准动态测量法测量薄膜材料的 seebeck 系数和电阻率 - 薄膜热电参数测试系统（MRS ）- 上海昊扩华东大区总代理
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HanKO上海昊扩华东大区总代理 薄膜材料物性分析领跑者 嘉仪通科技 薄膜热电参数测试系统((MRS) Thin-FilmThermoelectric Parameter Test System 上海昊扩科技发展有限公司 ( 电话：021-52261560 传真：021-52261608 ) 薄膜热电参数测试系统(MRS) 为解决日益紧迫的能源危机，太阳能、风能、核能等多种新能源不断被开发利用。新能源的使用需要优质的节能材料。 利用热电材料制成的制冷和发电系统，具有体积小、重量轻、无任何机械噪音、不造成任何环境污染等众多优点。因此对热电材料的研究非常重要。为了进一步提高热电材料的转化效率(热电优值)，对其研究从块体慢慢转移到薄膜材料。 热电制冷材料 热电发电材料 本产品采用准动态测量法，可同时测量薄膜材料的 seebeck 系数和电阻率，测温范围达到80K~600K。 技术原理 准动态法：测量 seebeck系数 在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差，通过记录样品两端温差和热电势的变化，然后将温差和热电势拟合成一条直线，直线斜率即为该材料在该温场下的 seebeck 系数。 采用四探针法测量电阻率。 硬件特点 动态法测量 seebeck 系数， 避免了静态法测量在温差测量上面的系统误差，测量更准确 采用双向加热系统，出现测试坏点，可以重新测试 seebeck 系数和电阻率测量测量不共用电压探针，避免出现微型热电偶断裂失效的问题 软件操作简单，智能化可实现手动、自动模式 温度范围 80K~600K 温控方式 PID 程序控制 极限真空 1Pa 测试气氛 真空 测量范围 塞贝克系数： S≥8x10-V/K； 电阻率：10Qm~0.1Qm 分辨率 塞贝克系数：5x10V/K；：电阻率：5x100m 相对误差 塞贝克系数≤6%(拟合度：99.999%)，电阻率5% 测量模式 全自动 样品尺寸 薄膜样品：长方形，长≥12mm， 宽≥28mm 薄膜厚度： 100nm 样品要求 ● 样品满足上述样品尺寸，待测面需平整，薄膜均匀性好，保证与铜片接触良好 ● 薄膜材料厚度最低可至 100nm， 其均匀性有较高要求，薄膜厚度达到微米级别较好 ● 薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或绝缘材料为宜，如玻璃、Si等材料 测试实例 薄膜材料数据拟合图1 上海市闵行区恒南路 上海昊扩科技发展有限公司电话： 传真：海市闵行区恒南路
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