Instec 为探针台增加样品温控功能的解决方案

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Instec 中国区总代理-44—上海恒商精密仪器有限公司 Instec 为探针台增加样品温控功能的解决方案 By 康世远 2015.08.17 L.方案简介 使用美国 Instec 高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘作为样品温控环境，温控装置放在探针台的的品台上使用。 2. 优势介绍 本方案能让平常只能在常温下进行样品电测试的探针台，增加样品温控的功能。这样有几个好处： 【一】成本低。在探针台上多加个高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘就能做温控条件下样品探针测试，相当于一个温控探针台； 【二】技术权威。 Instec 冷热台控温好，-190℃~600℃上下通吃，稳定性不差于0.05℃，台面温度低梯度，表面粗糙度低。台面能接地能电悬空，设备还能通3轴接口。这是出自美国名校科罗拉多大学的 Instec 其30年经验历史保证； 3. 方案用途 用于测定给探针台提供样品温控功能，和探针台组合成温控探针台用。 4. 实验样品 需要在温控环境下进行电性能测试的探针台样品。 5. 使用仪器 此解决方案需要于和用户自己的探针台搭配。 方案使用到的 Instec 仪器有： 美国 Instec 高低温晶圆夹盘系列 (或也可使用 Instec 冷热平板为其样品控温) 6. 方案介绍 本解决方案提供的高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘可放置于探针台上使用，样品放置于温控装置上使用。 本解决方案提供的 Instec 高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘型号尺寸多样，右图为原型夹盘和方形夹盘的。 Instec 高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘内部有电热加热元件，如果要制冷就需要液氮泵+液氮罐，液氮不直接与样品接触，而是直接在加热器下面埋设的闭合回路里走一圈就出来，出来的时候已经蒸发成氮气了。不过对于半导体温控装置(帕尔贴效应制冷)，电热加热元件就被换成了帕尔贴温控元件，加热/制冷都可以实现。 放任温控装置处于高温状态会损坏周围仪器甚至至人，所以需要对温控装置外壳降温。半导体温控装置在制冷时会把内能从内部引到外部，外壳会变烫，所以对其外壳降温也同样是必须的。 7. 实验步骤 1)连接设备，开机预热。打开 WinTemp 温控软件 2)将高低温晶圆夹盘置于探针台的样品台上，将待测样品高低温晶圆夹盘上 3)使用真空机抽吸空气，使得待测样品真空吸附于高低温晶圆夹盘上，使得高低温晶圆夹盘真空吸附于探针台的样品台上 4)操作软件进行温控，同时操作探针台对样品进行电性能测试 5)操作软件，将温控数据信息保存至文件夹 8. 售后服务 售后服务和维修由上海恒商精密仪器有限公司提供。 产品一年质保，终身服务。远程咨询和软件升级免费。 上海市徐汇区漕河径开发区漕宝路话： 真：