金属及金属涂层中形貌特征检测方案(立体显微镜)

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概述 扫描电镜可用于观测金属及金属涂层的形貌特征。BSE 模式在这种情况下是非常有用的观测方式。 金属化学蚀刻 下面的图像是涂有镍和金的铜质样品，由于镍和铜的原子序数相似，很难区分两者之间的边界。通过化学蚀刻，如右侧图像显示，刻蚀后两层可以很容易区分。但如果不能腐蚀，使用 BSE 模式观察，也可以区分不同的两层 金属表面 金属物体做扫描电镜成像时，不需要太多特殊的样品制备。因为金属样品导电性好，所以不需要进行喷镀。如果样品表面高度一致，相似的颗粒，可能会比较难以区分。针对这类样品，可以使用 BSE 模式进行观测。BSE 模式观测样品表面及以下的原子序数差异，所以样品中，高原子序数的颗粒很容易被鉴别出来。 背散射电子(BSE) 背散射探测器可以很方便的被集成到 COXEM 扫描电镜中。BSE 成像与 SE 成像一样有用，尤其是对于原子衬度较高的样品，当采集其成分和形貌图像时， BSE 成像更为有用。例如，对于观察染色后，或以重金属涂覆的生物样品，与使用SE模式相比，用 BSE 模式来检测样品中的金属，图像更具表现力。此外， BSE模式可在高真空和低真空，两种环境下工作。这也是 BSE 模式的一大特点。 合成金属纤维 样品是部分涂有铜和碳的合成金属纤维。当以高加速电压观测样品时，由于碳的原子序数较低，所以检测不到碳涂层。针对这一点，降低加速电压，可观察到更多的样品表面信息。如下列左图中所示，在低加速电压下，碳涂层很容易被观测到。 其它应用图片 裂纹(x10，000) 金属纤维(x1，000) 晶界 (x20，000) 扫描电镜可用于观测金属及金属涂层的形貌特征。BSE 模式在这种情况下是非常有用的观测方式。下面的图像是涂有镍和金的铜质样品，由于镍和铜的原子序数相似，很难区分两者之间的边界。通过化学蚀刻，如右侧图像显示，刻蚀后两层可以很容易区分。但如果不能腐蚀，使用 BSE 模式观察，也可以区分不同的两层