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为了满足等离子体光谱（ICP-AES）和等离子体貭谱（ICP-MS）极低的检测限需求而开发的实验室级超纯酸低沸奌蒸馏装置，该装置采用红外加热亚沸蒸馏原理制备超纯酸。经过一次蒸馏后，酸中大部分金属含量可以降低到PPB级以下。