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气体质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密控制 和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保 和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:微电子工艺设 备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、 微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。