电子束感生电流

想要测一下器件的电子束下的IV曲线，请问哪里可以测？

有时涉及到一些关于EBIC（电子束感生电流）分析方面的知识，那位热心大师能系统介绍一下这方面的知识，或提供一些相关资料。

如题，操作JEM2010时，放上样品，打开灯丝开关，电子束电流（beam current）应从102升到106 ，但是有一次操作时却发现快速升高到200多，且电镜发出滴滴声，老师来后赶快关掉灯丝，等待其降回102，再开。不知这是哪里出了故障，这样操作合法不？

在扫描样品时，样品显示窗口的亮度不停在闪，查看gun后发现，电子束电流在93-96之间不停变化，正常使用时电流93，原以为灯丝要断了，可上一次闪了十几分钟后又变正常了，过了不到一个星期，又开始闪，不知什么原因，希望高手给予指点！谢谢

大家好，最近在研究扫描电镜原理方面的知识，有一点不太理解，还请大家帮忙解答！！！Q：通常情况下，选择高的加速电压，电子束能量高，探针电流大，但现在的电压和电流在用户界面上都是可以独立调节的，即选择高电压的同时，也可以选择小的电流，那这个时候的电流是不随电压变化的，那么问题来了，这个时候的电流是靠什么调节的？？？是光阑吗还是其他什么？问题引申：通常讲的电子束能量高低，指的是束斑尺寸还是电子束的速度，还是指波长短？或者，三者兼而有之？？？亦或是其他？

如果没有单位增加了对机器的对比理解的难度。6390中一般需要调节的参数有哪些？加速电压和电子束斑吗？这里的电子束斑指的是束斑直径还是电子探针电流值？如果其值选50是什么概念？6700F中一般调节的探针电流最大值15.6700的探针电流与6390中的电子束斑该用什么公式等价。或者同台一起这俩参数见有无公式等价？探针电流单位啥？还是相对值？

前段时间在考虑电子束束斑大小的问题，看到了Boersch效应，作为电子粒子的一个物理效应，和大家分享一篇中文文献。我个人简单的理解是扫描电镜束流提高会增加束斑的大小，尤其是加速电压比较低的情况下，束斑增大更显著。1954年，Boersch从实验中发现, 电子束中电子的能量分布宽度随电子束电流加大而反常地增宽, 达到几个电子伏, 大大超过了阴极温度对应的麦克斯韦分布的能量分布宽度。这一效应不能用传统的空间电荷理论来解释。继后的理论与实验研究均倾向于认为这与电子束中电荷的离散性有关, 这就是所谓的Boersch效应。

大家好，我用的是zeiss 1450vp 扫描电镜。前两天在实验的中途，先是出现EHT Tripped 的错误信息，这个问题以前遇到过，等重新打开电压和电流后就好了。这回不同了，等电压和电流都打开后，就是不见电子束。我检查了灯丝是好的，电脑上面显示电压也有。而且电脑没有任何的错误信息。就是没有电子束到样品上。请问高人，遇到这个问题从哪里下手查？谢谢

sem一般发射的能量电子束范围是多少啊？比如说当发射电子束为17kv时，此时发射电子束的电流确定吗？急急，望各位大侠给以解答哈 谢谢谢！！！

一般在文献中看到的tem中的电子束强度单位是A/cm2 我在电镜可以看到一个叫screen current的（几nA的节奏）是不是与ccd拍摄到得面积比一下就可以了呢？？ 但这好像是电子束打到整个荧光屏（scrren）的电流啊? 怎么算呢。。。。

当一个p-n结面经电子束照射后，会产生过多的电子-空位对，这些载子扩散时被p-n结面的电场收集，外加线路时即会产生电流。产生的电流要怎么才能引出测试呢？

[b][color=#000000]扫描电子显微镜价格[/color][/b][color=#000000]扫描电子显微镜的价格？这个是很多科研人关心的问题之一，我们想知道电子显微镜多少钱（大概一个范围）；其实，我们知道显微镜的价格是不便宜的，基本的一个范围就是30-100万，特别是高端的扫描电子显微镜价格200-300万也是什么不可能的事。下面小冉就给大家说说扫描显微镜的工作原理和价格以及其用途，给大家做一个了解和参考！[/color][color=#000000][/color][color=#000000][/color][align=center][color=#000000][img=扫描电子显微镜原理及功能用途,400,412]http://www.gdkjfw.com/images/image/99161528266162.jpg[/img][/color][/align][color=#000000][/color][color=#000000][color=#000000]　　[/color][b][color=#000000]扫描电子显微镜多少钱？[/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000][b][color=#000000][/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000]　　FEI Inspect S50扫描电子显微镜参考成交价格：200万元[/color][color=#000000]　　FEI Inspect F50场发射扫描电子显微镜参考成交价格：300万元[/color][color=#000000]　　FEI Quanta 650 FEG环境扫描电镜参考成交价格：43万元[/color][color=#000000]　　FEI Quanta 250环境扫描电子显微镜参考成交价格：200万元[/color][color=#000000]　　FEI Magellan 400L XHR场发射扫描电子显微镜参考成交价格：200万元[/color][color=#000000]　　注：价格来源于网络，仅供参考[/color][color=#000000][/color][color=#000000][color=#000000]　　[/color][b][color=#000000]扫描电子显微镜结构图[/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000][b][color=#000000][/color][color=#000000][/color][/b][/color][align=center][color=#000000][b][color=#000000][img=扫描电子显微镜原理及功能用途,350,456]http://www.gdkjfw.com/images/image/28441528266163.jpg[/img][/color][/b][/color][/align][align=center][color=#000000]扫描电子显微镜结构图[/color][/align][color=#000000][/color][color=#000000][color=#000000]　　[/color][b][color=#000000]扫描电子显微镜工作原理[/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000][b][color=#000000][/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000]　　扫描电子显微镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统（包括电子枪、扫描线圈等）、试样室、检测器以及真空抽气系统组成[/color][color=#000000][/color][align=center][color=#000000][img=扫描电子显微镜原理及功能用途,454,389]http://www.gdkjfw.com/images/image/24361528266163.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#000000]扫描电子显微镜原理图[/color][/align][color=#000000]　　从图可以看出，由三极电子枪所发射出来的电子束（一般为50μm），[/color][color=#000000]　　在加速电压的作用下（2～30kV），经过三个电磁透镜（或两个电磁透镜），汇聚成一个细小到5nm的电子探针，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，使电子探针在试样表面做光栅状扫描（光栅线条数目取决于行扫描和帧扫描速度）。由于高能电子与物质的相互作用，结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴极发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质（如电性质、磁性质等）等因素有关，因此，通过接收和处理这些信息，就可以获得表征试样形貌的扫描电子像，或进行晶体学分析或成分分析。[/color][color=#000000]　　为了获得扫描电子像，通常是用探测器把来自试样表面的信息接收，再经过[/color][color=#000000]　　信号处理系统和放大系统变成信号电压，最后输送到显像管的栅极，用来调制显像管的亮度。因为在显像管中的电子束和镜筒中的电子束是同步扫描的，其亮度是由试样所发回的信息的强度来调制，因而可以得到一个反映试样表面状况的扫描电子像，其放大系数定义为显像管中电子束在荧光屏上扫描振幅和镜筒电子束在试样上扫描振幅的比值，即[/color][color=#000000]　　M＝L/l＝L/2Dγ[/color][color=#000000]　　式中M－放大系数；[/color][color=#000000]　　L－显像管的荧光屏尺寸；[/color][color=#000000]　　l－电子束在试样上扫描距离，它等于2Dγ，其中D是扫描电子显微镜的工[/color][color=#000000]　　作距离；[/color][color=#000000]　　2γ－镜筒中电子束的扫描角。[/color][color=#000000][/color][align=center][color=#000000][img=扫描电子显微镜原理及功能用途,400,363]http://www.gdkjfw.com/images/image/56411528266163.jpg[/img][/color][/align][color=#000000][/color][color=#000000][color=#000000]　　[/color][b][color=#000000]扫描电子显微镜用途[/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000][b][color=#000000][/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000]　　最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色，例如：生物学，植物学，地质学，冶金学等等。观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸，纺织品，自然的或制备过的木头的细微结构，生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如：花粉颗粒，硅藻和昆虫。另一方面，它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。[/color][color=#000000]　　在扫描电子显微镜应用中，很多集中在半导体器件和集成电路方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流，可以观测半导体P—N结内部缺陷。[/color][color=#000000]　　电子束与样品作用区内，还发射与样品物质其他性质有关信号。例如：与样品化学成分分布相关的，背散射电子，特征X射线，俄歇电子，阴极荧光，样品吸收电流等；与样品晶体结构相关的，背散射电子衍射现象的探测；与半导体材料电学性能相关的，二次电子信号、电子束感生电流信号；在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电子显微镜样品分析室，用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。[/color][color=#000000]　　扫描电子显微镜对于固体材料的研究应用非常广泛，没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料的全面特征的描述，扫描电子显微镜是至关重要的。[/color][color=#000000][/color][align=center][color=#000000][img=扫描电子显微镜原理及功能用途,446,310]http://www.gdkjfw.com/images/image/52861528266163.jpg[/img][/color][/align][color=#000000][/color][color=#000000][color=#000000]　[/color][b][color=#000000]　扫描电子显微镜功能[/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000][b][color=#000000][/color][color=#000000][/color][/b][/color][color=#000000]　　1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)[/color][color=#000000]　　2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析[/color][color=#000000]　　1)用x射线能谱仪或波谱(EDSorWDS)采集特征x射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析，相鉴定。[/color][color=#000000]　　2)利用背散射电子BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像；[/color][color=#000000]　　3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。[/color][color=#000000]　　4)利用样品电流，基于平均原子序数反差，生成的化学成分相的分布图像，该图像与背散射电子图像亮暗相反。[/color][color=#000000]　　5)利用俄歇电子，对样品物质表面1nm表层进行化学元素分布的定性定理分析，[/color][color=#000000]　　3、在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：[/color][color=#000000]　　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究[/color][color=#000000]　　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。[/color][color=#000000]　　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。[/color][color=#000000]　　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。[/color][color=#000000]　　扫描电子显微镜对科学研究与企业生产都有巨大的作用，在新型陶瓷材料显微分析中也有广泛的应用。上文就是小编整理的扫描电子显微镜的工作原理和应用介绍，在这方面有兴趣的朋友可以做进一步的深入研究。[/color]

我用的是F20场发射电镜，当用电子束照射样品时，电子束对样品的温升效应明显吗，如何计算电子束的加热温度？求教？？？[em45]

按一般说法，电子束与晶带轴平行时得到二维点阵花样，但实际上，按布拉格条件，不是晶面与电子束要成一特定角度时才得到衍射点么。还有关于Ewald球，为何是散射束与透射束的矢量差为1/d, 但在实际电子衍射中，不是指晶面间两束反射束波程差么，不大好理解

最近有人谈到电子束辐照,我想问一下电子束束流大小是怎样测量的,JEOL的电镜有小屏可以测大小,我是把小屏上测到的值折算到实际电子束辐照的面积上的束流密度,如屏上显示10 pA/cm2,实际辐照面积是100 nm2,那么实际束流密度是1A/cm2,不知道这样算对不对 还有一个奇怪现象是当你会聚电子束时,小屏上显示的束流值先增大,但是当电子束很小并接近到可会聚的最小束斑时,小屏上显示的束流值达到一个最大值后反而减小了,是不是当电子束很小时,小屏测量就不准,或者说用小屏测束流密度本身就不准. 不知大家是怎么测的. 还有在STEM下小束斑的束流密度怎么测.另外飞利普的电镜是怎么测的,我用的CM200没有找到类似于JEOL的显示值,不知是否有人知道

请教一下大家，透射电镜的会聚角α一般都会有几个档，那么这每一个档都对应一个确定的会聚角值还是对应一定的范围？通过brightness聚光散光会不会改变电子束的会聚角？都觉得α-1到3对应的都只是一个范围，聚光散光也会对会聚角产生影响？不然怎么叫做会聚电子束打菊池花样，平行电子束获得衍射花样呢？

我是电镜操作的一名菜鸟，用的是日本电子的电镜。最近老是被 束流、探针电流和束斑尺寸 三个概念搞混淆。我有看到文献说：束流是电子束的电子流；探针电流是聚焦电子束中的电流。那在日本电子的电镜里，束流指的是L.C.值吗？拍电镜照片时，调节 束流和束斑 分别对图像会产生什么影响？ 但在做能谱时，有人告诉我：日本电子的调 束流就是调束斑（即SS），那是说束流和束斑是一个概念了吗？恳请帮助！谢谢！

如何用SEM做电子束刻蚀？有什么特殊装备吗？

为什么电子束照到样品上时间一久容易积碳？什么原理？

请问有谁做过电子束焊接纳米线?怎么焊接?通入什么样的气氛或者有什么高招,请赐教一下,特别感谢![em0801]

今天操作电镜的时候，突然没有像。关闭线圈电源后，荧光屏上没有出现电子束亮点，关闭高压后重新加高压，电子枪显示有束流，但是屏上依然没有出现亮点，也试过调整电子枪偏转，没有效果，请高人指点可能是什么原因。

请问扫描电镜是否有电子束的挡板，可以在关闭的时候截断电子束？

在进行EDS分析中，可以在SEM图上进行选区分析，能谱仪是如何控制电子束进行选区分析的呀。选一个点进行分析时，是否电子束就是打在那个点上，而选一个区域进行分析时，电子束是否要进行扫描呀。菜菜问题！

一、聚光镜电流越小，二次电子产额越高，是聚光镜电流对二次电子有排斥？二、灯丝电流应是越大，二次电子产额越高吧？三、聚光镜电流越小，像颗粒越细？。四、聚光镜电流越小，信号越强？。五、聚光镜电流越小，电子束流越大？。六、一个最基本的问题：聚光镜电流在电镜上如何调节？我们平时调节的只有灯丝的电流，好象没调节过聚光镜电流啊？谢谢您的指导！

Hitachi S-4800冷场扫描电镜使用扫描电镜进行拍照的时候，参数设置为：加速电压10kv，发射电流10uA根据工程师给的图表，可以估计，探针电流大小在1~2 X 10-11 A那么，此时，束流大小大概多少？因为想计算电子束在样品表面的剂量（dose）非常感谢~！

降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径，怎么理解？原理是怎样的？听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的，对吗？

这两天看到仪器信息网的一篇报道，蔡司将在2014年11月15日-19日，于华盛顿举行的神经系统科学年会上展出ZEISS MultiSEM 505，这是蔡司推出的一款新型扫描电镜，该仪器将会同时产生61条电子束 。　　据介绍，传统的扫描电镜采用单电子束，电子束在样品表面被引导着获取一个个像素来形成样本的一组图像。ZEISS MultiSEM同时使用61条电子束，可同时获取61组图像。因此，利用ZEISS MultiSEM 505现在可以快速获取大面积的图像，图像采集时间也从数年减少到只需几周而已。（点击查看全文）　　看到这样的描述，让初入行的我看起来真是不明觉厉，不知道各位大侠对这款新产品有何看法?

各位大神，想问一下扫描电镜在使用过程中，电子束聚焦点的最高温度能达到多少？还有一些易分解的样品如五水硫酸铜，六水氯化铝之类的，在电子束扫描下是不是很容易分解？

降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径，怎么理解？原理是怎样的？听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的，对吗？