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品牌简介

HL仪器在光学检测领域具有三十多年的研发和工程化经验，完成过全球首台24英寸口径相移干涉仪的研制和应用、检测地球引力波LIGO项目中关键元件的超高精度干涉仪的研制和应用、检测DLP芯片的TG/TTM技术和工程化、检测晶圆平面度和厚度变化的半导体专用设备的研制和应用。 HL激光干涉仪采用模块化设计理念，结合了几十年的研发经验，研制出具有自主知识产权的数字化高精度激光干涉仪模块，在此基础上形成了三种类型的激光干涉仪：无盈利平面检测干涉仪、现场高效球面检测干涉仪、通用组合水平式干涉仪。能够覆盖多口径，具有模块化、高精度、高效率、100%无损、抗干扰性能强等特点。