Plasma-Therm
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品牌溯源
发源地:美洲/美国
品牌简介
Plasma-Therm是致力于PECVD/HDPCVD/RIE/ICP/DSE的世界知名设备提供商,产品涵盖2”~12”主流干法刻蚀/PECVD工艺,广泛应用于半导体、MEMS、三五族(GaAs/SiC/CPV)、LED、SOI及半导体后段TSV领域
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品牌典型用户
中国科学院微电子研究所