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美国ibss公司致力于等离子清洗设备的开发，特别是针对电子束等易产生积碳应用场景下等离子清洗设备的开发，其专利的DownStream技术能够保证等离子体中不含电荷或离子态的物质存在，从而可以最大程度降低等离子体对样品表面的损伤，同时能够保证线性清洗效果，从而满足定量去除制样的需求。