，使用寿命长；u128×64 OLED点阵显示器，数字/图形显示；高亮无视角；u采用DSP芯片进行控制和数据处理，速度快，功耗低；u机电一体化设计，体积小，重量轻，使用方便；u具有传感器触针位置指示功能；u兼容ISO、DIN、ANSI、JIS等美国、德国、日本、英国多个国家标准；u显示信息丰富、直观、可显示全部参数及图形；u内置锂离子充电电池及充电控制电路，容量高、无记忆效应；u有剩余电量指示图标，提示用户及时充电；u可显示充电过程指示，操作者可随时了解充电程度u连续工作时间大于20小时u大容量数据存储，可存储100组原始数据及波形。u可连接专用打印机，现场打印测量结果u实时时钟设置及显示，方便数据记录及存储。u具有自动休眠、自动关机等节电功能u可靠防电机走死电路及软件设计，高稳定性；u显示测量信息、菜单提示信息、错误信息及开关机等各种提示说明信息；u全金属壳体设计，坚固、小巧、便携、可靠性高。u中/英文语言选择；u可选配曲面传感器、小孔传感器、沟槽传感器、测量平台、传感器护套、接长杆等附件。u蓝牙 APP连接高精度手持式表面粗糙度仪技术参数测量参数Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr测量范围Ra： 0.005 um ~ 16.00 um 显示范围Ra,Rq： 0.005 um ~ 16 um ；Rz, Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,： 0.02 um~ 160 umRsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100%示值精度0.001um量程范围±20um，±40um，±80um取样长度L0.25 ， 0.80 ， 2.50，自动评定长度1L~5L（可选，L为取样长度）测量行程长度3L~7L（可选，L为取样长度）最大驱动行程长度17.5mm / 0.71 inch最小驱动行程长度1.3mm / 0.052 inch示值误差≤±7%示值变动性＜6%针尖角度90°测量轮廓粗糙度，波纹度，原始轮廓滤波器RC,PC-RC,Gauss,D-P内部存储能力100组数据数据接口USB电池内置锂离子充电电池外形尺寸141 mm×55 mm×40mm产品重量400g工作环境条件温 度： -20℃～60℃ 相对湿度： 90% 周围无振动、无腐蚀性介质可选附件曲面传感器、小孔传感器、沟槽传感器、深槽传感器、延长杆、微型打印机、KA620测量平台 JD360:内置锂离子充电电池/DC5V，800mA充电器充电