产品介绍项目描述SE分辨率3.0nm (30kV),高真空模式 / 10nm (3kV), 高真空模式BSE分辨率4.0nm (30kV),低真空模式放大倍率x5 ~ x300,000加速电压0.3 ~ 30 kV低真空范围6 ~ 270 Pazui大样品尺寸直径200mm样品台I型 II型X0 ~ 80mm 0 ~ 100mmY 0 ~ 40mm 0 ~ 50mmZ5 ~ 35mm 5 ~ 65mmR360o 360oT-20o~ +90o -20o ~ +90oT-20o~ +90o -20o ~ +90ozui大样品高度35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)驱动类型手动 五轴马达驱动灯丝预对中钨灯丝物镜光栏可移动式4孔物镜光栏枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏检测器二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器分析位置WD=10mm, TOA=35o控制鼠标、键盘,手动旋钮自动调校自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦 消像散、自动亮度对比度 详细说明1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、 自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品zui高可达80mm。5. 分析样品仓可以同时安装EDX , WDX 及EBSD。6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效
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